柔性顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種柔性顯示裝置的制造方法，包括如下步驟：在硬質(zhì)載體襯底表面嫁接有機(jī)官能團(tuán)、在改性硬質(zhì)載體襯底的表面涂覆一層預(yù)置的光刻膠膜層、在光刻膠膜層上制備柔性基板、在柔性基板上制作柔性顯示器件、對(duì)改性硬質(zhì)載體襯底進(jìn)行紫外線照射處理、在改性硬質(zhì)載體襯底和柔性基板之間施加物理手段，剝離柔性基板與光刻膠。該方法在硬質(zhì)載體襯底表面嫁接有機(jī)官能團(tuán)，經(jīng)紫外線照射處理后，光刻膠與改性硬質(zhì)載體襯底表面嫁接的有機(jī)官能團(tuán)進(jìn)行交聯(lián)聚合反應(yīng)，使光刻膠牢牢粘附在改性硬質(zhì)載體襯底表面，從而在施加物理手段時(shí)使得柔性基板能與改性硬質(zhì)載體襯底及其光刻膠剝離；該方法簡(jiǎn)單易行、剝離性好、且不損傷柔性基板及其柔性顯示器件。
【專利說明】柔性顯示裝置的制造方法【技術(shù)領(lǐng)域】[0001]本發(fā)明屬于顯示器領(lǐng)域，尤其涉及ー種柔性顯示裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示裝置是指在柔性基板上制備光電器件而得到的顯示裝置。由于柔性顯示裝置具有超薄、可卷曲、折疊、耐沖擊、抗震能力強(qiáng)、重量輕、體積小、攜帯方便等優(yōu)點(diǎn)，受到了業(yè)界的高度關(guān)注，廣泛用于電致發(fā)光器件顯示、液晶顯示、電泳顯示等多種【技術(shù)領(lǐng)域】，應(yīng)用前景十分可觀。
[0003]目前，對(duì)于在柔性基板上制備光電器件獲得柔性顯示裝置，通常有以下三種方法:
[0004]方式一:采用不進(jìn)行任何處理、直接在柔性基板上制備光電器件的方法得到柔性顯示裝置。這種方法操作簡(jiǎn)單，但是由于在柔性基板上制備光電器件的過程中，柔性基板容易彎曲，因此難以實(shí)現(xiàn)柔性顯示產(chǎn)品的大面積生產(chǎn)。
[0005]方式ニ:采用卷對(duì)卷(roll-to-roll process)方法制備柔性顯示裝置。該方法與方式一存在相似之處:均為在沒經(jīng)過任何處理的柔性基板上直接制備光電器件獲得柔性顯示裝置；不同的是，該方法采用在卷繞柔性基板的同時(shí)進(jìn)行制備光電器件。理論上，運(yùn)用該方法可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)，但是由于使用該方法在柔性基板上生產(chǎn)有機(jī)發(fā)光器件的技術(shù)難度較大，目前現(xiàn)有技術(shù)難于實(shí)現(xiàn)。
[0006]方式三:米用常規(guī)用于制備光電器件的玻璃等作為載體襯底，將玻璃載體襯底與柔性基板粘貼結(jié)合、固定柔性基板，再在柔性基板上制備光電器件。在制備過程結(jié)束后，再把柔性光電器件從玻璃載體上分離。使用該方法制備柔性顯示裝置，由于玻璃載體襯底起著固定柔性基板的作用，因此在柔性顯示裝置的制備過程中，不發(fā)生變形、褶皺等，有效的解決了方式一存在的柔性基板容易彎曲的技術(shù)問題。
[0007]由于柔性基板存在易碎、易卷曲和變形等問題，第一、第二種方法均難以生產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)的柔性顯示產(chǎn)品，且難以實(shí)現(xiàn)大面積生產(chǎn)。在實(shí)際生產(chǎn)過程中一般采用第三種方法制備柔性顯示裝置，即將柔性基板粘貼于玻璃等剛性載體襯底表面后，完成后續(xù)柔性顯示器件的制造エ序，待器件制備完成后，再通過合適的剝離方法將剛性載體剝離，從而完成整個(gè)柔性顯示器的制作。所以，如何把柔性基板和剛性載體進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼掣讲冸x成為柔性顯示器制作的關(guān)鍵技術(shù)之一。
[0008]對(duì)此，研究者們進(jìn)行了大量的研究。常見的剝離方法是在載體基板背面采用高能激光光束掃描，使粘結(jié)劑發(fā)生老化，粘著性能下降，從而使柔性基板能夠從剛性玻璃基板上剝離下來。但是由于這種方法需要高能激光掃描，導(dǎo)致生產(chǎn)效率較低，且成本很高，同時(shí)，高能激光掃描還有可能對(duì)制備的器件帶來一定的影響，進(jìn)而影響柔性顯示產(chǎn)品的性能。
[0009]此外，研究者們還開發(fā)了其它的剝離方法，如在載體襯底和柔性基板之間制作金屬層、氧化物層、絕緣膜，或?qū)φ辰Y(jié)劑進(jìn)行處理，然后再分別采用不同的方法將柔性基板與載體襯底剝離；或通過在載體襯底上形成具有非晶結(jié)構(gòu)并含有氫的半導(dǎo)體膜，然后加熱使金屬層與氧化物層之間引起氫的擴(kuò)散，使兩者之間應(yīng)カ改變而實(shí)現(xiàn)柔性基板與載體襯底的剝離。這些方法雖然可行，但是一定程度上増加了エ藝的復(fù)雜性，増加了成本，不利于制作高質(zhì)量的柔性顯示產(chǎn)品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供ー種柔性顯示裝置的制造方法，g在解決使用載體襯底固定柔性基板后制備柔性顯示器件獲得柔性顯示產(chǎn)品的過程中，柔性基板與載體襯底剝離エ藝復(fù)雜、剝離エ藝條件可控性差、不利于制作高質(zhì)量的柔性顯示產(chǎn)品、且成本高的問題。
[0011]本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，ー種柔性顯示裝置的制造方法，包括下述步驟:
[0012]提供ー硬質(zhì)載體襯底；
[0013]對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底的表面進(jìn)行改性，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，以形成改性硬質(zhì)載體襯底；
[0014]在所述改性硬質(zhì)載體襯底的表面上涂覆ー層預(yù)置的光刻膠，以形成具有粘性的光刻膠膜層；
[0015]在干燥后的所述光刻膠膜層上制備有機(jī)材料以形成柔性基板，使所述柔性基板與所述光刻膠膜層粘連；
[0016]在所述柔性基板上制作柔性顯示器件；
[0017]從所述改性硬質(zhì)載體襯底背離所述柔性顯示器件的ー側(cè)照射紫外線，讓光刻膠中的単體與改性硬質(zhì)載體襯底的表面的有機(jī)官能團(tuán)發(fā)生交聯(lián)聚合反應(yīng)，使光刻膠牢牢地粘附在改性硬質(zhì)載體襯底的表面；
[0018]在改性硬質(zhì)載體襯底和柔性基板之間施加物理手段，以使柔性基板與改性硬質(zhì)襯底及其光刻膠剝離。
[0019]本發(fā)明提供的柔性顯示裝置的制造方法，其通過對(duì)硬質(zhì)載體襯底表面進(jìn)行改性，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，并在改性硬質(zhì)載體襯底的表面上涂覆ー層預(yù)置的光刻膠，經(jīng)紫外線照射處理后，光刻膠中的単體與改性硬質(zhì)載體襯底表面嫁接的有機(jī)官能團(tuán)進(jìn)行交聯(lián)聚合反應(yīng)，使得光刻膠牢牢地粘附在硬質(zhì)載體襯底的表面，當(dāng)在硬質(zhì)載體襯底和柔性基板之間施加物理手段，即可將柔性基板與硬質(zhì)載體襯底及其光刻膠剝離。該方法制作エ藝簡(jiǎn)単，生產(chǎn)成本低，適合大面積制作，從而為柔性基板在顯示產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用提供了有力保障。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示裝置的制造方法的流程示意圖；
[0021]圖2本發(fā)明實(shí)施例提供的對(duì)硬質(zhì)載體襯底改性、嫁接有機(jī)官能團(tuán)的反應(yīng)原理示意圖；
[0022]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的在改性硬質(zhì)載體襯底表面涂覆光刻膠膜層后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的在光刻膠膜層上制備柔性基板后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的在柔性基板上制作柔性顯示器件后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的對(duì)硬質(zhì)載體襯底背離柔性顯示器件的一側(cè)進(jìn)行紫外線照射的示意圖；
[0026]圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示裝置與硬質(zhì)載體襯底剝離后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一歩詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用干限定本發(fā)明。
[0028]結(jié)合附圖1-7，本發(fā)明實(shí)施例提供了ー種柔性顯示裝置的制造方法，包括下述步驟:
[0029]SO1.提供一硬質(zhì)載體襯底；
[0030]具體地，本實(shí)施例中，所述硬質(zhì)載體襯底可為玻璃載體襯底或硅片載體襯底。
[0031]S02.對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底的表面進(jìn)行改性，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，以形成改性硬質(zhì)載體襯底；
[0032]如圖1和圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例所述步驟S02中，需要對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底1的表面進(jìn)行改性處理，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，形成改性硬質(zhì)載體襯底1’。作為優(yōu)選實(shí)施例，對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底1的表面進(jìn)行改性的方法，包括如下步驟:
[0033]S021.將所述硬質(zhì)載體襯底1置于98%H2S04與30%H202且按體積進(jìn)行配比(例如，體積比可為3:1)的混合溶液中，在120-180°C (如150°C)的溫度下反應(yīng)2_4小時(shí)(如3小吋)，使H202在H2S04的催化下分解出的羥基通過化學(xué)吸附附著在硬質(zhì)載體襯底上，得到表面富含羥基的硬質(zhì)載體襯底1 ;
[0034]S022.將上述表面富含羥基的硬質(zhì)載體襯底1先分別通過丙酮、こ醇進(jìn)行沖洗，然后在120°C真空中干燥8小時(shí)；
[0035]上述步驟中，為了得到潔凈、雜質(zhì)少的表面富含羥基的所述硬質(zhì)載體襯底1，將上述表面富含羥基的所述硬質(zhì)載體襯底1進(jìn)行沖洗和干燥處理?？梢苑謩e使用丙酮、こ醇等有機(jī)溶劑對(duì)其進(jìn)行數(shù)次清洗，除去所述表面富含羥基的硬質(zhì)載體襯底1表面殘留的溶劑或雜質(zhì)。
[0036]S023.將附著有羥基的硬質(zhì)載體襯底1經(jīng)過沖洗和干燥后，浸入含質(zhì)量分?jǐn)?shù)為
0.2%的丙烯酸酯類含硅偶聯(lián)試劑(如3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基-2-甲基-2-丙烯酸酷)的無(wú)水甲苯溶液中，在密封的狀態(tài)下反應(yīng)3-5小時(shí)(如4小吋)，使硬質(zhì)載體襯底上的羥基和3_(三甲氧基甲硅烷基)丙基-2-甲基-2-丙烯酸酯中的三甲氧基甲硅烷基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而使3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基-2-甲基-2-丙烯酸酯的有機(jī)官能團(tuán)嫁接到硬質(zhì)載體襯底上，以形成改性硬質(zhì)載體襯底1’ ；
[0037]其中，所述3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基-2-甲基-2-丙烯酸酯包括有機(jī)官能團(tuán)。
[0038]本實(shí)施例中，硬質(zhì)載體襯底1經(jīng)過表面處理后，含有豐富的羥基，再通過丙烯酸酯類含硅偶聯(lián)試劑的水解作用與載體襯底1表面的羥基結(jié)合形成單分子層，這層單分子層，能在紫外曝光中與光刻膠中聚合単體通過C=c雙鍵交聯(lián)聚合。
[0039]本實(shí)施例中，經(jīng)過上述處理得到的改性硬質(zhì)載體襯底1’，可以采用丙酮等不影響上述改性載體結(jié)構(gòu)和性能的有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗，用n2等惰性氣體吹干，備用。
[0040]S03.在所述改性硬質(zhì)載體襯底1’的表面上涂覆ー層預(yù)置的光刻膠，以形成具有粘性的光刻膠膜層2 ；
[0041]如圖1和圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例所述步驟S03中，在所述改性硬質(zhì)載體襯底1’的表面上涂覆ー層預(yù)置的光刻膠，以形成具有粘性的光刻膠膜層2。具體地，所述預(yù)置的光刻膠包括聚合單體、交聯(lián)劑及光引發(fā)劑，上述三種組分的混合的質(zhì)量分?jǐn)?shù)分別為70-85%、
八ル ? Ι-ch10-30%、1-5%。其中，具體地，所述光引發(fā)劑可為1-907
【權(quán)利要求】
1.ー種柔性顯示裝置的制造方法，其特征在于，包括下述步驟: 提供一硬質(zhì)載體襯底； 對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底的表面進(jìn)行改性，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，以形成改性硬質(zhì)載體襯底； 在所述改性硬質(zhì)載體襯底的表面上涂覆ー層預(yù)置的光刻膠，以形成具有粘性的光刻膠膜層； 在干燥后的所述光刻膠膜層上制備有機(jī)材料以形成柔性基板，使所述柔性基板與所述光刻膠膜層粘連； 在所述柔性基板上制作柔性顯示器件； 從所述改性硬質(zhì)載體襯底背離所述柔性顯示器件的ー側(cè)照射紫外線，讓光刻膠中的單體與改性硬質(zhì)載體襯底表面的有機(jī)官能團(tuán)發(fā)生交聯(lián)聚合反應(yīng)，使光刻膠牢牢地粘附在改性硬質(zhì)載體襯底的表面； 在所述改性硬質(zhì)載體襯底和所述柔性基板之間施加物理手段，以使柔性基板與改性硬質(zhì)載體襯底及其光刻膠剝離。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其特征在于，對(duì)所述硬質(zhì)載體襯底的表面進(jìn)行改性，嫁接有機(jī)官能團(tuán)，以形成改性硬質(zhì)載體襯底的步驟具體包括: 將所述硬質(zhì)載體襯底置于98%H2S04與30%H202且按照體積進(jìn)行配比的混合溶液中，在120-180°C的溫度下反應(yīng)2-4小時(shí)，使H202在H2S04的催化下分解出的羥基通過化學(xué)吸附附著在硬質(zhì)載體襯底上； 將附著有羥基的硬質(zhì)載體襯底經(jīng)過沖洗和干燥后，浸入含質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.2%的有機(jī)官能團(tuán)的無(wú)水甲苯溶液中，在密封的狀態(tài)下反應(yīng)3-5小時(shí)，使硬質(zhì)載體襯底上的羥基和有機(jī)官能團(tuán)中的三甲氧基甲硅烷基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而使有機(jī)官能團(tuán)嫁接到硬質(zhì)載體襯底上，以形成改性硬質(zhì)載體襯底； 其中，所述有機(jī)官能團(tuán)為丙烯酸酯類含硅偶聯(lián)試劑。
3.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述預(yù)置的光刻膠包括聚合單體、交聯(lián)劑及光引發(fā)劑，其中，所述聚合単體、交聯(lián)劑及光引發(fā)劑三者混合的質(zhì)量分?jǐn)?shù)分別為 70-85%、10-30%、1-5%。
4.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述從所述硬質(zhì)載體襯底背離所述柔性顯示器件的ー側(cè)照射紫外線，讓光刻膠中的単體與硬質(zhì)載體襯底的表面的有機(jī)官能團(tuán)發(fā)生交聯(lián)聚合反應(yīng)，使光刻膠牢牢地粘附在硬質(zhì)載體襯底的表面的步驟中， 經(jīng)紫外線照射后，所述光刻膠中的聚合單體與所述改性硬質(zhì)載體襯底表面的有機(jī)官能團(tuán)通過C=C鍵交聯(lián)聚合。
5.如權(quán)利要求1所述的改性載體的制備方法，其特征在于:所述制備柔性基板的有機(jī)材料為P1、PET、PES、PC、PEN中的至少ー種。
6.如權(quán)利要求1所述的改性載體的制備方法，其特征在于:所述硬質(zhì)載體襯底采用玻璃載體襯底或硅片載體襯底。
【文檔編號(hào)】H01L21/77GK103456900SQ201310364813
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月20日
【發(fā)明者】楊帆, 申智淵, 付東 申請(qǐng)人:Tcl集團(tuán)股份有限公司