晶片解膠裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶片解膠裝置，解決了現(xiàn)有解膠裝置結構復雜、造價高的問題。所采取的技術措施：一種晶片解膠裝置，包括機箱，在機箱內(nèi)設有加熱裝置，其特征在于，機箱上設有開口，開口內(nèi)設有抽屜式的托架，托架活動地支承在機箱內(nèi)的導軌上，導軌與加熱裝置之間具有間隔。
【專利說明】晶片解膠裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種解膠裝置，尤其涉及一種用于對晶片粘膠進行熔化解膠的解膠裝置。
【背景技術】
[0002]在晶片的制備過程中，為方便對晶片加工以及提聞晶片的加工速度，晶片一般需要通過粘膠被粘接在一起，或把多片晶片粘接在輔助工具上，以便對晶片的相應生產(chǎn)工序進行批量化處理。
[0003]中國發(fā)明專利(專利號:200810301884.9)中公開了一種解膠裝置，用于解除多片光學鏡片之間的粘結膠，所述解膠裝置包括一個裝有解膠溶劑的容置槽及一個超聲波產(chǎn)生裝置，所述容置槽用于容置所述光學鏡片，所述光學鏡片浸沒于所述解膠溶劑，所述超聲波產(chǎn)生裝置浸沒于所述解膠溶劑并附著在所述容置槽內(nèi)，其用于給所述解膠溶劑提供足夠的能量以溶解所述光學鏡片之間的粘結膠，所述解膠裝置還包括一霧化裝置，用于將解膠溶劑霧化成微小溶劑顆粒。
[0004]這種解膠裝置對粘接在一起的晶片采用浸浴式的解膠方式，其結構相對較為復雜，造價高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為克服上述缺陷，本實用新型需要解決的技術問題:提供一種晶片解膠裝置，該解膠裝置結構簡單，可以有較高的作業(yè)速度。
[0006]為解決所述技術問題，本實用新型的技術方案:一種晶片解膠裝置，包括機箱，在機箱內(nèi)設有加熱裝置，其特征在于，機箱上設有開口，開口內(nèi)設有抽屜式的托架，托架活動地支承在機箱內(nèi)的導軌上，導軌與加熱裝置之間具有間隔。加熱裝置上所產(chǎn)生的熱以幅射的方式照射到擱置在托架上的晶片上，以熱熔化的形式對晶片粘膠進行解膠。達到一定的解膠時間后，使托架伸出機箱外側，可以在托架上把單片晶片輕易取出，然后進行下一輪的解膠操作。
[0007]作為優(yōu)選，所述加熱裝置與控制器相連接，計時器與控制器相連接。計時器的工作時間被預先設定，計時器用于對加熱裝置的加熱時間進行控制，從而可以有效提高作業(yè)速
度，避免能量浪費。
[0008]作為優(yōu)選，機箱內(nèi)設有驅動裝置，驅動裝置與托架相聯(lián)接，驅動裝置由計時器控制用于驅動托架伸出機箱。驅動裝置的設置可以有效提高本解膠裝置的自動化程度，能夠有效提高作業(yè)速度。
[0009]作為優(yōu)選，計數(shù)器與控制器相連接。計數(shù)器是用于對解膠的次數(shù)進行計數(shù)，從而可以在解膠作業(yè)過程中及時統(tǒng)計產(chǎn)量。
[0010]作為優(yōu)選，所述加熱裝置包括筒形的裝配體，UV燈安裝在裝配體內(nèi)，所述的導軌位于裝配體的上方。設置裝配體，可以方便對UV燈的安裝，便于對機箱內(nèi)的環(huán)境溫度進行控制。
[0011]作為優(yōu)選，機箱內(nèi)于裝配體的外周設有冷凝盤管，冷凝盤管通向機箱外側。冷凝盤管可以把機箱內(nèi)多余的熱量通過冷凝水而被帶出外界，以保證在機箱內(nèi)的環(huán)境溫度保持在理想的狀態(tài)上，有利于集中對擱置在托架上的晶片進行解膠。
[0012]作為優(yōu)選，機箱的壁體上設有風扇，風扇用于使機箱內(nèi)部與外界實現(xiàn)空氣流通。設置有風扇，便于機箱內(nèi)部與冷凝盤管內(nèi)的冷凝水進行熱交換，并可把多余的熱量帶出外界。
[0013]因此，本實用新型的有益效果:本解膠裝置通過設置抽屜式的托架對晶片進出機箱進行承載，結構簡單，工作可靠性好，在托架把晶片送到機箱內(nèi)加熱區(qū)時，托架與機箱的壁體之間可有較好的密封性，從而方便對晶片進行解膠作業(yè)。在托架上一次可承載數(shù)量較多的晶片，可以通過設置與托架相聯(lián)接的驅動裝置，以及控制驅動裝置工作的計時器，本解膠裝置可有較高的作業(yè)速度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型晶片解膠裝置的分散結構圖。
[0015]圖2是本實用新型晶片解膠裝置的內(nèi)部結構圖。
【具體實施方式】
[0016]見圖中，本實用新型晶片解膠裝置的結構包括密閉的機箱1，在機箱I內(nèi)設置有加熱裝置，加熱裝置用于為放入到機箱I內(nèi)的具有膠粘層的晶片進行加熱，使膠粘層熔融，而便于把單體晶片從組合體上或固著的鋼環(huán)11上剝離。鋼環(huán)11為環(huán)形體，在鋼環(huán)11上覆蓋有一層覆膜，晶片膠粘在覆膜上。
[0017]機箱I的壁體上設有開口，開口內(nèi)設有抽屜式的托架12。機箱I內(nèi)于開口的內(nèi)側設置有導軌6，導軌6與架熱裝置之間具有間隔，托架12活動地聯(lián)接在導軌6上，導軌6用于為托架12提供支撐，導軌6 —般位于加熱裝置的上方。托架12上設有三塊定位塊9，粘附有晶片的鋼環(huán)11以定位塊9為基準而被放置在托架12上。托架12上設有加熱口 13，在托架12被推進到機箱I內(nèi)后，加熱口 13處于加熱裝置的正上方，鋼環(huán)11以定位塊9為基準放置到托架12上后，鋼環(huán)11上所粘附的晶片位于加熱口 13位置處。
[0018]托架12可以是人工進行推拉，也可以通過在機箱I內(nèi)設置與托架12相聯(lián)接的驅動裝置來實現(xiàn)托架12進出機箱I。圖中顯示的驅動裝置為無桿氣缸3，該無桿氣缸3設置在導軌6的方向上，利用無桿氣缸3來帶動托架12進出機箱I。
[0019]加熱裝置與控制器16相連接，控制器16與計時器10相連接，控制無桿氣缸3工作的電磁閥2與控制器16相連接。根據(jù)實際情況對計時器10進行預先設定，在該預先設定的時間內(nèi)，晶片上的膠粘層被加熱裝置剛好熔融，到達時間后，控制器16指令電磁閥2換向，無桿氣缸3帶動托架12伸出到機箱I的外側?？刂破?6上也可以連接有計數(shù)器8，通過計數(shù)器8對電磁閥2的換向次數(shù)進行累積計數(shù)，再結合每次對晶片的解膠量而得到實際的工作量。
[0020]計數(shù)器8和計時器10均設置在機箱I的面板上，在該面板上還設置有啟動開關4和關閉開關5，啟動開關4和關閉開關5均與控制器16相連接，用于確定本解膠裝置的工作和關閉。[0021]所述的加熱裝置的結構包括筒狀的裝配體15，裝配體15內(nèi)安裝有UV燈(UV為紫外線的英文縮寫)，導軌6位于裝配體15的上方，UV燈由控制器16供電。在裝配體15的外周設有冷凝盤管14，冷凝盤管14通向機箱I的外側，冷凝盤管14內(nèi)通有冷凝水，冷凝盤管14用于把機箱I內(nèi)多余的熱量帶出機箱I外側。在機箱I的壁體上還設置有風扇7，風扇7用于使機箱I內(nèi)部空氣與外界相流通。
【權利要求】
1.一種晶片解膠裝置，包括機箱，在機箱內(nèi)設有加熱裝置，其特征在于，機箱上設有開口，開口內(nèi)設有抽屜式的托架，托架活動地支承在機箱內(nèi)的導軌上，導軌與加熱裝置之間具有間隔。
2.根據(jù)權利要求1所述的晶片解膠裝置，其特征在于，所述加熱裝置與控制器相連接，計時器與控制器相連接。
3.根據(jù)權利要求2所述的晶片解膠裝置，其特征在于，機箱內(nèi)設有驅動裝置，驅動裝置與托架相聯(lián)接，驅動裝置由計時器控制用于驅動托架伸出機箱。
4.根據(jù)權利要求2所述的晶片解膠裝置，其特征在于，計數(shù)器與控制器相連接。
5.根據(jù)權利要求1、2、3或4所述的晶片解膠裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括筒形的裝配體，UV燈安裝在裝配體內(nèi)，所述的導軌位于裝配體的上方。
6.根據(jù)權利要求5所述的晶片解膠裝置，其特征在于，機箱內(nèi)于裝配體的外周設有冷凝盤管，冷凝盤管通向機箱外側。
7.根據(jù)權利要求6所述的晶片解膠裝置，其特征在于，機箱的壁體上設有風扇，風扇用于使機箱內(nèi)部與外界實現(xiàn)空氣流通。
【文檔編號】H01L21/677GK203397012SQ201320434874
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權日:2013年7月18日
【發(fā)明者】鄒蘭華, 何才君 申請人:浙江水晶光電科技股份有限公司