開放式銷用支板的制作方法
【專利摘要】開放式銷用支板，主要解決現(xiàn)有的銷用支板不能適用兩種或兩種以上尺寸晶圓的技術(shù)問題。該支板主體呈三角形且一個(gè)邊為開放式結(jié)構(gòu)。上述支板主體的邊緣處加工有基準(zhǔn)線，支板主體的平面處加工有表面，與表面相鄰處分別制有精加工面。上述支板主體的三個(gè)角上分別制有頂銷位置。支板主體的頂角上制有通孔，與升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔，銷孔用于確保連接精度。上述支板主體采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強(qiáng)度高，高溫變形小等優(yōu)勢(shì)。本實(shí)用新型可將多種規(guī)格的晶圓頂升位置集成在一個(gè)支板上，其特點(diǎn)還在于同一個(gè)支架可用于多種晶圓尺寸的頂升銷，節(jié)省了設(shè)備轉(zhuǎn)型的維護(hù)成本，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】。
【專利說明】開放式銷用支板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種開放式銷用支板，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英寸半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，銷支板在整個(gè)工藝過程中，通過自身的升降來實(shí)現(xiàn)不同位置上的銷的統(tǒng)一升降，從而實(shí)現(xiàn)傳片過程中晶圓的升降。銷一般是按圓周均勻分布的，數(shù)量一般為三個(gè)或多個(gè)不等。為保證晶圓在整個(gè)工藝過程中無偏移、滑片等現(xiàn)象，需要保證不同位置上的銷的高度是一致的，即無論在任何狀態(tài)下，銷的提升和下降的速度是一樣的。這就對(duì)銷支板的要求提高了。需要銷支板在任何狀態(tài)下，位于不同位置的銷所處的面的升降是一致的，并保證這些面始終處于同一平面上?？紤]腔體的密封以及安裝空間有限，銷支板一般只設(shè)有一個(gè)升降支點(diǎn)。這又對(duì)銷支板的強(qiáng)度要求提高了，不允許其在高溫狀態(tài)下有較大的變形存在。以保證各處銷的高度不會(huì)有大的差異，從而確保晶圓的傳輸順暢。同時(shí)，銷支板其自身也不能太重，避免因重力作用導(dǎo)致變形。
[0003]根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要，有些設(shè)備需同時(shí)具備生產(chǎn)不同尺寸晶圓的能力。對(duì)于不同的晶圓直徑，頂升銷的位置也有不同。業(yè)內(nèi)現(xiàn)有做法是更換加熱盤以適應(yīng)相應(yīng)的晶圓尺寸；同時(shí)更換頂升銷的支板，以適應(yīng)不同的晶圓頂升位置。而更換頂銷支板又帶來了安裝調(diào)平等一系列工作量，增加了維護(hù)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有的銷用支板不能適用兩種或兩種以上尺寸晶圓的不足，而提供一種結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，能同時(shí)滿足多種晶圓尺寸的開放式銷用支板。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:開放式銷用支板，支板主體呈三角形且一個(gè)邊為開放式結(jié)構(gòu)。上述支板主體的邊緣處加工有基準(zhǔn)線(2);支板主體的平面處加工有表面(3)，與表面(3)相鄰處分別制有精加工面A (5-1)、精加工面B (5-2)及精加工面C (5-3)。上述支板主體的三個(gè)角上分別制有頂銷位置A (4)、頂銷位置B (6)、頂銷位置C (7)、頂銷位置D (8)、頂銷位置E (9)及頂銷位置F (11)。上述支板主體的頂角上制有通孔(1)，與升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔(10)，銷孔(10)用于確保連接精度。
[0006]上述支板主體采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強(qiáng)度高，高溫變形小等優(yōu)勢(shì)。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0008]將多種規(guī)格的晶圓頂升位置集成在一個(gè)支板上，有效的利用精加工面，降低成本，去除多余材料，減輕重量，減小各處由于厚度不均勻而產(chǎn)生的熱應(yīng)力。本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于同一個(gè)支架可用于多種晶圓尺寸的頂升銷，節(jié)省了設(shè)備轉(zhuǎn)型的維護(hù)成本。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，更好的避免了因支板的變形而導(dǎo)致的銷高度不一，從而導(dǎo)致晶圓傾斜或是滑片現(xiàn)象的出現(xiàn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]實(shí)施例
[0012]參照?qǐng)D1-2，開放式銷用支板，支板主體呈三角形且一個(gè)邊為開放式結(jié)構(gòu)。上述支板主體的邊緣處加工有基準(zhǔn)線2 ;支板主體的平面處加工有表面3，與表面3相鄰處分別制有精加工面A5-1、精加工面B5-2及精加工面C5-3。上述支板主體的三個(gè)角上分別制有頂銷位置A4、頂銷位置B6、頂銷位置C7、頂銷位置D8、頂銷位置E9及頂銷位置Fll。上述支板主體的頂角上制有通孔1，與升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔10，銷孔10用于確保連接精度。
[0013]如圖2所示，大晶圓12由頂銷位置A4、頂銷位置D8、頂銷位置Fll頂升；小晶圓13由頂銷位置B6、頂銷位置C7、頂銷位置E9頂升。如設(shè)備有需要做不同規(guī)格晶圓時(shí)，則將頂升銷安裝于相應(yīng)位置即可。
[0014]所述的銷孔10為I個(gè),通孔I為3個(gè)。
[0015]安裝時(shí)，支板主體通過銷孔10來實(shí)現(xiàn)與升降機(jī)構(gòu)的定位，通過通孔I來實(shí)現(xiàn)與升降機(jī)構(gòu)的緊固連接。
[0016]使用時(shí)，將本實(shí)用新型安裝于頂升機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)部件頂端，基準(zhǔn)線2用于測(cè)量安裝方向，銷孔10用于定位保證安裝精度，螺釘通過通孔I緊固，這樣整個(gè)銷支板的安裝就完成了。
【權(quán)利要求】
1.一種開放式銷用支板，其特征在于:支板主體呈三角形且一個(gè)邊為開放式結(jié)構(gòu)，上述支板主體的邊緣處加工有基準(zhǔn)線(2);支板主體的平面處加工有表面(3)，與表面(3)相鄰處分別制有精加工面A (5-1)、精加工面B (5-2)及精加工面C (5-3)，上述支板主體的三個(gè)角上分別制有頂銷位置A (4)、頂銷位置B (6)、頂銷位置C (7)、頂銷位置D (8)、頂銷位置E (9)及頂銷位置F (11)，上述支板主體的頂角上制有通孔(1)，與升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)部件連接，支板主體的頂角上還制有銷孔(10)。
2.如權(quán)利要求1所述的開放式銷用支板，其特征在于:所述的銷孔(10)為I個(gè)，通孔(I)為3個(gè)。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203481207SQ201320548447
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月4日
【發(fā)明者】吳鳳麗, 姜崴, 趙文平 申請(qǐng)人:沈陽拓荊科技有限公司