有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，步驟如下：準(zhǔn)備具有第一像素區(qū)域和與所述第一像素區(qū)域分隔的第二像素區(qū)域的基板，并將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而開(kāi)口的第一掩模布置在所述基板之上。然后，將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域而開(kāi)口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區(qū)域，覆蓋所述第二像素區(qū)域。然后，向所述基板側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域形成所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，并從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域，向所述基板側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域形成所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，之后從所述基板去除所述第一掩模。
【專(zhuān)利說(shuō)明】有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，尤其涉及形成有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的有機(jī)發(fā)光層的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置作為平板顯示裝置中的一種，逐漸取代著以往廣泛使用的液晶顯示裝置。有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置自發(fā)光而顯示圖像，因此與液晶顯示裝置不同，不需要通過(guò)其構(gòu)成要素發(fā)光的背光單元。據(jù)此，有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置不僅具有相比液晶顯示裝置有利于減少其厚度的結(jié)構(gòu)，響應(yīng)特性也很出色，因此作為下一代平板顯示裝置，其使用范圍正逐漸擴(kuò)大。
[0003]通常，有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置包括陽(yáng)極、陰極以及介入于這兩個(gè)電極之間的空穴注入層、空穴輸送層、有機(jī)發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層。通過(guò)所述陽(yáng)極向所述有機(jī)發(fā)光層提供空穴，并通過(guò)所述陰極向所述有機(jī)發(fā)光層提供電子。據(jù)此，被提供至所述有機(jī)發(fā)光層的電子和空穴再結(jié)合而生成激子，根據(jù)所述激子的狀態(tài)從激發(fā)態(tài)變化至基態(tài)而產(chǎn)生的能量，從所述有機(jī)發(fā)光層發(fā)出光。
[0004]另外，用于制造有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的多個(gè)單位工藝中的一部分單位工藝可適用被應(yīng)用于液晶顯示裝置的制造中而通用化的單位工藝。但是，由于諸如在基板上圖案化有機(jī)發(fā)光層的工藝的一部分單位工藝屬于沒(méi)有被引入到液晶顯示裝置的制造中的工藝，因而正在研究能夠?qū)⑦@些單位工藝最優(yōu)化的可執(zhí)行的方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠更加容易地圖案化有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的有機(jī)發(fā)光層的方法。
[0006]用于實(shí)現(xiàn)上述的本發(fā)明的目的的根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法如下。
[0007]準(zhǔn)備具有第一像素區(qū)域和與所述第一像素區(qū)域分隔的第二像素區(qū)域的基板，并將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而開(kāi)口的第一掩模布置在所述基板之上。然后，將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域而開(kāi)口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區(qū)域，覆蓋所述第二像素區(qū)域。
[0008]然后，向所述基板側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域形成所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，并從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域，向所述基板側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域形成所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，之后從所述基板去除所述第一掩模。
[0009]用于實(shí)現(xiàn)上述本發(fā)明的目的的根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法如下。
[0010]準(zhǔn)備具有彼此分隔的第一像素區(qū)域、第二像素區(qū)域、第三像素區(qū)域的基板，并將對(duì)應(yīng)于所述第一至第三像素區(qū)域而開(kāi)口的第一掩模布置在所述基板之上，將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而開(kāi)口的第二掩模布置在所述第一掩模之上。然后，將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域而開(kāi)口的第三掩模布置在所述第二掩模之上，以暴露所述第一像素區(qū)域，并覆蓋所述第二像素區(qū)域和第三像素區(qū)域。
[0011]然后，向所述基板側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域形成所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，并從基板去除所述第三掩模，以暴露所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域，向所述基板側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域形成所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)。
[0012]然后，從所述基板去除所述第二掩模，以暴露所述第一至第三像素區(qū)域，向所述基板側(cè)提供第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一至第三像素區(qū)域形成所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，之后從基板去除所述第一掩模。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，可利用薄膜形態(tài)的掩模選擇性地在像素區(qū)域容易地形成彼此不同的有機(jī)發(fā)光層。據(jù)此，可以最小化以往為了圖案化有機(jī)發(fā)光層而使用的金屬掩模的使用頻率，或者所述薄膜形態(tài)的掩?？梢匀〈鼋饘傺谀！４藭r(shí)，可以解決隨著使用所述金屬掩模而發(fā)生的各種工藝問(wèn)題(例如，由于金屬掩模的重量，所述金屬掩模在工藝過(guò)程中發(fā)生下垂，導(dǎo)致難以制作大型的所述金屬掩模的問(wèn)題)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1a至圖1j為示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法的圖。
[0015]圖2為示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝的圖。
[0016]圖3為示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝的圖。
[0017]圖4a至圖4f為示出根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法的圖。
[0018]主要符號(hào)說(shuō)明
[0019]Ml:第一掩模M2:第二掩模
[0020]M3:第三掩模PEl:第一像素電極
[0021]PAl:第一像素區(qū)域ELl:第一有機(jī)發(fā)光層
[0022]EMl:第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì) HIL:空穴注入層
[0023]HTL:空穴輸送層EIL:電子注入層
[0024]ETL:電子輸送層CE:共同電極
[0025]FMM:精細(xì)金屬掩模
【具體實(shí)施方式】
[0026]以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。通過(guò)與附圖相關(guān)的實(shí)施例，可以容易理解上述的本發(fā)明的目的、特征以及效果。但是，本發(fā)明并不局限于在此說(shuō)明的實(shí)施例，可以應(yīng)用為多種形態(tài)進(jìn)行變更。后述的本發(fā)明的實(shí)施例是為了進(jìn)一步明確通過(guò)本發(fā)明公開(kāi)的技術(shù)思想，進(jìn)而向本發(fā)明所屬的【技術(shù)領(lǐng)域】?jī)?nèi)具有普及的知識(shí)的技術(shù)人員充分地傳遞本發(fā)明的技術(shù)思想。因此，本發(fā)明的范圍并不能解釋為根據(jù)后述的實(shí)施例進(jìn)行限定。另外，下述實(shí)施例和圖中的相同的附圖標(biāo)記表示相同的構(gòu)成要素。
[0027]圖1a至圖1j為示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法的圖。
[0028]參照?qǐng)Dla，基板10具有多個(gè)第一像素區(qū)域、多個(gè)第二像素區(qū)域、多個(gè)第三像素區(qū)域。在進(jìn)行后述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝之后，在所述多個(gè)第一像素區(qū)域中的每一個(gè)第一像素區(qū)域中形成發(fā)出第一光(圖1j的LI)的像素，在所述多個(gè)第二像素區(qū)域中的每一個(gè)第二像素區(qū)域形成發(fā)出顏色與所述第一光不同的第二光(圖1j的L2)，所述多個(gè)第三像素區(qū)域中的每一個(gè)第三像素區(qū)域中形成發(fā)出顏色與所述第一光和第二光不同的第三光(圖1j的L3)的像素。另外，作為示例，在圖1a至圖1j示出了形成于所述多個(gè)第一至第三像素區(qū)域中的第一像素區(qū)域PA1、第二像素區(qū)域PA2、第三像素區(qū)域PA3的像素的制造方法，對(duì)于剩余的像素區(qū)域中形成的像素的制造方法進(jìn)行省略。
[0029]在所述基板10上形成有有機(jī)膜20，在所述有機(jī)膜20上形成與所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3——對(duì)應(yīng)而布置的第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3。
[0030]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述有機(jī)膜20可以覆蓋布置在所述基板10上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管(未圖示)。所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管可包括與所述第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3一一對(duì)應(yīng)而電連接的第一至第三驅(qū)動(dòng)晶體管，所述第一至第三驅(qū)動(dòng)晶體管可切換向所述第一至第三像素電極PEl、PE2、PE3側(cè)提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
[0031]而且，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管中的每一個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管可包括柵極、源極、有源圖案、漏極。據(jù)此，在所述基板10上可進(jìn)一步設(shè)置使所述柵極與相鄰的其他導(dǎo)電圖案形成絕緣的柵極絕緣膜(未圖示)以及使所述源極和漏極與其他導(dǎo)電圖案形成絕緣的層間絕緣膜(未圖示)。
[0032]在形成所述第一至第三像素電極PEl、PE2、PE3之后，在所述第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3之上順序地形成空穴注入層HIL、空穴輸送層HTL。在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL可分別以單層膜的形狀共同形成于所述第一至第三像素區(qū)域？八1、？42、？43。在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL中的其中一個(gè)可以以單層膜的形狀共同形成于所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3，或者所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL可以分別在各個(gè)所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3中以圖案化的形狀形成。
[0033]在形成所述空穴注入層HIL和所述空穴輸送層HTL之后，將第一掩模Ml布置在所述基板10之上。所述第一掩模Ml對(duì)應(yīng)于所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3開(kāi)口，因而暴露所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3。具體來(lái)講，隨著具有上述結(jié)構(gòu)的所述第一掩模Ml被布置到所述基板10之上，在所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3中，所述空穴輸送層HTL可以局部暴露。
[0034]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述第一掩模Ml可具有形成有開(kāi)口部的薄膜形狀。此時(shí)，所述第一掩模Ml的所述開(kāi)口部與所述第一至第三像素區(qū)域PAl、PA2、PA3對(duì)齊，所述第一掩模Ml可布置在形成于所述基板10之上的薄膜中的位于最上層的薄膜之上。
[0035]參照?qǐng)Dlb，在基板10上布置第一掩模Ml之后，在所述第一掩模Ml之上布置第二掩模M2。所述第二掩模M2對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2而開(kāi)口，由此所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2被暴露。而且，與第一掩模Ml不同，所述第二掩模M2沒(méi)有對(duì)應(yīng)于第三像素區(qū)域PA3而開(kāi)口，因此所述第三像素區(qū)域PA3被所述第二掩模M2遮蓋。
[0036]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述第二掩模M2可以與所述第一掩模Ml類(lèi)似地具有形成有開(kāi)口部的薄膜形狀，此時(shí)，所述第二掩模M2可以黏貼于所述第一掩模Ml之上。
[0037]參照?qǐng)Dlc，在第一掩模Ml上布置第二掩模M2之后，在所述第二掩模M2上布置第三掩模M3。所述第三掩模M3對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域PAl而開(kāi)口，從而所述第一像素區(qū)域PAl被暴露。而且，與所述第一掩模Ml和第二掩模M2不同，所述第三掩模M3沒(méi)有對(duì)應(yīng)于第二像素區(qū)域PA2和第三像素區(qū)域PA3而開(kāi)口，因此所述第二像素區(qū)域PA2和第三像素區(qū)域PA3被所述第三掩模M3遮蓋。
[0038]在本發(fā)明的實(shí)施例中，與所述第一掩模Ml和第二掩模M2類(lèi)似地，所述第三掩模M3可具有形成有開(kāi)口部的薄膜形狀，此時(shí)，所述第三掩模M3可黏貼于所述第二掩模M2之上。
[0039]參照?qǐng)D1d和圖le，在基板10上順序地布置第一至第三掩模Ml、M2、M3之后，向所述基板10側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl。其結(jié)果，所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl被蒸鍍到在所述第一像素區(qū)域PAl暴露于外部的空穴輸送層HTL，與此同時(shí)，除了所述第一像素區(qū)域PAl之外的剩余區(qū)域中，由于第三掩模M3上被蒸鍍有所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl，因此形成第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_1。
[0040]在本發(fā)明的實(shí)施例中，利用蒸發(fā)法(evaporation method)將所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl提供給所述基板10側(cè)。所述蒸發(fā)法是將根據(jù)熱量被蒸發(fā)的有機(jī)發(fā)光物質(zhì)蒸鍍到基板之上的方法。據(jù)此，為了將所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl提供給所述基板10側(cè)而使用所述蒸發(fā)法時(shí)，與圖1d所示的情形不同，蒸發(fā)作為所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl的來(lái)源的物質(zhì)的蒸發(fā)裝置可以布置在所述基板10的下側(cè)，所述基板10可布置在所述蒸發(fā)裝置的上側(cè)，以使所述第三掩模M3與所述蒸發(fā)裝置面對(duì)。
[0041 ] 然后，從所述基板10去除所述第三掩模M3。其結(jié)果，形成于所述第三掩模M3上的所述第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_1與所述第三掩模M3 —起被去除，形成于所述第一像素區(qū)域PAl的所述空穴輸送層HTL上的所述第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_1被圖案化為第一有機(jī)發(fā)光層 ELI。
[0042]參照?qǐng)D1f和圖lg，在形成第一有機(jī)發(fā)光層ELl之后，向基板10側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2。其結(jié)果，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2被蒸鍍于在所述第一像素區(qū)域PAl被暴露于外部的所述第一有機(jī)發(fā)光層ELl之上，與此同時(shí)，被蒸鍍到在第二像素區(qū)域PA2被暴露于外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2在除了所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2之外的剩余區(qū)域中被蒸鍍到第二掩模M2上，從而形成第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EM0_2。
[0043]形成所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EM0_2之后，從所述基板10去除第二掩模M2。其結(jié)果，形成于所述第二掩模M2上的所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_2與所述第二掩模M2 —起被去除，且形成于所述第一像素區(qū)域PAl中的所述第一有機(jī)發(fā)光層ELl和所述第二像素區(qū)域PA2中的所述空穴輸送層HTL上的所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_2被圖案化為所述第二有機(jī)發(fā)光層EL2。
[0044]參照?qǐng)D1h和圖1i，在形成第二有機(jī)發(fā)光層EL2之后，將第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM3提供給基板10側(cè)。其結(jié)果，所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM3被蒸鍍到在第一像素區(qū)域PAl被暴露于外部的第二有機(jī)發(fā)光層EL2之上，并被蒸鍍到在第二像素區(qū)域PA2被暴露于外部的第二有機(jī)發(fā)光層EL2之上，且被蒸鍍到在第三像素區(qū)域PA3被暴露于外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM3在除了所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3之外的剩余區(qū)域被蒸鍍到第一掩模Ml上，從而形成第三預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EM0_3。
[0045]形成所述第三預(yù)備有機(jī)發(fā)光層之后，從所述基板10去除第一掩模Ml。其結(jié)果，形成于所述第一掩模Ml上的所述第三預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_3與所述第一掩模Ml —起被去除，形成于所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3的所述第三預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL0_3被圖案化為所述第三有機(jī)發(fā)光層EL3。
[0046]參照?qǐng)D1 j，在形成第三有機(jī)發(fā)光層EL3之后，順序地層疊電子輸送層ETL、電子注入層EIL以及共同電極CE。
[0047]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述電子注入層EIL、所述電子輸送層ETL以及所述共同電極CE可以以單層膜形狀經(jīng)由所述第一至第三像素區(qū)域PA1、P2、PA3共同形成。在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，所述電子注入層EIL和所述電子輸送層ETL中的其中一個(gè)可以以單層膜形狀共同形成于所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3，或者所述電子注入層EIL和所述電子輸送層ETL可分別在各個(gè)所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3中以圖案化的形狀形成。
[0048]然后，結(jié)合包封基板50和所述基板10，以覆蓋形成于所述基板10之上的薄膜，并在所述基板10和所述包封基板50之間形成填充層80，由此完成有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置100的制造。在完成制造的所述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置100中，在第一像素區(qū)域PEl可輸出從第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3產(chǎn)生的第一光LI,在所述第二像素區(qū)域PE2可輸出從所述第二和第三有機(jī)發(fā)光層EL2、EL3產(chǎn)生的第二光L2，在所述第三像素區(qū)域PE3可輸出從第三有機(jī)發(fā)光層EL3產(chǎn)生的第三光L3。
[0049]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述第一至第三光L1、L2、L3可以是互不相同的光。例如，所述第三光L3可以是紅色光，所述第二光L2可以是綠色光，所述第一光LI可以是藍(lán)色光。
[0050]另外，如上所述，在所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3中的至少一個(gè)像素區(qū)域中層疊互不相同的兩個(gè)以上的有機(jī)發(fā)光層而輸出光。據(jù)此，根據(jù)情況，為了提高所述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置100的色再現(xiàn)性，有可能需要準(zhǔn)確地控制從所述層疊的有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生的光的顏色。為此，參照?qǐng)D2和圖3說(shuō)明可為了準(zhǔn)確地控制所述光的顏色而執(zhí)行的工藝。
[0051]圖2為示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝的圖。具體來(lái)講，圖2所示的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝是關(guān)于在執(zhí)行前面參照?qǐng)D1a至圖1i說(shuō)明的工藝之后，控制從第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3發(fā)出的光的顏色的方法。因此，對(duì)于前面參照?qǐng)D1a至圖1i說(shuō)明的構(gòu)成要素，賦予相同的附圖標(biāo)記，且省略對(duì)于所述構(gòu)成要素的制造工藝和功能的說(shuō)明。
[0052]參照?qǐng)D2，在第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3選擇性地形成第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3之后，向基板10側(cè)提供摻雜物DP，由此可調(diào)整第一至第三有機(jī)發(fā)光層(圖1j)的第一至第三光(圖1j的L1、L2、L3)中的至少一個(gè)光的顏色。
[0053]在本發(fā)明實(shí)施例中，所述摻雜物DP可包括突光物質(zhì)(fluorescent substance)和磷光物質(zhì)(phosphorescence)中的至少一個(gè)。據(jù)此，所述摻雜物DP可以吸收從所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3中的至少一個(gè)發(fā)出的光而產(chǎn)生不同于所述光的顏色的光，因而可利用所述摻雜物DP的種類(lèi)以及其含量容易地調(diào)整所述第一至第三光中的至少一個(gè)的顏色。
[0054]而且，圖2所示的實(shí)施例中，形成所述第三有機(jī)發(fā)光層EL3之后，所述摻雜物DP被提供至所述基板10側(cè)。但是，與圖2示出的實(shí)施例不同地，與所述摻雜物DP不同的另一種摻雜物可以在形成所述第三有機(jī)發(fā)光層EL3之前被提供至所述基板10側(cè)，與所述摻雜物DP不同的又一種摻雜物可以在形成所述第二有機(jī)發(fā)光層EL2之前被提供至所述基板10偵U。
[0055]圖3為示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝的圖。具體來(lái)講，圖3所示的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝是關(guān)于在執(zhí)行前面參照?qǐng)D1a至圖1i說(shuō)明的工藝之后，控制從第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3發(fā)出的光的顏色的方法。因此，對(duì)于前面參照?qǐng)D1a至圖1i說(shuō)明的構(gòu)成要素，賦予相同的附圖標(biāo)記，且省略對(duì)于所述構(gòu)成要素的制造工藝和功能的說(shuō)明。
[0056]參照?qǐng)D3，在第一至第三像素區(qū)域PAl、PA2、PA3中選擇性地形成第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3之后，在基板10上順序地形成電子輸送層ETL、電子注入層EIL、共同電極CE。
[0057]然后，在所述共同電極CE之上形成濾色片。圖3所示的實(shí)施例中，所述濾色片可包括形成于第一像素區(qū)域PAl的第一濾色片CFl和形成于第二像素區(qū)域PA2的第二濾色片CF2。此時(shí)，從所述第一像素區(qū)域PAl發(fā)出的第一光(圖1j的LI)可透過(guò)所述第一濾色片CFl容易地被濾色為預(yù)定的顏色，從所述第二像素區(qū)域PA2發(fā)出的第二光(圖1j的L2)可透過(guò)所述第二濾色片CF2容易地被濾色為預(yù)定的顏色。
[0058]據(jù)此，在所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2中相互層疊了彼此不同的至少兩個(gè)有機(jī)發(fā)光層，因而即便從所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2分別發(fā)出從所述相互層疊的有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生的光，所述光也能夠通過(guò)所述濾色片容易地控制其顏色。
[0059]圖4a至圖4f為示出根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法的圖。另外，在對(duì)圖4a至圖4e進(jìn)行說(shuō)明時(shí)，對(duì)于前面參照?qǐng)D1a至圖1i說(shuō)明的構(gòu)成要素，賦予相同的附圖標(biāo)記，并省略對(duì)于所述構(gòu)成要素的重復(fù)的說(shuō)明。
[0060]參照?qǐng)D4a，在基板10上順序地形成有機(jī)膜20、第一至第三像素電極PE1、PE2、PE3、空穴注入層HIL、空穴輸送層HTL。然后，在所述空穴輸送層HTL上形成第一掩模MlI。所述第一掩模Ml I對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2形成有開(kāi)口部0P。
[0061]然后，在所述第一掩模Ml I之上形成第二掩模M22。所述第二掩模M22對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域PAl形成有開(kāi)口部0P。據(jù)此，所述第一掩模Ml I和第二掩模M22對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域PAl共同地形成有開(kāi)口部0P，由此暴露所述第一像素區(qū)域PA1，而所述第二像素區(qū)域PA2被所述第二掩模M22遮蓋。
[0062]參照?qǐng)D4b和圖4c，在基板10上布置第一掩模Mll和第二掩模M22之后，向基板10側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl。其結(jié)果，所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl被蒸鍍到在第一像素區(qū)域PAl暴露于外部的空穴輸送層HTL之上，與此同時(shí)，在除了所述第一像素區(qū)域PAl之外的剩余區(qū)域中，所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EMl被蒸鍍到所述第二掩模M22之上而形成第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層ELOI。
[0063]然后，從基板10去除第二掩模M22。其結(jié)果，形成于第二掩模M22上的所述第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層ELOl中的一部分與所述第二掩模M22—起被去除，而形成于所述第一像素區(qū)域PAl的所述第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層ELOl的其他部分被保留，從而所述第一預(yù)備有機(jī)發(fā)光層ELOl被圖案化為所述第一有機(jī)發(fā)光層ELI。
[0064]參照?qǐng)D4d和圖4e,在形成第一有機(jī)發(fā)光層ELl之后，向基板10側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2。其結(jié)果，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2被蒸鍍到在第一像素區(qū)域PAl暴露于外部的第一有機(jī)發(fā)光層ELl之上，與此同時(shí)，被蒸鍍到在第二像素區(qū)域PA2暴露于外部的空穴輸送層HTL之上。而且，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM2在除了所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2之外的剩余區(qū)域被蒸鍍到第一掩模Mll上，從而形成第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EM02。
[0065]然后，從基板10去除第一掩模Mil。其結(jié)果，形成于第一掩模Mll上的所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL02的一部分與所述第一掩模Mll —起被去除，形成于所述第一像素區(qū)域PAl和第二像素區(qū)域PA2的所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL02的其他部分被保留，從而所述第二預(yù)備有機(jī)發(fā)光層EL02被圖案化為第二有機(jī)發(fā)光層EL2。
[0066]參照?qǐng)D4f，在基板10上布置對(duì)應(yīng)于第三像素區(qū)域PA3而開(kāi)口的精細(xì)金屬掩模，并向所述基板10側(cè)提供第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)EM3，由此在所述第三像素區(qū)域PA3形成第三有機(jī)發(fā)光層EL3。然后，在形成有所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3的所述基板10上執(zhí)行參照?qǐng)D1j說(shuō)明的制造工藝，從而可以完成有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造。
[0067]在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，可以在上述的參照?qǐng)D4a至圖4f說(shuō)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝中追加參照?qǐng)D2說(shuō)明的、將摻雜物(圖2的DP)提供給所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層EL1、EL2、EL3中的至少一個(gè)的工藝。此時(shí)，根據(jù)所述提供的摻雜物，可以容易地控制從所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3發(fā)出的光的顏色。
[0068]在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，可以在上述的參照?qǐng)D4a至圖4f說(shuō)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝中追加參照?qǐng)D3說(shuō)明的形成濾色片(圖3的CF1、CF2)的工藝。此時(shí)，根據(jù)所述濾色片，可以容易地控制從所述第一至第三像素區(qū)域PA1、PA2、PA3發(fā)出的光的顏色。
[0069]以上雖然參照實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的熟練的技術(shù)人員可以理解，在不脫離權(quán)利要求書(shū)中記載的本發(fā)明的思想和領(lǐng)域的范圍之內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變更。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，包括如下步驟: 準(zhǔn)備具有第一像素區(qū)域和與所述第一像素區(qū)域分隔的第二像素區(qū)域的基板； 將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而開(kāi)口的第一掩模布置在所述基板之上； 將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域而開(kāi)口的第二掩模布置在所述第一掩模之上，以暴露所述第一像素區(qū)域，覆蓋所述第二像素區(qū)域； 向所述基板側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域形成所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)； 從所述基板去除所述第二掩模而暴露所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域； 向所述基板側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域形成所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)； 從所述基板去除所述第一掩模。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)被蒸鍍到所述第一像素區(qū)域而形成第一有機(jī)發(fā)光層，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)被蒸鍍到所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而形成第二有機(jī)發(fā)光層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，從形成于所述第一像素區(qū)域的所述第一有機(jī)發(fā)光層和第二有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生第一光，從形成于所述第二像素區(qū)域的所述第二有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生顏色與所述第一光不同的第二光。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括步驟:向所述第一有機(jī)發(fā)光層和第二有機(jī)發(fā)光層中的至少一個(gè)提供摻雜物而調(diào)整所述第一光和第二光中的至少一個(gè)的顏色。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括步驟:在所述基板上形成至少一個(gè)濾色片，該濾色片對(duì)所述第一光和所述第二光中的至少一個(gè)的顏色進(jìn)行濾色。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括步驟: 在從所述基板去除所述第一掩模和第二掩模的狀態(tài)下，在所述基板上布置對(duì)應(yīng)于與所述基板的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域分開(kāi)的第三像素區(qū)域而開(kāi)口的第三掩模，以暴露所述第三像素區(qū)域； 在暴露的所述第三像素區(qū)域蒸鍍第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，形成產(chǎn)生顏色與所述第一光和第二光不同的光的第三有機(jī)發(fā)光層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述第三掩模為金屬掩模。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括如下步驟: 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，形成與所述第一至第三有機(jī)發(fā)光像素區(qū)域 對(duì)應(yīng)的像素電極； 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，在所述像素電極之上形成空穴注入層； 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，在所述空穴注入層之上形成空穴輸送層；在所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之上形成電子輸送層； 在所述電子輸送層之上形成電子注入層； 在所述電子注入層之上形成共同電極， 所述空穴注入層、所述空穴輸送層、所述電子輸送層、所述電子注入層中的至少一個(gè)以單層膜形狀共同形成于所述第一至第三像素區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，從所述基板去除所述第二掩模時(shí)，蒸鍍到所述第二掩模上的所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)與所述第二掩模一起被去除，從所述基板去除所述第一掩模時(shí)，蒸鍍到所述第一掩模之上的所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)與所述第一掩模一起被去除。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述第一掩模和第二掩模以薄膜形態(tài)被提供。
11.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，包括如下步驟: 準(zhǔn)備具有彼此分隔的第一像素區(qū)域、第二像素區(qū)域、第三像素區(qū)域的基板； 將對(duì)應(yīng)于所述第一至第三像素區(qū)域而開(kāi)口的第一掩模布置在所述基板之上； 將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而開(kāi)口的第二掩模布置在所述第一掩模之上； 將對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)域而開(kāi)口的第三掩模布置在所述第二掩模之上，以暴露所述第一像素區(qū)域，并覆蓋所述第二像素區(qū)域和第三像素區(qū)域； 向所述基板側(cè)提供第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域形成所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)； 從基板去除所述第三掩模，以暴露所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域； 向所述基板側(cè)提供第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域形成所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)； 從所述基板去除所述第二掩模，以暴露所述第一至第三像素區(qū)域； 向所述基板側(cè)提供第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)，以在暴露的所述第一至第三像素區(qū)域形成所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)； 從基板去除所述第一掩模。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)被蒸鍍到所述第一像素區(qū)域而形成第一有機(jī)發(fā)光層，所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)被蒸鍍到所述第一像素區(qū)域和第二像素區(qū)域而形成第二有機(jī)發(fā)光層，所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)被蒸鍍到所述第一至第三像素區(qū)域而形成第三有機(jī)發(fā)光層。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，從形成于所述第一像素區(qū)域的所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生第一光，從形成于所述第二像素區(qū)域的所述第二有機(jī)發(fā)光層和第三有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生第二光，從形成于所述第三像素區(qū)域的所述第三有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生第三光，且所述第一至第三光具有彼此不同的顏色。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括步驟:向所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層中的至少一個(gè)提供摻雜物而調(diào)整所述第一至第三光中的至少一個(gè)的顏色。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括步驟:在所述基板上形成至少一個(gè)濾色片，該濾色片對(duì)所述第一至第三光中的至少一個(gè)的顏色進(jìn)行濾色。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，從所述基板去除所述第三掩模時(shí)，蒸鍍到所述第三掩模上的所述第一有機(jī)發(fā)光物質(zhì)與所述第三掩模一起被去除，從所述基板去除所述第二掩模時(shí)，蒸鍍到所述第二掩模上的所述第二有機(jī)發(fā)光物質(zhì)與所述第二掩模一起被去除，從所述基板去除所述第一掩模時(shí)，蒸鍍到所述第一掩模之上的所述第三有機(jī)發(fā)光物質(zhì)與所述第一掩模一起被去除。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括如下步驟: 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，形成與所述第一至第三有機(jī)發(fā)光區(qū)域一一對(duì)應(yīng)的像素電極； 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，在所述像素電極之上形成空穴注入層； 在形成所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之前，在所述空穴注入層之上形成空穴輸送層； 在所述第一至第三有機(jī)發(fā)光層之上形成電子輸送層； 在所述電子輸送層之上形成電子注入層； 在所述電子注入層之上形成共同電極， 所述空穴注入層、所述空穴輸送層、所述電子輸送層、所述電子注入層中的至少一個(gè)以單層膜形狀共同形成于所述第一至第三像素區(qū)域。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述第一掩模至第三掩模以薄膜形態(tài)被提供。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK103682174SQ201310285542
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年7月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月19日
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