一種柔性顯示器件的制備裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種柔性顯示器件的制備裝置，用以實(shí)現(xiàn)將柔性顯示器件制備過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，防止靜電破壞柔性顯示器，使柔性顯示器件制備的良率增加。本實(shí)用新型提供的一種柔性顯示器件制備裝置包括：用于貼附柔性顯示器件的柔性基板的導(dǎo)電粘結(jié)層；以及，設(shè)置在導(dǎo)電粘結(jié)層下的導(dǎo)電硬質(zhì)基板。
【專利說明】—種柔性顯示器件的制備裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示器【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種柔性顯示器件的制備裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示器具有諸多優(yōu)點(diǎn)，例如耐沖擊，抗震能力強(qiáng)，重量輕、體積小，攜帶更加方便等特點(diǎn)。
[0003]目前主要的柔性顯示材料大致可分為三種:電子紙(或柔性電泳顯示)、柔性有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode, 0LED)和柔性液晶等。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中在制備柔性顯示器時應(yīng)用比較多的是貼覆取下法，將柔性基板通過粘結(jié)層貼覆在導(dǎo)電硬質(zhì)基板上，制備完柔性顯示器之后再使柔性基板從導(dǎo)電硬質(zhì)基板上剝離下來，得到柔性顯示器。但是，這種剝離方法在操作過程中常常會產(chǎn)生靜電無法及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，靜電會對柔性顯示器造成破壞，導(dǎo)致良率下降。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種柔性顯示器件的制備裝置，用以實(shí)現(xiàn)將柔性顯示器件制備過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，防止靜電破壞柔性顯示器，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0006]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種柔性顯示器件制備裝置，該裝置包括:
[0007]用于貼附柔性顯示器件的柔性基板的導(dǎo)電粘結(jié)層；
[0008]以及，設(shè)置在導(dǎo)電粘結(jié)層下的導(dǎo)電硬質(zhì)基板。
[0009]本實(shí)用新型通過設(shè)置用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的導(dǎo)電粘結(jié)層，可以及時地將柔性基板與導(dǎo)電粘結(jié)層剝離過程中產(chǎn)生的靜電通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板及時地導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0010]較佳地，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層為摻有導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔锏恼辰Y(jié)膠，這樣，用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的粘結(jié)層具有導(dǎo)電性，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層可將柔性基板與導(dǎo)電粘結(jié)層剝離過程中產(chǎn)生的靜電通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板及時地導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0011]較佳地，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層包括硅烷粘結(jié)劑、聚酰亞胺粘結(jié)劑或丙烯酸酯粘結(jié)劑，以及導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔?，這樣，用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的粘結(jié)層具有導(dǎo)電性，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層可將柔性基板與導(dǎo)電粘結(jié)層剝離過程中產(chǎn)生的靜電通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板及時地導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0012]較佳地，所述導(dǎo)電粒子包括金、銀、銅、鋁、鋅、鐵、鎳導(dǎo)電粒子，所述導(dǎo)電聚合物包括聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撐、聚苯撐乙烯或聚雙炔，這樣，用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的粘結(jié)層具有導(dǎo)電性，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層可將在導(dǎo)電硬質(zhì)基板和柔性基板剝離過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0013]較佳地，所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板為金屬基板，或者所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板包括導(dǎo)電層和不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板，這樣便可以在導(dǎo)電硬質(zhì)基板之上涂覆用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的導(dǎo)電粘結(jié)層，同時，對導(dǎo)電硬質(zhì)基板的背面采用激光束掃描或者采用加熱的方式，將導(dǎo)電粘結(jié)層老化，這樣便可使柔性基板從導(dǎo)電硬質(zhì)基板上剝離下來，得到柔性顯示器件。
[0014]較佳地，所述的導(dǎo)電層為氧化銦錫ITO層，所述的不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板為玻璃基板，這樣便可以在導(dǎo)電硬質(zhì)基板之上涂覆用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的導(dǎo)電粘結(jié)層，同時，對導(dǎo)電硬質(zhì)基板的背面采用激光束掃描或者采用加熱的方式，將導(dǎo)電粘結(jié)層老化，這樣便可使柔性基板從導(dǎo)電硬質(zhì)基板上剝離下來，得到柔性顯示器件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性顯示器件制備方法流程示意圖；
[0016]圖2為柔性基板上制備柔性顯示器件的其他部分的制備方法示意圖；
[0017]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性顯示器件裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為柔性基板上制備的柔性顯示器件的其他部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性顯示器件裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性顯示器件裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性顯示器件裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種柔性顯示器件的制備裝置，用以實(shí)現(xiàn)將柔性顯示器件制備過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，防止靜電破壞柔性顯示器，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0023]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0024]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了 一種柔性顯示器件制備方法，參見圖1，所述柔性顯示器件的制備方法包括:
[0025]S1、在導(dǎo)電粘結(jié)層上貼附柔性顯示器件的柔性基板，其中，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層設(shè)置在導(dǎo)電硬質(zhì)基板上；
[0026]S2、在柔性基板上制備柔性顯示器件的其他部分；
[0027]S3、將粘性層老化；
[0028]S4、將導(dǎo)電硬質(zhì)基板和柔性基板剝離，得到柔性顯示器件；
[0029]其中，步驟S3包括:采用激光束對導(dǎo)電硬質(zhì)基板的背面進(jìn)行掃描或者采用加熱的方式，將導(dǎo)電粘結(jié)層老化。
[0030]上述制備方法中，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層為摻有導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔锏恼辰Y(jié)膠，還包括硅烷粘結(jié)劑、聚酰亞胺粘結(jié)劑或丙烯酸酯粘結(jié)劑，以及導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔铮渲?，所述?dǎo)電粒子可以是金、銀、銅、鋁、鋅、鐵、鎳導(dǎo)電粒子，所述導(dǎo)電聚合物包括聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撐、聚苯撐乙烯或聚雙炔，所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板為金屬基板，或者所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板包括導(dǎo)電層和不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板，其中，所述的導(dǎo)電層為氧化銦錫ITO層，所述的不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板為玻璃基板，這樣，通過使用所述的導(dǎo)電粘結(jié)層可以及時地將柔性基板與導(dǎo)電粘結(jié)層剝離過程中產(chǎn)生的靜電通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0031]較佳地，參見圖2，步驟S2所述的在柔性基板上制備柔性顯示器件的其他部分，包括:
[0032]S11、在第二柔性基板上從下至上分別制備薄膜晶體管TFT，第一鈍化層；其中，所述薄膜晶體管TFT可以是頂柵結(jié)構(gòu)，薄膜晶體管TFT從下至上依次制備:有源層，柵極絕緣層，柵極，層間絕緣層，漏極和源極；所述薄膜晶體管TFT也可以是底柵結(jié)構(gòu)，薄膜晶體管TFT從下至上依次制備:柵極，柵極絕緣層，有源層，漏極和源極；
[0033]S12、通過在第一鈍化層之上開設(shè)過孔，制備陽極；
[0034]S13、在第一鈍化層之上分別制備陽極，像素界定層、RGB有機(jī)發(fā)光層(EL)和陰極
[0035]S14、貼附第一柔性基板；
[0036]上述制備方法中，所述的第二柔性基板即為本實(shí)用新型實(shí)施例中貼附在導(dǎo)電粘結(jié)層上的柔性基板。
[0037]上述結(jié)合圖2所述的方法僅是舉例說明，針對不同結(jié)構(gòu)的柔性顯示器件，可以有不同的制備方法。
[0038]所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板為金屬基板，或者所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板包括導(dǎo)電層和不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板，其中，所述的導(dǎo)電層包括氧化銦錫ΙΤ0，所述的不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板包括玻璃基板，所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板用于在其之上涂覆用于連接柔性基板與導(dǎo)電硬質(zhì)基板的導(dǎo)電粘結(jié)層，同時，對導(dǎo)電硬質(zhì)基板的背面采用激光束進(jìn)行掃描或者采用加熱的方式，將導(dǎo)電粘結(jié)層老化，這樣便可使柔性基板從導(dǎo)電硬質(zhì)基板上剝離下來，得到柔性顯示器件。
[0039]本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種柔性顯示器件制備裝置，參見圖3，可以看出所述柔性顯示器件制備裝置包括:用于貼附柔性顯示器件的柔性基板31的導(dǎo)電粘結(jié)層32，以及，設(shè)置在導(dǎo)電粘結(jié)層下的導(dǎo)電硬質(zhì)基板33。
[0040]其中，所述的柔性基板31用于在將導(dǎo)電粘結(jié)層老化后，使柔性基板從導(dǎo)電硬質(zhì)基板上剝離下來，得到柔性顯示器件，還用于在所述的柔性基板31上制備柔性顯示器件的其他部分，參見圖4，可以看出所述柔性顯示器件的其他部分從下至上依次包括:第二柔性基板101，薄膜晶體管TFT103，第一鈍化層105，陽極106，像素界定層107，RGB有機(jī)發(fā)光層(EL) 108，陰極109，粘結(jié)膠110和第一柔性基板111。其中，薄膜晶體管TFT103從下至上依次包括:有源層112，柵極絕緣層102，柵極114，層間絕緣層104，漏極113和源極115，其中，所述的第二柔性基板101就是柔性基板31。
[0041]所述的導(dǎo)電粘結(jié)層32用于連接柔性基板31與導(dǎo)電硬質(zhì)基板33，并將柔性基板31與導(dǎo)電硬質(zhì)基板33在剝離過程中產(chǎn)生的靜電及時地通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板33導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加，參見圖5和圖6，圖5中導(dǎo)電粘結(jié)層摻有導(dǎo)電粒子34，所述導(dǎo)電粒子可以是金、銀、銅、鋁、鋅、鐵、鎳導(dǎo)電粒子，這樣，用于連接柔性基板31與導(dǎo)電硬質(zhì)基板33的粘結(jié)層具有導(dǎo)電性，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層可將在柔性基板31和導(dǎo)電硬質(zhì)基板33剝離過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加。圖6中導(dǎo)電粘結(jié)層32摻有導(dǎo)電聚合物35，所述導(dǎo)電聚合物35包括聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撐、聚苯撐乙烯或聚雙炔，這樣，用于連接柔性基板31與導(dǎo)電硬質(zhì)基板33的粘結(jié)層具有導(dǎo)電性，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層32可將在柔性基板31和導(dǎo)電硬質(zhì)基板33剝離過程中產(chǎn)生的靜電及時通過導(dǎo)電硬質(zhì)基板導(dǎo)走，使柔性顯示器件制備的良率增加；所述的導(dǎo)電粘結(jié)層32還包括硅烷粘結(jié)劑、聚酰亞胺粘結(jié)劑或丙烯酸酯粘結(jié)劑，以及導(dǎo)電粒子34或?qū)щ娋酆衔?5。
[0042]所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板33用于在其之上涂覆用于連接柔性基板31與導(dǎo)電硬質(zhì)基板33的導(dǎo)電粘結(jié)層32，同時，對導(dǎo)電硬質(zhì)基板33的背面采用激光束進(jìn)行掃描或者采用加熱的方式，將導(dǎo)電粘性層32老化，這樣便可使柔性基板31從導(dǎo)電硬質(zhì)基板33上剝離下來，得到柔性顯示器件；所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板33為金屬基板，或者參見圖7，所述導(dǎo)電硬質(zhì)基33包括導(dǎo)電層36和不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板37，其中，所述的導(dǎo)電層36為ITO層，所述的不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板37為玻璃基板，所述的ITO具有導(dǎo)電性。
[0043]綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種柔性顯示器件制備裝置，用以實(shí)現(xiàn)將柔性顯示器件制備過程中產(chǎn)生的靜電通過導(dǎo)電粘結(jié)層和導(dǎo)電硬質(zhì)基板直接導(dǎo)走，防止靜電影響剝離效果，使柔性顯示器件制備的良率增加。
[0044]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種柔性顯示器件制備裝置，其特征在于，該裝置包括: 用于貼附柔性顯示器件的柔性基板的導(dǎo)電粘結(jié)層； 以及，設(shè)置在導(dǎo)電粘結(jié)層下的導(dǎo)電硬質(zhì)基板。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層為摻有導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔锏恼辰Y(jié)膠。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)電粘結(jié)層包括硅烷粘結(jié)劑、聚酰亞胺粘結(jié)劑或丙烯酸酯粘結(jié)劑，以及導(dǎo)電粒子或?qū)щ娋酆衔铩?br> 4.如權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述導(dǎo)電粒子包括金、銀、銅、鋁、鋅、鐵、鎳導(dǎo)電粒子；所述導(dǎo)電聚合物包括聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撐、聚苯撐乙烯或聚雙塊。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板為金屬基板，或者所述導(dǎo)電硬質(zhì)基板包括導(dǎo)電層和不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)電層為氧化銦錫ITO層，所述的不具有導(dǎo)電性質(zhì)的硬質(zhì)基板為玻璃基板。
【文檔編號】H01L23/60GK203377205SQ201320433724
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年7月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月19日
【發(fā)明者】程鴻飛, 張玉欣 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司