微波天線的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm，長(zhǎng)度為52cm；所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長(zhǎng)度為25cm；所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長(zhǎng)度為28cm；所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過(guò)過(guò)度管徑與所述第一管徑段連接，所述過(guò)度管徑呈喇叭狀。所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。本實(shí)用新型增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性；設(shè)置的防腐材料層，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
【專利說(shuō)明】微波天線
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微波電子【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種微波天線。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的PECVD設(shè)備，利用一根管徑均勻的銅管作為微波天線。由于微波天線管徑均勻分布的形狀，在電磁波傳輸過(guò)程中發(fā)生衰減時(shí)，空間中靠近天線中間部分的能量強(qiáng)度要低于兩端，這會(huì)導(dǎo)致硅片上鍍膜不均勻。目前，如何改善硅片鍍膜不均勻的問(wèn)題，尚未得到解決。另外，傳統(tǒng)的微波天線的防腐效果均不明顯，也需要得到改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]基于此，針對(duì)上述問(wèn)題，有必要提出一種硅片鍍膜均勻、防腐效果好的微波天線。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm,長(zhǎng)度為52cm ;所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長(zhǎng)度為25cm ;所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長(zhǎng)度為28cm ;所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。
[0005]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過(guò)過(guò)度管徑與所述第一管徑段連接，所述過(guò)度管徑呈喇叭狀。
[0006]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0008](I)位于中間的第一管徑段的內(nèi)徑小于位于兩端的第二管徑段和第三管徑段的內(nèi)徑，并且第一管徑段為弧形的設(shè)計(jì)，很好增加了微波天線中間部分的電磁波能量強(qiáng)度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性；
[0009](2)設(shè)置的防腐材料層，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述微波天線的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中第一管徑段橫截面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0013]10-第一管徑段，20-第二管徑段，30-第三管徑段，40-過(guò)度管徑，50-防腐材料層。【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0015]實(shí)施例:
[0016]如圖1和圖2所示，一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段10，所述第一管徑段10的兩端分別連接有第二管徑段20和第三管徑段30。所述第一管徑段10橫截面的內(nèi)徑為4mm,長(zhǎng)度為52cm。所述第二管徑段20橫截面的內(nèi)徑為8mm,長(zhǎng)度為25cm。所述第三管徑段30橫截面的內(nèi)徑為9mm，長(zhǎng)度為28cm ;所述第一管徑段10的外表面設(shè)有防腐材料層50。
[0017]本實(shí)施例中，所述第二管徑段20與所述第三管徑段30均通過(guò)過(guò)度管徑40與所述第一管徑段10連接，所述過(guò)度管徑40呈喇叭狀。所述第二管徑段20與所述第三管徑段30的外表面均設(shè)有防腐材料層50。
[0018]本實(shí)施例所述的微波天線，位于中間的第一管徑段10的內(nèi)徑小于位于兩端的第二管徑段20和第三管徑段30的內(nèi)徑，并且第一管徑段10為弧形的設(shè)計(jì)，很好增加了微波天線中間部分的電磁波能量強(qiáng)度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性。設(shè)置的防腐材料層50，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
[0019]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種微波天線，其特征在于，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm，長(zhǎng)度為52cm ；所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長(zhǎng)度為25cm ;所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長(zhǎng)度為28cm ;所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波天線，其特征在于，所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過(guò)過(guò)度管徑與所述第一管徑段連接，所述過(guò)度管徑呈喇叭狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波天線，其特征在于，所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。
【文檔編號(hào)】H01Q1/40GK203774462SQ201320876951
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】周英平, 吳為, 劉玉明 申請(qǐng)人:成都鼎格科技有限公司