一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，包括L型底座，在所述L型底座的水平板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的水平直線導(dǎo)軌，在所述L型底座的豎直板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的豎直直線導(dǎo)軌，在所述水平直線導(dǎo)軌上方通過滑塊設(shè)置一個(gè)楔形塊，在所述楔形塊的斜面上設(shè)置一倒楔形工作臺(tái)，所述倒楔形工作臺(tái)的豎直面與所述豎直直線導(dǎo)軌接觸。采用本實(shí)用新型技術(shù)方案獨(dú)創(chuàng)的楔形結(jié)構(gòu)，定位升降臺(tái)小巧緊湊、可實(shí)現(xiàn)高精度上下方向定位，且具有較大的上下方向行程。
【專利說明】一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，需要用到高精度定位要求的精密測量儀器、精密裝配機(jī)等，這些儀器上面需要配備多種高精度的定位工作臺(tái)，而一般的X軸向和Y軸向的平面定位已經(jīng)不能滿足越來越復(fù)雜的定位要求，如果有一種能進(jìn)行精確升降定位的工作臺(tái)來進(jìn)行Z軸定位，則它們組合起來便能進(jìn)行復(fù)雜的空間定位，最大限度的滿足各種定位要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，包括L型底座，在所述L型底座的水平板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的水平直線導(dǎo)軌，在所述L型底座的豎直板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的豎直直線導(dǎo)軌，在所述水平直線導(dǎo)軌上方通過滑塊設(shè)置一個(gè)楔形塊，在所述楔形塊的斜面上設(shè)置一倒楔形工作臺(tái)，所述倒楔形工作臺(tái)的豎直面與所述豎直直線導(dǎo)軌接觸。
[0006]進(jìn)一步的，所述楔形塊與所述L型底座的水平板通過所述水平直線導(dǎo)軌相對(duì)滑動(dòng)。
[0007]進(jìn)一步的，所述所述倒楔形工作臺(tái)與所述所述L型底座的豎直板通過所述豎直直線導(dǎo)軌相對(duì)滑動(dòng)。
[0008]進(jìn)一步的，所述倒楔形工作臺(tái)的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導(dǎo)軌，所述傾斜直線導(dǎo)軌通過滑塊與所述楔形塊接觸。
[0009]進(jìn)一步的，所述楔形塊與所述倒楔形工作臺(tái)通過所述傾斜直線導(dǎo)軌相對(duì)滑動(dòng)。
[0010]進(jìn)一步的，所述楔形塊內(nèi)部固定有絲杠螺母，所述絲杠螺母內(nèi)通過一根滾珠絲杠，所述滾珠絲杠一端與電機(jī)相聯(lián)，所述電機(jī)安裝在電機(jī)支架上，所述電機(jī)支架安裝在所述L型底座的豎直板外側(cè)。
[0011]進(jìn)一步的，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述楔形塊在所述所述L型底座的水平板上作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
[0012]進(jìn)一步的，所述楔形塊向所述L型底座的豎直板方向移動(dòng)時(shí)，所述倒楔形工作臺(tái)上升，所述楔形塊背向所述L型底座的豎直板方向移動(dòng)時(shí)，所述倒楔形工作臺(tái)下降。
[0013]進(jìn)一步的，在所述水平直線導(dǎo)軌的一側(cè)安裝有傳感器。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0015]采用本實(shí)用新型技術(shù)方案，所獨(dú)創(chuàng)的楔形結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)升降臺(tái)，定位升降臺(tái)小巧緊湊、可實(shí)現(xiàn)高精度上下方向定位，定位精度達(dá)0.005mm,重復(fù)定位精度可達(dá)±0.0Olmm,作為空 間定位上的Z軸，而且具有較大的上下方向行程。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中標(biāo)號(hào)說明:1、L型底座，2、水平直線導(dǎo)軌，3、豎直直線導(dǎo)軌，4、滑塊，5、楔形塊，6、倒楔形工作臺(tái)，7、傾斜直線導(dǎo)軌，8、滑塊，9、絲杠螺母，10、滾珠絲杠，11、電機(jī)，12、電機(jī)支架，13、傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。
[0019]參照圖1所示，一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，L型底座1，在所述L型底座I的水平板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的水平直線導(dǎo)軌2，在所述L型底座I的豎直板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的豎直直線導(dǎo)軌3，在所述水平直線導(dǎo)軌2上方通過滑塊4設(shè)置一個(gè)楔形塊5，在所述楔形塊5的斜面上設(shè)置一倒楔形工作臺(tái)6，所述倒楔形工作臺(tái)6的豎直面與所述豎直直線導(dǎo)軌3接觸。
[0020]進(jìn)一步的，所述楔形塊5與所述L型底座I的水平板通過所述水平直線導(dǎo)軌2相
對(duì)滑動(dòng)。
[0021]進(jìn)一步的，所述所述倒楔形工作臺(tái)6與所述所述L型底座I的豎直板通過所述豎直直線導(dǎo)軌3相對(duì)滑動(dòng)。
[0022]進(jìn)一步的，所述倒楔形工作臺(tái)6的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導(dǎo)軌7，所述傾斜直線導(dǎo)軌7通過滑塊8與所述楔形塊5接觸。
[0023]進(jìn)一步的，所述楔形塊5與所述倒楔形工作臺(tái)(6)通過所述傾斜直線導(dǎo)軌7相對(duì)滑動(dòng)。
[0024]進(jìn)一步的，所述楔形塊5內(nèi)部固定有絲杠螺母9，所述絲杠螺母9內(nèi)通過一根滾珠絲杠10，所述滾珠絲杠10—端與電機(jī)11相聯(lián)，所述電機(jī)安裝在電機(jī)支架12上，所述電機(jī)支架12安裝在所述L型底座I的豎直板外側(cè)。
[0025]進(jìn)一步的，所述電機(jī)11驅(qū)動(dòng)所述楔形塊5在所述所述L型底座I的水平板上作往
復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
[0026]進(jìn)一步的，所述楔形塊5向所述L型底座I的豎直板方向移動(dòng)時(shí)，所述倒楔形工作臺(tái)6上升，所述楔形塊5背向所述L型底座I的豎直板方向移動(dòng)時(shí)，所述倒楔形工作臺(tái)6下降。
[0027]進(jìn)一步的，在所述水平直線導(dǎo)軌2的一側(cè)安裝有傳感器13。
[0028]本實(shí)用新型的原理:
[0029]在升降臺(tái)工作時(shí)，電機(jī)11通過滾珠絲杠10驅(qū)動(dòng)楔形塊5在水平面上作直線運(yùn)動(dòng)，由于楔形塊5獨(dú)特的斜面設(shè)計(jì)，將水平位移分解成水平位移和豎直位移，豎直方向的位移帶動(dòng)同樣具有斜面設(shè)計(jì)的倒楔形工作臺(tái)6上下移動(dòng)，從而達(dá)到Z軸向定位的目的，同時(shí)安裝在水平直線導(dǎo)軌2 —側(cè)的傳感器13，可以精確的捕捉這種Z方向的位置變化，并將它們轉(zhuǎn)換為電信號(hào)反饋到主控系統(tǒng)，從而進(jìn)行定位補(bǔ)償，進(jìn)一步提高精度。
[0030]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，包括L型底座(1)，其特征在于，在所述L型底座(I)的水平板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的水平直線導(dǎo)軌(2 )，在所述L型底座(I)的豎直板內(nèi)側(cè)安裝兩條平行的豎直直線導(dǎo)軌(3)，在所述水平直線導(dǎo)軌(2)上方通過滑塊(4)設(shè)置一個(gè)楔形塊(5)，在所述楔形塊(5)的斜面上設(shè)置一倒楔形工作臺(tái)(6)，所述倒楔形工作臺(tái)(6)的豎直面與所述豎直直線導(dǎo)軌(3)接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述楔形塊(5)與所述L型底座(I)的水平板通過所述水平直線導(dǎo)軌(2)相對(duì)滑動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述倒楔形工作臺(tái)(6 )與所述L型底座(I)的豎直板通過所述豎直直線導(dǎo)軌(3 )相對(duì)滑動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述倒楔形工作臺(tái)(6)的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導(dǎo)軌(7)，所述傾斜直線導(dǎo)軌(7 )通過滑塊(8 )與所述楔形塊(5 )接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述楔形塊(5)與所述倒楔形工作臺(tái)(6)通過所述傾斜直線導(dǎo)軌(7)相對(duì)滑動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述楔形塊(5)內(nèi)部固定有絲杠螺母(9)，所述絲杠螺母(9)內(nèi)通過一根滾珠絲杠(10)，所述滾珠絲杠(10)—端與電機(jī)(11)相聯(lián)，所述電機(jī)安裝在電機(jī)支架(12)上，所述電機(jī)支架(13)安裝在所述L型底座(I)的豎直板外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，所述電機(jī)(11)驅(qū)動(dòng)所述楔形塊(5 )在所述L型底座(I)的水平板上作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備上的楔形結(jié)構(gòu)精密定位升降臺(tái)，其特征在于，在所述水平直線導(dǎo)軌(2)的一側(cè)安裝有傳感器(14)。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK203503632SQ201320551871
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】葉邦華 申請人:蘇州凱歐機(jī)械科技有限公司