太陽(yáng)能電池的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明為一種太陽(yáng)能電池，包含：半導(dǎo)體基板、抗反射層、鈍化層、背面電極與背面總線電極。半導(dǎo)體基板具有一第一表面與一第二表面。抗反射層設(shè)置于第一表面。該背面電極為連續(xù)彎折線形電極或?yàn)楦采w于太陽(yáng)能電池背面的整面電極，其中連續(xù)彎折線形電極或整面電極可透過(guò)一連續(xù)彎折線形窗口與該半導(dǎo)體基板連接，或者該連續(xù)彎折線形電極亦可直接穿過(guò)該鈍化層與半導(dǎo)體基板連接。即，該太陽(yáng)能電池至少包含一連續(xù)彎折線形窗口或一連續(xù)彎折線形電極。
【專利說(shuō)明】太陽(yáng)能電池

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明關(guān)于為一種電池，特別是關(guān)于一種太陽(yáng)能電池。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能電池在全球暖化危機(jī)的持續(xù)發(fā)展下，其重要性日益提高。而太陽(yáng)能電池中，以硅為基板的太陽(yáng)能電池，仍為目前成本最具競(jìng)爭(zhēng)力且商用的發(fā)電效率最高者，因而，其為目前市場(chǎng)中的主流。
[0003]一般的硅基太陽(yáng)能電池的基本架構(gòu)，由上往下為抗反射層、半導(dǎo)體基板與背面金屬電極等。其中，在抗反射層當(dāng)中，會(huì)燒結(jié)形成正面金屬電極與總線電極，而在背面金屬電極上，則會(huì)形成總線電極。通過(guò)總線電極，不同的太陽(yáng)能電池之間即可連接而為太陽(yáng)能電池模組。
[0004]如何能達(dá)到更佳的發(fā)電效率，一直是太陽(yáng)能電池技術(shù)開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)。除了在正面的抗反射層的設(shè)計(jì)外，背面電極的相關(guān)設(shè)計(jì)也相當(dāng)重要。例如，于太陽(yáng)能電池背面設(shè)置鈍化層，以降低表面復(fù)合速率。不過(guò)，設(shè)置鈍化層后，必須要將鈍化層開(kāi)孔以便背面電極易于形成于半導(dǎo)體基板的背面或者透過(guò)將背面電極燒結(jié)而穿透鈍化層而連接至半導(dǎo)體基板的背面，方能形成適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電結(jié)構(gòu)。
[0005]例如，中國(guó)臺(tái)灣專利第M422758號(hào)專利，其揭露了一種太陽(yáng)能電池及其背面電極結(jié)構(gòu)，其揭露了以不同的開(kāi)孔方式(雷射或蝕刻)，讓導(dǎo)電材料(例如，鋁膠)易于透過(guò)穿透鈍化層的開(kāi)孔與基板導(dǎo)接，并可降低導(dǎo)電材料的使用量，進(jìn)而降低成本。該案揭露了不同的開(kāi)孔方式，例如，線條狀、虛線狀、斜線條紋狀、圓點(diǎn)狀或孔狀等。而設(shè)置于同一直線的開(kāi)孔可以為連續(xù)或不連續(xù)。
[0006]不同方式的開(kāi)孔設(shè)計(jì)，仍須搭配實(shí)務(wù)上易于生產(chǎn)以及與總線之間的導(dǎo)電關(guān)聯(lián)性。例如，如果以點(diǎn)狀…等不連續(xù)的方式設(shè)計(jì)開(kāi)孔，若沒(méi)有連接到總線的部分，將會(huì)形成浮接，而形成無(wú)效的背面電極配置。此外，若以線性的配置來(lái)說(shuō)，以雷射制作開(kāi)孔時(shí)，會(huì)有開(kāi)孔不易的問(wèn)題，而導(dǎo)致雷射開(kāi)孔速度過(guò)慢，生產(chǎn)速度降低，進(jìn)而降低生產(chǎn)效率，提高生產(chǎn)成本。
[0007]有鑒如此，在背面電極的設(shè)計(jì)上，如何設(shè)計(jì)出恰當(dāng)?shù)谋趁骐姌O結(jié)構(gòu)是極為重要的，通過(guò)結(jié)合背面鈍化層的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，進(jìn)而達(dá)到易于生產(chǎn)、降低生產(chǎn)成本，且同時(shí)達(dá)到提高太陽(yáng)能電池效率，實(shí)為目前太陽(yáng)能電池技術(shù)發(fā)展所要解決的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]鑒于以上公知技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能電池，其特征在于，包含:一半導(dǎo)體基板，具有一第一表面與一第二表面；一鈍化層，設(shè)置于該第二表面，該鈍化層具有至少一連續(xù)彎折線形窗口 ；至少一背面電極，該背面電極經(jīng)由該連續(xù)彎折線形窗口連接該半導(dǎo)體基板；以及至少一個(gè)背面總線電極，該背面總線電極以電性連接該背面電極；其中該背面電極配置于該鈍化層與該背面總線電極之間，或該背面總線電極配置于該鈍化層與該背面電極之間。
[0009]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口包含兩個(gè)端點(diǎn)，且該兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角、側(cè)邊的中央或互相連接。
[0010]上述的太陽(yáng)能電池，其中該至少一連續(xù)彎折線形窗口包含至少兩連續(xù)彎折線形窗口，且不同的該連續(xù)彎折線形窗口的兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角或互相連接。
[0011]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口交錯(cuò)配置或以一預(yù)定間隔平行配置。
[0012]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口由多條線形窗口彼此連接而成，且該線形窗口與該背面總線電極之間具有一介于O?90度的夾角。
[0013]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口的該些線形窗口彼此連接處為弧形或彎角。
[0014]上述的太陽(yáng)能電池，其中每個(gè)該連續(xù)彎折線形窗口的線形窗口數(shù)目介于2至300之間。
[0015]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口對(duì)應(yīng)至少一個(gè)該背面總線電極。
[0016]上述的太陽(yáng)能電池，其中該背面電極為至少一連續(xù)彎折線形電極，該連續(xù)彎折線形電極對(duì)應(yīng)配置于一該連續(xù)彎折線形窗口上。
[0017]上述的太陽(yáng)能電池，其中該背面電極為一配置于該鈍化層上的整面電極。
[0018]上述的太陽(yáng)能電池，其中該背面電極更包含至少兩連續(xù)彎折線形電極，各該連續(xù)彎折線形電極分別對(duì)應(yīng)配置于一該連續(xù)彎折線形窗口上。
[0019]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口 5%的面積。
[0020]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極曝露于外之面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口 5%的面積。
[0021]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形窗口具有一第一寬度，該第一寬度介于1um 至 300um 之間。
[0022]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一第二寬度，該第二寬度大于該第一寬度。
[0023]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一第二寬度，該第二寬度大于該第一寬度。
[0024]上述的太陽(yáng)能電池,其中該鈍化層具有一第一深度,該第一深度介于5nm至300nm之間。
[0025]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極凸出于該鈍化層的部分的高度介于5um至40um之間。
[0026]鑒于以上公知技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明還提供一種太陽(yáng)能電池，包含:一半導(dǎo)體基板，具有一第一表面與一第二表面；一抗反射層，設(shè)置于該第一表面；一鈍化層，設(shè)置于該第二表面；至少一連續(xù)彎折線形電極，配置于該鈍化層并穿透該鈍化層而連接該半導(dǎo)體基板的該第二表面；及至少一背面總線電極，連接至少一該連續(xù)彎折線形電極。
[0027]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極包含兩個(gè)端點(diǎn)，且該兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角、側(cè)邊的中央或相互連接。
[0028]上述的太陽(yáng)能電池，其中該至少一連續(xù)彎折線形電極包含至少兩連續(xù)彎折線形電極，且不同的該連續(xù)彎折線形電極的兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角或互相連接。
[0029]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極交錯(cuò)配置或以一預(yù)定間隔平行配置。
[0030]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極由多條線形電極彼此連接而成，且該線形電極與該背面總線電極之間具有一介于O?90度的夾角。
[0031]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極的該些直線彼此連接處為弧形或彎角。
[0032]上述的太陽(yáng)能電池，其中每個(gè)該彎折線形電極的直線數(shù)目介于2至300之間。
[0033]上述的太陽(yáng)能電池，其中一個(gè)該連續(xù)彎折線形電極對(duì)應(yīng)至少一個(gè)該背面總線電極。
[0034]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一寬度，該寬度介于1um至300um之間。
[0035]上述的太陽(yáng)能電池，其中該鈍化層具有一第一深度，該第一深度介于5nm至300nm之間。
[0036]上述的太陽(yáng)能電池，其中該連續(xù)彎折線形電極凸出于該鈍化層的部分的高度介于5um至40um之間。
[0037]本發(fā)明的太陽(yáng)能電池，具有易于生產(chǎn)、降低生產(chǎn)成本，且同時(shí)達(dá)到提高太陽(yáng)能電池效率的具體功效。
[0038]以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使本領(lǐng)域技術(shù)人員了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容、申請(qǐng)專利范圍及附圖，本領(lǐng)域技術(shù)人員可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0039]圖1A-圖1E為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0040]圖2A-圖2C為圖1A、圖1B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿A-A剖面于區(qū)塊I的剖面圖示意圖；
[0041]圖3A-圖3E為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0042]圖4A-圖4C為圖3A、圖3B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿B-B剖面于區(qū)塊2的剖面圖示意圖；
[0043]圖5A-圖為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的又一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0044]圖6A-圖6D為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的再一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0045]圖7A-圖7D為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0046]圖8A-圖8D為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的再一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0047]圖9A-圖9D為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0048]圖1OA-圖1OD為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0049]圖1lA-圖1lD為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖；
[0050]圖12A-圖12B為圖1B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿A-A剖面于區(qū)塊I的剖面圖示意圖，其為采用共燒結(jié)法直接配置連續(xù)彎折線形電極的實(shí)施例，不預(yù)先配置連續(xù)彎折線形窗口 ；
[0051]圖13A-圖13B圖為連續(xù)彎折線形窗口實(shí)施例中，直線的部分采用”虛線”配置的兩實(shí)施例 '及
[0052]圖14A-圖14C為連續(xù)彎折線形窗口實(shí)施例中，每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口的兩個(gè)端點(diǎn)位于側(cè)邊的中央，并彼此連接的實(shí)施例。
[0053]其中，附圖標(biāo)記:
[0054]1、2 區(qū)塊10 N型摻雜層
[0055]20 半導(dǎo)體基板 30 抗反射層
[0056]40 正面電極 50 鈍化層
[0057]130、131、132、133 連續(xù)彎折線形窗口
[0058]140、141、142、143 連續(xù)彎折線形電極
[0059]138、148、158、168、178、188、198A、198B、208A、208B、218、228、238A、238B、248A、248B 連接處
[0060]139AU39B 端點(diǎn)149A、149B 端點(diǎn)
[0061]150、150A、150B、151、152、153 連續(xù)彎折線形窗口
[0062]160、160A、160B、161、162、163 連續(xù)彎折線形電極
[0063]159A、159B、159C、159C 端點(diǎn)
[0064]169A、169B、169C、169D 端點(diǎn)
[0065]170 連續(xù)彎折線形窗口180 連續(xù)彎折線形電極
[0066]179AU79B 端點(diǎn)189A、189B 端點(diǎn)
[0067]190AU90B 連續(xù)彎折線形窗口
[0068]200A.200B 連續(xù)彎折線形電極
[0069]199A、199B、199C、199D 端點(diǎn)
[0070]209A,209B,209A,209B 端點(diǎn)
[0071]210 連續(xù)彎折線形窗口220 連續(xù)彎折線形電極
[0072]219A、219B 端點(diǎn)229A、229B 端點(diǎn)
[0073]230A.230B 連續(xù)彎折線形窗口
[0074]240A.240B 連續(xù)彎折線形電極
[0075]239A,239B,239C,239D 端點(diǎn)
[0076]249A,249B,249C,249D 端點(diǎn)
[0077]301,302,303 背面總線電極

【具體實(shí)施方式】
[0078]請(qǐng)參考圖2A，為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池正面電極結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的示意圖；請(qǐng)同步參考圖2B，為圖2A的本發(fā)明的太陽(yáng)能電池正面電極結(jié)構(gòu)的局部區(qū)域2的放大示意圖。本發(fā)明的太陽(yáng)能電池正面電極結(jié)構(gòu)，包含有:多個(gè)總線電極120(本實(shí)施例為3個(gè)總線電極120)、與多個(gè)指狀電極110。其中，總線電極120間隔配置于基板100上。實(shí)質(zhì)上，圖2A的實(shí)施例中，太陽(yáng)能電池正面電極結(jié)構(gòu)包括了三組總線電極網(wǎng)3、4、5，這三組總線電極網(wǎng)3、4、5彼此隔離配置于基板100上。而每個(gè)總線電極網(wǎng)包括:一個(gè)總線電極120 ;多個(gè)指狀電極110，間隔配置于該總線電極120的兩側(cè)。
[0079]為了達(dá)到易于生產(chǎn)、降低生產(chǎn)成本，且同時(shí)達(dá)到提高太陽(yáng)能電池效率的目的，本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能電池的設(shè)計(jì)，運(yùn)用連續(xù)彎折線形電極的背面電極設(shè)計(jì)，可以雷射切割法進(jìn)行快速切割，進(jìn)而提高生產(chǎn)速度與合格率，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本并同步提高太陽(yáng)能電池效率。相同的連續(xù)彎折線形電極的背面電極設(shè)計(jì)，亦可同步采用燒結(jié)法將導(dǎo)電材料燒結(jié)至半導(dǎo)體基板上，同樣可達(dá)到降低成本與提高太陽(yáng)能電池效率的目的。
[0080]請(qǐng)參考圖1A-圖1C，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。請(qǐng)同步參考第2A、2B圖，其為圖1A、圖1B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿A-A剖面于區(qū)塊I的剖面圖示意圖。
[0081]在圖1A、圖2A中，連續(xù)彎折線形窗口 130配置于半導(dǎo)體基板20 (本實(shí)施例中為P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。半導(dǎo)體基板20的第一表面配置有N型摻雜層10，其上再配置抗反射層30，而正面電極40 —般通過(guò)燒結(jié)法穿透抗反射層30而與N型摻雜層10電連接。鈍化層50上的連續(xù)彎折線形窗口 130可采用雷射切割或者蝕刻法進(jìn)行開(kāi)窗。
[0082]當(dāng)采用雷射切割法進(jìn)行開(kāi)窗時(shí)，由于連續(xù)彎折線形窗口 130采取的連續(xù)彎折的設(shè)計(jì)，且連續(xù)彎折線形窗口 130的各條直線之間彼此平行且其連接處138可以是弧形，或者彎角。因此，可讓雷射切割設(shè)備易于操作，且不用反復(fù)開(kāi)啟，而造成對(duì)雷射切割設(shè)備的損害，更可提高切割的速度，縮短雷射切割的時(shí)間，且對(duì)于半導(dǎo)體基板20可能因雷射切割過(guò)程所產(chǎn)生的損傷也可大幅降低。
[0083]此外，在圖1A中，連續(xù)彎折線形窗口 130包含兩個(gè)端點(diǎn)139A與139B，且端點(diǎn)139A與139B位于半導(dǎo)體基板20的第二表面的對(duì)角。在此實(shí)施例中，由于直線數(shù)目為奇數(shù)，因此，會(huì)形成連續(xù)彎折線形窗口 130的兩個(gè)端點(diǎn)139A與139B配置于對(duì)角的實(shí)施例。如此，設(shè)計(jì)于對(duì)角的端點(diǎn)139A與139B可讓雷射切割設(shè)備易于進(jìn)行定位。
[0084]請(qǐng)參考圖1B、圖2B，當(dāng)形成連續(xù)彎折線形窗口 130后，進(jìn)行導(dǎo)電材料(例如，鋁膠)的配置，即可配置為連續(xù)彎折線形電極140，其同樣具有兩個(gè)端點(diǎn)149A與149B。連續(xù)彎折線形電極140的配置方法為本領(lǐng)域技術(shù)人員可輕易達(dá)成，因此，不再贅述。重點(diǎn)在于，本實(shí)施例透過(guò)將導(dǎo)電材料以涂布或印刷方式配置于連續(xù)彎折線形窗口 130上方，且其面積可約略等于或大于連續(xù)彎折線形窗口 130的面積，讓形成連續(xù)彎折線形電極140所需的導(dǎo)電材料量盡可能地少，進(jìn)而達(dá)到節(jié)省材料成本的目的。同樣地，連續(xù)彎折線形電極140的各條直線之間彼此連接處148可以是弧形，或者彎角。
[0085]請(qǐng)參考圖1C，背面總線電極301、302、303與連續(xù)彎折線形電極140連接，本實(shí)施例中先行配置連續(xù)彎折線形電極140于鈍化層50上后，再將背面總線電極301、302與303配置于連續(xù)彎折線形電極140上。于其他實(shí)施例，可先行配置背面總線電極301、302與303于鈍化層50上后，再將連續(xù)彎折線形電極140配置于背面總線電極301、302與303上，爾后所提的連續(xù)彎折線形電極與背面總線電極的連接方式皆如上所述，將不再贅述。如此，正面電極40與N型摻雜層10、半導(dǎo)體基板20、連續(xù)彎折線形電極140、背面總線電極301、302與303之間即形成一導(dǎo)通路徑。
[0086]此外，連續(xù)彎折線形窗口 130具有第一寬度W1，其介于1um至300um之間。而連續(xù)彎折線形電極140曝露于鈍化層50外的部分具有第二寬度W2，第二寬度W2可小于、等于或大于第一寬度W1，但以大于或等于第一寬度Wl為較佳。該鈍化層50具有第一深度H1，其介于5nm至300nm之間，且該連續(xù)彎折線形電極140凸出于鈍化層50的部分的高度H2介于5um至40um之間。在本實(shí)施例中，第一寬度Wl為40um，第二寬度W2為400um，第一深度Hl為200nm，凸出高度H2為20um。
[0087]接著，請(qǐng)參考圖1D，其為將圖1C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0088]請(qǐng)參考圖1E，其為以整面的背面電極141取代連續(xù)彎折線形電極140而覆蓋住連續(xù)彎折線形窗口 130的實(shí)施例。同時(shí)請(qǐng)參考圖2C，運(yùn)用此實(shí)施例，可達(dá)到以連續(xù)彎折線形窗口 130易于制作，同時(shí)，背面電極141易于制作的優(yōu)點(diǎn)。同樣地，背面總線電極301、302與303同樣可轉(zhuǎn)90度配置，如圖1D的實(shí)施例。
[0089]接著，請(qǐng)參考圖3A-圖3E，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的另一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。請(qǐng)同步參考、圖4A、圖4B，其為圖3A、圖3B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿B-B剖面于區(qū)塊2的剖面圖示意圖。
[0090]在第3A、4A圖中，連續(xù)彎折線形窗口 150配置于半導(dǎo)體基板20(本實(shí)施例為P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。半導(dǎo)體基板20的第一表面配置有N型摻雜層10，其上再配置抗反射層30，而正面電極40 —般通過(guò)燒結(jié)法穿透抗反射層30而與N型摻雜層10電連接。鈍化層50上的連續(xù)彎折線形窗口 150可采用雷射切割或者蝕刻法進(jìn)行開(kāi)窗。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 150由多條線形窗口構(gòu)成，其與背面總線電極301、302與303以介于O?90度之間的夾角彼此連接而成。
[0091]當(dāng)采用雷射切割法進(jìn)行開(kāi)窗時(shí)，由于連續(xù)彎折線形窗口 150采取的連續(xù)彎折的設(shè)計(jì)，且連續(xù)彎折線形窗口 150的各條線形窗口之間彼此連接處158可以是弧形或者彎角，因此，可讓雷射發(fā)射設(shè)備易于操作，且不用反復(fù)開(kāi)啟，而造成對(duì)雷射切割設(shè)備的損害，更可提高切割的速度，縮短雷射切割的時(shí)間。更甚者，由于不用進(jìn)行雷射切割設(shè)備的開(kāi)開(kāi)關(guān)關(guān)，因此，對(duì)于半導(dǎo)體基板20可能因雷射切割過(guò)程所產(chǎn)生的損傷也可大幅降低。
[0092]此外，在圖3A中，連續(xù)彎折線形窗口 150包含兩個(gè)端點(diǎn)159A、159B，且端點(diǎn)159A、159B位于半導(dǎo)體基板20的第二表面的對(duì)角。在此實(shí)施例中，由于線形窗口數(shù)目為奇數(shù)，因此，會(huì)形成連續(xù)彎折線形窗口 150的兩個(gè)端點(diǎn)159AU59B配置于對(duì)角的實(shí)施例。如此，設(shè)計(jì)于對(duì)角的端點(diǎn)159AU59B可讓雷射切割設(shè)備易于進(jìn)行定位。
[0093]請(qǐng)參考圖3B、圖4B，當(dāng)連續(xù)彎折線形窗口 150配置好后，進(jìn)行導(dǎo)電材料(例如，鋁膠)的配置，即可配置為連續(xù)彎折線形電極160，其同樣具有兩個(gè)端點(diǎn)169A、169B。連續(xù)彎折線形電極160的配置方法為本領(lǐng)域技術(shù)人員可輕易達(dá)成，因此，不再贅述。重點(diǎn)在于，本發(fā)明透過(guò)將導(dǎo)電材料僅配置于連續(xù)彎折線形窗口 150上方，且其面積可小于、等于或大于連續(xù)彎折線形窗口 150的面積，在本實(shí)施例中，讓形成連續(xù)彎折線形電極160所需的導(dǎo)電材料量盡可能地少，進(jìn)而達(dá)到節(jié)省材料成本的目的。同樣地，連續(xù)彎折線形電極160的各條線形電極之間彼此連接處168可以是弧形，或者彎角。
[0094]此外，請(qǐng)比較第2B、4B圖，圖2B的實(shí)施例為多條于背面總線電極310、302與303的線形電極彼此連接而成(兩者正交)，而圖4B的實(shí)施例為多條非與背面總線電極310、302與303正交的直線彼此連接而成，兩者的夾角介于O?90度之間。因此，與背面總線電極310,302與303正交的多條線形電極的間距可以安排為等距，如前一實(shí)施例的圖2B所示，連續(xù)彎折線形電極140之間的間距相同；就其他的實(shí)施例而言，亦可安排為不等距，而與背面總線電極310、302與303不正交的多條線形電極的間距則會(huì)于不同的部位間距不同，如本實(shí)施例的圖4B所示，連續(xù)彎折線形電極160之間的間距不相同。在本實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 150的寬度為40um，連續(xù)彎折線形電極160的寬度為45um，鈍化層50的厚度為150nm，連續(xù)彎折線形電極160突出于鈍化層50表面的高度為15um，故本案由背面視之，前述該連續(xù)彎折線形電極140曝露于鈍化層50外的面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口面積的5%。
[0095]請(qǐng)參考圖3C，背面總線電極301、302、303連接連續(xù)彎折線形電極160。如此，正面電極40與N型摻雜層10、半導(dǎo)體基板20、彎折線形電極160、背面總線電極301、302與303之間即形成一導(dǎo)通路徑。
[0096]接著，請(qǐng)參考圖3D，其為將圖3C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0097]請(qǐng)參考圖3E，其為以整面的背面電極161取代連續(xù)彎折線形電極160而覆蓋住連續(xù)彎折線形窗口 150的實(shí)施例。同時(shí)請(qǐng)參考圖4C，運(yùn)用此實(shí)施例，可達(dá)到以連續(xù)彎折線形窗口 150易于制作，同時(shí)，背面電極161易于制作的優(yōu)點(diǎn)。
[0098]圖1A?圖2B的實(shí)施例與圖3A?圖4B圖的實(shí)施例，均為采用一個(gè)連續(xù)彎折線形窗口與電極(連續(xù)彎折電極或整面的背面電極)的設(shè)計(jì)。就另一實(shí)施例而言，亦可采用多個(gè)連續(xù)彎折線形窗口與電極的設(shè)計(jì)。請(qǐng)參考以下數(shù)個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明。
[0099]請(qǐng)參考圖5A-圖其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0100]在圖5A中，本發(fā)明的太陽(yáng)能電池具有三個(gè)連續(xù)彎折線形窗口 131、132與133，均配置于半導(dǎo)體基板20 (N型或P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 131、132與133由多條垂直于背面總線電極301、302與303的線形窗口(奇數(shù))彼此連接而成，即該些線形窗口與該些背面總線電極之間具有一 90度的夾角，參考圖5C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 131、132與133均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn) 139A、139B。
[0101]請(qǐng)參考圖5B，連續(xù)彎折線形電極141、142與143同樣為3個(gè)，連續(xù)彎折線形電極141、142與143與背面總線電極301、302與303為一對(duì)一配置，并且，連續(xù)彎折線形電極141,142與143均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)149A、149B。同樣地，連續(xù)彎折線形電極141、142與143的各條線形電極之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0102]接著，請(qǐng)參考圖K)，其為將圖5C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。在本實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 131-133的寬度皆為80um，連續(xù)彎折線形電極141-143的寬度皆為85um，鈍化層50的厚度為lOOnm，連續(xù)彎折線形電極141-143突出于鈍化層50表面的高度為20um。因此前述該連續(xù)彎折線形電極140曝露于鈍化層50外的面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口面積的5%。在其他實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 131、132與133的寬度可分別為不同寬度，對(duì)應(yīng)的連續(xù)彎折線形電極141、142與143的寬度亦分別為不同寬度。
[0103]同樣地，運(yùn)用如圖3A的結(jié)構(gòu)，也可設(shè)計(jì)出非正交型的多個(gè)連續(xù)彎折線形電極的結(jié)構(gòu)。
[0104]請(qǐng)參考圖6A-圖6D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0105]在圖6A中，本發(fā)明的太陽(yáng)能電池具有三個(gè)連續(xù)彎折線形窗口 151、152與153，連續(xù)彎折線形窗口 151、152與153彼此一預(yù)定間隔平行配置于半導(dǎo)體基板20 (N型或P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面，該預(yù)定間隔指一個(gè)使兩連續(xù)彎折線形窗口不相互連接的距離。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 151、152與153由多條與背面總線電極301、302與303形成介于O?90度之間的夾角的線形窗口(奇數(shù))彼此連接而成，參考圖6C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 151、152與153均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)159A 與 159B。
[0106]請(qǐng)參考圖6B，本發(fā)明的太陽(yáng)能電池具有三個(gè)連續(xù)彎折線形電極161、162與163，該連續(xù)彎折線形電極161、162與163與背面總線電極301、302與303以一對(duì)一方式對(duì)應(yīng)配置，并且，連續(xù)彎折線形電極161、162與163均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)169A、169B。同樣地，連續(xù)彎折線形電極161、162與163的各條線形電極之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0107]接著，請(qǐng)參考圖6D，其為將圖6C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0108]與背面總線電極正交或非正交的線形電極所連接的連續(xù)彎折線形電極的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，除了可全部采用正交或全部采用非正交，亦可采用混合的方式，也就是，包含了與背面總線電極正交或非正交的線形電極所連接而成的連續(xù)彎折線形電極。請(qǐng)參考以下的實(shí)施例。
[0109]請(qǐng)參考圖7A-圖7D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0110]在圖7A中，連續(xù)彎折線形窗口 170配置于半導(dǎo)體基板20 (分別為N型或P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 170由多條與背面總線電極301、302與303的正交的線形窗口 175以及與多條背面總線電極301、302與303非正交的線形窗口 176彼此連接而成，且該線形窗口 175與176兩者總數(shù)為奇數(shù)。參考圖7C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 170均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)179A、179B，且連續(xù)彎折線形窗口 180的各條正交與非正交線形窗口之間彼此連接處178可以是弧形，或者彎角。
[0111]請(qǐng)參考圖7B，連續(xù)彎折線形電極180與背面總線電極301、302與303連接，并且，連續(xù)彎折線形電極180包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)189AU89B。同樣地，連續(xù)彎折線形電極180的各條正交與非正交線形電極之間彼此連接處188亦為弧形。
[0112]接著，請(qǐng)參考圖7D，其為將圖7C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0113]除了以上的實(shí)施例外，亦可采用對(duì)稱或不對(duì)稱且交錯(cuò)的一對(duì)彎折線形窗口 /電極的設(shè)計(jì)。
[0114]請(qǐng)參考圖8A-圖8D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的再一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0115]在圖8A中，一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口 150A與150B配置于半導(dǎo)體基板20(為N型或P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 150A與150B分別由多條與背面總線電極301、302與303的非正交的線形窗口(奇數(shù))彼此連接而成，參考圖8C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 150A與150B均包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)159A與159B、159C與159D，且連續(xù)彎折線形窗口 160A與160B的各條非正交線形窗口之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0116]請(qǐng)參考圖B，并且，連續(xù)彎折線形電極160A與160B各包含兩個(gè)位于對(duì)角的端點(diǎn)169A與169B、169C與169D。同樣地，連續(xù)彎折線形電極160A與160B的各條非正交線形電極之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0117]接著，請(qǐng)參考圖8C與圖8D，該連續(xù)彎折線形電極160A與160B電性連接至背面總線電極301、302與303 ;圖D為將圖8C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0118]在此實(shí)施例中，位于四個(gè)角落的端點(diǎn)可讓連續(xù)彎折線形窗口與電極制作過(guò)程容易對(duì)位，而提高準(zhǔn)確度與合格率。
[0119]在對(duì)稱且交錯(cuò)的一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口與電極的設(shè)計(jì)上，最少的線形窗口與線形電極數(shù)可為2條，亦即，2條以上的線形窗口與線形電極所構(gòu)成的架構(gòu)，均為可能的實(shí)施方式。
[0120]請(qǐng)參考圖9A-圖9D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的又一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0121]在圖9A中，一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口 19(^與19(?配置于半導(dǎo)體基板20 0型或？型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 190A與190B分別由2條與背面總線電極301、302與303的非正交的線形窗口彼此連接而成，參考圖9C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 190A與190B均包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)199A與199D、199B與199C，且連續(xù)彎折線形窗口 200A與200B的各條非正交線形窗口之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0122]請(qǐng)參考圖9B，連續(xù)彎折線形電極200A與200B與背面總線電極301、302與303連接，并且，連續(xù)彎折線形電極200A與200B各包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)209A與209D、209B與209C。同樣地，連續(xù)彎折線形電極200A與200B的各條非正交線形電極之間彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0123]接著，請(qǐng)參考圖9D，其為將圖9C的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0124]在此實(shí)施例中，位于四個(gè)角落的端點(diǎn)可讓連續(xù)彎折線形窗口 /電極制作過(guò)程容易對(duì)位，而提高準(zhǔn)確度與合格率。
[0125]圖9A-圖9D的實(shí)施例，說(shuō)明了端點(diǎn)位于同側(cè)的設(shè)計(jì)。此設(shè)計(jì)為線形窗口與線形電極數(shù)為偶數(shù)的實(shí)施例。就其他的實(shí)施例而言，亦可采用多條的線形窗口與線形電極連接而使其數(shù)目為偶數(shù)的設(shè)計(jì)，進(jìn)而使端點(diǎn)位于同側(cè)。
[0126]請(qǐng)參考圖1OA-圖10D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的又一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0127]在圖1OA中，一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口 210配置于半導(dǎo)體基板20 (N型或P型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口210分別由多條與背面總線電極301、302與303的非正交的線形窗口(偶數(shù))彼此連接而成，參考圖10C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 210包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)219A、219B，且連續(xù)彎折線形窗口 210的各條非正交線形窗口之間彼此連接處218可以是弧形，或者彎角。
[0128]請(qǐng)參考圖10B，連續(xù)彎折線形電極220與背面總線電極301、302與303連接，并且，連續(xù)彎折線形電極220包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)229A、229B。同樣地，連續(xù)彎折線形電極220的各條非正交線形電極之間彼此連接處228可以是弧形，或者彎角。
[0129]接著，請(qǐng)參考圖10D，其為將圖1OC的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0130]在此實(shí)施例中，位于同側(cè)端點(diǎn)可讓連續(xù)彎折線形窗口 /電極制作過(guò)程容易對(duì)位，而提高準(zhǔn)確度與合格率。
[0131]依據(jù)前述的設(shè)計(jì)理念，本發(fā)明亦可提供線數(shù)為偶數(shù)，且彼此對(duì)稱、非對(duì)稱的彼此連接結(jié)構(gòu)，或者彼此交錯(cuò)的一或多對(duì)連續(xù)彎折線形窗口與電極的結(jié)構(gòu)。
[0132]請(qǐng)參考圖1lA-圖11D，其為本發(fā)明的太陽(yáng)能電池的又一實(shí)施例底面示意圖，分別為配置連續(xù)彎折線形窗口、連續(xù)彎折線形電極與總線的示意圖。
[0133]在圖1lA中，一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口 23(^與23(?配置于半導(dǎo)體基板20 0型或？型)的第二表面的鈍化層50當(dāng)中，亦即，半導(dǎo)體基板20的背面。在此實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 230A與230B分別由多條與背面總線電極301、302與303的非正交的線形窗口(偶數(shù))彼此連接而成，參考圖11C，并且，連續(xù)彎折線形窗口 230A與230B包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)239A與239B、239C與239D，且各連續(xù)彎折線形窗口 230A與230B的各條非正交線形窗口之間彼此連接處238A與238B可以是弧形，或者彎角。
[0134]請(qǐng)參考圖11B，連續(xù)彎折線形電極240A與240B與背面總線電極301、302與303連接，并且，各連續(xù)彎折線形電極240A與240B包含兩個(gè)位于同側(cè)的端點(diǎn)249A與249B、249C與249D。同樣地，連續(xù)彎折線形電極240A與240B的各條非正交線形電極之間彼此連接處248A與248B可以是弧形，或者彎角。
[0135]接著，請(qǐng)參考第IlD圖，其為將圖1lC的背面總線電極301、302與303轉(zhuǎn)90度后的實(shí)施例。此實(shí)施例同樣可達(dá)到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)性功效。
[0136]此實(shí)施例由一對(duì)連續(xù)彎折線形窗口與電極構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，并且，每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口與電極由兩條對(duì)稱的線形結(jié)構(gòu)連接而成。每條線形窗口與電極與背面總線電極呈45度夾角。就其他的實(shí)施例而言，亦可采用彼此不對(duì)稱的線形窗口與電極所連接，其可與背面總線電極呈O?90的夾角。
[0137]在此實(shí)施例中，位于同側(cè)端點(diǎn)可讓連續(xù)彎折線形窗口 /電極制作過(guò)程容易對(duì)位，而提高準(zhǔn)確度與合格率。
[0138]總結(jié)以上的實(shí)施例，連續(xù)彎折線形窗口與電極的結(jié)構(gòu)由多條與背面總線電極呈正交或非正交或其組合的直線彼此連接而成，亦即直線與背面總線電極的夾角可介于O?90度之間。并且，連續(xù)彎折線形窗口與電極具有兩個(gè)端點(diǎn)，端點(diǎn)可位于同側(cè)或?qū)?。而連續(xù)彎折線形窗口與電極的直線彼此連接處可以是弧形，或者彎角。
[0139]此外，連續(xù)彎折線形電極曝露于外的面積至少大于連續(xù)彎折線形電極窗口 5%的面積。其中該連續(xù)彎折線形窗口具有第一寬度W1，其介于1um至300um之間。而連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有第二寬度W2，第二寬度W2大于第一寬度Wl。鈍化層具有第一深度，其介于5nm至300nm之間。連續(xù)彎折線形電極凸出于鈍化層的部分的高度介于5um至40um之間。此外，連續(xù)彎折線形窗口與電極的線數(shù)介于2至300之間。
[0140]再者，除了前述的以雷射切割或蝕刻法來(lái)制作連續(xù)彎折線形窗口后，再制作連續(xù)彎折線形電極的實(shí)施例外，亦可采用燒結(jié)法來(lái)制作連續(xù)彎折線形電極。
[0141]請(qǐng)參考圖12A-圖12B，其為圖1B的本發(fā)明實(shí)施例中，沿A-A剖面于區(qū)塊I的剖面圖示意圖，其為采用共燒結(jié)法直接配置連續(xù)彎折線形電極的實(shí)施例，不預(yù)先配置連續(xù)彎折線形窗口。在第12A圖中，連續(xù)彎折線形窗口 130為虛擬的窗口，其位置即為預(yù)備制作連續(xù)彎折線形電極之處。在第12B圖中，運(yùn)用燒結(jié)法將導(dǎo)電材料燒結(jié)至連續(xù)彎折線形窗口 130的虛擬窗口處，即可形成圖1B的結(jié)構(gòu)。
[0142]運(yùn)用燒結(jié)法，連續(xù)彎折線形電極140配置于鈍化層50并穿透鈍化層50而連接半導(dǎo)體基板20的該第二表面。其具有一寬度W，該寬度W介于1um至300um之間。而鈍化層50具有第一深度Hl,介于5nm至300nm之間。連續(xù)彎折線形電極140凸出于鈍化層50的部分的高度介于5um至40um之間，于本實(shí)施例中，寬度W為50um，該第一深度Hl為lOOnm。
[0143]在前述實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口或連續(xù)彎折線形電極，采用連續(xù)(continuous)、彎折且線形彼此連接的發(fā)明概念來(lái)設(shè)計(jì)窗口(于鈍化層上)或電極。此一線形的概念，可以實(shí)線或虛線實(shí)施之，前述的實(shí)施例為實(shí)線的實(shí)施例。請(qǐng)參考圖13A-圖13B圖為連續(xù)彎折線形窗口實(shí)施例中，線形窗口與線形電極的部分采用”虛線”配置的兩實(shí)施例，其分別對(duì)應(yīng)了圖1A、圖3A的實(shí)施例。在圖13A的實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 250的每條“直線”是以“虛線”的方式制作，其同樣有兩個(gè)端點(diǎn)259A、259B，且有彎折處258。在圖13B的實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 270的每條“直線”是以“虛線”的方式制作，其同樣有兩個(gè)端點(diǎn)279A、279B，且有彎折處278。
[0144]因此，本發(fā)明的“線形”，實(shí)質(zhì)上是包括“虛線”與“實(shí)線”的概念。此外，此處的線形概念，就其他的實(shí)施例而言，亦可以采用非直線的線形，例如，弧狀線、波浪狀線、齒狀線等來(lái)構(gòu)成連續(xù)彎折線形窗口或連續(xù)彎折線形電極。由于此為本領(lǐng)域技術(shù)人員可以具以實(shí)施，于此不多加贅述。
[0145]在以上的窗口為”虛線”的實(shí)施例中，覆蓋于其上的連續(xù)彎折線形電極，仍然要采用彼此連接的方式為佳，或者，采用整面的背面電極。
[0146]此外，以上的實(shí)施例，揭露了每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口 /電極的兩個(gè)端點(diǎn)位于同側(cè)或者對(duì)角。就其他的實(shí)施例而言，其亦可設(shè)計(jì)將每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口 /電極的兩個(gè)端點(diǎn)配置于基板側(cè)邊的的中央處。請(qǐng)參考第14A?14B圖的實(shí)施例，其為連續(xù)彎折線形窗口實(shí)施例中，每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口的兩個(gè)端點(diǎn)位于側(cè)邊的中央。在圖14A的實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 290的兩個(gè)端點(diǎn)299A、299B為于基板側(cè)邊的中央，且有彎折處298。在圖14B的實(shí)施例中，連續(xù)彎折線形窗口 310的兩個(gè)端點(diǎn)319A、319B為于基板側(cè)邊的中央，且有彎折處318。
[0147]可以發(fā)現(xiàn)，第14A、14B圖的實(shí)施例，連續(xù)彎折線形窗口 290、310實(shí)質(zhì)上為兩個(gè)對(duì)稱的窗口形狀。當(dāng)此一對(duì)稱的窗口形狀共同制作于單一基板上時(shí)，就可形成兩個(gè)窗口的端點(diǎn)相互連接的狀況。請(qǐng)參考圖14C的實(shí)施例，其為連續(xù)彎折線形窗口 290、310的端點(diǎn)彼此連接的實(shí)施例，其中，端點(diǎn)299A、319A彼此連接，而端點(diǎn)299B、319B彼此連接。就此最終端點(diǎn)彼此連接的實(shí)施例而言，亦可稱的為沒(méi)有端點(diǎn)的實(shí)施例。
[0148]因此，實(shí)質(zhì)上，每個(gè)連續(xù)彎折線形窗口或電極可包含兩個(gè)端點(diǎn)，且兩個(gè)端點(diǎn)位于半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角、側(cè)邊的中央或互相連接。就其他的實(shí)施例而言，該兩個(gè)端點(diǎn)亦可位于非前述的其他位置，例如，位于側(cè)邊的1/3、1/4、1/5...。
[0149]同樣地，覆蓋于其上的背面電極，可以采用覆蓋于其上的連續(xù)彎折線形電極或者整面的背面電極。
[0150]以上所列舉的實(shí)施例與附圖為背面電極配置于鈍化層與背面總線電極之間的實(shí)施例，就其他的實(shí)施例而言，背面總線電極亦可配置于鈍化層與背面電極之間。此類將背面總線電極配置于鈍化層與背面電極之間的實(shí)施例，可運(yùn)用于圖1A?圖14C的各個(gè)實(shí)施例，由于其與將背面電極配置于鈍化層與背面總線電極之間的實(shí)施例差異僅在于結(jié)構(gòu)上的差異，此為本領(lǐng)域技術(shù)人員可于掌握本發(fā)明前述的實(shí)施例后據(jù)以實(shí)施，因此，不多加贅述。
[0151]雖然本發(fā)明的較佳實(shí)施例揭露如上所述，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，再不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的專利保護(hù)范圍須視權(quán)利要求書(shū)為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種太陽(yáng)能電池，其特征在于，包含: 一半導(dǎo)體基板，具有一第一表面與一第二表面； 一鈍化層，設(shè)置于該第二表面，該鈍化層具有至少一連續(xù)彎折線形窗口 ； 至少一背面電極，該背面電極經(jīng)由該連續(xù)彎折線形窗口連接該半導(dǎo)體基板；以及 至少一個(gè)背面總線電極，該背面總線電極以電性連接該背面電極； 其中該背面電極配置于該鈍化層與該背面總線電極之間，或該背面總線電極配置于該鈍化層與該背面電極之間。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口包含兩個(gè)端點(diǎn)，且該兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角、側(cè)邊的中央或互相連接。
3.如權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該至少一連續(xù)彎折線形窗口包含至少兩連續(xù)彎折線形窗口，且不同的該連續(xù)彎折線形窗口的兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角或互相連接。
4.如權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口交錯(cuò)配置或以一預(yù)定間隔平行配置。
5.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口由多條線形窗口彼此連接而成，且該線形窗口與該背面總線電極之間具有一介于O?90度的夾角。
6.如權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口的該些線形窗口彼此連接處為弧形或彎角。
7.如權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，每個(gè)該連續(xù)彎折線形窗口的線形窗口數(shù)目介于2至300之間。
8.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口對(duì)應(yīng)至少一個(gè)該背面總線電極。
9.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該背面電極為至少一連續(xù)彎折線形電極，該連續(xù)彎折線形電極對(duì)應(yīng)配置于一該連續(xù)彎折線形窗口上。
10.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該背面電極為一配置于該鈍化層上的整面電極。
11.如權(quán)利要求3或4所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該背面電極更包含至少兩連續(xù)彎折線形電極，各該連續(xù)彎折線形電極分別對(duì)應(yīng)配置于一該連續(xù)彎折線形窗口上。
12.如權(quán)利要求9所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口 5%的面積。
13.如權(quán)利要求11所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極曝露于外之面積至少大于該連續(xù)彎折線形電極窗口 5%的面積。
14.如權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形窗口具有一第一寬度，該第一寬度介于1um至300um之間。
15.如權(quán)利要求12所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一第二寬度，該第二寬度大于該第一寬度。
16.如權(quán)利要求13所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一第二寬度，該第二寬度大于該第一寬度。
17.如權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該鈍化層具有一第一深度，該第一深度介于5nm至300nm之間。
18.如權(quán)利要求9所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極凸出于該鈍化層的部分的高度介于5um至40um之間。
19.一種太陽(yáng)能電池，包含: 一半導(dǎo)體基板，具有一第一表面與一第二表面； 一抗反射層，設(shè)置于該第一表面； 一鈍化層，設(shè)置于該第二表面； 至少一連續(xù)彎折線形電極，配置于該鈍化層并穿透該鈍化層而連接該半導(dǎo)體基板的該第二表面；及 至少一背面總線電極，連接至少一該連續(xù)彎折線形電極。
20.如權(quán)利要求19所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極包含兩個(gè)端點(diǎn)，且該兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角、側(cè)邊的中央或相互連接。
21.如權(quán)利要求19所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該至少一連續(xù)彎折線形電極包含至少兩連續(xù)彎折線形電極，且不同的該連續(xù)彎折線形電極的兩個(gè)端點(diǎn)位于該半導(dǎo)體基板的該第二表面的同一側(cè)、對(duì)角或互相連接。
22.如權(quán)利要求21所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極交錯(cuò)配置或以一預(yù)定間隔平行配置。
23.如權(quán)利要求19、20、21或22項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極由多條線形電極彼此連接而成，且該線形電極與該背面總線電極之間具有一介于O?90度的夾角。
24.如權(quán)利要求23所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極的該些直線彼此連接處為弧形或彎角。
25.如權(quán)利要求23所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，每個(gè)該彎折線形電極的直線數(shù)目介于2至300之間。
26.如權(quán)利要求19、20、21或22項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，一個(gè)該連續(xù)彎折線形電極對(duì)應(yīng)至少一個(gè)該背面總線電極。
27.如權(quán)利要求19、20、21或22項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極曝露于外的部分具有一寬度，該寬度介于1um至300um之間。
28.如權(quán)利要求19、20、21或22項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該鈍化層具有一第一深度，該第一深度介于5nm至300nm之間。
29.如權(quán)利要求19、20、21或22項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，該連續(xù)彎折線形電極凸出于該鈍化層的部分的高度介于5um至40um之間。
【文檔編號(hào)】H01L31/042GK104241418SQ201310367414
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月18日
【發(fā)明者】李漢誠(chéng), 馮詩(shī)翰, 許子衿, 戴煜暐, 陳偉銘 申請(qǐng)人:新日光能源科技股份有限公司