有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法
【專利摘要】有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法。本發(fā)明涉及能夠防止水分和異物由于在最外側(cè)區(qū)域上的鈍化層上生成裂縫而滲入的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括：基板，其具有外側(cè)部分和顯示部分；驅(qū)動薄膜晶體管，其形成在所述基板的所述顯示部分內(nèi)的多個像素區(qū)域中的每一個上；像素電極，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上；有機(jī)發(fā)光單元，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上以發(fā)射光；公共電極，其形成在所述有機(jī)發(fā)光單元和堤層上，以將信號施加到有機(jī)發(fā)光層；以及第一鈍化層、有機(jī)絕緣層和第二鈍化層，其形成在所述外側(cè)部分和所述顯示部分上，其中，從所述外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域移除所述第一鈍化層和所述第二鈍化層，使得所述基板暴露于外部。
【專利說明】有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本說明書涉及有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法，更具體地講，涉及一種能夠防止由于空氣或水分通過形成在鈍化層上的裂縫滲入而發(fā)生劣化或缺陷的有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近來，正在開發(fā)能夠減小重量和體積(這是陰極射線管的缺點(diǎn))的各種類型的平板顯示裝置。平板顯示裝置的示例包括液晶顯示(LCD)裝置、場發(fā)射顯示裝置、等離子體顯示面板、有機(jī)發(fā)光顯示裝置等。
[0003]在那些平板顯示裝置當(dāng)中，等離子體顯示裝置側(cè)重于作為輕、薄、短小的顯示裝置，其最大的優(yōu)點(diǎn)是憑借簡單的結(jié)構(gòu)和制造工藝來提供大比例屏幕。然而，由于低發(fā)光效率和亮度以及高功耗，等離子體顯示裝置也有缺點(diǎn)。另一方面，LCD裝置的缺點(diǎn)在于由于使用半導(dǎo)體工藝而難以實現(xiàn)大屏幕，并且由于背光單元而導(dǎo)致高功耗。另外，由于諸如偏振濾光器、棱鏡片、漫射板等的光學(xué)元件，LCD裝置呈現(xiàn)出很大的光學(xué)損失和窄視角。
[0004]相反，發(fā)光顯示裝置根據(jù)發(fā)光層的材料分為無機(jī)發(fā)光顯示裝置和有機(jī)發(fā)光顯示裝置。有機(jī)發(fā)光顯示裝置是自發(fā)光裝置，其在快響應(yīng)速度、高發(fā)光效率、高亮度和大視角方面具有很大優(yōu)勢。與有機(jī)發(fā)光顯示裝置相比，無機(jī)發(fā)光顯示裝置導(dǎo)致高功耗，并且無法獲得高亮度。另外，無機(jī)發(fā)光顯示裝置無法以紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)的各種顏色來發(fā)光。另一方面，有機(jī)發(fā)光顯示裝置由于以下多個優(yōu)點(diǎn)而正被積極地研究:例如能夠通過低DC電壓(幾十伏特)來驅(qū)動，具有快的響應(yīng)速度，提供高亮度，以及發(fā)射R、G和B的各種顏色。
[0005]此外，為了便攜性和使用方便，已經(jīng)提出了使用柔性基板(例如，塑料基板)的柔性顯示裝置。然而，當(dāng)將柔性基板應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光顯示裝置時，因為顯示裝置的上基板也由柔性保護(hù)膜等形成，所以雜質(zhì)或異物(例如，水分或空氣)可能容易通過有機(jī)發(fā)光顯示裝置的上基板滲入。由于諸如水分或空氣的雜質(zhì)的滲入，制造出有缺陷的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，并且該裝置的壽命縮短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]因此，為了避免現(xiàn)有技術(shù)的那些缺點(diǎn)，詳細(xì)描述的一個方面在于提供一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法，其由于在母基板的多個面板區(qū)域的相鄰面板區(qū)域之間未形成鈍化層而能夠防止水分通過在切割母基板期間在鈍化層上產(chǎn)生的裂縫滲入。
[0007]為了實現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)并且根據(jù)本說明書的目的，如本文具體實施并概括描述的，提供了一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括:基板，其具有外側(cè)部分和顯示部分；驅(qū)動薄膜晶體管，其形成在所述基板的所述顯示部分內(nèi)的多個像素區(qū)域中的每一個上；像素電極，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上；有機(jī)發(fā)光單元，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上，所述有機(jī)發(fā)光單元發(fā)射光；公共電極，其形成在所述有機(jī)發(fā)光單元和堤層(bank layer)上以將信號施加到有機(jī)發(fā)光層；以及第一鈍化層、有機(jī)絕緣層和第二鈍化層，其形成在所述外側(cè)部分和所述顯示部分上，其中，從所述外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域移除所述第一鈍化層和所述第二鈍化層，使得所述基板暴露于外部。
[0008]所述第一鈍化層和第二鈍化層可由無機(jī)材料制成，所述基板可以是由聚酰亞胺制成的柔性基板。
[0009]為了實現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)并且根據(jù)此說明書的目的，如本文具體實施并概括描述的，提供了一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟:提供具有多個面板區(qū)域的母基板；將具有顯示部分和外側(cè)部分的基板附著到所述母基板的各個面板區(qū)域上；形成所述基板的所述顯示部分的有機(jī)發(fā)光結(jié)構(gòu)；在所述外側(cè)部分的部分區(qū)域和所述基板的所述顯示部分上形成第一鈍化層；在所述第一鈍化層上形成有機(jī)層；在所述外側(cè)部分的部分區(qū)域和所述有機(jī)層上的所述顯示部分上形成第二鈍化層；通過在所述母基板的相鄰面板區(qū)域之間切割暴露于外部的所述母基板來將所述母基板分成多個面板區(qū)域；以及將所述母基板與所述基板分尚。
[0010]形成所述有機(jī)發(fā)光結(jié)構(gòu)的步驟可包括以下步驟:在各個像素上形成薄膜晶體管；在各個像素上形成第一電極；在所述第一電極上形成有機(jī)發(fā)光單元，該有機(jī)發(fā)光單元發(fā)射光；以及在所述有機(jī)發(fā)光單元上形成第二電極。
[0011]根據(jù)本公開，當(dāng)多個顯示面板形成在大規(guī)模的母基板上時，各種電極和發(fā)光層可以形成在柔性塑料基板上，而在相鄰顯示面板之間的區(qū)域上不形成鈍化層。這可防止在通過切割具有多個面板區(qū)域的母基板來分離各個有機(jī)發(fā)光顯示裝置時的切割工藝期間在鈍化層上生成裂縫。因此，可防止由于水分或異物沿著鈍化層上生成的裂縫滲入有機(jī)發(fā)光顯示裝置中而可能導(dǎo)致的有缺陷的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0012]本申請的進(jìn)一步適用范圍將從以下給出的詳細(xì)描述而變得更明顯。然而，應(yīng)該理解，盡管詳細(xì)描述和具體示例指示本公開的優(yōu)選實施方式，但是它們僅以示意性方式給出，因為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，本公開的精神和范圍內(nèi)的各種改變和修改將從所述詳細(xì)描述而變得明顯。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]附圖被包括以提供對本公開的進(jìn)一步理解，并被并入并構(gòu)成本說明書的一部分，附圖示出示例性實施方式，并與說明書一起用于說明本公開的原理。
[0014]附圖中:
[0015]圖1是根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示圖；
[0016]圖2是示出在母基板上形成多個面板區(qū)域的示圖；
[0017]圖3是示出當(dāng)在面板區(qū)域之間沉積鈍化層時在切割工藝期間在鈍化層上形成裂縫的示圖；以及
[0018]圖4A至圖4H是示出根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的示圖。
【具體實施方式】
[0019]現(xiàn)在將參照附圖詳細(xì)描述示例性實施方式。為了參照附圖簡要描述起見，將為相同或等同的組件提供相同的標(biāo)號，其描述將不再重復(fù)。
[0020]在根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，在大的母基板上形成多個顯示面板時，可以在柔性塑料基板上形成各種電極和發(fā)光層，而在相鄰顯示面板之間的區(qū)域上不形成鈍化層。這可防止在切割母基板的切割工藝期間在鈍化層上生成裂縫，從而可防止水分或異物通過裂縫滲入。
[0021]圖1是根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示圖。通常，有機(jī)發(fā)光顯示裝置可包括發(fā)射紅光、綠光和藍(lán)光的多個R、G和B像素。在附圖中，為了說明，示出了彼此相鄰的兩個面板的像素的最外側(cè)區(qū)域和外側(cè)部分。
[0022]參照圖1，根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置101可包括:顯示部分，其具有用于實現(xiàn)真實圖像的多個像素區(qū)域；以及焊盤部分(或外側(cè)部分)，其具有形成在顯示部分的外側(cè)的焊盤，以用于將外部信號傳送到顯示部分中。
[0023]驅(qū)動薄膜晶體管(TFT)可形成在由諸如塑料的柔性材料制成的基板110的顯示部分上。盡管未示出，但是驅(qū)動TFT可形成在R、G和B像素區(qū)域中的每一個上，并且包括形成在基板110上的緩沖層122、形成在緩沖層122上的R、G和B像素區(qū)域上的半導(dǎo)體層112、形成在具有半導(dǎo)體層112的整個基板110上的第一絕緣層123、形成在第一絕緣層123上的柵電極111、形成在整個基板110上以覆蓋柵電極111的第二絕緣層124以及通過穿過第一絕緣層123和第二絕緣層124形成的接觸孔與半導(dǎo)體層112接觸的源電極114和漏電極115。
[0024]緩沖層122可被實現(xiàn)為單個層或多個層。半導(dǎo)體層112可由諸如晶體硅或銦鎵鋅氧化物(IGZO)的透明氧化物半導(dǎo)體制成。半導(dǎo)體層112可包括在其中心區(qū)域上的溝道層以及在其兩側(cè)的摻雜層。源電極114和漏電極115可分別與摻雜層接觸。
[0025]柵電極111可由諸如Cr、Mo、Ta、Cu、T1、Al或Al合金的金屬制成。第一絕緣層123和第二絕緣層124可具有由諸如SiO2或SiNx的無機(jī)絕緣材料制成的單層或者由SiO2和SiNx制成的雙層。另外，源電極114和漏電極115可由Cr、Mo、Ta、Cu、T1、Al或Al合金制成。
[0026]在具有驅(qū)動TFT的基板110上可形成第三絕緣層126。第三絕緣層126可由諸如SiO2的無機(jī)絕緣材料制成。
[0027]盡管未示出，但是可在第三絕緣層126上形成用于使基板110平坦化的涂覆層(overcoat layer)。
[0028]另外，公共焊盤117可形成在位于焊盤部分或外側(cè)部分上的基板110的第二絕緣層124上。公共焊盤117可形成為將從外部施加的信號傳送到顯示部分內(nèi)的公共電極中。公共焊盤117可通過與驅(qū)動TFT的源電極114和漏電極115相同的工藝來形成。
[0029]盡管未示出，但是外側(cè)部分可設(shè)置有用于將掃描信號施加到驅(qū)動TFT的柵電極111的選通焊盤以及用于將信號施加到像素電極的數(shù)據(jù)焊盤。
[0030]可穿過驅(qū)動TFT的漏電極115 (其形成在顯示部分的各個像素區(qū)域上)上的第三絕緣層126形成第一接觸孔129a。因此，形成在第三絕緣層126上的像素電極120可通過第一接觸孔129a與驅(qū)動TFT的漏電極115電接觸。
[0031]也可穿過外側(cè)部分的公共焊盤117上的第三絕緣層126形成第二接觸孔129b，以將公共焊盤117暴露于外部。
[0032]堤層128可形成在顯示部分內(nèi)的第三絕緣層126上的相鄰像素區(qū)域之間的邊界上。堤層128可以是一種阻擋壁，其分隔各個像素區(qū)域以防止從相鄰像素區(qū)域輸出的特定顏色的光以混合狀態(tài)輸出。另外，堤層128可通過填充接觸孔129a的一部分來減少階躍部分。這可防止在形成有機(jī)發(fā)光單元期間由于過多階躍部分而出現(xiàn)有缺陷的有機(jī)發(fā)光單元。
[0033]堤層128可延伸到外側(cè)部分。這里，也可在位于外側(cè)部分的焊盤117上的堤層128上形成接觸孔。因此，焊盤117可通過堤層128暴露于外部。此外，堤層128的外端部分可與第三絕緣層126的端部位于幾乎同一線上，這可防止在第三絕緣層126與堤層128之間形成階躍部分。
[0034]像素電極120可形成在顯示部分上，金屬層121可形成在外側(cè)部分上。像素電極120可由諸如Ca、Ba、Mg、Al、Ag等的金屬制成，并連接到驅(qū)動TFT的漏電極115，以使得能夠接收從外部施加的圖像信號。類似于像素電極120，金屬層121可由諸如Ca、Ba、Mg、Al、Ag等的金屬制成。金屬層121可減小公共電極(將稍后形成)與公共焊盤117之間的接觸電阻，從而使得信號能夠沒有延遲地傳送到公共電極。
[0035]像素電極120和金屬層121可通過相同的工藝由相同的金屬形成。然而，它們也可通過不同的工藝由不同類型的金屬形成。
[0036]有機(jī)發(fā)光單元125可形成在堤層128上的像素電極120上。有機(jī)發(fā)光單元125可包括發(fā)射紅光的R有機(jī)發(fā)光層、發(fā)射綠光的G有機(jī)發(fā)光層和發(fā)射藍(lán)光的B有機(jī)發(fā)光層。盡管未示出，但是除了有機(jī)發(fā)光層之外，有機(jī)發(fā)光單元125還可包括形成在有機(jī)發(fā)光層上以分別用于將電子和空穴注入到有機(jī)發(fā)光層中的電子注入層和空穴注入層以及分別用于將所注入的電子和空穴傳輸?shù)接袡C(jī)發(fā)光層的電子傳輸層和空穴傳輸層。
[0037]另外，有機(jī)發(fā)光層可被實現(xiàn)為用于發(fā)射白光的白色有機(jī)發(fā)光層。這里，例如，在絕緣層124上的R、G和B子像素區(qū)域上的白色有機(jī)發(fā)光層下面可分別形成R、G和B濾色器層，以將從白色有機(jī)發(fā)光層發(fā)射的白光轉(zhuǎn)換為紅光、綠光和藍(lán)光?？赏ㄟ^將分別發(fā)射RGB單色光的多種有機(jī)材料混合，或者通過沉積分別發(fā)射RGB單色光的多個發(fā)光層，來形成白色有機(jī)發(fā)光層。
[0038]公共電極130可形成在顯示部分的有機(jī)發(fā)光單元125上。公共電極130可由諸如銦錫氧化物(ITO)或銦鋅氧化物(IZO)的透明金屬氧化物制成。
[0039]這里，公共電極130可為有機(jī)發(fā)光單元125的陽極，像素電極120可為有機(jī)發(fā)光單元125的陰極。當(dāng)電壓施加到公共電極130和像素區(qū)域120時，電子可從像素電極120注入到有機(jī)發(fā)光單元125中，空穴可從公共電極130注入到有機(jī)發(fā)光單元125中。然后，電子和空穴可在有機(jī)發(fā)光層中被激發(fā)，以產(chǎn)生激子。隨著激子衰減，可產(chǎn)生并向外發(fā)射(圖中朝著公共電極130的上側(cè))與發(fā)光層的最低未占分子軌道(LUMO)和最高已占分子軌道(HOMO)之間的能差對應(yīng)的光。
[0040]另外，公共電極130也可形成在外側(cè)部分的第二接觸孔129b上。外側(cè)部分的公共電極130可通過第二接觸孔129b內(nèi)的金屬層121連接到公共焊盤117，并且還連接到顯示部分的公共電極130，以使得外部信號能夠通過公共焊盤117施加到公共電極130。
[0041]第一鈍化層141可形成在外側(cè)部分和顯示部分的公共電極130上以及整個基板110上的堤層128上。第一鈍化層141可由諸如SiO2或SiNx的無機(jī)材料制成。
[0042]由諸如聚合物等的有機(jī)材料制成的有機(jī)層142可形成在第一鈍化層141上，由諸如SiO2或SiNx的無機(jī)材料制成的第二鈍化層144可形成在有機(jī)層142上。
[0043]粘合劑可涂覆在第二鈍化層144上以形成粘合層146，保護(hù)膜148可設(shè)置在粘合層146上。因此，保護(hù)膜148可憑借粘合層146而附著。
[0044]任何材料可用作粘合劑，只要它具有高粘附力、高耐熱性和高防水性。本公開通常可使用熱固性樹脂，例如環(huán)氧樹脂基化合物、丙烯酸酯基化合物或丙烯酸基橡膠。這里，粘合層146可涂覆大約5μm至1OOym的厚度，并在大約80°C至170°C的溫度下固化(硬化)。光固化樹脂也可用作所述粘合劑。在這種情況下，粘合層146可通過照射諸如紫外線的光來固化。
[0045]除了粘結(jié)基板110和保護(hù)膜148之外，粘合層147還可充當(dāng)密封構(gòu)件以用于防止水分滲入到有機(jī)發(fā)光顯示裝置中。因此，在本公開的詳細(xì)描述中，用標(biāo)號146表示粘合劑，但這僅是為了說明。粘合層也可稱作密封構(gòu)件。
[0046]保護(hù)膜148是用于密封(封裝)粘合層146的封裝蓋，其可被實現(xiàn)為聚苯乙烯(PS)膜、聚乙烯(PE)膜、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)膜、聚酰亞胺(PI)膜等。
[0047]偏振板149可附著到保護(hù)膜148上。偏振板149可通過允許從有機(jī)發(fā)光顯示裝置發(fā)射的光透過來提高圖像質(zhì)量，并防止外部入射光從其反射。
[0048]此外，在具有所述構(gòu)造的有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，驅(qū)動TFT、有機(jī)發(fā)光單元125、像素電極120、公共電極130、各種絕緣層和鈍化層可形成在顯示部分上，各種焊盤、絕緣層和鈍化層可形成在外側(cè)部分上。這里，在外側(cè)部分的邊緣區(qū)域，即，有機(jī)發(fā)光顯示裝置的最外側(cè)區(qū)域上可不形成任何絕緣層和鈍化層。這將在下文進(jìn)行說明。
[0049]參照圖2，可以按照母基板180為單位形成有機(jī)發(fā)光顯示裝置。即，如圖2所示，在通過各種工藝在母基板180上 形成驅(qū)動TFT、各種電極和各種絕緣層來形成多個顯示面板181之后，可通過諸如切割輪等切割工具將母基板180切割成單元顯示面板，從而完成有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造。
[0050]圖3是沿圖2的線Ι-I'截取的截面圖，其示出通過切割輪將母基板180切割成單元面板。這里，為了說明，圖中僅示出兩個相鄰顯示面板的外側(cè)部分，而沒有顯示部分。
[0051]參照圖3，在以母基板為單位制造時當(dāng)?shù)谝烩g化層141和第二鈍化層144形成在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的最外側(cè)區(qū)域上，即，相鄰顯示面板之間時，在利用切割輪184切割具有第一鈍化層141和第二鈍化層144的母基板180時，切割輪184可向下穿過第一鈍化層141和第二鈍化層144以及第一基板110甚至切到母基板180中。
[0052]因此，可能通過切割輪184在第一鈍化層141和第二鈍化層144中產(chǎn)生裂縫C。裂縫C甚至可沿著第一鈍化層141和第二鈍化層144 一直延伸到位于外側(cè)部分內(nèi)的有機(jī)層142。裂縫C可能成為水分和異物的滲入路徑。當(dāng)制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置時，這些水分和異物可能通過裂縫C滲入到有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，從而導(dǎo)致壽命縮短并且有機(jī)發(fā)光顯示裝置有缺陷。
[0053] 申請人:在溫度為85°C，濕度為85%的條件下進(jìn)行了多次切割以母基板為單位形成的4.3英寸有機(jī)發(fā)光顯示裝置的測試。從反復(fù)測試發(fā)現(xiàn)，通過切割制造的有機(jī)發(fā)光顯示裝置而在第一鈍化層141和第二鈍化層144上形成的裂縫C到達(dá)有機(jī)層142的概率大約為50%，從具有裂縫的所有有機(jī)發(fā)光顯示裝置均觀察到水分和異物的滲入。
[0054]因此，當(dāng)相鄰面板之間形成有第一鈍化層141和第二鈍化層144時，水分可能滲入大約50%的有機(jī)發(fā)光顯示裝置中。水分的滲入可能導(dǎo)致有機(jī)發(fā)光顯示裝置的可靠性方面的許多問題。[0055]另一方面，本公開可不在面板之間形成第一鈍化層141和第二鈍化層144。因此，在通過切割母基板來將有機(jī)發(fā)光顯示裝置分離成面板單元時可無需通過切割工具來切割第一鈍化層141和第二鈍化層144。因此，在第一鈍化層141和第二鈍化層144上不會形成任何裂縫，從而可防止水分通過裂縫滲入。
[0056]當(dāng) 申請人:在85°C的溫度和85%的濕度下進(jìn)行多次切割以母基板為單位形成的4.3英寸有機(jī)發(fā)光顯示裝置的測試時，在根據(jù)本公開制造的有機(jī)發(fā)光顯示裝置中沒有發(fā)現(xiàn)任何裂縫，沒有觀察到水分和異物的滲入。
[0057]圖4A至圖4H是示出根據(jù)本公開的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的示圖。
[0058]如圖4A所示，可利用粘合劑將由諸如聚酰亞胺(PI)的塑料材料制成的基板110附著到由玻璃等制成的大的母基板180上。這里，圖中僅示出兩個相鄰面板區(qū)域，但是母基板180可包括NXM (N，M≥2)個面板區(qū)域。因此，NXM個基板110可按照預(yù)設(shè)間隔附著。另外，面積基本上與母基板180相同的基板110可附著到母基板180上。
[0059]此后，可在基板110上形成由無機(jī)材料等制成的緩沖層122。這里，緩沖層122可被實現(xiàn)為單個層或多個層。此后，可通過化學(xué)氣相沉積(CVD)在整個基板110上沉積透明氧化物半導(dǎo)體或晶體硅，然后進(jìn)行蝕刻，從而在緩沖層122上形成半導(dǎo)體層112。這里，可通過沉積晶體硅，或者通過沉積非晶硅并通過諸如激光結(jié)晶等各種結(jié)晶方法使非晶硅結(jié)晶，來形成晶體硅層?？稍诰w硅層的兩個側(cè)面上摻雜η+或ρ+型雜質(zhì)，從而形成摻雜層。
[0060]此后，可通過CVD在半導(dǎo)體層112上沉積諸如SiO2或SiNx的無機(jī)絕緣材料以形成第一絕緣層123。可通過濺射工藝在第一絕緣層123上沉積具有高電導(dǎo)率的不透明金屬(例如，Cr、Mo、Ta、Cu、T1、Al或Al合金)，并通過光刻工藝進(jìn)行蝕刻，從而在顯示部分的各個像素區(qū)域上形成柵電極111。然后，可通過CVD在具有柵電極111的整個基板110上沉積無機(jī)絕緣材料，從而形成第二絕緣層124。
[0061]這里，也可在外側(cè)部分(除了外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域，即，與另一有機(jī)發(fā)光顯示面板相鄰并稍后將被切割的區(qū)域)上形成緩沖層122、第一絕緣層123和第二絕緣層124。
[0062]在通過蝕刻第一絕緣層123和第二絕緣層124形成使半導(dǎo)體層112暴露的接觸孔之后，可通過濺射工藝在整個基板Iio上沉積具有高電導(dǎo)率的不透明金屬(例如，Cr, Mo,Ta、Cu、T1、Al或Al合金)，然后進(jìn)行蝕刻，從而在顯示部分上形成通過接觸孔電連接到半導(dǎo)體層112的源電極114和漏電極115，并且在外側(cè)部分上形成焊盤117。
[0063]如圖4B所示，可在具有源電極114和漏電極115以及焊盤117的整個基板110上沉積無機(jī)絕緣材料，以形成第三絕緣層126?？蓪Φ谌^緣層126進(jìn)行部分蝕刻，以分別在顯示部分和外側(cè)部分上形成第一接觸孔129a和第二接觸孔129b (參見圖4D)。這里，可通過沉積SiO2來形成第三絕緣層126。因此，漏電極115可通過第一接觸孔129a暴露于外部，焊盤117可通過第二接觸孔12%暴露于外部。在外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域，即，與另一有機(jī)發(fā)光顯示面板相鄰并稍后將被切割的區(qū)域上可不形成第三絕緣層126。
[0064]此后，可在整個基板110上沉積諸如Ca、Ba、Mg、Al或Ag的金屬，然后進(jìn)行蝕刻，從而在顯示部分上形成通過第一接觸孔129a連接到驅(qū)動TFT的漏電極115的像素電極120，并且在外側(cè)部分上形成金屬層121。
[0065]如圖4C所示，可沿著顯示部分和外側(cè)部分形成堤層128。顯示部分內(nèi)的堤層128可分隔各個像素區(qū)域以防止從相鄰像素區(qū)域輸出的特定顏色的光以混合狀態(tài)輸出，并通過填充第一接觸孔129a的一部分來減小階躍部分。這里，可通過沉積并蝕刻有機(jī)絕緣材料，或者通過經(jīng)由CVD沉積無機(jī)絕緣材料并蝕刻所述材料，來形成堤層128。
[0066]如圖4D所示，可通過濺射工藝在堤層128和位于堤層128處的有機(jī)發(fā)光單元125上沉積諸如ITO或IZO的透明導(dǎo)電材料，然后進(jìn)行蝕刻，以形成公共電極121。這里，公共電極121可通過第二接觸孔12%經(jīng)由金屬層121連接到焊盤117，以使得信號能夠施加到顯示部分內(nèi)的焊盤117。然后，可在公共電極121和堤層128上沉積無機(jī)材料，以形成第一鈍化層141。
[0067]這里，第一鈍化層141可覆蓋外側(cè)部分的絕緣層122和123，并且第一鈍化層141的一部分可進(jìn)一步延伸以直接設(shè)置在基板110上。然而，在與另一有機(jī)發(fā)光顯示面板相鄰并稍后將被切割的區(qū)域上可不形成第一鈍化層141。
[0068]此后，如圖4E所示，可在第一鈍化層141上沉積諸如聚合物等的有機(jī)材料，以形成有機(jī)層142。這里，可通過絲網(wǎng)印刷來形成有機(jī)層142。即，盡管未示出，但是在將絲網(wǎng)置于基板110上并且在絲網(wǎng)上沉積聚合物之后，可通過刮粉刀(doctor blade)或輥向聚合物上施壓，從而形成有機(jī)層142。
[0069]有機(jī)層142可為大約8 μ m至10 μ m厚，并且延伸直至外側(cè)部分的預(yù)設(shè)區(qū)域，以完全覆蓋堤層128?；蛘撸袡C(jī)層142可僅覆蓋外側(cè)部分的堤層128的一部分，或者僅覆蓋直至堤層128的端部。
[0070]此后，可在有機(jī)層142上沉積諸如SiO2或SiNx的無機(jī)材料，從而在有機(jī)層142上形成第二鈍化層144。這里，第二鈍化層144可延伸直至第一鈍化層142的端部，但可不形成在與另一有機(jī)發(fā)光顯示面板相鄰并稍后將被切割的區(qū)域上。
[0071]如圖4F所示，可通過將粘合劑沉積到第二鈍化層144上來形成粘合層146。可將保護(hù)膜148置于粘合層146上并按壓，以粘附保護(hù)膜148。這里，熱固性樹脂或光固化樹脂可用作所述粘合劑。對于使用熱固性樹脂，可在粘附保護(hù)膜148之后施加熱。對于使用光固化樹脂，可粘附保護(hù)膜148并可照射光以使粘合層146固化。
[0072]此后，可將偏振板149附著到保護(hù)膜148上，從而在母基板180上制造NXM個有機(jī)發(fā)光電極顯示面板。
[0073]這里，如圖所示，由于在形成在母基板180上的有機(jī)發(fā)光面板之間的邊界區(qū)域上根本不形成絕緣層和鈍化層，所以可產(chǎn)生基板110暴露于外部的區(qū)域P。當(dāng)面積與顯示面板相似的諸如聚酰亞胺的塑料基板110附著到母基板180上，并且在各個基板110上形成結(jié)構(gòu)時，在相鄰面板之間可不設(shè)置塑料基板。因此，母基板180的玻璃可通過暴露區(qū)域P直接暴露。
[0074]此后，如圖4G所示，可將切割輪184對準(zhǔn)在相鄰面板之間的暴露區(qū)域P上。然后，可驅(qū)動切割輪184以切割母基板180和基板110，以將母基板180分成多個單元面板。這里，由于在暴露區(qū)域P上沒有形成任何鈍化層142和144，所以不會導(dǎo)致鈍化層142和144的切割。這可防止在切割工藝期間在鈍化層142和144上產(chǎn)生裂縫。
[0075]圖中僅示出使用切割輪來切割母基板180。然而,本公開也可使用激光器,例如YAG激光器或CO2激光器，而不限于機(jī)械切割輪。
[0076]如圖4H所示，可通過在從母基板180到各個分離的有機(jī)發(fā)光顯示面板的方向上照射激光束或者通過將熱施加到顯示面板上來將基板110與母基板180分離，從而完成柔性有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造。
[0077]如所述，可從柔性有機(jī)發(fā)光顯示裝置的外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域移除鈍化層。這可防止在通過切割母基板來分離多個有機(jī)發(fā)光顯示裝置時通過切割工具切割任何鈍化層。這可防止由于切割而在鈍化層上生成裂縫，從而防止水分或異物通過裂縫滲入。
[0078]此外，詳細(xì)描述示出了具有特定結(jié)構(gòu)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，但是本公開可不限于此。例如，上述有機(jī)發(fā)光顯示裝置僅具有向上(即，穿過保護(hù)膜)發(fā)射光的結(jié)構(gòu)。然而，本公開可不限于這種結(jié)構(gòu)，而是可應(yīng)用于向下(即，穿過基板)發(fā)射光的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，透明導(dǎo)電材料可用作像素電極，不透明金屬可用作公共電極。
[0079]另外，詳細(xì)描述僅示出了具有頂柵(top gate)結(jié)構(gòu)的驅(qū)動TFT，但是本公開也可應(yīng)用于底柵(bottom gate)結(jié)構(gòu)以及其它各種結(jié)構(gòu)的TFT。
[0080]換言之，詳細(xì)描述示出了驅(qū)動TFT、電極和有機(jī)發(fā)光單元的特定結(jié)構(gòu)，但是本公開也可應(yīng)用于不同結(jié)構(gòu)，而不限于那些特定結(jié)構(gòu)。即，只要在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的最外側(cè)區(qū)域上未形成鈍化層從而暴露基板，當(dāng)前公知的驅(qū)動TFT、電極和有機(jī)發(fā)光單元的結(jié)構(gòu)均可應(yīng)用。
[0081]上述實施方式和優(yōu)點(diǎn)僅是示例性的，不應(yīng)解釋為限制本公開。本教導(dǎo)可容易地應(yīng)用于其它類型的設(shè)備。此描述旨在為示意性的，而非限制權(quán)利要求的范圍。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，許多另選例、修改例和變化例將是明顯的。本文所述的示例性實施方式的特征、結(jié)構(gòu)、方法和其它特性可以按照各種方式組合以獲得另外和/或另選的示例性實施方式。
[0082]由于在不脫離其特性的情況下，當(dāng)前特征可以按照多種形式實施，所以還應(yīng)該理解，除非另外指明，否則上述實施方式不受上面的描述的任何細(xì)節(jié)的限制，而是相反，應(yīng)該在由所附權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)廣義地解釋，因此，所附權(quán)利要求旨在涵蓋落入權(quán)利要求的范圍和界限或這些范圍和界限的等同物內(nèi)的所有改變和修改。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括: 基板，其具有外側(cè)部分和顯示部分； 驅(qū)動薄膜晶體管，其形成在所述基板的所述顯示部分內(nèi)的多個像素區(qū)域中的每一個上； 像素電極，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上； 有機(jī)發(fā)光單元，其形成在所述顯示部分的各個像素區(qū)域上，該有機(jī)發(fā)光單元發(fā)射光； 公共電極，其形成在所述有機(jī)發(fā)光單元上，以將信號施加到有機(jī)發(fā)光層；以及第一鈍化層、有機(jī)絕緣層和第二鈍化層，所述第一鈍化層、有機(jī)絕緣層和第二鈍化層形成在所述外側(cè)部分和所述顯示部分上， 其中，從所述外側(cè)部分的最外側(cè)區(qū)域移除所述第一鈍化層和所述第二鈍化層，使得所述基板暴露于外部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述第一鈍化層和所述第二鈍化層是由無機(jī)材料制成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置還包括堤層，該堤層形成在所述顯示部分的相鄰的有機(jī)發(fā)光單元之間以及所述外側(cè)部分上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述基板是柔性基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述柔性基板是由聚酰亞胺制成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置還包括: 粘合層，其形成在所述第二鈍化層上；以及 保護(hù)膜，其通過所述粘合層附著到所述第二鈍化層上。
7.—種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟: 提供具有多個面板區(qū)域的母基板； 將基板附著到所述母基板的各個面板區(qū)域上，所述基板具有顯示部分和外側(cè)部分； 形成所述基板的所述顯示部分的有機(jī)發(fā)光結(jié)構(gòu)； 在所述基板的所述外側(cè)部分的部分區(qū)域和所述顯示部分上形成第一鈍化層； 在所述第一鈍化層上形成有機(jī)層； 在所述外側(cè)部分的部分區(qū)域和所述有機(jī)層上的所述顯示部分上形成第二鈍化層；通過在所述母基板的相鄰面板區(qū)域之間切割暴露于外部的所述母基板來將所述母基板分成多個面板區(qū)域；以及 將所述母基板與所述基板分離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，形成所述有機(jī)發(fā)光結(jié)構(gòu)的步驟包括以下步驟: 在各個像素上形成薄膜晶體管； 在各個像素上形成第一電極； 在所述第一電極上形成有機(jī)發(fā)光單元，該有機(jī)發(fā)光單元發(fā)射光；以及 在所述有機(jī)發(fā)光單元上形成第二電極。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述基板是柔性基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，切割所述母基板的步驟包括以下步驟:利用切割輪來切割所述母基板。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，切割所述母基板的步驟包括以下步驟:通過照射激光束來切割所述母基板。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述母基板與所述基板分離的步驟包括以下步驟:從所述母基板的后表面照射激光束。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所`述的方法，其中，所述母基板是玻璃基板。
【文檔編號】H01L27/32GK103794628SQ201310519853
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月31日
【發(fā)明者】權(quán)峻瑩, 金圣勛, 金美笑 申請人:樂金顯示有限公司