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      一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件及其制作工藝的制作方法

      文檔序號:7009908閱讀:144來源:國知局
      一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件及其制作工藝的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件及其制作工藝,所述封裝件主要由引線框架、粘片膠、芯片、鍵合線和塑封體組成;所述引線框架和芯片通過粘片膠連接,鍵合線從芯片連接到引線框架上,塑封體包圍了引線框架、粘片膠、芯片和鍵合線,芯片、鍵合線和引線框架構(gòu)成了電路的電源和信號通道;所述封裝件應(yīng)用于寬度在0.10mm-0.18mm的引線框架引腳。所述制作工藝如下:框架縮小引腳→晶圓減薄→劃片→上芯(粘片)→壓焊→塑封→后固化→切割→檢驗(yàn)→包裝→入庫。本發(fā)明使得集成電路框架與塑封體結(jié)合更加牢固,不受外界環(huán)境影響,在切割工序中能有效避免產(chǎn)品毛刺,進(jìn)一步提高產(chǎn)品可靠性。
      【專利說明】一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件及其制作工
      -H-
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明屬于集成電路封裝【技術(shù)領(lǐng)域】,具體是一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件及其制作工藝。
      【背景技術(shù)】
      [0002]QFN (四面扁平無引腳封裝)及DFN (雙扁平無引腳封裝)封裝是在近幾年隨著通訊及便攜式小型數(shù)碼電子產(chǎn)品的產(chǎn)生(數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)、PC、MP3)而發(fā)展起來的、適用于高頻、寬帶、低噪聲、高導(dǎo)熱、小體積,高速度等電性要求的中小規(guī)模集成電路的封裝。我們知道QFN/DFN封裝有效地利用了引線腳的封裝空間,從而大幅度地提高了封裝效率。但目前大部分半導(dǎo)體封裝廠商QFN/DFN的制造過程中都面臨一些工藝?yán)Щ螅蚴乾F(xiàn)有QFN/DFN工藝的塑封工序中,由于框架結(jié)構(gòu)的局限性,使用的臺階狀引線框架的防缺陷(分層)工藝措施也并非完全有效,導(dǎo)致QFN/DFN封裝存在以下不足:
      QFN、DFN系列扁平封裝件在切割過程中會有毛刺的風(fēng)險(xiǎn),降低產(chǎn)品封裝可靠性。框架與塑封料結(jié)合方面也容易引起分層,造成產(chǎn)品的不良。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本發(fā)明的目的是提供一種基于框架引腳優(yōu)化設(shè)計(jì)的扁平封裝件制作工藝,集成電路框架與塑封體結(jié)合更加牢固,不受外界環(huán)境影響,在切割工序中能有效避免廣品毛刺,進(jìn)一步提聞廣品可罪性。
      一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件,所述封裝件主要由引線框架、粘片膠、芯片、鍵合線和塑封體組成;所述引線框架和芯片通過粘片膠鏈接,鍵合線從芯片連接到引線框架上,塑封體包圍了引線框架、粘片膠、芯片和鍵合線,芯片、鍵合線和引線框架構(gòu)成了電路的電源和信號通道;所述封裝件應(yīng)用于寬度在0.1Omm-0.18mm的引線框架引腳。
      一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件的制作工藝流程如下:框架縮小引腳一晶圓減薄一劃片一上芯(粘片)一壓焊一塑封一后固化一切割一檢驗(yàn)一包裝一入庫。
      本發(fā)明采用一種基于框架引腳優(yōu)化設(shè)計(jì)的扁平封裝件制作工藝,在框架的引腳部分接近產(chǎn)品邊緣的部分設(shè)計(jì)較窄常規(guī)引腳寬度稍短的寬度,使用此法產(chǎn)品在切割過程中會降低引腳與切割刀的摩擦,能降低毛刺發(fā)生的可能性,更能有效減少產(chǎn)品分層,保證了產(chǎn)品的封裝良率,同時(shí)此種設(shè)計(jì)在塑封后固化之后能更緊密地跟塑封料結(jié)合,提高產(chǎn)品可靠性,再一次保證了產(chǎn)品的封裝良率。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0004]圖1為常規(guī)寬度為0.20mm-0.30mm的框架引腳設(shè)計(jì)俯視圖;
      圖2縮小寬度為0.1Omm-0.18mm的框架引腳設(shè)計(jì)俯視圖;
      圖3為引線框架剖面圖; 圖4為廣品上芯后首I]面圖;
      圖5為產(chǎn)品壓焊后剖面圖;
      圖6為產(chǎn)品塑封后剖面圖。
      圖中,I為引線框架,2為粘片膠,3為芯片,4為鍵合線,5為塑封體。
      【具體實(shí)施方式】
      [0005]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。
      如圖6所示,一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件,所述封裝件主要由引線框架1、粘片膠2、芯片3、鍵合線4和塑封體5組成;所述引線框架I和芯片3通過粘片膠2鏈接,鍵合線4從芯片3連接到引線框架I上,塑封體5包圍了引線框架1、粘片膠2、芯片3和鍵合線4,芯片3、鍵合線4和引線框架I構(gòu)成了電路的電源和信號通道;所述封裝件應(yīng)用于寬度在0.1Omm-0.18mm的引線框架引腳。
      一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件的制作工藝流程如下:框架縮小引腳一晶圓減薄一劃片一上芯(粘片)一壓焊一塑封一后固化一切割一檢驗(yàn)一包裝一入庫。
      如圖1到圖6所示,一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件的制作工藝,具體按照如下步驟進(jìn)行:
      (1)、常規(guī)引線框架引腳長度為0.20mm-0.30mm,縮小到長度為0.1Omm-0.18mm ;
      (2)、減薄:減薄厚度50μ m?200 μ m,粗糙度Ra 0.1Omm?0.05mm ;
      (3)、劃片:150μπι以上晶圓同普通QFN/dfn劃片工藝,但厚度在150μπι以下晶圓,使用雙刀劃片機(jī)及其工藝;
      (4)、上芯(粘片):既可采用粘片膠又可采用膠膜片(DAF)上芯;
      (5)、壓焊:壓焊同常規(guī)QFN/DFN工藝相同;
      (6)、塑封:同常規(guī)QFN/DFN工藝相同;
      傳統(tǒng)沖壓框架在塑封工序塑封料填充后,由于框架本身平整光滑,塑封料與框架之間的結(jié)合度低,極易出現(xiàn)分層的情況,封裝件可靠性得不到保證。本發(fā)明采用的不同于以往的沖壓框架,縮小引腳的寬度,在塑封時(shí)更能和塑封料緊密結(jié)合,提高產(chǎn)品封裝良率,保證產(chǎn)品可靠性。
      (7)、后固化、磨膠、錫化、打印與常規(guī)QFN/DFN工藝相同;
      (8)、切割與常規(guī)QFN/DFN工藝相同;
      此發(fā)明采用的優(yōu)化引腳的設(shè)計(jì),在產(chǎn)品切割的工序能有效減少產(chǎn)品引腳的受力面積,在切割后能有效避免毛刺,更能有效減少分層,進(jìn)一步保證了產(chǎn)品的封裝良率。
      (9)、檢驗(yàn)、包裝等均與常規(guī)QFN/DFN工藝相同。
      【權(quán)利要求】
      1.一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件,其特征在于:所述封裝件主要由引線框架(I)、粘片膠(2)、芯片(3)、鍵合線(4)和塑封體(5)組成;所述引線框架(I)和芯片(3)通過粘片膠(2)連接,鍵合線(4)從芯片(3)連接到引線框架(I)上,塑封體(5)包圍了引線框架(I)、粘片膠(2)、芯片(3)和鍵合線(4),芯片(3)、鍵合線(4)和引線框架(I)構(gòu)成了電路的電源和信號通道;所述封裝件應(yīng)用于寬度在0.1Omm-0.18mm的引線框架引腳。
      2.一種基于框架采用引腳優(yōu)化技術(shù)的扁平封裝件的制作工藝,其特征在于:具體按照如下步驟進(jìn)行:(1)、常規(guī)引線框架引腳長度為0.20mm-0.30mm,縮小到長度為0.1Omm-0.18mm ; (2)、減薄:減薄厚度50μ m?200 μ m,粗糙度Ra 0.1Omm?0.05mm ; (3)、劃片:150μπι以上晶圓同普通QFN/dfn劃片工藝,但厚度在150μπι以下晶圓,使用雙刀劃片機(jī)及其工藝; (4)、上芯(粘片):既可采用粘片膠又可采用膠膜片(DAF)上芯; (5)、壓焊:壓焊同常規(guī)QFN/DFN工藝相同; (6)、塑封:同常規(guī)QFN/DFN工藝相同; (7)、后固化、磨膠、錫化、打印與常規(guī)QFN/DFN工藝相同; (8)、切割與常規(guī)QFN/DFN工藝相同; (9)、檢驗(yàn)、包裝等均與常規(guī)QFN/DFN工藝相同。
      【文檔編號】H01L23/495GK103681578SQ201310528002
      【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月31日
      【發(fā)明者】李萬霞, 魏海東, 鐘環(huán)清, 李站, 石宏鈺, 崔夢 申請人:華天科技(西安)有限公司
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