專利名稱：一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高通量大口徑高精度光學(xué)元件頻率轉(zhuǎn)換裝置，具體涉及一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置。
背景技術(shù)：
高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置是真空可控高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)的重要組成部分，其主要功能是將波長(zhǎng)為1.053 μ m的基頻光轉(zhuǎn)換成0.351 μ m的三倍頻光。并采用“I類+11類/11類”晶體級(jí)聯(lián)的方式實(shí)現(xiàn)高效率、高強(qiáng)度、高穩(wěn)定、寬帶三次諧波轉(zhuǎn)換。目前尚無成熟的裝置實(shí)現(xiàn)高通量大口徑激光頻率的轉(zhuǎn)換裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了實(shí)現(xiàn)高通量大口徑激光頻率的轉(zhuǎn)換，進(jìn)而提供一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置包括頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體和頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)，頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體內(nèi)，所述頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)箱體、倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件、第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件、倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)構(gòu)箱體的一個(gè)側(cè)壁上開有光學(xué)元件拆裝法蘭窗口，倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體的另一個(gè)側(cè)壁內(nèi)，且第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的上部，第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體的內(nèi)壁底端，且第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近光學(xué)兀件拆裝法蘭窗口一側(cè)的機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)壁底端，倍頻調(diào)角組 件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件依次并列設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)，所述倍頻調(diào)角組件包括倍頻的軸二維鏡架、倍頻的晶體組件和倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架的底端側(cè)面上，再將倍頻的軸二維鏡架設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)，倍頻的晶體組件穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口并且無應(yīng)力裝卡在倍頻的軸二維鏡架上，所述第一混頻調(diào)角組件包括第一混頻的軸二維鏡架、第一混頻的晶體組件和第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在第一混頻的軸二維鏡架的底端側(cè)面上，再將第一混頻的軸二維鏡架設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)，第一混頻的晶體組件穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架上，第一混頻的晶體組件包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上，所述第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件包括第二混頻的軸二維鏡架、第二混頻的晶體組件、第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)和第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件，第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架的側(cè)壁外端上部，第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架的上端，第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)設(shè)置在第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件上，再將第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)，第二混頻的晶體組件穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架上，第二混頻的晶體組件包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下效果:1.本發(fā)明能夠在狹小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)大口徑倍頻的晶體組件、第一混頻的晶體組件和第_■混頻的晶體組件的聞精度在線調(diào)整，每塊晶體組件實(shí)現(xiàn)在線_■維電動(dòng)調(diào)整運(yùn)動(dòng)和一維手動(dòng)安裝調(diào)整，一維手動(dòng)安裝調(diào)整是繞Z軸用于進(jìn)行偏振態(tài)調(diào)整，第二混頻的晶體組件能夠?qū)崿F(xiàn)在線縱向，即沿Z軸做電動(dòng)調(diào)整運(yùn)動(dòng)；每塊晶體二維正交電動(dòng)調(diào)整嚴(yán)格正交且互相獨(dú)立，正交軸應(yīng)與組件方形桶壁平行，有效的解決了目前尚無成熟的裝置實(shí)現(xiàn)高通量大口徑激光頻率的轉(zhuǎn)換裝置的問題。

2.本發(fā)明的倍頻的晶體組件、第一混頻的晶體組件和第二混頻的晶體組件的結(jié)構(gòu)相同，均可從頻率轉(zhuǎn)換模塊側(cè)面拆裝窗口進(jìn)行拆裝，拆裝方便、快捷。3.本發(fā)明的倍頻的晶體組件、第一混頻的晶體組件和第二混頻的晶體組件的無應(yīng)力裝卡是通過如下環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)的，以倍頻的晶體組件為例進(jìn)行說明，首先倍頻的晶體組件通過內(nèi)四點(diǎn)雙面夾持到倍頻的軸二維鏡架上，倍頻的晶體組件通過一組對(duì)稱排布的鎖緊鋼片將其鎖緊到倍頻的軸二維鏡架上，由于鎖緊鋼片在螺釘鎖緊方向上具有很好的柔性，因此螺釘鎖緊力不會(huì)導(dǎo)致晶體組件的晶體框產(chǎn)生變形，而在其它方向上鎖緊鋼片具有高剛性，對(duì)定位精度無影響，這種卡緊方式的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、卡緊可靠、操作方便且無需顧及卡緊力是否均勻。


圖1為頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體的立體圖；圖2是頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)的立體圖；圖3是頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)的主視圖；圖4是圖3沿A-A方向的剖視圖；圖5是圖3的后視圖；圖6是圖3沿F-F處的剖視圖；圖7是圖3沿H-H處的剖視圖；圖8是圖4沿K-K方向的剖視圖；圖9是圖3的仰視圖；圖10是頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)左視圖下部的剖視圖；圖11是頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)右視圖中部的剖視圖；圖12是倍頻調(diào)角組件和微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的立體圖。
具體實(shí)施例方式具體實(shí)施方式
一:結(jié)合圖1-圖12說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置包括頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體I和頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)2，頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)2設(shè)置在頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體I內(nèi)，所述頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)2包括機(jī)構(gòu)箱體3、倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件、第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件、倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5和第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，所述機(jī)構(gòu)箱體3的一個(gè)側(cè)壁上開有光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7，倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4和第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5均設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3的另一個(gè)側(cè)壁內(nèi)，且第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5位于倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4的上部，第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3的內(nèi)壁底端,且第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6靠近光學(xué)兀件拆裝法蘭窗口 7 —側(cè)的機(jī)構(gòu)箱體3內(nèi)壁底端，倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件依次并列設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3內(nèi)，
所述倍頻調(diào)角組件包括倍頻的軸二維鏡架8、倍頻的晶體組件9和倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10，倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架8的底端側(cè)面上，再將倍頻的軸二維鏡架8設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3內(nèi)，倍頻的晶體組件9穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7并且無應(yīng)力裝卡在倍頻的軸二維鏡架8上，所述第一混頻調(diào)角組件包括第一混頻的軸二維鏡架11、第一混頻的晶體組件12和第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13，第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13設(shè)置在第一混頻的軸二維鏡架11的底端側(cè)面上，再將第一混頻的軸二維鏡架11設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3內(nèi)，第一混頻的晶體組件12穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架8上，第一混頻的晶體組件12包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上，所述第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件包括第二混頻的軸二維鏡架14、第二混頻的晶體組件15、第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16、第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)17和第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件18，第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架14的側(cè)壁外端上部，第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件18設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架14的上端，第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)17設(shè)置在第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件18上，再將第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體3內(nèi)，第二混頻的晶體組件15穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架8上，第二混頻的晶體組件15包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上。本實(shí)施方式頻率轉(zhuǎn)換裝置中的頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)2對(duì)倍頻、混頻晶體的匹配角進(jìn)行精確調(diào)整，實(shí)現(xiàn)高效頻率轉(zhuǎn)換。每片晶體采用有軸正交二維電動(dòng)調(diào)整和一維手動(dòng)安裝調(diào)整，有軸正交二維電動(dòng)調(diào)整用于晶體最佳匹配角調(diào)整，一維手動(dòng)安裝調(diào)整用于進(jìn)行偏振態(tài)調(diào)整，兩片混頻晶體間距 可進(jìn)行一維電動(dòng)調(diào)整，每個(gè)晶體組件可從側(cè)面拆裝，并實(shí)現(xiàn)無應(yīng)力裝卡。本實(shí)施方式包含倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15，其主要功能是將波長(zhǎng)為1.053 μ m的基頻光轉(zhuǎn)換成0.351 μ m的三倍頻光。并采用“I類+11類/11類”單倍頻雙混頻三塊晶體級(jí)聯(lián)的方式實(shí)現(xiàn)高效率、高強(qiáng)度、高穩(wěn)定、寬帶三次諧波轉(zhuǎn)換。本實(shí)施方式的頻率轉(zhuǎn)換裝置對(duì)研究高強(qiáng)度運(yùn)行條件下三倍頻光束的能量轉(zhuǎn)換和傳輸特性有著重要作用。因此對(duì)每塊晶體二維角度的調(diào)節(jié)方式、調(diào)節(jié)精度提出了較高要求。俯仰X軸和方位Y軸的調(diào)節(jié)精度達(dá)到I"，間距調(diào)整精度為I μ m，在狹小的空間中能夠?qū)崿F(xiàn)倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15各自的二維獨(dú)立轉(zhuǎn)角運(yùn)動(dòng)，和第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15間距的一維直線調(diào)整運(yùn)動(dòng)，以及一維偏振態(tài)的安裝調(diào)整功能。所述俯仰X軸的調(diào)節(jié)通過俯仰電機(jī)實(shí)現(xiàn)，方位Y軸的調(diào)節(jié)通過偏擺電機(jī)實(shí)現(xiàn)。本實(shí)施方式每塊晶體X和Y軸調(diào)整均采用軸承框架結(jié)構(gòu)形式，分別獨(dú)立調(diào)整，這種結(jié)構(gòu)形式運(yùn)動(dòng)精度高、穩(wěn)定性和可靠性好，在原型裝置的運(yùn)行中已得到驗(yàn)證，Z軸采用軸銷結(jié)合手輪的方式進(jìn)行偏振態(tài)基準(zhǔn)的調(diào)整，調(diào)整完成后用螺釘鎖緊，手輪可卸下，三軸之間沒有耦合，第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件還有一維直線運(yùn)動(dòng)，為了簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)該維采用俯仰轉(zhuǎn)軸置于滾動(dòng)溜板上的方式，這是一種半耦合結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行二維角度調(diào)整時(shí)沒有耦合，在進(jìn)行混頻晶體間距調(diào)整時(shí)，與俯仰角度發(fā)生耦合，此時(shí)只需使俯仰驅(qū)動(dòng)電機(jī)隨動(dòng)相同的步距即可，這種結(jié)構(gòu)布局和支撐方式具有回轉(zhuǎn)精度高、剛度高、運(yùn)動(dòng)順暢、導(dǎo)軌不承受翻轉(zhuǎn)力矩和便于控制等優(yōu)點(diǎn)，也使結(jié)構(gòu)更加緊湊。三塊晶體的無應(yīng)力裝卡是另一項(xiàng)對(duì)頻率轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換效率有直接影響，根據(jù)原型裝置精密裝校和實(shí)際運(yùn)行的情況，參考其中一個(gè)晶體的自重變形的有限元分析結(jié)果，(I)當(dāng)晶體的自重變形為28.5°時(shí)，晶體工作區(qū)域的最大變形為1.08 μ m, (2)當(dāng)晶體的自重變形為35°時(shí)，晶體工作區(qū)域的最大變形為1.3 μ m，(3)當(dāng)晶體的自重變形為49.5°時(shí)，晶體工作區(qū)域的最大變形為1.73 μ m，(4)當(dāng)晶體的自重變形為55°時(shí)，晶體工作區(qū)域的最大變形為1.86 μ m，主機(jī)設(shè)計(jì)中采用了與原型裝置不同的晶體裝卡方式，晶體通過內(nèi)四點(diǎn)雙面夾持到晶體框上，構(gòu)成晶體組件，晶體組件通過柔性環(huán)節(jié)固定到調(diào)整機(jī)構(gòu)上，該結(jié)構(gòu)即保證了裝卡后的高剛度要求，又消除了鎖緊力帶來的附加變形。
具體實(shí)施方式
二:結(jié)合圖3、圖4、圖7、圖8和圖10說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4為倍頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10為倍頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如此設(shè)置，便于實(shí)現(xiàn)倍頻調(diào)角組件的二維調(diào)整。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
一相同。
具體實(shí)施方式
三:結(jié)合圖3、圖6和圖11說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5為第一混頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13為第一混頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如此設(shè)置，便于實(shí)現(xiàn)第一混頻調(diào)角組件的二維調(diào)整。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
一或二相同。
具體實(shí)施方式
四:結(jié)合圖4、圖8-圖10說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6為第二混頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16為第二混頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如此設(shè)置，便于實(shí)現(xiàn)第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件的二維調(diào)整。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
三相同。
具體實(shí)施方式
五: 結(jié)合圖4、圖8和圖11說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10的位置與第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的位置相錯(cuò)。如此設(shè)置，有效的避免了倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10與第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13在安裝和使用時(shí)發(fā)生干涉。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
一、二或四相同。
具體實(shí)施方式
六:結(jié)合圖12說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件均還包括卡緊片19、一組鎖緊片20、壓緊彈片21和偏振態(tài)調(diào)整釘22,卡緊片19設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端中部，用于卡緊倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15，一組鎖緊片20對(duì)稱設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端內(nèi)部，所述底端內(nèi)部均為遠(yuǎn)離光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7 —側(cè)的倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端，用于鎖緊倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15，壓緊彈片21設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端外部，所述底端外部均為靠近光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7 —側(cè)的倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端，用于壓緊倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15，偏振態(tài)調(diào)整釘22設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端內(nèi)部，且位于鎖緊片20的上部，所述底端內(nèi)部均為遠(yuǎn)離光學(xué)元件拆裝法蘭窗口 7 —側(cè)的倍頻的軸二維鏡架8、第一混頻的軸二維鏡架11和第二混頻的軸二維鏡架14的底端，用于調(diào)整倍頻的晶體組件9、第一混頻的晶體組件12和第二混頻的晶體組件15的偏振態(tài)位置。如此設(shè)置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、卡緊可靠、操作方便。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
五相同。
具體實(shí)施方式
七:結(jié)合圖3、圖4、圖6-圖10說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6、倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10、第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13和第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16的結(jié)構(gòu)相同。如此設(shè)置，由于以上三組晶體調(diào)整組件的七種在線調(diào)整運(yùn)動(dòng)都采用電控微驅(qū)動(dòng)組件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，各維微驅(qū)動(dòng)組件的工作原理完全相同，結(jié)構(gòu)大同小異，采用模塊式結(jié)構(gòu)，相同的部分構(gòu)成通用模塊，便于生產(chǎn)加工，有利于縮短加工周期，降低成本。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
一或六相同。
具體實(shí)施方式
八:結(jié)合圖12說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6、倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
10、第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13和第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16均包括滾動(dòng)導(dǎo)軌23、螺母座24、滾動(dòng)螺母25、驅(qū)動(dòng)絲桿26、軸承座27、聯(lián)軸器28、電機(jī)基座29、行星減速器30和電機(jī)31，滾動(dòng)導(dǎo)軌23、軸承座27和電機(jī)基座29由左至右依次設(shè)置，螺母座24通過滾動(dòng)螺母25設(shè)置在滾動(dòng)導(dǎo)軌23上，驅(qū)動(dòng)絲桿26的一端穿設(shè)在螺母座24內(nèi)，驅(qū)動(dòng)絲桿26的一端依次與聯(lián)軸器28、行星減速器30和電機(jī)31可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。如此設(shè)置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，且微驅(qū)動(dòng)調(diào)整更加準(zhǔn)確。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
七相同。
具體實(shí)施方式
九:結(jié) 合圖12說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的聯(lián)軸器28設(shè)置在軸承座27與電機(jī)基座29的左側(cè)之間。如此設(shè)置，便于整體結(jié)構(gòu)的統(tǒng)籌安排，同時(shí)，有效的保證了聯(lián)軸器28工作性能。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
八相同。
具體實(shí)施方式
十:結(jié)合圖12說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的行星減速器30和電機(jī)31設(shè)置在電機(jī)基座29右側(cè)。如此設(shè)置，便于整體結(jié)構(gòu)的統(tǒng)籌安排。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
八或九相同。
權(quán)利要求
1.一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:它包括頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體(I)和頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)(2)，頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)(2)設(shè)置在頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體(I)內(nèi)， 所述頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)(2)包括機(jī)構(gòu)箱體(3)、倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件、第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件、倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)和第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)￠)，所述機(jī)構(gòu)箱體(3)的一個(gè)側(cè)壁上開有光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7)，倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)和第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)均設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體 (3)的另一個(gè)側(cè)壁內(nèi)，且第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)位于倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)的上部，第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體(3)的內(nèi)壁底端，且第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)靠近光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7) —側(cè)的機(jī)構(gòu)箱體(3)內(nèi)壁底端，倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件依次并列設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體(3)內(nèi)， 所述倍頻調(diào)角組件包括倍頻的軸二維鏡架(8)、倍頻的晶體組件(9)和倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)，倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架(8)的底端側(cè)面上，再將倍頻的軸二維鏡架(8)設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體(3)內(nèi)，倍頻的晶體組件(9)穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7)并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架(8)上，倍頻的晶體組件(9)包括倍頻晶體和倍頻晶體夾持框，倍頻晶體無應(yīng)力裝卡倍頻晶體夾持框上， 所述第一混頻調(diào)角組件包括第一混頻的軸二維鏡架(11)、第一混頻的晶體組件(12)和第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)，第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)設(shè)置在第一混頻的軸二維鏡架(11)的底端側(cè)面上，再將第一混頻的軸二維鏡架(11)設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體(3)內(nèi)，第一混頻的晶體組件(12)穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7)并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架(8)上，第一混頻的晶體組件(12)包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上， 所述第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件包括第二混頻的軸二維鏡架(14)、第二混頻的晶體組件(15)、第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)、第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)(17)和第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件(18)，第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架(14)的側(cè)壁外端上部，第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件(18)設(shè)置在第二混頻的軸二維鏡架(14)的上端，第二混頻的間距調(diào)整電機(jī)(17)設(shè)置在第二混頻的滾動(dòng)導(dǎo)軌組件(18)上，再將第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體(3)內(nèi)，第二混頻的晶體組件(15)穿過光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7)并且裝卡在倍頻的軸二維鏡架(8)上，第二混頻的晶體組件(15)包括混頻晶體和混頻晶體夾持框，混頻晶體無應(yīng)力裝卡在混頻晶體夾持框上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)為倍頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)為倍頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)為第一混頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)為第一混頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)出)為第二混頻的俯仰微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)為第二混頻的偏擺微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)的位置與第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)的位置相錯(cuò)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件均還包括卡緊片(19)、一組鎖緊片(20)、壓緊彈片(21)和偏振態(tài)調(diào)整釘(22)， 卡緊片(19)設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端中部，用于卡緊倍頻的晶體組件(9)、第一混頻的晶體組件(12)和第二混頻的晶體組件(15)， 一組鎖緊片(20)對(duì)稱設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端內(nèi)部，所述底端內(nèi)部均為遠(yuǎn)離光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7)一側(cè)的倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端，用于鎖緊倍頻的晶體組件(9)、第一混頻的晶體組件(12)和第二混頻的晶體組件(15)， 壓緊彈片(21)設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端外部，所述底端外部均為靠近光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7) —側(cè)的倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端，用于壓緊倍頻的晶體組件(9)、第一混頻的晶體組件(12)和第二混頻的晶體組件(15)， 偏振態(tài)調(diào)整釘(22)設(shè)置在倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端內(nèi)部，且位于鎖緊片(20)的上部，所述底端內(nèi)部均為遠(yuǎn)離光學(xué)元件拆裝法蘭窗口(7) —側(cè)的倍頻的軸二維鏡架(8)、第一混頻的軸二維鏡架(11)和第二混頻的軸二維鏡架(14)的底端，用于調(diào)整倍頻的晶體組件(9)、第一混頻的晶體組件 (12)和第二混頻的晶體組件(15)的偏振態(tài)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)、第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)出)、倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)、第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)和第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)的結(jié)構(gòu)相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)、第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)、第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)、倍頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(10)、第一混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)和第二混頻的第二微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)均包括滾動(dòng)導(dǎo)軌(23)、螺母座(24)、滾動(dòng)螺母(25)、驅(qū)動(dòng)絲桿(26)、軸承座(27)、聯(lián)軸器(28)、電機(jī)基座(29)、行星減速器(30)和電機(jī)(31)，滾動(dòng)導(dǎo)軌(23)、軸承座(27)和電機(jī)基座(29)由左至右依次設(shè)置，螺母座(24)通過滾動(dòng)螺母(25)設(shè)置在滾動(dòng)導(dǎo)軌(23)上，驅(qū)動(dòng)絲桿(26)的一端穿設(shè)在螺母座(24)內(nèi)，驅(qū)動(dòng)絲桿(26)的一端依次與聯(lián)軸器(28)、行星減速器(30)和電機(jī)(31)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述聯(lián)軸器(28)設(shè)置在軸承座(27)與電機(jī)基座(29)的左側(cè)之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于:所述行星減速器(30)和電機(jī)(31)設(shè)置在電機(jī)基座(29)右側(cè)。
全文摘要
一種內(nèi)置式高通量大口徑激光頻率轉(zhuǎn)換裝置，它涉及一種激光頻率轉(zhuǎn)換裝置。本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)高通量大口徑激光頻率的轉(zhuǎn)換。本發(fā)明的頻率轉(zhuǎn)換模塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在頻率轉(zhuǎn)換模塊殼體內(nèi)，機(jī)構(gòu)箱體的一個(gè)側(cè)壁上開有光學(xué)元件拆裝法蘭窗口，倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體的另一個(gè)側(cè)壁內(nèi)，且第一混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于倍頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的上部，第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體的內(nèi)壁底端，且第二混頻的第一微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近光學(xué)元件拆裝法蘭窗口一側(cè)的機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)壁底端，倍頻調(diào)角組件、第一混頻調(diào)角組件和第二混頻調(diào)角及移動(dòng)組件依次并列設(shè)置在機(jī)構(gòu)箱體內(nèi)。本發(fā)明用于高通量大口徑激光頻率的轉(zhuǎn)換。
文檔編號(hào)H01S3/109GK103235464SQ201310156389
公開日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者梁迎春, 于福利, 郭永博, 盧禮華, 張慶春 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)