去膠機(jī)臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種去膠機(jī)臺(tái)，包括一收容空腔；所述收容空腔腔底上設(shè)置有一卡盤，腔壁上設(shè)置有一SPM噴淋系統(tǒng)；所述SPM噴淋系統(tǒng)至少包括氣缸控制模塊、氣缸、安裝支座及搖桿；所述搖桿底端彎折連接有一隨著所述搖桿的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)回?cái)[動(dòng)的輸液臂；所述搖桿側(cè)壁設(shè)置有一液體接頭；所述氣缸的進(jìn)氣端設(shè)有節(jié)流閥；所述氣缸控制模塊包括氣缸擺動(dòng)控制電磁閥及脈沖繼電器；所述脈沖繼電器包括輸入回路和輸出回路；所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥連接于所述輸出回路中。本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)工作時(shí)，輸液臂端部從光掩模板中心位置至光掩模板邊緣來(lái)回?cái)[動(dòng)，使光掩模板的中心至邊緣在整個(gè)工藝過程中都可以得到足夠的反應(yīng)溫度和反應(yīng)濃度，提升整體去膠能力。
【專利說(shuō)明】去膠機(jī)臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，涉及一種去膠機(jī)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在光掩模板的制造過程中，需要使用光刻膠在光掩模板上形成集成電路和半導(dǎo)體器件的布局圖案或者其它電路圖案和數(shù)據(jù)圖案，完成曝光、顯影、刻蝕等加工工藝之后，需要去除光掩模板表面殘留的光刻膠。SPM (Sulphoacid Peroxide Mixed,硫酸-過氧化氫混合液)是微電子行業(yè)普遍使用的清洗藥液，其主要用途是用來(lái)清洗基板上的有機(jī)殘留物。SPM清洗有機(jī)殘留物的主要工作原理是利用SPM的強(qiáng)氧化性將有機(jī)物脫水并氧化成二氧化碳和水。傳統(tǒng)的SPM生成系統(tǒng)是將硫酸和過氧化氫按一定比例置于一容器中混合，并對(duì)混合物加熱至一定的溫度，被清洗的對(duì)象浸沒在此混合液中清洗，此種生成系統(tǒng)的SPM重復(fù)使用，需定期更換。由于過氧化氫在加熱和酸性條件下容易分解，故此類SPM生成系統(tǒng)的活性具有不穩(wěn)定性，而且由于SPM的重復(fù)使用，會(huì)造成清洗對(duì)象的交叉污染。另外一種工藝是通過旋轉(zhuǎn)噴淋方法去除光掩模板上的光刻膠，該去膠方法相對(duì)于傳統(tǒng)的深槽式浸泡方法能夠有效節(jié)省耗酸量，由于藥液活性強(qiáng)，去膠后藥液直接排掉不再循環(huán)使用，不會(huì)造成交叉污染，去膠效果相對(duì)穩(wěn)定。
[0003]現(xiàn)有的去膠機(jī)臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)噴淋方式，SPM手臂在使用中懸停在光掩模板上方，將硫酸和雙氧水的混合液噴射到光掩模板上，通過高溫的化學(xué)混合液與光掩模板上的光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，達(dá)到去膠目的。但是在實(shí)際的使用中，由于SPM手臂懸停一點(diǎn)，雖然光掩模板下方的卡盤帶動(dòng)光掩模板旋轉(zhuǎn)可以將混合液甩開形成覆蓋整個(gè)光掩模板的液膜，但是混合液的溫度和分布的量的均勻性都達(dá)不到所需的工藝要求，即光掩模板邊緣處的反應(yīng)溫度和混合液的堆積膜厚得不到保證，從而發(fā)生光刻膠殘留，造成該工序的成品問題，給后續(xù)工藝帶來(lái)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種去膠機(jī)臺(tái)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中去膠過程中由于SPM混合液的溫度和分布的量的均勻性達(dá)不到要求導(dǎo)致發(fā)生光刻膠殘留的問題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種去膠機(jī)臺(tái)，所述去膠機(jī)臺(tái)包括一由腔底和環(huán)繞所述腔底一周的腔壁組成的收容空腔；所述腔底上設(shè)置有一用于承載光掩模板并帶動(dòng)所述光掩模板旋轉(zhuǎn)的卡盤；所述腔壁上設(shè)置有一 SPM噴淋系統(tǒng)；所述SPM噴淋系統(tǒng)至少包括氣缸控制模塊、與所述氣缸控制模塊連接的氣缸、與所述氣缸連接的安裝支座、及安裝于所述安裝支座上與所述氣缸連接并隨著所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的搖桿；所述搖桿底端彎折連接有一隨著所述搖桿的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)回?cái)[動(dòng)的輸液臂；所述搖桿側(cè)壁設(shè)置有一與所述輸液臂連通的液體接頭；所述氣缸的進(jìn)氣端設(shè)有用以控制所述氣缸運(yùn)動(dòng)速度的節(jié)流閥；所述氣缸控制模塊包括氣缸擺動(dòng)控制電磁閥及脈沖繼電器；所述脈沖繼電器包括輸入回路和輸出回路；所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥連接于所述輸出回路中；所述輸入回路控制所述輸出回路的通斷從而控制所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥的通斷電狀態(tài)進(jìn)而控制所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0006]可選地，所述搖桿依次通過搖臂、曲柄機(jī)構(gòu)及氣缸連接組件與所述氣缸連接。
[0007]可選地，所述輸液臂的擺動(dòng)角度范圍是O?90°。
[0008]可選地，所述液體接頭與一 SPM混合組件連接。
[0009]可選地，所述輸液臂為直線狀或彎折狀。
[0010]可選地，所述脈沖繼電器采用電磁繼電器。
[0011]可選地，所述脈沖繼電器為動(dòng)合型、動(dòng)斷型或轉(zhuǎn)換型。
[0012]如上所述，本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)，具有以下有益效果:去膠機(jī)臺(tái)工作時(shí)，輸液臂端部從光掩模板中心位置至光掩模板邊緣來(lái)回?cái)[動(dòng)，是光掩模板的中心至邊緣在整個(gè)工藝過程中都可以得到足夠的反應(yīng)溫度和反應(yīng)濃度，提升整體去膠能力，提升工藝成品率，并相應(yīng)縮短工藝時(shí)間，提高產(chǎn)量。通過調(diào)節(jié)氣缸上的節(jié)流閥，可以獲得所需的氣缸運(yùn)動(dòng)速度，從而得到需要的輸液臂的擺出和擺回速度；通過設(shè)定脈沖繼電器的頻率，可以獲得氣缸的擺動(dòng)周期，從而獲得需要的輸液臂的擺動(dòng)角度來(lái)滿足不同尺寸光掩模板所需要的工藝設(shè)定。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1顯示為本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2顯示為本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)中氣缸控制模塊的電路示意圖。
[0015]圖3顯示為本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)中SPM噴淋系統(tǒng)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0017]I 腔底
[0018]2 腔壁
[0019]3 卡盤
[0020]4 SPM噴淋系統(tǒng)
[0021]5 氣缸
[0022]6 安裝支座
[0023]7 搖桿
[0024]8 輸液臂
[0025]9 液體接頭
[0026]10 氣缸擺動(dòng)控制電磁閥
[0027]11 輸入回路
[0028]12 輸出回路
[0029]13 電源
[0030]14 接地端
[0031]15 接線排
[0032]16 氣缸連接組件
[0033]17 活塞件
[0034]18 曲柄機(jī)構(gòu)[0035]19 搖臂【具體實(shí)施方式】
[0036]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0037]請(qǐng)參閱圖1至圖3。須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0038]本實(shí)用新型提供一種去膠機(jī)臺(tái)，所述去膠機(jī)臺(tái)包括一由腔底和環(huán)繞所述腔底一周的腔壁組成的收容空腔；所述腔底上設(shè)置有一用于承載光掩模板并帶動(dòng)所述光掩模板旋轉(zhuǎn)的卡盤；所述腔壁上設(shè)置有一 SPM噴淋系統(tǒng)；所述SPM噴淋系統(tǒng)至少包括氣缸控制模塊、與所述氣缸控制模塊連接的氣缸、與所述氣缸連接的安裝支座、及安裝于所述安裝支座上與所述氣缸連接并隨著所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的搖桿；所述搖桿底端彎折連接有一隨著所述搖桿的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)回?cái)[動(dòng)的輸液臂；所述搖桿側(cè)壁設(shè)置有一與所述輸液臂連通的液體接頭；所述氣缸的進(jìn)氣端設(shè)有用以控制所述氣缸運(yùn)動(dòng)速度的節(jié)流閥；所述氣缸控制模塊包括氣缸擺動(dòng)控制電磁閥及脈沖繼電器；所述脈沖繼電器包括輸入回路和輸出回路；所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥連接于所述輸出回路中；所述輸入回路控制所述輸出回路的通斷從而控制所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥的通斷電狀態(tài)進(jìn)而控制所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0039]圖1至圖3為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的去膠機(jī)臺(tái)，所述示意圖只是實(shí)例，在此不應(yīng)過度限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0040]首先請(qǐng)參閱圖1，顯示為本發(fā)明的去膠機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，所述去膠機(jī)臺(tái)包括一收容空腔，所述收容空腔由腔底I和環(huán)繞所述腔底I 一周的腔壁2組成；所述腔底I上設(shè)置有一用于承載光掩模板并帶動(dòng)所述光掩模板旋轉(zhuǎn)的卡盤3 ;所述腔壁上設(shè)置有一SPM噴淋系統(tǒng)4。
[0041]所述SPM噴淋系統(tǒng)至少包括氣缸控制模塊4、與所述氣缸控制模塊4連接的氣缸
5、與所述氣缸5連接的安裝支座6及安裝于所述安裝支座6上并與所述氣缸5連接并隨著所述氣缸5的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的搖桿7。所述搖桿7底端彎折連接有一隨著所述搖桿7的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)回?cái)[動(dòng)的輸液臂8，所述搖桿7側(cè)壁設(shè)置有一與所述輸液臂8連通的液體接頭9。
[0042]具體的，所述SPM噴淋系統(tǒng)通過所述安裝支座6安裝于所述腔壁2上，所述氣缸2的進(jìn)氣端設(shè)有用以控制所述氣缸運(yùn)動(dòng)速度的節(jié)流閥，由于氣缸已經(jīng)是非常成熟的技術(shù)，為公知常識(shí)，對(duì)于其具體結(jié)構(gòu)此處不再贅述。所述氣缸中包括活塞件，需要指出的是，此處所述氣缸運(yùn)動(dòng)速度指的是氣缸中的活塞件的運(yùn)動(dòng)速度。
[0043]具體的，所述液體接頭9與一 SPM混合組件連接(未圖示)，所述SPM混合組件可將SPM溶液加熱到預(yù)設(shè)溫度并供應(yīng)到所述輸液臂8中。所述輸液臂8的擺動(dòng)角度范圍是O?90。。
[0044]請(qǐng)參閱圖2,顯示為所述氣缸控制模塊4的電路示意圖，如圖所示,所述氣缸控制模塊4包括氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10及脈沖繼電器；所述脈沖繼電器包括輸入回路11和輸出回路12，所述輸入回路11的主要部件是線圈，所述輸出回路12的主要部件是觸點(diǎn)，起到開關(guān)此回路的作用。所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10連接于所述輸出回路12中。所述輸入回路11控制所述輸出回路12的通斷從而控制所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10的通斷電狀態(tài)進(jìn)而控制所述氣缸5的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。需要指出的是，此處所述氣缸5的往復(fù)運(yùn)動(dòng)是指氣缸中活塞件的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。所述輸入回路11、輸出回路12與電源13、接地端14通過接線排15的不同端子連接。
[0045]具體的，繼電器是一種電子控制器件，它具有控制系統(tǒng)(輸入回路)和被控制系統(tǒng)(輸出回路)，通常應(yīng)用于自動(dòng)控制電路中，它實(shí)際上是用較小的電流去控制較大電流的一種“自動(dòng)開關(guān)”，故在電路中起著自動(dòng)調(diào)節(jié)、安全保護(hù)、轉(zhuǎn)換電路等作用。本實(shí)用新型中，所述脈沖繼電器10采用電磁繼電器，電磁繼電器一般由鐵芯、線圈、銜鐵、觸點(diǎn)簧片等組成，只要在線圈兩端加上一定的電壓，線圈中就會(huì)流過一定的電流，從而產(chǎn)生電磁效應(yīng)，銜鐵就會(huì)在電磁力吸引的作用下克服返回彈簧的拉力吸向鐵芯，從而帶動(dòng)銜鐵的動(dòng)觸點(diǎn)與靜觸點(diǎn)(常開觸點(diǎn))吸合。當(dāng)線圈斷電后，電磁的吸力也隨之消失，銜鐵就會(huì)在彈簧的反作用力返回原來(lái)的位置，使動(dòng)觸點(diǎn)與原來(lái)的靜觸點(diǎn)(常閉觸點(diǎn))釋放。這樣吸合、釋放，從而達(dá)到了在電路中的導(dǎo)通、切斷的目的。本實(shí)用新型中，所述脈沖繼電器10的觸點(diǎn)可采用動(dòng)合型、動(dòng)斷型或轉(zhuǎn)換型，所述動(dòng)合型是指線圈不通電時(shí)兩觸點(diǎn)是斷開的，通電后，兩個(gè)觸點(diǎn)就閉合；所述動(dòng)斷型是指線圈不通電時(shí)兩觸點(diǎn)是閉合的，通電后兩個(gè)觸點(diǎn)就斷開；所述轉(zhuǎn)換型是指包括三個(gè)觸點(diǎn)，即中間是動(dòng)觸點(diǎn)，上下各一個(gè)靜觸點(diǎn)，線圈不通電時(shí)，動(dòng)觸點(diǎn)和其中一個(gè)靜觸點(diǎn)斷開和另一個(gè)閉合，線圈通電后，動(dòng)觸點(diǎn)就移動(dòng)，使原來(lái)斷開的成閉合，原來(lái)閉合的成斷開狀態(tài)，達(dá)到轉(zhuǎn)換的目的。本實(shí)用新型的脈沖繼電器在一定的脈沖頻率下，輸出回路不停的在斷開與閉合的狀態(tài)下切換。
[0046]具體的，所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10的氣路是常開的；如果所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10失電，它會(huì)停留在它的初始位置，壓縮空氣(CDA)依然通過電磁閥到達(dá)氣缸，將氣缸頂在一個(gè)終端；如果所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥10上電，電磁閥作切換，CDA依然通過氣缸擺動(dòng)控制電磁閥到達(dá)氣缸，但是切換了氣缸的進(jìn)氣口，使氣缸運(yùn)動(dòng)直至到另一終端。本實(shí)用新型中，所述氣缸擺動(dòng)控制閥的通斷電狀態(tài)由所述脈沖電磁閥控制，因此所述氣缸5往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率與所述脈沖繼電器的脈沖頻率相同。
[0047]具體的，所述搖桿7通過氣缸連接組件、曲柄機(jī)構(gòu)及搖臂與所氣缸連接。請(qǐng)參閱圖
3,顯示為所述SPM噴淋系統(tǒng)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示,所述氣缸連接組件16左端連接所述氣缸2中的活塞件17，所述氣缸連接組件16右端連接所述曲柄機(jī)構(gòu)18左端，所述搖臂19設(shè)置于搖桿7的頂端并與所述曲柄機(jī)構(gòu)18右端連接。所述輸液臂8可為直線狀，也可為彎折狀(如圖3所示)，所述輸液臂8為彎折狀有利于節(jié)省所述收容空腔的空間。所述搖桿7與所述安裝支座6之間還可增加其他連接件如軸承、隔套、套筒、螺絲等以增加穩(wěn)定性，此為公知常識(shí)，此處不再贅述。
[0048]本實(shí)用新型的去膠機(jī)臺(tái)的使用方法如下:將光掩模板放置于所述卡盤3上卡緊并使所述光掩模板隨著所述卡盤的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)；根據(jù)所述光掩模板的尺寸計(jì)算所需的輸液臂擺動(dòng)角度，通過調(diào)節(jié)所述氣缸上的節(jié)流閥獲得所需的氣缸活塞件運(yùn)動(dòng)速度從而得到需要的輸液臂的擺出和擺回速度，通過設(shè)定所述脈沖繼電器的脈沖頻率控制所述氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率從而控制所述搖桿來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的頻率進(jìn)而控制所述輸液臂擺出和擺回的頻率，獲得需要的輸液臂擺動(dòng)角度；SPM (Sulphoacid Peroxide Mixed,硫酸-過氧化氫混合液)從所述輸液接頭9進(jìn)入所述輸液臂并來(lái)回噴灑在光掩模板上。
[0049]綜上所述，本實(shí)用新型的氣缸控制模塊中加入了脈沖繼電器，去膠機(jī)臺(tái)工作時(shí)，輸液臂端部從光掩模板中心位置至光掩模板邊緣來(lái)回?cái)[動(dòng)，使光掩模板的中心至邊緣在整個(gè)工藝過程中都可以得到足夠的反應(yīng)溫度和反應(yīng)濃度，提升整體去膠能力，提升工藝成品率，并相應(yīng)縮短工藝時(shí)間，提高產(chǎn)量。通過調(diào)節(jié)氣缸上的節(jié)流閥，可以獲得所需的氣缸運(yùn)動(dòng)速度，從而得到需要的輸液臂的擺出和擺回速度；通過設(shè)定脈沖繼電器的頻率，可以獲得氣缸的擺動(dòng)周期，從而獲得需要的輸液臂的擺動(dòng)角度來(lái)滿足不同尺寸光掩模板所需要的工藝設(shè)定。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0050]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種去膠機(jī)臺(tái)，所述去膠機(jī)臺(tái)包括一由腔底和環(huán)繞所述腔底一周的腔壁組成的收容空腔；所述腔底上設(shè)置有一用于承載光掩模板并帶動(dòng)所述光掩模板旋轉(zhuǎn)的卡盤；所述腔壁上設(shè)置有一 SPM噴淋系統(tǒng)；所述SPM噴淋系統(tǒng)至少包括氣缸控制模塊、與所述氣缸控制模塊連接的氣缸、與所述氣缸連接的安裝支座、及安裝于所述安裝支座上與所述氣缸連接并隨著所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的搖桿；所述搖桿底端彎折連接有一隨著所述搖桿的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)回?cái)[動(dòng)的輸液臂；所述搖桿側(cè)壁設(shè)置有一與所述輸液臂連通的液體接頭；所述氣缸的進(jìn)氣端設(shè)有用以控制所述氣缸運(yùn)動(dòng)速度的節(jié)流閥，其特征在于:所述氣缸控制模塊包括氣缸擺動(dòng)控制電磁閥及脈沖繼電器；所述脈沖繼電器包括輸入回路和輸出回路；所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥連接于所述輸出回路中；所述輸入回路控制所述輸出回路的通斷從而控制所述氣缸擺動(dòng)控制電磁閥的通斷電狀態(tài)進(jìn)而控制所述氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述搖桿依次通過搖臂、曲柄機(jī)構(gòu)及氣缸連接組件與所述氣缸連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述輸液臂的擺動(dòng)角度范圍是O?90。。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述液體接頭與一SPM混合組件連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述輸液臂為直線狀或彎折狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述脈沖繼電器采用電磁繼電器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述脈沖繼電器為動(dòng)合型、動(dòng)斷型或轉(zhuǎn)換型。
【文檔編號(hào)】H01L21/027GK203481189SQ201320524034
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月26日
【發(fā)明者】成立炯, 陳健清, 胡平 申請(qǐng)人:上海凸版光掩模有限公司