晶圓的加工方法及通過(guò)該晶圓的加工方法得到的晶圓的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供晶圓的加工方法及通過(guò)該晶圓的加工方法得到的晶圓，該晶圓的加工方法在進(jìn)行任意適當(dāng)?shù)募庸すば蚯鞍ㄈ軇┣逑垂ば?，在該加工工序中，可適當(dāng)?shù)乇３志A，并防止粘合片剝離后的殘膠。本發(fā)明的晶圓的加工方法包括：粘合片粘貼工序，在具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材的晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓；輻射線(xiàn)照射工序，對(duì)該晶圓加工用粘合片的粘合劑層照射輻射線(xiàn)；清洗工序，用溶劑清洗該晶圓；以及加工工序，加工該晶圓。本發(fā)明的晶圓的加工方法中，在該清洗工序前進(jìn)行該輻射線(xiàn)照射工序。
【專(zhuān)利說(shuō)明】晶圓的加工方法及通過(guò)該晶圓的加工方法得到的晶圓【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及晶圓的加工方法及通過(guò)該晶圓的加工方法得到的晶圓。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓的加工工序中，為了在加工中適當(dāng)?shù)乇３志A而使用粘合片。晶圓的加工工序中，為了進(jìn)行粘附于晶圓的異物的去除和/或晶圓的保護(hù)膜的剝離等，在進(jìn)行任意適當(dāng)?shù)募庸すば蚯?，有時(shí)進(jìn)行清洗粘貼于粘合片的晶圓的工序(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。該清洗工序中，由于用于清洗的溶劑，粘合片的粘合劑層溶解或溶脹，有時(shí)無(wú)法適當(dāng)?shù)乇３志A自身、用于晶圓加工的晶圓加工用環(huán)。另外，在加工工序后剝尚粘合片時(shí)，有時(shí)晶圓廣生殘I父。為了解決這種問(wèn)題，例如提出了具備耐溶劑性和耐水性?xún)?yōu)異的粘合劑層的粘合片(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2008-41987號(hào)公報(bào)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2004-214521號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_7] 發(fā)明要解決的問(wèn) 題
[0008]本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有問(wèn)題而做出的，其目的在于，提供一種晶圓的加工方法，該晶圓的加工方法在進(jìn)行任意適當(dāng)?shù)木A的加工工序前包括溶劑清洗工序，在該加工工序中，可適當(dāng)?shù)乇３志A，并防止粘合片剝離后的殘膠。
_9] 用于解決問(wèn)題的方案
[0010]本發(fā)明的晶圓的加工方法包括:粘合片粘貼工序，在具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材的晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓；輻射線(xiàn)照射工序，對(duì)該晶圓加工用粘合片的粘合劑層照射輻射線(xiàn)；清洗工序，用溶劑清洗該晶圓和加工用粘合片；以及加工工序，加工該晶圓。本發(fā)明的晶圓加工方法中，在該清洗工序前進(jìn)行該輻射線(xiàn)照射工序。
[0011]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在上述輻射線(xiàn)照射工序中，從上述粘合片的粘合劑層側(cè)照射該輻射線(xiàn)。
[0012]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在上述粘合片粘貼工序中，上述粘合片為粘貼到晶圓加工用環(huán)上的粘合片。
[0013]在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在上述輻射線(xiàn)照射工序中，僅對(duì)上述粘合劑層的不與晶圓和/或晶圓加工用環(huán)接觸的部分照射該輻射線(xiàn)。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種晶圓。該晶圓是通過(guò)上述晶圓的加工方法得到的。
[0015]發(fā)明的效果
[0016]根據(jù)本發(fā)明的加工方法，即使在任意適當(dāng)?shù)募庸すば蚯鞍ㄈ軇┣逑垂ば驎r(shí)，在該加工工序中也能夠適當(dāng)?shù)乇３志A。因此，可以將經(jīng)過(guò)溶劑清洗工序后的粘合片直接用于切割等加工工序。進(jìn)而，加工后剝離粘合片時(shí)，能夠防止在晶圓上產(chǎn)生殘膠。因此，可以更加效果良好地進(jìn)行質(zhì)量高的晶圓的加工。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為由本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的得到的粘合片的截面示意圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0019]10粘合劑層
[0020]20基材層
[0021]100粘合片
【具體實(shí)施方式】
[0022]本發(fā)明的晶圓的加工方法包括:粘合片粘貼工序，在具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材的晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓；輻射線(xiàn)照射工序，對(duì)該晶圓加工用粘合片的粘合劑層照射輻射線(xiàn)；清洗工序，用溶劑清洗該晶圓和加工用粘合片；以及加工工序，加工該晶圓。本發(fā)明的晶圓加工方法中，在該清洗工序前進(jìn)行該輻射線(xiàn)照射工序。
[0023]<A.在晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓的工序〉
[0024]本發(fā)明的晶 圓的加工方法包括在晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓的工序。該晶圓加工用粘合片具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材。在該工序中，晶圓加工用粘合片優(yōu)選在向晶圓粘貼前被粘貼到晶圓加工用環(huán)上。通過(guò)在與晶圓粘貼前在上述晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓加工用環(huán)，在晶圓加工工序中能夠適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)晶圓。另外，也可以將晶圓和晶圓加工用環(huán)同時(shí)粘貼到晶圓加工用粘合片上。
[0025]該晶圓加工用粘合片與晶圓的粘貼工序可以通過(guò)任意適當(dāng)?shù)氖侄芜M(jìn)行。例如，可以使用任意適當(dāng)?shù)恼迟N裝置，將晶圓加工用粘合片與晶圓貼合。
[0026]〈A-1.晶圓加工用粘合片〉
[0027]上述晶圓加工用粘合片具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材。圖1為由本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式得到的粘合片的截面示意圖。本發(fā)明的粘合片100具備基材10和粘合劑層20。上述粘合片還可以進(jìn)一步具備任意適當(dāng)?shù)钠渌鼘?。作為上述任意的其它層，可列舉出抗靜電層、背面輕剝離化處理層、減摩層、易粘接處理層等。另外，在上述基材與粘合劑層之間還可以具備中間層、或底漆層等。
[0028]上述粘合片的厚度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。例如，上述粘合片的厚度?5μηι~2000μηι。上述基材的厚度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹怠＠?，上述基材的厚度為ΙΟμπι~500μηι。上述粘合劑層的厚度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。例如，上述粘合劑層的厚度為I P m~500 μ m。
[0029]〈A-l-1.粘合劑層 >
[0030]上述粘合劑層可以通過(guò)使用任意適當(dāng)?shù)恼澈蟿┙M合物而形成。該粘合劑組合物包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑層。該粘合劑層優(yōu)選包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑、光聚合引發(fā)劑、和交聯(lián)劑。
[0031]〈A-1-1-1.粘合劑〉[0032]作為上述輻射線(xiàn)固化型粘合劑，可以使用可利用輻射線(xiàn)的照射進(jìn)行固化的任意適當(dāng)?shù)恼澈蟿Ｗ鳛檩椛渚€(xiàn)固化型粘合劑，例如，可列舉出:包含在丙烯酸類(lèi)聚合物的側(cè)鏈、主鏈中、或者至少一個(gè)主鏈末端具有輻射線(xiàn)固化性的官能團(tuán)的聚合物作為基礎(chǔ)聚合物的粘合齊?、以及在丙烯酸類(lèi)粘合劑、橡膠系粘合劑、有機(jī)硅系粘合劑、聚乙烯基醚系粘合劑等任意適當(dāng)?shù)恼澈蟿┲刑砑虞椛渚€(xiàn)固化性的單體成分和/或輻射線(xiàn)固化性的低聚物成分而成的組合物。另外，也可以在上述包含具有輻射線(xiàn)固化性的官能團(tuán)的基礎(chǔ)聚合物的粘合劑中添加可利用輻射線(xiàn)照射進(jìn)行固化的單體成分、低聚物成分來(lái)使用。
[0033]作為上述丙烯酸類(lèi)聚合物，可以使用任意適當(dāng)?shù)谋┧犷?lèi)聚合物。例如，作為上述丙烯酸類(lèi)聚合物，可列舉出包含丙烯酸酯作為主單體成分的聚合物。作為上述丙烯酸酯，例如可列舉出甲酯、乙酯、丙酯、異丙酯、丁酯、異丁酯、仲丁酯、叔丁酯、戊酯、異戊酯、己酯、庚酯、辛酯、2-乙基己酯、異辛酯、壬酯、癸酯、異癸酯、十一烷基酯、十二烷基酯、十三烷基酯、十四烷基酯、十六烷基酯、十八烷基酯、二十烷基酯等包含碳數(shù)I~30的直鏈狀或支鏈狀的烷基的丙烯酸烷基酯；環(huán)戊酯、環(huán)己酯等丙烯酸環(huán)烷基酯等。這些單體可以?xún)H使用一種，也可以組合兩種以上來(lái)使用。
[0034]上述丙烯酸類(lèi)聚合物也可以包含可與上述丙烯酸酯共聚的含羥基單體作為單體成分。作為含羥基單體，例如可列舉出(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯、(甲基)丙烯酸6-羥己酯、(甲基)丙烯酸8-羥辛酯、(甲基)丙烯酸10-羥癸酯、(甲基)丙烯酸12-羥基月桂酯、(甲基)丙烯酸(4-羥基甲基環(huán)己基)甲酯等。上述含羥基單體可以?xún)H使用一種，也可以組合兩種以上來(lái)使用。
[0035]另外，上述粘合劑組合物還可以進(jìn)一步包含分子內(nèi)具有輻射線(xiàn)固化性的官能團(tuán)的異氰酸酯系化合物。作為該異氰酸酯化合物，例如，可以列舉出:甲基丙烯?；惽杷狨?、2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、間異丙烯基-α，α-二甲基芐基異氰1酸酷等。
[0036]上述丙烯酸類(lèi)聚合物可以將單體成分通過(guò)任意適當(dāng)?shù)木酆戏椒ň酆隙玫健Ｗ鳛樵撝睾戏椒ǎ缈闪信e出溶液聚合、乳液聚合、本體聚合、懸浮聚合等。
[0037]作為上述輻射線(xiàn)固化性的單體成分、低聚物成分，可以使用任意適當(dāng)?shù)幕衔?。例如可列舉出上述異氰酸酯系化合物、氨基甲酸酯低聚物、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1，4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
[0038]〈Α-1-1-2.光聚合引發(fā)劑〉
[0039]上述粘合劑組合物優(yōu)選還包含光聚合引發(fā)劑。上述粘合劑組合物通過(guò)包含光聚合引發(fā)劑，使用紫外線(xiàn)作為輻射線(xiàn)時(shí)，可以使粘合劑層更快速地固化。
[0040]作為光聚合引發(fā)劑，可以使用任意適當(dāng)?shù)囊l(fā)劑。作為光聚合引發(fā)劑，例如可列舉出4-(2-羥基乙氧基)苯基(2-羥基-2-丙基)酮、α-羥基-α，α 二甲基苯乙酮、2-甲基-2-羥基苯丙酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮等α -酮醇系化合物；甲氧基苯乙酮、2，2- 二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2- 二乙氧基苯乙酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)-苯基]-2-嗎啉代丙烷-1等苯乙酮系化合物；苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、茴香偶姻甲醚等苯偶姻醚系化合物；芐基二甲基縮酮等縮酮系化合物；2_萘磺酰氯等芳香族磺酰氯系化合物；1-苯酮-1，1-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基)肟等光活性肟系化合物；二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、3，3’ - 二甲基-4-甲氧基二苯甲酮等二苯甲酮系化合物；噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2，4-二甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4- 二氯噻噸酮、2，4- 二乙基噻噸酮、2，4- 二異丙基噻噸酮等噻噸酮系化合物；樟腦醌；鹵代酮；?；趸?；?；⑺狨サ?。光聚合引發(fā)劑的用量相對(duì)于構(gòu)成粘合劑的基礎(chǔ)聚合物100重量份，例如為0.05?20重量份。
[0041]作為上述光聚合引發(fā)劑，也可以使用市售品。例如可列舉出BASF公司制造的商品名 “IRGACURE651”、“IRGACURE184 ”、“IRGACURE369 ”、“IRGACURE819 ”、“IRGACURE2959 ” 等。
[0042]〈A-1-1-3.交聯(lián)劑 >
[0043]上述粘合劑組合物優(yōu)選還包含交聯(lián)劑。作為上述交聯(lián)劑，可以使用任意適當(dāng)?shù)慕宦?lián)劑。例如，可以列舉出:異氰酸酯系交聯(lián)劑、環(huán)氧系交聯(lián)劑、三聚氰胺系交聯(lián)劑、過(guò)氧化物系交聯(lián)劑、尿素系交聯(lián)劑、金屬醇鹽系交聯(lián)劑、金屬螯合物系交聯(lián)劑、金屬鹽系交聯(lián)劑、碳二亞胺系交聯(lián)劑、噁唑啉系交聯(lián)劑、氮丙啶系交聯(lián)劑、胺系交聯(lián)劑等。交聯(lián)劑可以?xún)H使用一種，也可以組合兩種以上來(lái)使用。需要說(shuō)明的是，交聯(lián)劑的用量可以根據(jù)使用用途設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。交?lián)劑的用量例如相對(duì)于100重量份基礎(chǔ)聚合物，為20重量份以下。
[0044]作為上述交聯(lián)劑，也可以使用市售的交聯(lián)劑。具體而言，可列舉出Asahi KaseiChemicals Corporation.制造的商品名“DURANATE TPA-100”、日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造的商品名 “ CORONATE L”、商品名 “ C0R0NATEHL ”、商品名 “ CORONATE HK”、商品名 “ C0R0NATEHX ”、商品名 “ C0R0NATE2096 ” 等。
[0045]〈A-1-1-4.添加劑 >
[0046]上述粘合劑組合物還可以包含任意適當(dāng)?shù)奶砑觿?。作為上述添加劑，例如可列舉出增粘劑、防老劑、填充劑、著色劑、抗靜電劑、增塑劑、表面活性劑等。上述添加劑可以單獨(dú)使用，也可以組合兩種以上來(lái)使用。使用兩種以上的添加劑時(shí)，可以每種逐一添加，也可以同時(shí)添加兩種以上的添加劑。上述添加劑的配混量可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)牧俊?br> [0047]〈A-1-2.基材 >
[0048]作為基材，可以使用任意適當(dāng)?shù)幕?。上述基材?yōu)選為塑料薄膜。作為塑料薄膜的構(gòu)成材料，例如可列舉出低密度聚乙烯、直鏈狀聚乙烯、中密度聚乙烯、高密度聚乙烯、超低密度聚乙烯、無(wú)規(guī)共聚聚丙烯、嵌段共聚聚丙烯、均聚聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等聚烯烴、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、離聚物樹(shù)脂、乙烯_(甲基)丙烯酸共聚物、乙烯_(甲基)丙烯酸酯(無(wú)規(guī)、交替)共聚物、乙烯-丁烯共聚物、乙烯-己烯共聚物、聚氨酯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚酰亞胺、聚醚酮、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、氟樹(shù)脂、有機(jī)硅樹(shù)脂、纖維素系樹(shù)脂、以及它們的交聯(lián)物。
[0049]為了提高與鄰接的層的密合性、和保持性等，上述基材的表面也可以實(shí)施任意的表面處理。作為上述表面處理，例如可列舉出鉻酸處理、臭氧暴露、火焰暴露、高壓電擊暴露、離子化輻射線(xiàn)處理等化學(xué)或物理處理、涂布處理。另外，為了賦予抗靜電性能，上述基材也可以在基材上設(shè)置由金屬、合金、或它們的氧化物等構(gòu)成的厚度為3(從?50(認(rèn)左右的導(dǎo)電性物質(zhì)的蒸鍍層。
[0050]作為基材的制造方法，可以采用任意適當(dāng)?shù)姆椒ā＞唧w而言，例如可以適宜地使用壓延法、澆鑄法、吹脹法、T模擠出法。另外，也可以使用市售的塑料薄膜作為基材。
[0051]〈B.對(duì)粘合劑層照射輻射線(xiàn)的工序〉[0052]本發(fā)明的晶圓的加工方法包括對(duì)粘合劑層照射輻射線(xiàn)的工序。本發(fā)明的晶圓的加工方法中，對(duì)該粘合劑層照射輻射線(xiàn)的工序在后述用溶劑清洗晶圓和粘合片的工序前進(jìn)行。通過(guò)該輻射線(xiàn)照射工序，上述部分的粘合劑層中所含的樹(shù)脂成分進(jìn)行交聯(lián)。由此，在后續(xù)的溶劑清洗工序中，能夠防止可直接接觸溶劑的粘合劑層的溶解和/或溶脹。在該工序中，優(yōu)選僅對(duì)粘合劑層的不與晶圓接觸的部分、或者粘合劑層的不與晶圓或晶圓加工用環(huán)接觸的部分照射輻射線(xiàn)。在該工序中，粘合劑層的與晶圓或者與晶圓和晶圓加工用環(huán)接觸的部分在輻射線(xiàn)照射后也適當(dāng)?shù)乇３终澈蟿拥恼澈狭?。因此，在清洗工序后的晶圓加工工序中，可以維持晶圓被適當(dāng)?shù)乇３种臓顟B(tài)。
[0053]上述輻射線(xiàn)的照射可以通過(guò)任意適當(dāng)?shù)恼丈涫侄芜M(jìn)行。作為該照射手段，例如可列舉出高壓汞燈、低壓汞燈、黑光燈等。
[0054]上述輻射線(xiàn)的照射工序也可以在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行。通過(guò)在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行輻射線(xiàn)的照射工序，能夠防止因氧氣而導(dǎo)致妨礙上述交聯(lián)反應(yīng)。
[0055]優(yōu)選的是，上述輻射線(xiàn)的照射從上述粘合片的粘合劑層側(cè)、即晶圓或晶圓和晶圓加工用環(huán)側(cè)進(jìn)行。由此，可以容易地僅對(duì)粘合劑層的不與晶圓接觸的部分、或者粘合劑層的不與晶圓或晶圓加工用環(huán)接觸的部分照射輻射線(xiàn)。
[0056]從上述粘合片的基材側(cè)進(jìn)行上述輻射線(xiàn)的照射時(shí)，優(yōu)選將輻射線(xiàn)照射量調(diào)整為任意適當(dāng)?shù)闹?。從上述粘合片的基材?cè)照射輻射線(xiàn)時(shí)，輻射線(xiàn)的照射量?jī)?yōu)選為lOmJ/cm2?4000mJ/cm2、更優(yōu)選為50mJ/cm2?3000mJ/cm2。照射量為上述范圍內(nèi)時(shí)，可以適當(dāng)?shù)鼐S持粘合劑層與晶圓或與晶圓和晶圓加工用環(huán)的粘合力，并且可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行該粘合劑層的不與它們接觸的部分的樹(shù)脂成分的交聯(lián)。
[0057]另外，從上述粘合片的基材側(cè)進(jìn)行上述輻射線(xiàn)的照射時(shí)，也可以使用任意適當(dāng)?shù)难谀?lái)進(jìn)行照射。對(duì)上述基材的與晶圓或與晶圓和晶圓加工用環(huán)對(duì)應(yīng)的部分應(yīng)用掩模，進(jìn)行輻射線(xiàn)的照射，從而可以適當(dāng)?shù)鼐S持粘合劑層與晶圓或晶圓和晶圓加工用環(huán)的粘合力，并且可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行該粘合劑層的不與它們接觸的部分的交聯(lián)反應(yīng)。
[0058]〈C.利用溶劑的清洗工序〉
[0059]本發(fā)明的晶圓的加工方法包括在將晶圓或晶圓和晶圓加工用環(huán)粘貼到上述晶圓加工用粘合片上的狀態(tài)下用溶劑清洗的工序。通過(guò)經(jīng)過(guò)該清洗工序，能夠進(jìn)行加工前的附著于晶圓的異物的去除、和/或晶圓的保護(hù)膜的剝離等。
[0060]上述利用溶劑的清洗工序可以通過(guò)任意適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM(jìn)行。例如，向上述晶圓加工用粘合片與晶圓、或晶圓和晶圓加工用環(huán)的層疊體將任意適當(dāng)?shù)娜軇膰娮靽婌F或噴出、
浸潰等。
[0061]作為上述溶劑，根據(jù)目的等，可以使用任意適當(dāng)?shù)娜軇?。作為該溶劑，例如可列舉出乙醇、甲醇、異丙醇等醇類(lèi)、丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮等酮類(lèi)、N-甲基-2-吡咯烷酮、乙二醇、丙二醇1-單甲醚2-乙酸酯、甲苯、檸檬烯、水、檸檬酸等酸性水溶液等。溶劑可以單獨(dú)使用，也可以混合兩種以上來(lái)使用。
[0062]<D.晶圓的加工工序〉
[0063]本發(fā)明的晶圓的加工方法包括對(duì)經(jīng)過(guò)上述各工序后的晶圓實(shí)施任意適當(dāng)?shù)募庸さ墓ば?。如上所述，本發(fā)明的晶圓的加工方法在上述晶圓的清洗工序前進(jìn)行對(duì)晶圓加工用粘合片的粘合劑層照射輻射線(xiàn)的工序。由此，在晶圓的加工工序前進(jìn)行附著于晶圓的異物的除去和/或晶圓的保護(hù)膜的剝離等成為可能，進(jìn)而，利用晶圓加工用粘合片的晶圓或晶圓和晶圓加工用環(huán)的適當(dāng)?shù)谋３殖蔀榭赡?。因此，通過(guò)使用本發(fā)明的晶圓的加工方法，在晶圓的加工工序中，例如，可以防止切割時(shí)芯片的飛散等，可以提聞加工效率。
[0064]作為對(duì)上述晶圓實(shí)施的加工工序，沒(méi)有特別限制，可列舉出可對(duì)晶圓實(shí)施的任意適當(dāng)?shù)募庸すば?。例如可列舉出離子注入工序、通孔形成工序、切割工序等。
[0065]<E.晶圓〉
[0066]本發(fā)明的晶圓可以通過(guò)上述晶圓的加工方法得到。上述晶圓的加工方法能夠通過(guò)進(jìn)行清洗工序去除附著于晶圓的異物等，得到的晶圓的質(zhì)量得以提高。另外，通過(guò)使用上述晶圓的加工方法，即使在經(jīng)過(guò)利用溶劑的清洗工序后，晶圓加工用粘合片也能夠適當(dāng)?shù)乇３志A。因此，能夠以高精度進(jìn)行晶圓的加工。進(jìn)而，通過(guò)使用上述晶圓的加工方法，在加工工序后的晶圓加工用粘合片的剝離時(shí)還能夠防止在晶圓上的殘膠。因此，通過(guò)上述晶圓的加工方法得到的晶圓的質(zhì)量得以提高。
[0067]實(shí)施例
[0068]以下，通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明，但本發(fā)明不受這些實(shí)施例的任何限定。需要說(shuō)明的是，實(shí)施例等中的試驗(yàn)和評(píng)價(jià)方法如下所述。另外，份意味著重量份。
[0069][制造例I]粘合劑組合物的制備
[0070]對(duì)100 份樹(shù)脂成分(TORAY COATEX C0., LTD.制造，商品名:Rheocoat R-1020)、3份作為交聯(lián)劑的異氰酸酯系交聯(lián)劑(日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造，商品名:C0R0NATEL)、3份光聚合引發(fā)劑(BASF公司制造，商品名:IRGA⑶RE651)、70份UV固化性低聚物(日本化藥株式會(huì)社制造，商品名:KAYARAD DPHA)進(jìn)行攪拌，得到粘合劑組合物。
[0071][制造例2]晶圓加工用粘合片的制作
[0072]將制造例I中得到的粘合劑組合物以干燥后的厚度為20μπι的方式涂布到厚度38 μ m的脫模處理過(guò)的薄膜的脫模處理面，使用干燥機(jī)在120°C下進(jìn)行2分鐘干燥，形成粘合劑層。將該粘合劑層與基材(聚乙烯薄膜)貼合，得到半導(dǎo)體晶圓加工用粘合片。
[0073][實(shí)施例1]
[0074]從制造例2中得到的晶圓加工用粘合片剝離PET薄膜，使用貼合裝置將晶圓和晶圓加工用環(huán)同時(shí)貼合。接著，從該晶圓加工用粘合片的粘合劑層側(cè)(層疊有晶圓和晶圓加工用環(huán)的一側(cè))在下述條件下照射紫外線(xiàn)，使粘合劑層的不與晶圓和晶圓加工用環(huán)接觸的部分交聯(lián)。接著，從晶圓加工用粘合片與晶圓和晶圓加工用環(huán)的層置體的晶圓和晶圓加工用環(huán)側(cè)噴淋作為溶劑的甲醇，對(duì)晶圓進(jìn)行清洗。然后，從基材側(cè)在下述條件下照射紫外線(xiàn)，將晶圓加工用粘合片從晶圓剝尚。
[0075]<紫外線(xiàn)照射條件>
[0076]裝置:日東精機(jī)株式會(huì)社制造，商品名:UM810
[0077]照度:460mJ/cm2
[0078]照射時(shí)間:11秒
[0079]光量:41mW/cm2
[0080][實(shí)施例2]
[0081]除了將用于晶圓清洗的溶劑由甲醇變更為異丙醇之外，進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的操作。[0082][實(shí)施例3]
[0083]除了將用于晶圓清洗的溶劑由甲醇變更為甲苯之外，進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的操作。
[0084](比較例I)
[0085]除了未進(jìn)行紫外線(xiàn)照射工序之外，進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的操作。
[0086](比較例2)
[0087]除了未進(jìn)行紫外線(xiàn)照射工序之外，進(jìn)行與實(shí)施例2同樣的操作。
[0088](比較例3)
[0089]除了未進(jìn)行紫外線(xiàn)照射工序之外，進(jìn)行與實(shí)施例3同樣的操作。
[0090][評(píng)價(jià)]
[0091]實(shí)施例1?3的加工方法中，在清洗工序后晶圓加工用粘合片也適當(dāng)?shù)乇３至司A，能夠效率良好地進(jìn)行晶圓的加工工序。另外，通過(guò)目視確認(rèn)剝離了晶圓加工用粘合片的晶圓，結(jié)果在晶圓上未產(chǎn)生殘膠。
[0092]比較例I?3的加工方法中，在晶圓加工工序中，未能適當(dāng)?shù)乇３志A，晶圓加工工序的加工效率降低。另外，通過(guò)目視確認(rèn)剝離了晶圓加工用粘合片的晶圓，結(jié)果在晶圓上附著有粘合劑組合物。進(jìn)而，比較例I和3中，用于清洗的溶劑到達(dá)至基材，基材溶脹。因此，對(duì)晶圓的保持產(chǎn)生障礙。
[0093]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0094]根據(jù)本發(fā)明的加工方法，能夠在該加工工序中適當(dāng)?shù)乇３志A，并且防止粘合片剝離后的殘膠。因此，能夠更加效率良好地進(jìn)行質(zhì)量高的晶圓的加工。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓的加工方法，其包括: 粘合片粘貼工序，在具有包含輻射線(xiàn)固化型粘合劑的粘合劑層和基材的晶圓加工用粘合片上粘貼晶圓； 輻射線(xiàn)照射工序，對(duì)該晶圓加工用粘合片的粘合劑層照射輻射線(xiàn)； 清洗工序，用溶劑清洗該晶圓和加工用粘合片；和 加工工序，加工該晶圓， 在該清洗工序前進(jìn)行該輻射線(xiàn)照射工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓的加工方法，其中，在所述輻射線(xiàn)照射工序中，從所述粘合片的粘合劑層側(cè)照射該輻射線(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓的加工方法，其中，在所述粘合片粘貼工序中，該粘合片為粘貼到晶圓加工用環(huán)上的粘合片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓的加工方法，其中，在所述輻射線(xiàn)照射工序中，僅對(duì)所述粘合劑層的不與晶圓接觸的部分照射該輻射線(xiàn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓的加工方法，其中，在所述輻射線(xiàn)照射工序中，僅對(duì)所述粘合劑層的不與晶圓和/或晶圓加工用環(huán)接觸的部分照射該輻射線(xiàn)。
6.一種晶圓，其是通過(guò)權(quán)利要求1所述的晶圓加工方法加工而成的。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK103811301SQ201310551934
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】杉村敏正, 田中俊平, 高橋智一, 秋月伸也 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社