導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法具備下述工序：層壓工序，在該工序中準(zhǔn)備依次具備支撐膜、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層和含有感光性樹(shù)脂的感光性樹(shù)脂層的感光性導(dǎo)電膜，將導(dǎo)電層和感光性樹(shù)脂層層壓到基材上以使得導(dǎo)電層密合在基材上；和圖案形成工序，在該工序中通過(guò)將上述基材上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光和顯影來(lái)形成導(dǎo)電圖案。
【專(zhuān)利說(shuō)明】導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板，特別是作為液晶顯示元件等的平板顯示器、觸摸面板(觸摸屏)、太陽(yáng)能電池、照明等裝置的電極配線使用的導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板。

【背景技術(shù)】
[0002]在個(gè)人電腦、電視等大型電子設(shè)備、汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)、手機(jī)、電子辭典等小型電子設(shè)備、0A、FA設(shè)備等顯示設(shè)備等中，使用了液晶顯示元件、觸摸面板等的設(shè)備正在普及。這些液晶顯示元件、觸摸面板中，要求為透明的配線、像素電極或端子的一部分使用了透明導(dǎo)電膜。另外，在太陽(yáng)能電池、照明等器件等中也使用了透明導(dǎo)電膜。
[0003]以往，從對(duì)可見(jiàn)光顯示高透過(guò)率方面考慮，在透明導(dǎo)電膜用材料中使用氧化銦錫(Indium-Tin-Oxide:ΙΤ0)、氧化銦以及氧化錫等。設(shè)置在液晶顯示元件用基板等上的電極以對(duì)由上述材料構(gòu)成的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行布圖而成的電極為主流。
[0004]作為透明導(dǎo)電膜的圖案形成(布圖)方法，通常為如下方法:在基板等基材上形成透明導(dǎo)電膜后，通過(guò)光刻法形成抗蝕劑圖案，通過(guò)濕式蝕刻除去導(dǎo)電膜的規(guī)定部分而形成導(dǎo)電圖案。在ITO膜和氧化銦膜的情況下，蝕刻液通常使用由鹽酸和氯化鐵這2種液體形成的混合液。
[0005]ITO膜、氧化錫膜等通常通過(guò)濺射法形成，但根據(jù)濺射方式的差異、濺射功率、氣壓、基板溫度、氣氛氣體的種類(lèi)等的不同，透明導(dǎo)電膜的性質(zhì)容易發(fā)生變化。由濺射條件的變動(dòng)產(chǎn)生的透明導(dǎo)電膜的膜質(zhì)的差異成為對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行濕式蝕刻時(shí)蝕刻速度出現(xiàn)偏差的原因，容易由圖案形成不良導(dǎo)致制品的成品率降低。另外，上述導(dǎo)電圖案的形成方法具有濺射工序、抗蝕劑形成工序以及蝕刻工序，工序長(zhǎng)，在成本方面成為很大負(fù)擔(dān)。
[0006]最近，為了消除上述問(wèn)題，進(jìn)行了使用代替ΙΤ0、氧化銦以及氧化錫等的材料來(lái)形成透明的導(dǎo)電圖案的嘗試。例如，下述專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了如下導(dǎo)電圖案的形成方法:在基板上形成含有銀纖維等導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層后，在導(dǎo)電層上形成感光性樹(shù)脂層，從其上方隔著圖案掩模進(jìn)行曝光、顯影。
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了如下方法:使用至少包含支撐體上的可剝離導(dǎo)電層和導(dǎo)電層上的粘接劑層的轉(zhuǎn)印用導(dǎo)電性膜，利用該粘接劑層將導(dǎo)電層粘貼在基板上，還公開(kāi)了轉(zhuǎn)印后的導(dǎo)電層可以被形成圖案(布圖)。
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了如下導(dǎo)電圖案的形成方法:通過(guò)采用使用具備設(shè)置在支撐膜上的導(dǎo)電層和設(shè)置在該導(dǎo)電層上的感光性樹(shù)脂層的感光性導(dǎo)電膜以感光性樹(shù)脂層密合(緊密貼合)在基板上的方式進(jìn)行層壓的方法，可以形成導(dǎo)電圖案。
[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0010]技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2007/0074316號(hào)說(shuō)明書(shū)
[0012]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2007-257963號(hào)公報(bào)
[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)3:國(guó)際公開(kāi)第2010/021224號(hào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0015]但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)I和2記載的方法存在形成導(dǎo)電圖案的工序繁雜的問(wèn)題。
[0016]另一方面，專(zhuān)利文獻(xiàn)3中記載的方法是能夠更簡(jiǎn)便地形成導(dǎo)電圖案的方法，但在基板與導(dǎo)電層之間夾著感光性樹(shù)脂層，因此無(wú)法將設(shè)置在基板表面上的連接端子等與導(dǎo)電圖案簡(jiǎn)便地連接。專(zhuān)利文獻(xiàn)2所述的方法也存在上述問(wèn)題。
[0017]本發(fā)明的目的在于，提供能夠在基材上以充分的分辨率簡(jiǎn)便地形成表面電阻率足夠小的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板。
[0018]用于解決問(wèn)題的手段
[0019]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種導(dǎo)電圖案的形成方法，其具備下述工序:層壓工序，在該工序中準(zhǔn)備依次具備支撐膜、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層和含有感光性樹(shù)脂的感光性樹(shù)脂層的感光性導(dǎo)電膜，將導(dǎo)電層和感光性樹(shù)脂層層壓到基材上以使得導(dǎo)電層密合在基材上；和圖案形成工序，在該工序中通過(guò)將上述基材上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光和顯影來(lái)形成導(dǎo)電圖案。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法，能夠在基材上以充分的分辨率簡(jiǎn)便地形成表面電阻率足夠小的導(dǎo)電圖案。另外，能夠?qū)⒃O(shè)置在基板表面上的連接端子等與導(dǎo)電圖案簡(jiǎn)便地連接。
[0021]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)上述效果的詳細(xì)理由未必清楚，但本
【發(fā)明者】們推測(cè)通過(guò)將含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層與感光性樹(shù)脂層層疊，在從導(dǎo)電層一側(cè)層壓在基材上時(shí)感光性樹(shù)脂層會(huì)適度浸滲到導(dǎo)電層中，由此在導(dǎo)電層的與感光性樹(shù)脂層相反一側(cè)的面上得到粘貼性，在之后的曝光、顯影中，能夠以充分的分辨率形成圖案。
[0022]上述感光性樹(shù)脂層優(yōu)選含有粘合劑聚合物、具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物以及光聚合弓I發(fā)劑。感光性樹(shù)脂層通過(guò)含有這樣的成分，能夠進(jìn)一步提高貼合性、基材與導(dǎo)電圖案的粘接性、以及導(dǎo)電圖案的圖案形成性。
[0023]上述粘合劑聚合物優(yōu)選具有羧基。通過(guò)含有具有羧基的粘合劑聚合物，能夠使上述感光性樹(shù)脂層的顯影性提高。
[0024]本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，上述導(dǎo)電層與上述感光性樹(shù)脂層的層疊體可以將在450?650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率設(shè)定為80%以上。在導(dǎo)電層以及感光性樹(shù)脂層滿足這樣的條件的情況下，顯示面板等的高亮度化變得容易。
[0025]上述導(dǎo)電性纖維也可以為銀纖維。通過(guò)為銀纖維，所形成的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性的調(diào)節(jié)變得更容易。
[0026]本發(fā)明還提供一種導(dǎo)電圖案基板，其具備:基板；和通過(guò)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法形成在基板上的導(dǎo)電圖案。
[0027]該導(dǎo)電圖案基板是通過(guò)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法而形成有導(dǎo)電圖案，因此可以具備表面電阻率足夠小并且以充分的分辨率形成的導(dǎo)電圖案。另外，所形成的導(dǎo)電圖案可以獲得與設(shè)置在基板表面上的連接端子等的導(dǎo)通。
[0028]上述導(dǎo)電圖案基板中，導(dǎo)電圖案的表面電阻率優(yōu)選為2000Ω/ □以下。通過(guò)將導(dǎo)電圖案的表面電阻率設(shè)定在這樣的范圍內(nèi)，可以作為配線或電極更有效地發(fā)揮作用。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠在基材上以充分的分辨率簡(jiǎn)便地形成表面電阻率足夠小的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案的形成方法以及導(dǎo)電圖案基板。另外，根據(jù)本發(fā)明，可以將設(shè)置在基材表面上的連接端子等與導(dǎo)電圖案簡(jiǎn)便地連接。另外，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以使基材與導(dǎo)電層的粘接性充分，也可以使與所得到的導(dǎo)電圖案的基板的粘接性充分。
[0031 ] 另外，根據(jù)本發(fā)明，可以在對(duì)象物上直接形成導(dǎo)電圖案，因此能夠簡(jiǎn)便地形成立體的導(dǎo)通配線。例如，在設(shè)置了已經(jīng)制作的導(dǎo)電圖案的基材上，在導(dǎo)電圖案的規(guī)定部分上用絕緣樹(shù)脂等形成絕緣膜后，層壓感光性導(dǎo)電膜，形成導(dǎo)電圖案，由此可以實(shí)現(xiàn)沒(méi)有用絕緣膜被覆的已經(jīng)制作的導(dǎo)電圖案與新形成的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)通，并且在絕緣膜部分中設(shè)置導(dǎo)電圖案的交叉部(橋接部)。該情況下，已經(jīng)制作的導(dǎo)電圖案可以使用ITO等氧化物導(dǎo)電體、Cu等金屬等，可以與這些導(dǎo)電圖案容易地進(jìn)行導(dǎo)通。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0032]圖1是表不感光性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子的不意截面圖。
[0033]圖2是表示感光性導(dǎo)電膜的制造方法的一個(gè)例子的示意截面圖。
[0034]圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法的一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖，(a)是表示層壓工序的示意截面圖，(b)是表示將感光性膜轉(zhuǎn)印而成的層疊體的示意截面圖，(C)是表示曝光工序的示意截面圖，(d)是表示顯影工序的示意截面圖。
[0035]圖4是表示透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的一個(gè)例子的俯視圖。
[0036]圖5是表示透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的一個(gè)例子的局部切去立體圖。
[0037]圖6是沿圖5中的V1-VI線的部分截面圖。
[0038]圖7是用于說(shuō)明透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的制造方法的一個(gè)例子的圖，(a)是表示具有透明電極的基板的局部切去立體圖，(b)是表示所得到的靜電容量式觸摸面板的局部切去立體圖。
[0039]圖8是用于說(shuō)明透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的制造方法的一個(gè)例子的圖，(a)是沿圖7中的VIIIa-VIIIa線的部分截面圖，(b)是表示設(shè)置絕緣膜的工序的部分截面圖，(c)是沿圖7中的VIIIc-VIIIc線的部分截面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0040]以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中的“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”以及“甲基丙烯酸酯”。同樣，“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸”以及“甲基丙烯酸”，“(甲基)丙烯酰基”是指“丙烯?；币约啊凹谆；?。
[0041]本實(shí)施方式中的導(dǎo)電圖案的形成方法具備:層壓工序，在該工序中準(zhǔn)備依次具備支撐膜、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層和含有感光性樹(shù)脂的感光性樹(shù)脂層的感光性導(dǎo)電膜，將導(dǎo)電層和感光性樹(shù)脂層層壓到基材上以使得導(dǎo)電層密合在基材上；和圖案形成工序，在該工序中通過(guò)將上述基材上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光和顯影來(lái)形成導(dǎo)電圖案。
[0042]本說(shuō)明書(shū)中，導(dǎo)電層與感光性樹(shù)脂層的邊界無(wú)需一定明確。導(dǎo)電層只要是在感光層的面方向上得到導(dǎo)電性即可，也可以為在導(dǎo)電層中混合了感光性樹(shù)脂層的形態(tài)。例如，可以在導(dǎo)電層中浸滲構(gòu)成感光性樹(shù)脂層的組合物，或者構(gòu)成感光性樹(shù)脂層的組合物存在于導(dǎo)電層的表面上。
[0043]圖1是表示感光性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子的示意截面圖。圖1所示的感光性導(dǎo)電膜10具備:第一膜(支撐膜)1、設(shè)置在第一膜I上的感光層4和設(shè)置在感光層4上的第二膜(覆蓋膜)5。感光層4由設(shè)置在支撐膜I上的含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2和設(shè)置在導(dǎo)電層2上的感光性樹(shù)脂層3構(gòu)成。
[0044]以下，對(duì)構(gòu)成感光性導(dǎo)電膜10的支撐膜1、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2、感光性樹(shù)脂層3以及覆蓋膜5分別詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0045]作為支撐膜1，可以列舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚碳酸酯膜等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。這些之中，從透明性、耐熱性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜以及聚丙烯膜。
[0046]上述聚合物膜優(yōu)選進(jìn)行了脫模處理以使得之后從導(dǎo)電層2上的剝離變?nèi)菀住?br> [0047]本實(shí)施方式中，可以使支撐膜I比覆蓋膜5更優(yōu)先地剝離。因此，覆蓋膜5與感光性樹(shù)脂層3的粘接強(qiáng)度優(yōu)選大于導(dǎo)電層2與支撐膜I的粘接強(qiáng)度。這些聚合物膜為了比覆蓋膜5更容易剝離，優(yōu)選實(shí)施了厚度的調(diào)節(jié)、材質(zhì)的選擇以及表面處理。在調(diào)節(jié)厚度的情況下，支撐膜I的厚度與覆蓋膜5的厚度之比優(yōu)選為1:1?1:10，更優(yōu)選為1:1.5?1:5，進(jìn)一步優(yōu)選為1:2?1:5。
[0048]支撐膜I的厚度優(yōu)選為5?100 μ m，更優(yōu)選為10?50 μ m，特別優(yōu)選為15?25 μ Hl0通過(guò)將支撐膜I的厚度設(shè)定為5μπ?以上，可以得到更充分的機(jī)械強(qiáng)度。例如，在涂布用于形成導(dǎo)電層2的導(dǎo)電性纖維分散液或用于形成感光性樹(shù)脂層3的感光性樹(shù)脂組合物的工序中，不易發(fā)生支撐膜的破裂等，操作性優(yōu)良。通過(guò)將支撐膜I的厚度設(shè)定為ΙΟΟμπι以下，可以使支撐膜I與導(dǎo)電層2的剝離強(qiáng)度適當(dāng)，從而變得容易剝離。
[0049]作為導(dǎo)電層2中含有的導(dǎo)電性纖維，可以列舉出金、銀、鉬等金屬纖維以及碳納米管等碳纖維等。這些可以單獨(dú)使用I種或組合使用2種以上。從導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用金纖維和/或銀纖維，從可以容易地調(diào)節(jié)所形成的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選使用銀纖維。金纖維以及銀纖維可以單獨(dú)使用I種或組合使用2種以上。
[0050]上述金屬纖維可以通過(guò)例如用NaBH4等還原劑還原金屬離子的方法或多元醇法制備。另外，上述碳納米管可以使用Unidym公司的Hipco單層碳納米管等市售品。
[0051]導(dǎo)電性纖維的纖維直徑優(yōu)選為I?50nm,更優(yōu)選為2?20nm,特別優(yōu)選為3?1nm0另外，導(dǎo)電性纖維的纖維長(zhǎng)優(yōu)選為I?100 μ m,更優(yōu)選為2?50 μ m,特別優(yōu)選為3?1um0纖維直徑以及纖維長(zhǎng)可以通過(guò)掃描型電子顯微鏡測(cè)定。
[0052]導(dǎo)電層2的厚度也會(huì)根據(jù)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜而形成的導(dǎo)電圖案或其用途、所要求的導(dǎo)電性等而不同，但優(yōu)選為Iym以下，更優(yōu)選為Inm?0.5 μ m，特別優(yōu)選為5nm?0.1 μ m。導(dǎo)電層2的厚度為Iym以下時(shí),在450?650nm的波長(zhǎng)區(qū)域的透光率高，圖案形成性也優(yōu)良，特別適合用于制作透明電極。導(dǎo)電層2的厚度是指通過(guò)掃描型電子顯微鏡照片測(cè)定的值。
[0053]導(dǎo)電層2優(yōu)選具有導(dǎo)電性纖維彼此接觸而成的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。這樣的具有網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電層2可以形成在感光性樹(shù)脂層3的支撐膜側(cè)表面上，但只要在剝離支撐膜時(shí)露出的表面上在其面方向上得到導(dǎo)電性，則也可以以在感光性樹(shù)脂層3的支撐膜側(cè)表層中含有的形式形成。
[0054]含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2例如可以通過(guò)如下步驟形成:將上述導(dǎo)電性纖維加入了水和/或有機(jī)溶劑、根據(jù)需要的表面活性劑等分散穩(wěn)定劑等的導(dǎo)電性纖維分散液涂布到支撐膜I上，然后進(jìn)行干燥。另外，干燥后，可以對(duì)所形成的導(dǎo)電層2進(jìn)一步加壓。通過(guò)加壓形成導(dǎo)電層，導(dǎo)電性纖維間的接觸點(diǎn)增加，從而可以使導(dǎo)電性提高。作為此時(shí)的線壓，優(yōu)選為0.6?2.0MPa,更優(yōu)選為1.0?1.5MPa。導(dǎo)電層2中，導(dǎo)電性纖維也可以與表面活性齊U、分散穩(wěn)定劑等共存。
[0055]涂布可以通過(guò)例如輥涂法、逗號(hào)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、刮棒涂布法、以及噴涂法等公知的方法進(jìn)行。另外，干燥可以通過(guò)在30?150°C下用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等進(jìn)行I?30分鐘左右。
[0056]作為感光性樹(shù)脂層3，可以列舉出由含有㈧粘合劑聚合物、⑶具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物以及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層。
[0057]作為(A)粘合劑聚合物，可以列舉出丙烯酸系樹(shù)脂、苯乙烯系樹(shù)脂、環(huán)氧系樹(shù)脂、酰胺系樹(shù)脂、酰胺環(huán)氧系樹(shù)脂、醇酸系樹(shù)脂、酚醛系樹(shù)脂等。這些可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。(A)粘合劑聚合物可以通過(guò)使聚合性單體進(jìn)行自由基聚合等來(lái)制造。
[0058]作為上述聚合性單體，可以列舉出:苯乙烯、乙烯基甲苯、α -甲基苯乙烯等α -位或芳香族環(huán)中被取代的可聚合的苯乙烯衍生物；二丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺；丙烯腈；乙烯基-正丁基醚等乙烯基醇的醚類(lèi)；(甲基)丙烯酸烷酯、(甲基)丙烯酸芳酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、2，2，2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2，2，3，3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、α -溴丙烯酸、α -氯丙烯酸、β -呋喃基丙烯酸、β -苯乙烯基丙烯酸、馬來(lái)酸、馬來(lái)酸酐、馬來(lái)酸單甲酯、馬來(lái)酸單乙酯、馬來(lái)酸單異丙酯、馬來(lái)酸環(huán)己酯等馬來(lái)酸單酯、富馬酸、肉桂酸、α -氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙炔酸等。
[0059]作為上述(甲基)丙烯酸烷酯，可以列舉出:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯等。
[0060]作為上述(甲基)丙烯酸芳酯，可以列舉出(甲基)丙烯酸芐酯等。
[0061]作為上述聚合性單體，此外還可以列舉出2官能的(甲基)丙烯酸酯等。具體而言，可以列舉出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯。這些可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0062]本實(shí)施方式中，(A)粘合劑聚合物優(yōu)選為含有來(lái)自(a)(甲基)丙烯酸以及(b)(甲基)丙烯酸烷酯的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。
[0063]從使堿顯影性更加良好的觀點(diǎn)考慮，(A)粘合劑聚合物優(yōu)選具有羧基。作為用于得到這樣的粘合劑聚合物的具有羧基的聚合性單體，可以列舉出如上所述的(甲基)丙烯酸等。
[0064](A)粘合劑聚合物所具有的羧基的比率以具有羧基的聚合性單體相對(duì)于用于得到粘合劑聚合物的全部聚合性單體的比例計(jì)優(yōu)選為10?50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12?40質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15?30質(zhì)量％，最優(yōu)選為15?25質(zhì)量％。從堿顯影性優(yōu)良的方面考慮，優(yōu)選為10質(zhì)量％以上,從堿耐受性優(yōu)良的方面考慮,優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。
[0065](A)粘合劑聚合物的重均分子量?jī)?yōu)選為10000?200000，從分辨率的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為15000?150000，更優(yōu)選為30000?150000，進(jìn)一步優(yōu)選為30000?100000。需要說(shuō)明的是，重均分子量的測(cè)定條件與本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)的實(shí)施例為相同的測(cè)定條件。
[0066]作為(B)成分即光聚合性化合物，可以使用具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物。
[0067]作為具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物，可以列舉出單官能乙烯基單體、二官能乙烯基單體、具有至少三個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和鍵的多官能乙烯基單體等。
[0068]作為上述單官能乙烯基單體，例如可以列舉出:作為上述(A)成分的優(yōu)選例子即共聚物的合成中使用的單體所例示的(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷酯以及能夠與它們共聚的單體。
[0069]作為上述二官能乙烯基單體，可以列舉出:聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯(環(huán)氧基的個(gè)數(shù)為2?14)、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯(丙烯基的個(gè)數(shù)為2?14);雙酚A聚氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯(2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷)、雙酚A 二縮水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯；多元羧酸(鄰苯二甲酸酐等)與具有羥基和烯鍵式不飽和鍵的物質(zhì)(丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸羥乙酯等)的酯化物等。作為上述雙酚A聚氧乙烯二甲基丙烯酸酯，可以列舉出:雙酚A 二氧乙烯二丙烯酸酯、雙酚A 二氧乙烯二甲基丙烯酸酯、雙酚A三氧乙烯二丙烯酸酯、雙酚A三氧乙烯二甲基丙烯酸酯、雙酚A五氧乙烯二丙烯酸酯、雙酚A五氧乙烯二甲基丙烯酸酯、雙酚A十氧乙烯二丙烯酸酯、雙酚A十氧乙烯二甲基丙烯酸酯等。
[0070]作為上述具有至少三個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和鍵的多官能乙烯基單體，可以列舉出:三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等使多元醇與α，不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物；三羥甲基丙烷三縮水甘油基醚三丙烯酸酯等使含有縮水甘油基的化合物與α，不飽和羧酸加成而得到的化合物等。
[0071]作為(C)光聚合引發(fā)劑，可以列舉出:二苯甲酮、N，N，N’，N’-四甲基-4，4’-二氨基二苯甲酮(米蚩酮)、Ν，N，N’，N’ -四乙基-4，4’ - 二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’ - 二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2- 二甲基氨基-1- (4-嗎啉代苯基)-丁酮-1、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮；2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3- 二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4-萘醌、9，10-菲醌、2-甲基1，4-萘醌、2，3- 二甲基蒽醌等醌類(lèi)；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基釀、苯偶姻苯基釀等苯偶姻釀化合物；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；1，2-辛二酮，1-[4-(苯硫基)苯基-，2-(O-苯甲酰肟)]、乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9Η-咔唑-3-基]_，1- (O-乙?；?等肟酯化合物；2，4，6-三甲基苯甲酰-二苯基-氧化膦等氧化膦化合物；芐基二甲基縮酮等芐基衍生物；2_(鄰氯苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4，5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物、2-(對(duì)甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚物等2，4，5-三芳基咪唑二聚物；9_苯基吖啶、1，7-雙(9，9’ -吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、噁唑系化合物等。另外，可以提供二個(gè)2，4，5-三芳基咪唑的芳基的取代基相同且對(duì)稱的化合物，也可以提供二個(gè)2，4，5-三芳基咪唑的芳基的取代基不同且非對(duì)稱的化合物。另外，如二乙基噻噸酮與二甲基氨基苯甲酸的組合那樣，也可以將噻噸酮系化合物與叔胺化合物組合。
[0072]這些之中，從所形成的感光性樹(shù)脂層的透明性以及形成薄膜時(shí)的圖案形成能力考慮，優(yōu)選為肟酯化合物或氧化膦化合物。
[0073]上述(A)粘合劑聚合物的配合量是:相對(duì)于(A)粘合劑聚合物和(B)具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為40?80質(zhì)量份，更優(yōu)選為50?70質(zhì)量份。通過(guò)將該配合量設(shè)定為40質(zhì)量份以上，涂膜性(涂布性)優(yōu)良，能夠進(jìn)一步抑制樹(shù)脂從感光性導(dǎo)電膜(感光性元件)的端部滲出的現(xiàn)象(也稱為邊緣融合)。另外，通過(guò)將該配合量設(shè)定為80質(zhì)量份以下，能夠提高感光度，并且能夠得到充分的機(jī)械強(qiáng)度。
[0074]上述(B)具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物的配合量是:相對(duì)于(A)粘合劑聚合物和(B)具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為20?60質(zhì)量份，更優(yōu)選為30?50質(zhì)量份。通過(guò)將該配合量設(shè)定為20質(zhì)量份以上，能夠提高感光度，能夠得到充分的機(jī)械強(qiáng)度。另外，通過(guò)將該配合量設(shè)定為60質(zhì)量份以下，涂膜性(涂布性)優(yōu)良，能夠進(jìn)一步抑制邊緣融合。
[0075]上述(C)光聚合引發(fā)劑的配合量是:相對(duì)于㈧粘合劑聚合物和⑶具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.1?20質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.2?10質(zhì)量份。通過(guò)將該配合量設(shè)定為0.1質(zhì)量份以上，可以使感光度提高。通過(guò)將該配合量設(shè)定為20質(zhì)量份以下，能夠更加均勻地進(jìn)行由曝光來(lái)進(jìn)行感光性樹(shù)脂層的固化。
[0076]在本發(fā)明中的感光性樹(shù)脂組合物中可以根據(jù)需要添加孔雀綠等染料、三溴甲基苯砜、無(wú)色結(jié)晶紫等光發(fā)色劑、熱發(fā)色防止劑、對(duì)甲苯磺酰胺等增塑劑、顏料、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、勻化劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等。這些添加劑的添加量是:相對(duì)于(A)粘合劑聚合物和(B)光聚合性化合物的總量100質(zhì)量份，可以分別含有約0.01?約20質(zhì)量份。這些添加劑可以單獨(dú)使用或組合使用2種以上。
[0077]感光性樹(shù)脂層3可以通過(guò)如下步驟形成，即:在支撐膜I上形成的導(dǎo)電層2上涂布根據(jù)需要在甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、甲苯、N，N- 二甲基甲酰胺、丙二醇單甲基醚等溶劑或它們的混合溶劑中溶解固體成分10?60質(zhì)量％左右而成的感光性樹(shù)脂組合物的溶液，然后進(jìn)行干燥。但是，在該情況下，為了防止在之后的工序中的有機(jī)溶劑的擴(kuò)散，干燥后的感光性樹(shù)脂層中的殘存有機(jī)溶劑量?jī)?yōu)選為2質(zhì)量％以下。
[0078]涂布可以通過(guò)輥涂法、逗號(hào)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、刮棒涂布法、噴涂法等公知的方法進(jìn)行。涂布后，用于除去有機(jī)溶劑等的干燥可以通過(guò)在70?150°C下用熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)等約5?約30分鐘。
[0079]感光性樹(shù)脂層3的厚度根據(jù)用途的不同而不同，但以干燥后的厚度計(jì)優(yōu)選為
0.05?50 μ m，更優(yōu)選為0.05?15 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1?10 μ m，特別優(yōu)選為0.1?8 μ m,最優(yōu)選為0.1?5 μ m。通過(guò)將該厚度設(shè)定為0.05 μ m以上,利用涂布容易形成感光性樹(shù)脂層3。另外，通過(guò)將該厚度設(shè)定為50 μπι以下，透光性良好，能夠得到充分的感光度，并且可以使轉(zhuǎn)印后的感光層的光固化性優(yōu)良。
[0080]作為覆蓋膜5，可以列舉出作為能夠用作支撐膜I的聚合物膜所例示的那些。此時(shí)，支撐膜I優(yōu)選通過(guò)支撐膜和覆蓋膜的膜厚控制、表面處理等來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)以使得其與覆蓋膜5相比更優(yōu)先地剝離。
[0081]覆蓋膜5的厚度優(yōu)選為10?200 μ m，更優(yōu)選為15?150 μ m，特別優(yōu)選為15?100 μ m。
[0082]覆蓋膜5的霧度值從能夠使感光度以及分辨率良好的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為0.01?
5.0%，更優(yōu)選為0.01?3.0%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.01?2.0%，特別優(yōu)選為0.01?1.0%。需要說(shuō)明的是，霧度值可以基于JIS K 7105來(lái)測(cè)定，能夠用NDH-1001DP(日本電色工業(yè)株式會(huì)社制，商品名)等市售的濁度計(jì)等來(lái)測(cè)定。
[0083]關(guān)于本實(shí)施方式中的感光性導(dǎo)電膜，記載了在支撐膜上依次涂布、形成導(dǎo)電層、感光性樹(shù)脂層的制造方法，但感光性導(dǎo)電膜的制造方法不限于此。圖2是表示感光性導(dǎo)電膜的制造方法的一個(gè)例子的示意截面圖。在圖2所示的制造方法中，其特征在于，在第一膜(支撐膜)I上形成導(dǎo)電層2，另外在第二膜(覆蓋膜)5上形成感光性樹(shù)脂層3。將這樣得到的二個(gè)膜以導(dǎo)電層2與感光性樹(shù)脂層3層疊的方式通過(guò)輥50進(jìn)行層壓，由此制造感光性導(dǎo)電膜。根據(jù)該制造方法，由于分別形成導(dǎo)電層和感光性樹(shù)脂層，因此與重疊涂布溶液的制造方法相比，更加容易控制各層內(nèi)的結(jié)構(gòu)(例如導(dǎo)電層的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu))。優(yōu)選將此時(shí)的形成導(dǎo)電層的膜和/或形成感光性樹(shù)脂層的膜加熱至60?130°C進(jìn)行層壓，壓接壓力優(yōu)選為
0.2 ?0.8MPa 左右。
[0084]本實(shí)施方式中，上述導(dǎo)電層2和上述感光性樹(shù)脂層3的層疊體(感光層4)在450?650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率優(yōu)選為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。在感光層4滿足這樣的條件的情況下，顯示面板等的高亮度化變得容易。另外，在將構(gòu)成感光層4的上述導(dǎo)電層2和上述感光性樹(shù)脂層3的兩層的合計(jì)膜厚設(shè)定為I?10 μ m時(shí)，450?650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率優(yōu)選為80%以上，更優(yōu)選為85%以上。在導(dǎo)電層以及感光性樹(shù)脂層滿足這樣的條件的情況下，顯示面板等上的高亮度化變得容易。
[0085]感光性導(dǎo)電膜可以在支撐膜或覆蓋膜、或者兩個(gè)膜上還具有粘接層、氣體阻隔層等層。
[0086]感光性導(dǎo)電膜能夠以例如本來(lái)的平板狀形態(tài)、或者卷繞在圓筒狀等的卷芯上而以輥狀的形態(tài)貯藏。
[0087]作為卷芯，只要是以往使用的卷芯即可，沒(méi)有特別限定，例如，可以列舉出聚乙烯樹(shù)脂、聚丙烯樹(shù)脂、聚苯乙烯樹(shù)脂、聚氯乙烯樹(shù)脂、ABS樹(shù)脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)等塑料。另外，從端面保護(hù)的觀點(diǎn)考慮，在卷繞成輥狀的感光性導(dǎo)電膜的端面上優(yōu)選設(shè)置端面隔膜，另外，從耐邊緣融合的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選設(shè)置防濕端面隔膜。另外，在將感光性導(dǎo)電膜打包時(shí)，優(yōu)選用透濕性小的黑色片材包住進(jìn)行包裝。
[0088]〈導(dǎo)電圖案的形成方法〉
[0089]圖3是用于說(shuō)明本實(shí)施方式中的導(dǎo)電圖案的形成方法的示意截面圖。本實(shí)施方式的方法具備:以剝離支撐膜1、導(dǎo)電層2密合在基材20上的方式對(duì)上述感光性導(dǎo)電膜10進(jìn)行層壓的層壓工序(圖3(a)以及(b));和將基材上的感光層通過(guò)曝光和顯影而形成導(dǎo)電圖案的圖案形成工序(圖3(c)以及(d))。圖案形成工序由下述工序構(gòu)成:對(duì)具有覆蓋膜5的感光層4的規(guī)定部分照射活性光線的曝光工序(圖3(c));和之后剝離覆蓋膜5而使感光層4顯影的顯影工序(圖3(d))。
[0090]作為基材20,可以使用玻璃基板、聚碳酸酷等塑料基板等基板?；?0的厚度可以根據(jù)使用目的來(lái)適當(dāng)選擇，也可以使用膜狀的基材。作為膜狀的基材，例如，可以列舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚碳酸酯膜、環(huán)烯烴聚合物膜。作為基材20，可以使用已經(jīng)通過(guò)ITO等形成了透明電極等的基板?；?0優(yōu)選在450?650nm的波長(zhǎng)區(qū)域的最小透光率為80%以上。在基材20滿足這樣的條件的情況下,顯不面板等的聞売度化變得容易。
[0091]層壓工序例如是通過(guò)如下方法進(jìn)行的:除去感光性導(dǎo)電膜10的支撐膜I后，在進(jìn)行加熱的同時(shí)將導(dǎo)電層2 —側(cè)壓接到玻璃基板等基材20上來(lái)進(jìn)行層疊。需要說(shuō)明的是，從密合性以及追隨性的觀點(diǎn)考慮，該作業(yè)優(yōu)選是在減壓下進(jìn)行層疊。感光性導(dǎo)電膜10的層疊優(yōu)選將導(dǎo)電層2以及感光性樹(shù)脂層3和/或基材20加熱至70?130°C，對(duì)這些條件沒(méi)有特別限制。另外，只要將導(dǎo)電層2以及感光性樹(shù)脂層3如上所述加熱至70?130°C，則無(wú)需預(yù)先對(duì)基材20進(jìn)行預(yù)熱處理，為了使層疊性進(jìn)一步提高，也可以進(jìn)行基材20的預(yù)熱處理。
[0092]上述感光性導(dǎo)電膜10的層疊優(yōu)選壓接壓力為0.1?1.0MPa左右(I?10kgf/cm2左右)，更優(yōu)選為0.2?0.8MPa。
[0093]曝光工序中，通過(guò)照射活性光線，感光性樹(shù)脂層發(fā)生固化，通過(guò)該固化物固定導(dǎo)電層，由此在基材上形成導(dǎo)電圖案。作為曝光工序中的曝光方法，可以列舉出:通過(guò)被稱為工藝模型圖(art work)的負(fù)或正掩模圖案以圖像狀照射活性光線L的方法(掩模曝光法)。作為活性光線的光源，使用公知的光源、例如，碳弧燈、水銀蒸氣弧燈、超高壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈等有效地放射紫外線、可見(jiàn)光等的光源。另外，使用有效地放射Ar離子激光、半導(dǎo)體激光等紫外線、可見(jiàn)光等的光源。還使用照相用扁平燈泡、太陽(yáng)燈等有效地放射可見(jiàn)光的光源。另外，可以采用通過(guò)使用了激光曝光法等的直接描畫(huà)法以圖像狀照射活性光線的方法。
[0094]此時(shí)的活性光線L的曝光量根據(jù)所使用的裝置、感光性樹(shù)脂組合物的組成等的不同而不同，但優(yōu)選為5?1000mJ/cm2,更優(yōu)選為10?200mJ/cm2。從光固化性優(yōu)良的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為10mJ/cm2以上，從分辨力的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為200mJ/cm2以下。通過(guò)設(shè)定為1000mJ/cm2以下，可以抑制感光層的變色。
[0095]在感光性樹(shù)脂層上的覆蓋膜5對(duì)于活性光線L而言為透明的情況下，可以從覆蓋膜5穿過(guò)來(lái)照射活性光線L，在覆蓋膜5為遮光性的情況下，在除去覆蓋膜5后對(duì)感光性樹(shù)脂層照射活性光線。
[0096]需要說(shuō)明的是，如上所述，關(guān)于本發(fā)明中所用的感光性導(dǎo)電膜，為了使得支撐膜比覆蓋膜先剝離，通過(guò)支撐膜I以及覆蓋膜5的膜厚、材質(zhì)等的選擇、表面處理等來(lái)調(diào)節(jié)兩膜的粘接強(qiáng)度即可。
[0097]另外，基材20對(duì)于活性光線L而言為透明的情況下，可以從基材一側(cè)隔著基材照射活性光線，但在分辨率的方面，優(yōu)選從感光性樹(shù)脂層一側(cè)對(duì)感光性樹(shù)脂層照射活性光線。
[0098]根據(jù)本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法，通過(guò)在基材20上層壓另外制作的感光性導(dǎo)電膜10，由此設(shè)置感光層4，由此能夠在基材20上更簡(jiǎn)便地形成感光層4，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。另外，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以在玻璃基板、塑料基板等基材上容易地形成透明的導(dǎo)電圖案。
[0099]顯影工序(形成導(dǎo)電圖案的工序)中，除去感光層的未曝光部(曝光部以外的部分)。具體而言，在感光層上存在透明的覆蓋膜5的情況下，首先，除去覆蓋膜5，然后，通過(guò)濕式顯影，除去感光層的未曝光部。由此，在具有規(guī)定圖案的樹(shù)脂固化層3b下殘存含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2a，形成導(dǎo)電圖案。這樣，如圖3(d)所示，得到具有導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電圖案基板40。
[0100]濕式顯影使用堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑系顯影液等與感光性樹(shù)脂對(duì)應(yīng)的顯影液，通過(guò)噴霧、搖動(dòng)浸潰、刷涂、刮等公知的方法進(jìn)行。
[0101]作為顯影液，使用堿性水溶液等安全并且穩(wěn)定、操作性良好的顯影液。作為上述堿性水溶液的堿，使用鋰、鈉、鉀等堿金屬的氫氧化物(氫氧化堿)；鋰、鈉、鉀、銨等的碳酸鹽或碳酸氫鹽(碳酸堿)；鋰、鈉、鉀、銨等的硼酸鹽或聚硼酸鹽；磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽等。
[0102]作為用于顯影的堿性水溶液，優(yōu)選為0.1?5質(zhì)量％碳酸鈉水溶液、0.1?5質(zhì)量％碳酸鉀水溶液、0.1?5質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液、0.1?5質(zhì)量％四硼酸鈉水溶液等。另夕卜，用于顯影的堿性水溶液的PH優(yōu)選為9?11的范圍，其溫度根據(jù)感光性樹(shù)脂層的顯影性來(lái)調(diào)節(jié)。另外，在堿性水溶液中可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量的有機(jī)溶劑等。
[0103]另外,可以使用由水或堿水溶液和I種以上有機(jī)溶劑構(gòu)成的水系顯影液。其中，作為堿水溶液中所含有的堿，除了上述堿以外，還可以列舉出硼砂、偏硅酸鈉、氫氧化四甲基銨、乙醇胺、乙二胺、二乙二胺、2-氨基-2-輕甲基-1，3-丙二醇、1，3- 二氨基丙醇-2、嗎啉坐寸ο
[0104]作為有機(jī)溶劑，例如，可以列舉出甲乙酮、丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)為I?4的烷氧基的烷氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇單丁基醚。這些可以單獨(dú)使用I種或組合使用2種以上。
[0105]水系顯影液優(yōu)選使有機(jī)溶劑的濃度為2?90質(zhì)量％，其溫度可以根據(jù)顯影性來(lái)調(diào)節(jié)。另外，水系顯影液的PH優(yōu)選在能夠使感光性樹(shù)脂層的顯影充分地進(jìn)行的范圍內(nèi)盡可能縮小，優(yōu)選為PH8?12，更優(yōu)選為pH9?10。另外，在水系顯影液中也可以少量添加表面活性劑、消泡劑等。
[0106]作為有機(jī)溶劑系顯影液，例如，可以列舉出1，I, 1-三氯乙烷、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、環(huán)己酮、甲基異丁基酮、Y-丁內(nèi)酯等。這些有機(jī)溶劑為了防止著火，優(yōu)選在I?20質(zhì)量％的范圍內(nèi)添加水。以上的顯影液可以根據(jù)需要并用2種以上。
[0107]作為顯影的方式，可以列舉出浸潰方式、攪動(dòng)(battle)方式、高壓噴霧方式、噴霧方式、刷涂、拍打等。從分辨率提高的觀點(diǎn)考慮，這些方式之中優(yōu)選使用高壓噴霧方式。
[0108]本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法中，在顯影后根據(jù)需要也可以進(jìn)行60?250°C左右的加熱或0.2?10J/cm2左右的曝光，由此可以將導(dǎo)電圖案進(jìn)一步固化。
[0109]這樣，根據(jù)本實(shí)施方式中的導(dǎo)電圖案的形成方法，可以在沒(méi)有像ITO等無(wú)機(jī)膜那樣形成蝕刻抗蝕劑的情況下容易地在玻璃基板、塑料基板等基板上形成透明的導(dǎo)電圖案。
[0110]本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板是通過(guò)上述導(dǎo)電圖案的形成方法得到的。從能夠有效地應(yīng)用作為透明電極等的觀點(diǎn)考慮，導(dǎo)電圖案的表面電阻率優(yōu)選為2000 Ω/□以下，更優(yōu)選為1000 Ω/ □以下，特別優(yōu)選為500Ω/ □以下。表面電阻率可以通過(guò)例如導(dǎo)電性纖維分散液的濃度、涂布量等來(lái)調(diào)節(jié)。
[0111]本發(fā)明的導(dǎo)電圖案基板在450?650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率優(yōu)選為80 %以上，更優(yōu)選為85%以上。在導(dǎo)電圖案基板40滿足這樣的條件的情況下，顯示面板等的視認(rèn)性提聞。
[0112]本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法例如可以優(yōu)選用于形成靜電容量式觸摸面板的透明電極。圖4是表示透明電極(X位置坐標(biāo))103以及透明電極(Y位置坐標(biāo))104在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的一個(gè)例子的俯視圖，圖5是其局部切去立體圖。圖6是沿圖5中的V1-VI線的部分截面圖。上述靜電容量式觸摸面板在透明基板101上具有檢測(cè)靜電容量變化、作為X位置坐標(biāo)的透明電極103和作為Y位置坐標(biāo)的透明電極104。在這些作為X、Y位置坐標(biāo)的各個(gè)透明電極103、104上，具有用于與控制作為觸摸面板的電信號(hào)的驅(qū)動(dòng)元件電路(未圖示)的控制電路連接的引出配線105a以及105b。
[0113]在透明電極(X位置坐標(biāo))103與透明電極(Y位置坐標(biāo))104交叉的部分上，設(shè)置絕緣膜106。上述絕緣膜從具有電絕緣特性、透明性、耐顯影性的材料中選定。作為這樣的材料，可以列舉出為薄膜且透明的感光性膜等。
[0114]對(duì)利用本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法來(lái)得到的靜電容量式觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在透明基板101上形成透明電極(X位置坐標(biāo))103。具體而言，以導(dǎo)電層與透明基板101相接的方式層壓感光性導(dǎo)電膜(層壓工序)。對(duì)于轉(zhuǎn)印的感光層(導(dǎo)電層以及感光性樹(shù)脂層)，以期望的形狀隔著遮光掩模來(lái)以圖案狀照射活性光線(曝光工序)。然后，除去遮光掩模，再將支撐膜剝離，進(jìn)行顯影，由此除去感光層的未曝光部，形成導(dǎo)電圖案(顯影工序)。通過(guò)該導(dǎo)電圖案形成檢測(cè)X位置坐標(biāo)的透明電極103。
[0115]接著，形成透明電極(Y位置坐標(biāo))104。在通過(guò)上述工序形成的透明電極103的一部分(例如，想要使透明電極103與透明電極104交叉的部分)上設(shè)置絕緣膜106，在透明基板101上進(jìn)一步層壓新的感光性導(dǎo)電膜，通過(guò)上述同樣的操作，形成檢測(cè)Y位置坐標(biāo)的透明電極104。通過(guò)本發(fā)明中的導(dǎo)電圖案的形成方法，形成透明電極，由此可以使透明電極(X位置坐標(biāo))103和透明電極(Y位置坐標(biāo))104在同一平面上形成。另外，由于在透明基板101側(cè)形成導(dǎo)電圖案，因此在形成引出配線105a以及105b時(shí)，容易實(shí)現(xiàn)所形成的導(dǎo)電圖案與引出配線的導(dǎo)通。
[0116]接著，在透明基板101的表面上形成用于與外部電路連接的引出配線105a以及105b。引出配線可以使用例如含有薄片狀的銀等的導(dǎo)電糊材料、并使用絲網(wǎng)印刷法來(lái)形成。
[0117]需要說(shuō)明的是，在上述靜電容量式觸摸面板的制造方法中，一個(gè)透明電極(例如透明電極(X位置坐標(biāo))103)以及引出配線105a、105b可以通過(guò)使用了透明導(dǎo)電材料的公知方法預(yù)先形成在透明基板101上。即使在該情況下，也可以在同一平面內(nèi)形成透明電極(X位置坐標(biāo))103以及透明電極(Y位置坐標(biāo))104，并且可以得到粘接性、分辨力更優(yōu)良的導(dǎo)電圖案。另外，通過(guò)上述工序形成圖案，由此能夠形成橋接的透明電極(Y位置坐標(biāo))104的導(dǎo)電圖案。
[0118]另外，利用本發(fā)明中的導(dǎo)電圖案的形成方法來(lái)得到的靜電容量式觸摸面板的制造方法不限于上述方法。例如，通過(guò)使用了透明導(dǎo)電材料的公知的方法，可以使用在透明基板101上預(yù)先形成成為透明電極(X位置坐標(biāo))103和之后檢測(cè)Y位置坐標(biāo)的透明電極104的透明電極的一部分的基板。圖7是用于說(shuō)明透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的制造方法的一個(gè)例子的圖，(a)是表示具有透明電極的基板的局部切去立體圖，(b)是表示所得到的靜電容量式觸摸面板的局部切去立體圖。圖8是用于說(shuō)明透明電極在同一平面上存在的靜電容量式觸摸面板的制造方法的一個(gè)例子的圖。
[0119]首先，準(zhǔn)備如圖7(a)和圖8(a)所示的預(yù)先形成了透明電極(X位置坐標(biāo))103和透明電極的一部分104a的基板，在透明電極103的一部分(在透明電極的一部分104a中夾持的部分)上設(shè)置絕緣膜106(圖8的(b))。然后，在上述基板上層壓感光性導(dǎo)電膜，通過(guò)與上述曝光工序以及顯影工序同樣的方法，形成導(dǎo)電圖案。可以通過(guò)該導(dǎo)電圖案形成透明電極的橋接部104b(圖8(c))。通過(guò)該透明電極的橋接部104b，可以使預(yù)先形成的透明電極的一部分104a彼此之間導(dǎo)通，形成透明電極(Y位置坐標(biāo))104。
[0120]預(yù)先形成的透明電極可以通過(guò)例如使用ITO等的公知方法形成。
[0121]另外，引出配線105a、105b可以通過(guò)使用了透明導(dǎo)電材料以及Cu、Ag等金屬等的公知方法形成。本發(fā)明的導(dǎo)電圖案的形成方法中，也可以使用預(yù)先形成了引出配線105a、105b的基板。在使用這樣的基板的情況下，根據(jù)本發(fā)明的形成導(dǎo)電圖案方法，在實(shí)現(xiàn)與引出配線直接導(dǎo)通的同時(shí)，可以在與透明電極(X位置坐標(biāo))絕緣的狀態(tài)下形成透明電極(Y位置坐標(biāo))，從而能夠更簡(jiǎn)便地制造導(dǎo)電圖案基板。
[0122]實(shí)施例
[0123]以下，基于實(shí)施例對(duì)本發(fā)明具體地進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明不限于此。
[0124]〈導(dǎo)電性纖維分散液(銀纖維分散液)的制備〉
[0125][利用多元醇法進(jìn)行的銀纖維的制備]
[0126]在2000mL的三口燒瓶中投入500mL乙二醇，在氮?dú)夥障隆⒃谟么帕嚢杵鲾嚢璧耐瑫r(shí)，通過(guò)油浴加熱至160°C。向其中滴加另外準(zhǔn)備的在50mL乙二醇中溶解2mg PtCl2而成的溶液。4?5分鐘后，從各自的滴液漏斗中用I分鐘滴加在300mL乙二醇中溶解5g AgNO3而成的溶液、和在150mL乙二醇中溶解5g重均分子量為4萬(wàn)的聚乙烯基吡咯烷酮(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)而成的溶液，然后在160°C下攪拌60分鐘。
[0127]上述反應(yīng)溶液放置至30°C以下后，用丙酮稀釋成10倍，通過(guò)離心分離機(jī)以2000轉(zhuǎn)進(jìn)行20分鐘離心分離，將上清液傾析。在沉淀物中加入丙酮，進(jìn)行攪拌后在與上述同樣的條件下進(jìn)行離心分離，將丙酮傾析。然后，使用蒸餾水，同樣地進(jìn)行2次離心分離，得到銀纖維。將所得到的銀纖維通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀察，結(jié)果纖維直徑(直徑)為約5nm，纖維長(zhǎng)為約5 μ m0
[0128][銀纖維分散液的制備]
[0129]將上述得到的銀纖維達(dá)到0.2質(zhì)量％的濃度以及十二烷基五聚乙二醇醚達(dá)到0.1質(zhì)量％的濃度分散在純水中，得到導(dǎo)電性纖維分散液I。
[0130]<感光性樹(shù)脂組合物的溶液的制備>
[0131][丙烯酸樹(shù)脂的合成]
[0132]在具備攪拌機(jī)、回流冷卻器、溫度計(jì)、滴液漏斗和氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中，加入甲基溶纖劑與甲苯的混合液(甲基溶纖劑/甲苯=3/2(質(zhì)量比)、以下稱為“溶液8”)40(^，在吹入氮?dú)獾耐瑫r(shí)進(jìn)行攪拌，加熱至80°C。另一方面，準(zhǔn)備將作為單體的甲基丙烯酸100g、甲基丙烯酸甲酯250g、丙烯酸乙酯10g以及苯乙烯50g、與作為引發(fā)劑的偶氮二異丁腈0.Sg混合而成的溶液(以下，稱為“溶液a”)。接著，向加熱至80°C的溶液s中用4小時(shí)滴加溶液a后，在80°C下攪拌的同時(shí)，保溫2小時(shí)。另外，將在10g的溶液s中溶解偶氮二異丁腈1.2g而成的溶液用10分鐘滴加到燒瓶?jī)?nèi)。另外，在對(duì)滴加后的溶液進(jìn)行攪拌的同時(shí)，在80°C下保溫3小時(shí)，然后用30分鐘加熱至90°C。在90°C下保溫2小時(shí)后，進(jìn)行冷卻而得到粘合劑聚合物溶液。向該粘合劑聚合物溶液中加入丙酮以使不揮發(fā)成分(固體成分)達(dá)到50質(zhì)量％的方式進(jìn)行制備，得到作為(A)成分的粘合劑聚合物溶液。所得到的粘合劑聚合物的重均分子量以利用GPC的標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算計(jì)為80000。將其稱為丙烯酸聚合物A。需要說(shuō)明的是，測(cè)定重均分子量的GPC的測(cè)定條件如下。
[0133][GPC測(cè)定條件]
[0134]機(jī)種:日立L6000 (株式會(huì)社日立制作所制)
[0135]檢測(cè):L3300RI (株式會(huì)社日立制作所制)
[0136]色譜柱:GelpackGL-R440+GL-R450+GL-R400M(日立化成株式會(huì)社制)
[0137]色譜柱規(guī)格:直徑10.7mmX300mm
[0138]溶劑:THF (四氫呋喃)
[0139]試樣濃度:取用NV (不揮發(fā)成分濃度)為50質(zhì)量％的樹(shù)脂溶液120mg，將其溶解在5mL的THF中
[0140]注入量:200μ L
[0141]壓力:4.9MPa
[0142]流量:2.05mL/ 分鐘
[0143][感光性樹(shù)脂組合物的溶液的制備]
[0144]以表1所示的配合量(單位:質(zhì)量份)配合表1所示的材料，制備感光性樹(shù)脂組合物的溶液。
[0145]表1
[0146]

【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)電圖案的形成方法，其具備下述工序: 層壓工序，在該工序中準(zhǔn)備依次具備支撐膜、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層和含有感光性樹(shù)脂的感光性樹(shù)脂層的感光性導(dǎo)電膜，將所述導(dǎo)電層和所述感光性樹(shù)脂層層壓到基材上以使得所述導(dǎo)電層密合在所述基材上；和 圖案形成工序，在該工序中通過(guò)將所述基材上的所述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光和顯影來(lái)形成導(dǎo)電圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，其中，所述感光性樹(shù)脂層含有粘合劑聚合物、具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物以及光聚合弓I發(fā)劑。
3.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，其中，所述粘合劑聚合物具有羧基。
4.如權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，其中，所述導(dǎo)電層和所述感光性樹(shù)脂層的層疊體在450?650nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的最小透光率為80%以上。
5.如權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法，其中，所述導(dǎo)電性纖維為銀纖維。
6.—種導(dǎo)電圖案基板,其具備:基板；和通過(guò)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電圖案的形成方法形成在所述基板上的導(dǎo)電圖案。
7.如權(quán)利要求6所述的導(dǎo)電圖案基板，其中，所述導(dǎo)電圖案的表面電阻率為2000Ω / 口以下。
【文檔編號(hào)】H01B5/14GK104170029SQ201380014556
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2013年4月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月4日
【發(fā)明者】田仲裕之, 山崎宏, 五十嵐由三, 伊藤豊樹(shù), 太田繪美子 申請(qǐng)人:日立化成株式會(huì)社