檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種檢查裝置，能夠準(zhǔn)確地檢查金屬掩模片，所述檢查裝置具有：至少一個張力部（13），對向金屬掩模框安裝之前的金屬掩模片（4）施加預(yù)先設(shè)定的規(guī)定的檢查用張力；以及在所述張力部對所述金屬掩模片施加了張力的狀態(tài)下測定所述金屬掩模片的尺寸的尺寸測定部、測定所述金屬掩模片的撓曲的撓曲測定部及檢查所述金屬掩模片的外觀缺陷的外觀檢查部中的至少一個。
【專利說明】檢查裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種檢查金屬掩模片的檢查裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有進(jìn)行在有機(jī)EL元件的制造工序中進(jìn)行真空蒸鍍時使用的金屬掩模的外觀檢查等的金屬掩模檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2004 - 037134號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明所要解決的課題
[0005]然而，金屬掩模通過在金屬掩?？蛏腺N附金屬掩模片而制得，但在貼附于金屬掩模框之前需要進(jìn)行金屬掩模片單體的檢查。一般而言，在以單體形式檢查金屬掩模片的情況下，在將金屬掩模片載置于檢查臺上的狀態(tài)下進(jìn)行檢查。
[0006]但是，由于金屬掩模片是極薄而容易變形的部件，所以有時在載置于檢查臺上時會發(fā)生變形而無法準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。
[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠準(zhǔn)確地檢查金屬掩模片的檢查裝置。
[0008]用于解決課題的方法
[0009]本發(fā)明的檢查裝置的特征在于，具有:至少一個張力部，對向金屬掩?？虬惭b之前的金屬掩模片施加預(yù)先設(shè)定的規(guī)定的檢查用張力；以及在所述張力部對所述金屬掩模片施加了張力的狀態(tài)下測定所述金屬掩模片的尺寸的尺寸測定部、測定所述金屬掩模片的撓曲的撓曲測定部及檢查所述金屬掩模片的外觀缺陷的外觀檢查部中的至少一個。
[0010]另外，本發(fā)明的檢查裝置的特征在于，具備判定部，該判定部基于檢查結(jié)果，判定所述金屬掩模片是否適合作為用于制造金屬掩模的部件、或者對所述金屬掩模片進(jìn)行分等級。
[0011]另外，本發(fā)明的檢查裝置的特征在于，具備:調(diào)節(jié)部，使所述張力部施加給所述金屬掩模片的張力變化；控制部，執(zhí)行以下控制的至少一方:由所述調(diào)節(jié)部使張力變化并使所述尺寸測定部測定所述金屬掩模片的尺寸、及由所述調(diào)節(jié)部使張力變化并使所述撓曲測定部測定所述金屬掩模片的撓曲；以及計(jì)算部，基于使用所述控制部所得的測定結(jié)果，算出施加給所述金屬掩模片的張力與所述金屬掩模片的伸長量之間的關(guān)系和施加給所述金屬掩模片的張力與所述金屬掩模片的撓曲量之間的關(guān)系的至少一方。
[0012]發(fā)明效果
[0013]根據(jù)本發(fā)明的檢查裝置，能夠準(zhǔn)確地檢查金屬掩模片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是表示實(shí)施方式的檢查裝置的立體圖。
[0015]圖2是表示由實(shí)施方式的檢查裝置檢查的金屬掩模片的圖。
[0016]圖3是表示使用由實(shí)施方式的檢查裝置檢查的金屬掩模片制造的金屬掩模的圖。
[0017]圖4是從正面觀察實(shí)施方式的檢查裝置的檢查部的圖。
[0018]圖5是表示實(shí)施方式的檢查裝置所具備的張力裝置的圖。
[0019]圖6是表示其他實(shí)施方式的檢查裝置的立體圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]以下，參照附圖，關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式的檢查裝置，以檢查在有機(jī)EL元件的制造工序中進(jìn)行真空蒸鍍時使用的金屬掩模片的檢查裝置為例進(jìn)行說明。圖1是表示檢查裝置的立體圖。檢查裝置2具有:載置一方向較長的帶狀的金屬掩模片4的矩形形狀的平板即工作臺部6 ;檢查部8，用于檢查載置于工作臺部6的金屬掩模片4 ;框架10，將檢查部8支撐為能夠在金屬掩模片4的長度方向上滑動；一對導(dǎo)軌12,將框架10支撐為能夠在與金屬掩模片4的長度方向正交的方向上滑動；張力裝置13,向金屬掩模片4的長度方向施加張力；以及基臺14。另外，張力裝置13被當(dāng)作一對成套設(shè)備，以彼此相向的方式配置于金屬掩模片4的兩側(cè)部。
[0021]在此，金屬掩模片4由金屬薄片構(gòu)成，如圖2所示，沿長度方向具有多個矩形形狀的開口部4a，其中該開口部4a具備多個狹縫。另外，沿開口部4a的短邊方向的緣部具有多個構(gòu)成進(jìn)行金屬掩模片4的坐標(biāo)測定時的指標(biāo)的管理點(diǎn)4b。另外，在金屬掩模的制造工序中，如圖3所示，通過將金屬掩模片4貼附于金屬掩模框18上而制得金屬掩模20。金屬掩模20在有機(jī)EL元件的制造工序中進(jìn)行有機(jī)材料的真空蒸鍍時使用。
[0022]圖4是從正面觀察檢查部8的圖。如圖4所示，檢查部8具備:尺寸測定用顯微鏡22，測定金屬掩模片4的尺寸；外觀檢查用顯微鏡24，進(jìn)行金屬掩模片4的傷損、蝕刻不良等的外觀檢查；以及激光位移儀26，使用激光來測定金屬掩模片4的撓曲量。
[0023]在此，尺寸測定用顯微鏡22在鏡筒22a的下側(cè)的端部具備以規(guī)定的倍率觀察金屬掩模片4的物鏡22b，在鏡筒22a的上側(cè)的端部具備拍攝由物鏡22b觀察的金屬掩模片4的圖像的相機(jī)22c。另外，外觀檢查用顯微鏡24在鏡筒24a的下側(cè)的端部具備以規(guī)定的倍率觀察金屬掩模片4的物鏡24b，在鏡筒24a的上側(cè)的端部具備拍攝由物鏡24b觀察的金屬掩模片4的圖像的相機(jī)24c。
[0024]圖5是表示實(shí)施方式的檢查裝置中所具備的張力裝置13的圖。如圖5所示，張力裝置13具備馬達(dá)13a、滾珠絲杠13b以及可動部13c。在此，若驅(qū)動馬達(dá)13a而使?jié)L珠絲杠13b旋轉(zhuǎn)，則螺母13d向圖的右側(cè)移動，可動部13c整體沿線性導(dǎo)軌13e向圖的右側(cè)移動。
[0025]另外，可動部13c經(jīng)由線性導(dǎo)塊13f而能夠滑動地被支撐于線性導(dǎo)軌13e。另外，線性導(dǎo)軌13e在金屬掩模片4的長度方向(參照圖1)上延伸，并設(shè)置在檢查裝置2的規(guī)定的位置上。
[0026]當(dāng)可動部13c向圖的右側(cè)移動時，對由夾持部13g夾持的金屬掩模片4施加張力，并由測定部13h測定所施加的張力。
[0027]接著，參照附圖，說明實(shí)施方式的檢查裝置2對金屬掩模片4進(jìn)行的檢查處理。首先，當(dāng)金屬掩模片4被移載到工作臺部6的規(guī)定的檢查位置時，檢查裝置2的未圖示的控制部如圖1所示，由夾持部13g (參照圖5)夾持金屬掩模片4的兩端部。接著，張力裝置13通過驅(qū)動馬達(dá)13a而使可動部13c移動，從而對金屬掩模片4施加規(guī)定的檢查用的張力，使金屬掩模片4處于沒有變形、松弛而平坦展開的狀態(tài)。
[0028]在此，作為規(guī)定的檢查用的張力，使用通過模擬等預(yù)先算出的張力。例如，使用成為與金屬掩模片4的設(shè)計(jì)值在理論上相同的尺寸的張力。作為具體例，在金屬掩模片4為長度800mm、寬度60mm、厚度40 μ m的尺寸的情況下,施加20N的張力作為規(guī)定的檢查用張力。
[0029]當(dāng)對金屬掩模片4施加規(guī)定的檢查用的張力時，控制部開始金屬掩模片4的尺寸檢查。在此，作為尺寸檢查而存在三種檢查。即，存在測定金屬掩模片4的管理點(diǎn)4b的坐標(biāo)的長尺寸測定、測定開口部4a的尺寸的短尺寸測定以及測定金屬掩模片4有無撓曲的撓曲測定這三種檢查。另外，在此，以按照長尺寸測定、短尺寸測定、撓曲測定的順序進(jìn)行尺寸檢查后進(jìn)行外觀檢查的情況為例進(jìn)行說明。
[0030]首先，當(dāng)長尺寸測定開始時，控制部使尺寸測定用顯微鏡22的位置與位于金屬掩模片4的下側(cè)的最左端的管理點(diǎn)4b (參照圖2)的正上方對齊，通過相機(jī)22c拍攝由物鏡22b觀察的管理點(diǎn)4b的圖像。同樣地，控制部使尺寸測定用顯微鏡22的位置移動并通過相機(jī)22c拍攝所有管理點(diǎn)4b的圖像。
[0031]接著，控制部通過對所拍攝的圖像的圖像數(shù)據(jù)實(shí)施規(guī)定的圖像處理，從而算出圖像內(nèi)的管理點(diǎn)4b的位置坐標(biāo)。接著，基于圖像內(nèi)的管理點(diǎn)4b的位置坐標(biāo)和工作臺部6上的拍攝時的相機(jī)22c的位置坐標(biāo)來確定工作臺部6上的管理點(diǎn)4b的位置坐標(biāo)。
[0032]接著，控制部讀出存儲于未圖示的信息存儲部中的金屬掩模片4的設(shè)計(jì)圖的數(shù)據(jù)，確定將設(shè)計(jì)圖上的金屬掩模片載置于規(guī)定的檢查位置的情況下的、設(shè)計(jì)圖上的金屬掩模片的管理點(diǎn)(以下稱作設(shè)計(jì)管理點(diǎn))在工作臺部6上的位置坐標(biāo)。
[0033]接著，控制部判定金屬掩模片4的管理點(diǎn)4b的位置坐標(biāo)和設(shè)計(jì)圖上的金屬掩模片的設(shè)計(jì)管理點(diǎn)的位置坐標(biāo)之間的偏差是否收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)。在偏差收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)的情況下，控制部判定該金屬掩模片4為合格品。并且，使用該金屬掩模片4來制造金屬掩模20 (參照圖3)。另一方面，在偏差未收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)的情況下，控制部判定尺寸檢查的結(jié)果為不合格。在不合格的情況下，中斷檢查或開始接下來的短尺寸檢查。
[0034]當(dāng)短尺寸測定開始時，控制部使尺寸測定用顯微鏡22的位置與位于金屬掩模片4的最左端的開口部4a (參照圖2)的正上方對齊，通過相機(jī)22c拍攝由物鏡22b觀察的開口部4a的圖像。同樣地，控制部通過相機(jī)22c拍攝所有開口部4a的圖像。
[0035]接著，控制部基于所拍攝的開口部4a的圖像，將各開口部4a的尺寸與設(shè)計(jì)圖上的金屬掩模片的各開口部的尺寸進(jìn)行比較，判定金屬掩模片4的各開口部4a的尺寸與設(shè)計(jì)圖上的金屬掩模片的各開口部的尺寸的尺寸差是否收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)。
[0036]在尺寸差收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)的情況下，控制部判定該金屬掩模片4為合格品。并且，使用該金屬掩模片4來制造金屬掩模20。另一方面，在尺寸差未收斂于規(guī)定誤差的范圍內(nèi)的情況下，控制部判定尺寸檢查的結(jié)果為不合格。在不合格的情況下，中斷檢查或開始接下來的撓曲檢查。
[0037]當(dāng)撓曲測定開始時，控制部使激光位移儀26移動，并使其對位于金屬掩模片4的未圖示的規(guī)定的測定位置的正上方。接著，從激光位移儀26對金屬掩模片4照射激光，接收金屬掩模片4的表面所反射的反射光，從而測定規(guī)定的測定位置的撓曲。另外，在規(guī)定的測定位置存在多個的情況下，控制部同樣地測定所有規(guī)定的測定位置的撓曲。
[0038]接著，控制部判定所有規(guī)定的測定位置的撓曲量是否處于規(guī)定的撓曲量的范圍內(nèi)。在所有規(guī)定的測定位置的撓曲量處于規(guī)定的撓曲量以下的情況下，控制部判定該金屬掩模片4為合格品。并且，使用該金屬掩模片4來制造金屬掩模20。另一方面，在所有規(guī)定的測定位置的撓曲量不處于規(guī)定的撓曲量的范圍內(nèi)的情況下，控制部判定尺寸檢查的結(jié)果為不合格。在不合格的情況下，中斷檢查或開始接下來的外觀檢查。
[0039]當(dāng)外觀檢查開始時，控制部使外觀檢查用顯微鏡24依次移動并通過相機(jī)24c拍攝由物鏡24b觀察的金屬掩模片4的圖像。對由相機(jī)24c所拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，從而進(jìn)行缺陷的檢測。例如進(jìn)行金屬掩模片4的表面的損傷、蝕刻不良、開口部4a的狹縫的破損等的缺陷檢測。
[0040]所檢測出的缺陷使用尺寸測定用顯微鏡22或未圖示的檢驗(yàn)用顯微鏡通過目測來確認(rèn)。
[0041 ] 確認(rèn)的結(jié)果是，若判定為金屬掩模片4存在不良部分，則該金屬掩模片4被認(rèn)為不合格，若判定為沒有不良部分，則使用該金屬掩模片4來制造金屬掩模20 (參照圖3)。
[0042]根據(jù)該實(shí)施方式的檢查裝置2，對貼附于金屬掩?？?8之前的金屬掩模片4施加規(guī)定的檢查用的張力并進(jìn)行檢查，所以能夠準(zhǔn)確地檢查金屬掩模片4而不使其變形。
[0043]接著，參照【專利附圖】

【附圖說明】實(shí)施方式的檢查裝置2對金屬掩模片4進(jìn)行的變形量測定處理。首先，如圖1所示，作為樣品被選定的金屬掩模片4被移載到工作臺部6的規(guī)定的檢查位置上，金屬掩模片4的兩端部4c由夾持部13g (參照圖5)夾持。
[0044]接著，控制部通過驅(qū)動馬達(dá)13a而使可動部13c移動，在金屬掩模片4的長度方向上施加張力，使所施加的張力逐漸增加并由測定部13h進(jìn)行張力的測定。并且，每使張力增加規(guī)定量，都由相機(jī)22c (參照圖4)拍攝管理點(diǎn)4b (參照圖2)的圖像，由激光位移儀26測定規(guī)定的測定位置的撓曲。
[0045]接著，控制部基于測定部13h對張力的測定結(jié)果以及所拍攝的管理點(diǎn)的圖像，算出使張力每增加規(guī)定量的情況下的金屬掩模片4的伸長量。另外，基于測定部13h對張力的測定結(jié)果以及激光位移儀26的測定結(jié)果，算出使張力每增加規(guī)定量的情況下的金屬掩模片4的撓曲量。接著，基于該測定結(jié)果以及計(jì)算結(jié)果，生成表示使張力每增加規(guī)定量的情況下的張力與金屬掩模片4的伸長量、撓曲量之間的關(guān)系的關(guān)系數(shù)據(jù)，并存儲于未圖示的信息存儲部。
[0046]在此，存儲于信息存儲部的關(guān)系數(shù)據(jù)在確定將金屬掩模片4貼附于金屬掩模框18上時的張力時使用。例如，控制部參照關(guān)系數(shù)據(jù)，將金屬掩模片4的伸長量為規(guī)定的伸長量且金屬掩模片4的撓曲量為規(guī)定的撓曲量的張力確定為貼附時的張力。另外，控制部在貼附時參照關(guān)系數(shù)據(jù)，考慮金屬掩模片4的伸長量、撓曲量并進(jìn)行金屬掩模片4相對于金屬掩?？?8的對位。
[0047]如此，實(shí)際中使用樣品對金屬掩模片4施加張力，使張力每增加規(guī)定量并生成表示張力與金屬掩模片4的伸長量、撓曲量之間的關(guān)系的關(guān)系數(shù)據(jù)，所以在將金屬掩模片4貼附于金屬掩?？?8時，能夠參照關(guān)系數(shù)據(jù)并以最佳的張力將金屬掩模片4貼附于準(zhǔn)確的位置。
[0048]另外，在上述的實(shí)施方式中，如圖1所示，以將金屬掩模片4的長度方向設(shè)為與框架10平行的方向而對金屬掩模片4施加與框架10平行的方向的張力的情況為例進(jìn)行了說明，但是也可以如圖6所示，將金屬掩模片4的長度方向設(shè)為與框架10正交的方向而對金屬掩模片4施加與框架10正交的方向的張力。
[0049]另外，如圖1、6所示，張力裝置13可以安裝于金屬掩模片4的兩側(cè)，但在無需使金屬掩模片4的位置移動的情況下，張力裝置13也可以僅安裝于金屬掩模片4的單側(cè)。另外，也可以根據(jù)金屬掩模片4的寬度來增加張力裝置13的數(shù)量。
[0050]另外，在上述的實(shí)施方式中，在尺寸檢查之后進(jìn)行外觀檢查，但也可以在外觀檢查之后進(jìn)行尺寸檢查。另外，尺寸檢查和外觀檢查也可以各自進(jìn)行。另外，尺寸檢查的測定順序不限于長尺寸測定、短尺寸測定、撓曲測定的順序。另外，作為尺寸測定，不僅僅是長尺寸測定、短尺寸測定，通過檢查裝置2的運(yùn)算處理，也能夠容易地追加片邊緣的直線度測定、圖案的形狀測定等功能。
[0051]另外，上述實(shí)施方式的規(guī)定的檢查用的張力可以基于關(guān)系數(shù)據(jù)求得。
[0052]另外，上述實(shí)施方式的外觀檢查中，以使用檢驗(yàn)機(jī)進(jìn)行不良部分的確認(rèn)等的情況為例進(jìn)行了說明，但是也可以不進(jìn)行檢驗(yàn)用顯微鏡的確認(rèn)作業(yè)，而是控制部根據(jù)金屬掩模片4的圖像數(shù)據(jù)檢測有無缺陷，并基于缺陷檢測結(jié)果來進(jìn)行外觀檢查的合格與否判定。
[0053]另外，在上述的實(shí)施方式的外觀檢查中，通過區(qū)域相機(jī)(外觀檢查用顯微鏡24所具有的相機(jī)24c)進(jìn)行金屬掩模片4的拍攝，但是拍攝方式也可以是通過線性相機(jī)掃描帶狀的區(qū)域的方式。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)外觀檢查的高速化。
[0054]另外，在上述的實(shí)施方式中，在進(jìn)行長尺寸測定的情況下，未必需要測定管理點(diǎn)4b(參照圖2)的位置坐標(biāo)。例如，使用在開口部4a具有點(diǎn)狀排列的多個孔的點(diǎn)圖案的金屬掩模片4的情況下，也可以通過測定點(diǎn)狀排列的孔的位置坐標(biāo)來進(jìn)行長尺寸測定。
[0055]另外，上述的檢查裝置2具有向外部進(jìn)行結(jié)果輸出的功能，所以金屬掩模片制造廠使用檢查裝置2的情況下，也可以在金屬掩模片4出廠時向金屬掩模片4添加關(guān)系數(shù)據(jù)等作為出廠檢查數(shù)據(jù)。
[0056]另外，在上述的實(shí)施方式中，以基于金屬掩模片4有無偏移量、撓曲量以及缺陷來進(jìn)行合格與否判定的情況為例進(jìn)行了說明，但是也可以根據(jù)偏移量、撓曲量以及缺陷的尺寸、數(shù)量而將金屬掩模片4進(jìn)行等級分類。
[0057]在此，金屬掩模制造廠使用檢查裝置2的情況下，也可以將等級分類結(jié)果直接傳送給片貼附裝置等的下一個工序，或者經(jīng)由金屬掩模制造廠的主機(jī)而將等級分類結(jié)果傳送給下一個工序。被傳送的下一個工序的裝置可以利用等級分類結(jié)果而將所制造的金屬掩模20的等級進(jìn)行劃分。例如，使用相同等級的金屬掩模片4來制造金屬掩模20。
[0058]另外，在上述的實(shí)施方式中使用了激光位移儀26，但是也可以使用激光以外的其他方式的位移儀。
[0059]另外，在上述的實(shí)施方式中，以金屬掩模20 (參照圖3)用于有機(jī)EL元件的制造工序中的情況為例進(jìn)行了說明，但是金屬掩模20也可以用于半導(dǎo)體元件、印刷基板、液晶顯示元件等制造工序中。
[0060]附圖標(biāo)記說明
[0061]2檢查裝置
[0062]4金屬掩模片
[0063]4a 開口部
[0064]4b管理點(diǎn)
[0065]8檢查部
[0066]13張力裝置
[0067]13c可動部
[0068]13g夾持部
[0069]13h測定部
[0070]22尺寸測定用顯微鏡
[0071]24外觀檢查用顯微鏡
[0072]26激光位移儀
【權(quán)利要求】
1.一種檢查裝置，具有: 至少一個張力部，對向金屬掩?？虬惭b之前的金屬掩模片施加預(yù)先設(shè)定的規(guī)定的檢查用張力；以及 在所述張力部對所述金屬掩模片施加了張力的狀態(tài)下測定所述金屬掩模片的尺寸的尺寸測定部、測定所述金屬掩模片的撓曲的撓曲測定部及檢查所述金屬掩模片的外觀缺陷的外觀檢查部中的至少一個。
2.一種檢查裝置，其特征在于， 具備判定部，該判定部基于由權(quán)利要求1所得的檢查結(jié)果，判定所述金屬掩模片是否適合作為用于制造金屬掩模的部件、或者對所述金屬掩模片進(jìn)行分等級。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，具備: 調(diào)節(jié)部，使所述張力部施加給所述金屬掩模片的張力變化； 控制部，執(zhí)行以下控制的至少一方:由所述調(diào)節(jié)部使張力變化并使所述尺寸測定部測定所述金屬掩模片的尺寸、及由所述調(diào)節(jié)部使張力變化并使所述撓曲測定部測定所述金屬掩模片的撓曲；以及 計(jì)算部，基于使用所述控制部所得的測定結(jié)果，算出施加給所述金屬掩模片的張力與所述金屬掩模片的伸長量之間的關(guān)系和施加給所述金屬掩模片的張力與所述金屬掩模片的撓曲量之間的關(guān)系的至少一方。
【文檔編號】H01L21/66GK104282589SQ201310447050
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月12日
【發(fā)明者】鶴野真一郎, 出口和宏, 中村昌弘 申請人:新東超精密有限公司