一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲及其制備方法。該鍵合絲的元素質(zhì)量百分比為:銅的質(zhì)量百分比大于99.95%,磷的質(zhì)量百分比為0.003%-0.04%,錳的質(zhì)量百分比為0.003%-0.01%,余量為不可避免的雜質(zhì)。本方法通過熔鑄和拉絲、成品退火前化學(xué)鍍鈀、退火、清洗、復(fù)繞等步驟完成制備,在制備過程中合理使用各種參數(shù)。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)鍍鈀銅絲生產(chǎn)和性能的諸多問題,是鍍鈀鍵合銅絲在生產(chǎn)過程中安全、環(huán)保、節(jié)能、簡(jiǎn)單,極大程度上的提高了絲材的生產(chǎn)效率,而生產(chǎn)出的絲材性能十分良好、穩(wěn)定,可以滿足高端封裝領(lǐng)域?qū)z材性能質(zhì)量的要求。
【專利說明】一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及金屬鍵合絲領(lǐng)域,尤其涉及一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近幾年隨著金價(jià)不斷攀升,封裝領(lǐng)域的成本越來越高,目前鍍鈀銅鍵合絲代替金絲已經(jīng)日趨成熟,但是目前國(guó)產(chǎn)鍍鈀銅絲只能應(yīng)用在低端封裝中,而高端封裝仍然被國(guó)外的鍍鈀銅絲壟斷,而目前世界上的鍍鈀方法絕大部分為電化學(xué)鍍鈀,工藝繁瑣,成本大,污染大。
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明的目的就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,提供一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲的制備方法,該方法制備的鍍鈀銅鍵合絲性能優(yōu)秀,并且生產(chǎn)方法安全、節(jié)能、環(huán)保、簡(jiǎn)單,極大程度上提高了絲材的生產(chǎn)效率。
上述目的是通過下述方案實(shí)現(xiàn)的:
一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲,其特征在于,所述鍵合絲的元素質(zhì)量百分比為:銅的質(zhì)量百分比大于99.95 %,磷的質(zhì)量百分比為0.003 % -0.04%,錳的質(zhì)量百分比為
0.003% -0.01%,余量為不可避免的雜質(zhì)。
一種制備上述鍍鈀銅鍵合絲的方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:
(1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.003% -0.04%的磷和0.003% -0.01%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1100-1300°C,真空度1.0*I(T5Mpa,精煉時(shí)間20-40分鐘,連鑄速度150-300mm/分鐘,形成的銅還直徑為4-10mm,拉絲速度為70-120m/min ;
(2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液的鈀離子濃度為5-20克每升,鍍鈀條件為鍍鈀液的pH值控制在9.5-10.3,鍍鈀液的溫度控制在40-60攝氏度;
(3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù);退火溫度為250?500°C ;
(4)清洗:利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆炸力打掉絲上的臟物;
(5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞。
根據(jù)上述的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中使用的鍍鈀液中各成分的濃度為6.67 ?27.67g/L PdClUO ?20g/L NaH2P02、100 ?160ml/L NH40HU0 ?60g/L NH4C1。
根據(jù)上述的制備方法,其特征在于,所述化學(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明將磷和錳元素微量合金運(yùn)用在鍵合銅絲領(lǐng)域中,磷元素微量在銅基體可以提高熔體的流動(dòng)性,改善銅及合金的焊接性能、耐蝕性能,錳可以提高銅的強(qiáng)度和耐蝕性能。本發(fā)明的工藝解決了傳統(tǒng)鍍鈀銅絲生產(chǎn)和性能的諸多問題,使鍍鈀鍵合銅絲在生產(chǎn)過程中安全、環(huán)保、節(jié)能、簡(jiǎn)單,極大程度上的提高了絲材的生產(chǎn)效率,而生產(chǎn)出的絲材性能十分良好、穩(wěn)定,可以滿足高端封裝領(lǐng)域?qū)z材性能質(zhì)量的要求。
【具體實(shí)施方式】
本發(fā)明的化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲,其元素質(zhì)量百分比為:銅的質(zhì)量百分比大于99.95%,磷的質(zhì)量百分比為0.003% -0.04%,錳的質(zhì)量百分比為0.003% -0.01%,余量為不可避免的雜質(zhì)。
本發(fā)明將磷和錳元素微量合金第一次運(yùn)用在鍵合銅絲領(lǐng)域中,磷元素微量在銅基體可以提高熔體的流動(dòng)性,改善銅及合金的焊接性能、耐蝕性能,錳可以提高銅的強(qiáng)度和耐蝕性能。使銅基體在均勻合金化過程中提高了強(qiáng)度和抗氧化性。
本發(fā)明的制備方法包括以下步驟:
(1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.003% -0.04%的磷和0.003% -0.01%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1100-1300°C,真空度1.0*I(T5Mpa,精煉時(shí)間20-40分鐘,連鑄速度150-300mm/min (即毫米/分鐘),形成的銅還直徑為4-10mm(即毫米),拉絲速度為70-120m/min(即米/分鐘);
(2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液的鈀離子濃度為5-20克每升,鍍鈀條件為鍍鈀液的pH值控制在9.5-10.3,鍍鈀液的溫度控制在40-60攝氏度;化學(xué)還原鈀法中使用的鍍鈀液為弱堿性,使用后為中性,較為環(huán)保。成品化學(xué)鍍鈀法的鍍后鈀層均勻,并且鈀層厚度可控。另外傳統(tǒng)工藝是在半成品時(shí)鍍鈀,這樣絲材變硬,在后道加工時(shí)模具消耗量極大,本專利的化學(xué)鍍鈀方法可以最大程度的減小模具用量,節(jié)省資源。
(3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù),比氫氣還原安全;退火溫度為250?500°C ;
(4)清洗:利用無水乙醇(無水乙醇在突然達(dá)到它的沸點(diǎn)以上的溫度時(shí)它會(huì)輕微無危害的爆炸的原理)在高溫蒸發(fā)時(shí)的爆炸力打掉絲上的臟物;利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆力打掉絲上的臟東西,代替去離子水清洗的步驟,可以節(jié)省用水量,節(jié)約用水。
(5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞?;瘜W(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
實(shí)施例1
(1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.003%的磷和0.003%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1100°C,真空度1.0*10_5Mpa,精煉時(shí)間20分鐘,連鑄速度150mm/min,形成的銅坯直徑為4mm,拉絲速度為 70m/min ;
(2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液的,鍍鈀液成分為 6g/L PdClU0g/L NaH2P02、100ml/L NH40H、10g/L NH4C1,鍍鈀液的 pH 值控制在9.5附近,鍍鈀液的溫度控制在40攝氏度;化學(xué)還原鈀法中使用的包鈀液為弱堿性,使用后為中性,較為環(huán)保。成品化學(xué)鍍鈀法的鍍后鈀層均勻,并且鈀層厚度可控。另外傳統(tǒng)工藝是在半成品時(shí)鍍鈀,這樣絲材變硬,在后道加工時(shí)模具消耗量極大,本專利的化學(xué)鍍鈀方法可以最大程度的減小模具用量,節(jié)省資源。(3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù),比氫氣還原安全;退火溫度為250°C ;
(4)清洗:利用無水乙醇,在高溫蒸發(fā)時(shí)爆炸力打掉絲上的臟物;利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆力打掉絲上的臟東西,代替去離子水清洗的步驟,可以節(jié)省用水量,節(jié)約用水。
(5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞?;瘜W(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
實(shí)施例3 (1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.04%的磷和0.01%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1300°C,真空度1.0*IO^5Mpa,精煉時(shí)間40分鐘,連鑄速度300mm每分鐘,形成的銅坯直徑為10mm,拉絲速度為 120m/min ;
(2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液成分為 6.67g/LPdCl (對(duì)應(yīng)鈀離子濃度為 5 克每升)、10g/LNaH2P02、100ml/LNH40H、10g/LNH4Cl,鍍鈀液的PH值控制在9.5附近,鍍鈀液的溫度控制在40攝氏度;化學(xué)還原鈀法中使用的包鈀液為弱堿性,使用后為中性,較為環(huán)保。成品化學(xué)鍍鈀法的鍍后鈀層均勻,并且鈀層厚度可控。另外傳統(tǒng)工藝是在半成品時(shí)鍍鈀,這樣絲材變硬,在后道加工時(shí)模具消耗量極大,本專利的化學(xué)鍍鈀方法可以最大程度的減小模具用量,節(jié)省資源。
(3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù),比氫氣還原安全;退火溫度為500°C ;
(4)清洗:利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆炸力打掉絲上的臟物;利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆力打掉絲上的臟東西,代替去離子水清洗的步驟,可以節(jié)省用水量,節(jié)約用水。
(5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞?;瘜W(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
實(shí)施例4
(1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.04%的磷和0.01%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1300°C,真空度1.0*IO^5Mpa,精煉時(shí)間40分鐘,連鑄速度300mm每分鐘,形成的銅坯直徑為10mm,拉絲速度為 120m/min ;
(2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液成分為 26.67g/L PdCl (對(duì)應(yīng)鈀離子濃度為 20 克每升)、20g/L NaH2P02、160ml/L NH40H、60g/LNH4C1,鍍鈀液的pH值控制在10.3附近,鍍鈀液的溫度控制在60攝氏度;化學(xué)還原鈀法中使用的鍍鈀液為弱堿性,使用后為中性,較為環(huán)保。成品化學(xué)鍍鈀法的鍍后鈀層均勻,并且鈀層厚度可控。另外傳統(tǒng)工藝是在半成品時(shí)鍍鈀,這樣絲材變硬,在后道加工時(shí)模具消耗量極大,本專利的化學(xué)鍍鈀方法可以最大程度的減小模具用量,節(jié)省資源。
(3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù),比氫氣還原安全;退火溫度為500°C ;
(4)清洗:利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆炸力打掉絲上的臟物;利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆力打掉絲上的臟東西,代替去離子水清洗的步驟,可以節(jié)省用水量,節(jié)約用水。
(5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞?;瘜W(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)法鍍鈀銅鍵合絲,其特征在于,所述鍵合絲的元素質(zhì)量百分比為:銅的質(zhì)量百分比大于99.95%,磷的質(zhì)量百分比為0.003 % -0.04%,錳的質(zhì)量百分比為0.003% -0.01%,余量為不可避免的雜質(zhì)。
2.一種制備如權(quán)利要求1所述鍍鈀銅鍵合絲的方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:(1)熔鑄和拉絲:在熔鑄過程中加入0.003% -0.04%的磷和0.003% -0.01%的錳,加熱方式采用中頻加熱,連鑄方式采用下引式真空連鑄,并控制熔鑄和拉絲條件為:熔鑄溫度為1100-1300°C,真空度1.0*10_5Mpa,精煉時(shí)間20-40分鐘,連鑄速度150-300mm/分鐘,形成的銅還直徑為4-10mm,拉絲速度為70-120m/min ; (2)化學(xué)鍍鈀:將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進(jìn)行化學(xué)鍍鈀,鍍鈀液的鈀離子濃度為5-20克每升,鍍鈀條件為鍍鈀液的pH值控制在9.5-10.3,鍍鈀液的溫度控制在40-60攝氏度; (3)退火:利用無水乙醇還原氧化銅的特性(Cu0+CH3CH20H-CH3CH0+Cu+H20),用氮?dú)饧訜o水乙醇代替氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行退火保護(hù);退火溫度為250?500°C ; (4)清洗:利用無水乙醇在高溫蒸發(fā)時(shí)爆炸力打掉絲上的臟物; (5)對(duì)清洗后的鍵合絲進(jìn)行復(fù)繞。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中使用的鍍鈀液中各成分的濃度為 6.67 ?27.67g/L PdClUO ?20g/L NaH2P02、100 ?160ml/L NH40HU0 ?60g/L NH4C1。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的制備方法,其特征在于,所述化學(xué)鍍鈀、退火、清洗和復(fù)繞一體完成,鍍鈀退火復(fù)繞速度為50米每分鐘。
【文檔編號(hào)】H01L21/48GK103560120SQ201310559415
【公開日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】周曉光, 杜連民, 向翠華, 蘇宏福, 陳彪 申請(qǐng)人:北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司