Esd測(cè)試檢查裝置和esd測(cè)試檢查方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是在ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查中迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試檢查。作為ESD測(cè)試檢查裝置(1)，具有：用于對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件進(jìn)行檢查ESD耐性的ESD施加測(cè)試的ESD測(cè)試裝置(10)；和用于診斷ESD施加電壓波形的符合與否的診斷電路(5)。診斷電路(5)具有：連接在該ESD測(cè)試裝置(10)的高電壓輸出端(探針(11))間的可變電阻(2)與分壓電阻(3)的串聯(lián)電路；和連接在該分壓電阻(3)的兩端間的作為發(fā)光單元的發(fā)光檢驗(yàn)用LED(4)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】ESD測(cè)試檢查裝置和ESD測(cè)試檢查方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)是否已對(duì)例如LSI元件、LED元件和激光元件等發(fā)光元件等檢查對(duì)象器件施加了來(lái)自檢查ESD (靜電放電:Electro Static Discharge)耐性的高電壓施加裝置的高電壓、或者來(lái)自高電壓施加裝置的規(guī)定的高電壓是否符合規(guī)定值進(jìn)行診斷的ESD測(cè)試檢查裝置、和使用該ESD測(cè)試檢查裝置的ESD測(cè)試檢查方法。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，在LSI元件中，在輸入電路側(cè)連接有保護(hù)二極管，對(duì)保護(hù)二極管的ESD耐性進(jìn)行檢查。在LED元件和激光元件等發(fā)光元件中，發(fā)光元件自身具有二極管結(jié)構(gòu)。該二極管結(jié)構(gòu)由P型擴(kuò)散層與η型擴(kuò)散層的Pn結(jié)構(gòu)成，因此，ESD耐性根據(jù)P型擴(kuò)散層與η型擴(kuò)散層的外觀(guān)而不同，因此需要全部進(jìn)行ESD耐性的檢查。
[0003]以往的ESD施加所需要的基本的ESD電路，包括高電壓電源與按照ESD標(biāo)準(zhǔn)(HBM(人體模式)、ΜΜ(機(jī)械模式)等)的高壓電容器、施加電阻和使用水銀的高耐壓繼電器。
[0004]ESD電路的施加輸出部分，使用在基板上固定搭載有用于與器件的端子連接的接觸探針的探針卡、或?qū)⒃摻佑|探針固定在臂上的機(jī)械手(manipulator)等,對(duì)檢查對(duì)象器件通電。
[0005]對(duì)檢查對(duì)象器件的供給電壓的大小，以在可靠性檢查中具有代表性的ESD測(cè)試(靜電放電可靠性測(cè)試)等為對(duì)象，以大約I?1KV電平的高電壓為對(duì)象。對(duì)來(lái)自人體或機(jī)械的靜電在LSI芯片等檢查對(duì)象器件中流動(dòng)的情況下的耐久性進(jìn)行測(cè)試。
[0006]圖10是表示專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)的以往的ESD測(cè)試裝置的主要部分結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0007]在圖10中，以往的ESD測(cè)試裝置100，首先，由定時(shí)控制器107使得充電用高耐壓繼電器102導(dǎo)通，來(lái)自高電壓電源101的電流被蓄積在高壓電容器106中。接著，在由定時(shí)控制器107使得充電用高耐壓繼電器102斷開(kāi)后，使放電用高耐壓繼電器103導(dǎo)通，由此，被蓄積在高壓電容器106中的高電壓從高耐壓繼電器103通過(guò)施加電阻104被施加至檢查對(duì)象器件105的一個(gè)端子。
[0008]這樣，能夠由定時(shí)控制器(timing controller) 107對(duì)這些高耐壓繼電器102、103進(jìn)行導(dǎo)通/斷開(kāi)控制，來(lái)對(duì)高壓電容器106進(jìn)行充電或放電，從而對(duì)檢查對(duì)象器件105施加規(guī)定的高電壓。高耐壓繼電器102、103的切換動(dòng)作，由定時(shí)控制器107在規(guī)定的定時(shí)(timing)進(jìn)行。ESD測(cè)試規(guī)定有多種施加模式和與各種施加模式對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)對(duì)檢查對(duì)象器件105施加的電流波形(或電壓波形)來(lái)判斷是否符合。
[0009]圖11是表示對(duì)來(lái)自圖10的ESD測(cè)試裝置的施加電流波形是否正確進(jìn)行檢查的情形的圖。
[0010]如圖11所示，通過(guò)高耐壓繼電器102、103的切換動(dòng)作，對(duì)電容器106進(jìn)行充電或放電，由此，通過(guò)接觸探針對(duì)虛線(xiàn)部所示的檢查對(duì)象器件105施加規(guī)定的高電壓的電流波形。此時(shí)，利用示波器對(duì)通過(guò)接觸探針的高電壓的電流波形(或電壓波形)觀(guān)測(cè)電流值的大小、其收斂時(shí)間等。
[0011 ] 在ESD測(cè)試中，按每種ESD施加模式規(guī)定有標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)示波器的觀(guān)測(cè)來(lái)判斷施加的電流波形(或電壓波形)是否符合。
[0012]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0014]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-329818號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0016]在上述以往的ESD測(cè)試檢查方法中，為了確保制品的出貨品質(zhì)并持續(xù)進(jìn)行生產(chǎn)，作為ESD測(cè)試裝置的運(yùn)用，需要定期地確認(rèn)滿(mǎn)足了上述多種ESD施加模式的每種模式的高電壓波形的標(biāo)準(zhǔn)。另外，作為其前階段，對(duì)于是否對(duì)檢查對(duì)象器件施加了高電壓波形使其通電，也需要進(jìn)行診斷。但是，利用示波器的觀(guān)測(cè)來(lái)判斷每種ESD施加模式的標(biāo)準(zhǔn)是否符合，需要大量的時(shí)間，檢查數(shù)越多，其ESD測(cè)試檢查的準(zhǔn)確性也越會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。
[0017]本發(fā)明人在去年提出申請(qǐng)的日本特開(kāi)2011-100230號(hào)公報(bào)中提出了利用ESD測(cè)試在多個(gè)檢查對(duì)象器件的ESD測(cè)試中一并處理多個(gè)，但是，當(dāng)對(duì)用于一并處理多個(gè)的多個(gè)ESD電路，按每I個(gè)電路利用由示波器進(jìn)行的電流探針觀(guān)測(cè)來(lái)實(shí)施上述以往的ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查時(shí)，存在一并處理多個(gè)的數(shù)量越增加，越需要非常大量的檢查時(shí)間的問(wèn)題。
[0018]本發(fā)明是解決上述以往的問(wèn)題的發(fā)明，其目的是提供能夠在ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查中迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試檢查的ESD測(cè)試檢查裝置、和使用該ESD測(cè)試檢查裝置的ESD測(cè)試檢查方法。
[0019]用于解決技術(shù)問(wèn)題的手段
[0020]本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置，在對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間連接有診斷單元，利用該診斷單元，能夠診斷是否已從該ESD測(cè)試裝置施加了各高電壓或者該各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值，由此達(dá)到上述目的。
[0021]另外，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的診斷單元進(jìn)行的診斷，根據(jù)發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行。
[0022]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光單元為發(fā)光檢驗(yàn)用LED。
[0023]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光檢驗(yàn)用LED的發(fā)光顏色為綠色。
[0024]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的診斷單元具有:連接在上述ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間的可變電阻與分壓電阻的串聯(lián)電路；和在該分壓電阻的兩端間正向連接的發(fā)光單元。
[0025]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的診斷單元具有連接在上述ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間的發(fā)光單元。
[0026]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的診斷單元進(jìn)行的診斷具有:檢測(cè)單元，該檢測(cè)單元檢測(cè)作為上述診斷單元的發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)或者檢測(cè)對(duì)該診斷單元施加的高電壓是否超過(guò)規(guī)定閾值電壓。
[0027]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光單元的發(fā)光閾值電壓為在上述串聯(lián)電路的兩端電壓施加上述ESD測(cè)試裝置的規(guī)定的高電壓時(shí)的上述分壓電阻的兩端電壓。
[0028]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光單元是發(fā)光響應(yīng)特性為10nsec以下的發(fā)光元件。
[0029]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光單元通過(guò)來(lái)自ESD測(cè)試裝置的各高電壓進(jìn)行發(fā)光。
[0030]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的發(fā)光單元與包括可變電阻的多個(gè)分壓電阻中的任一個(gè)分壓電阻連接。
[0031]進(jìn)一步，優(yōu)選使用本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的ESD測(cè)試裝置的高電壓電源和輸出其以外的各高電壓的一個(gè)或多個(gè)ESD電路，對(duì)每個(gè)該ESD電路連接有上述診斷單元或上述發(fā)光單元。
[0032]進(jìn)一步，優(yōu)選在本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的診斷時(shí)，將上述高電壓的放電周期重復(fù)規(guī)定期間，使得利用殘像效果使上述發(fā)光可視化，由此使上述發(fā)光單元的發(fā)光連續(xù)。
[0033]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的高電壓的放電周期根據(jù)高電壓電源的充電能力設(shè)定。
[0034]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的高電壓的放電周期為30msec。
[0035]進(jìn)一步，優(yōu)選在本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的ESD電路有多個(gè)的情況下，至少上述發(fā)光單元在電路基板上排列有多個(gè)。
[0036]進(jìn)一步，優(yōu)選本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的電路基板的一個(gè)連接單元與連接在上述ESD電路的高電壓輸出端間的另一個(gè)連接單元連接，對(duì)每個(gè)該ESD電路連接有上述發(fā)光單元。
[0037]進(jìn)一步，優(yōu)選具有ESD控制器，該ESD控制器以ESD測(cè)試模式和ESD測(cè)試檢查模式對(duì)來(lái)自本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置的ESD電路的高電壓輸出周期進(jìn)行控制。
[0038]本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查方法具有:診斷工序，連接在ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間的診斷單元，能夠診斷是否已從對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的該ESD測(cè)試裝置施加了各高電壓或者該各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值，由此達(dá)到上述目的。
[0039]根據(jù)上述技術(shù)方案，以下對(duì)本發(fā)明的作用進(jìn)行說(shuō)明。
[0040]在本發(fā)明中，在對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間連接有診斷單元，利用該診斷單元，能夠診斷是否已施加了該ESD測(cè)試裝置的各高電壓或者該各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值。利用上述診斷單元進(jìn)行的診斷，根據(jù)發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行。
[0041]由此，使用診斷單元，根據(jù)例如發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)，進(jìn)行來(lái)自ESD測(cè)試裝置的各高電壓的通電或電壓電平的診斷，因此，能夠在ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查中迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試檢查。
[0042]發(fā)明效果
[0043]由以上可知，根據(jù)本發(fā)明，使用診斷單元，根據(jù)例如發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)，進(jìn)行來(lái)自ESD測(cè)試裝置的各高電壓的通電或電壓電平的診斷，因此，能夠在ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查中迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試檢查。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0044]圖1是表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置，將診斷電路與ESD測(cè)試裝置連接的單位結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0045]圖2是表示在圖1的ESD測(cè)試檢查裝置中使用具有8個(gè)ESD電路的ESD測(cè)試裝置的情況下的結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0046]圖3是表示具有8個(gè)ESD電路的ESD測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0047]圖4是示意性地表示圖3的ESD測(cè)試裝置的與器件的接觸狀態(tài)的放大圖像的立體圖。
[0048]圖5是示意性地表示圖3的ESD測(cè)試裝置的ESD施加時(shí)的結(jié)構(gòu)圖像例的立體圖。
[0049]圖6的(a)是表示ESD基板箱的立體圖，(b)是ESD施加電壓波形的波形圖。
[0050]圖7是表示以個(gè)人計(jì)算機(jī)PC為主體的晶片圖和探測(cè)管理的框圖。
[0051]圖8是在電路基板上配置有36個(gè)圖1的診斷電路的診斷電路基板的平面圖。
[0052]圖9是用于對(duì)圖8的診斷電路基板與探針卡的連結(jié)方法進(jìn)行說(shuō)明的側(cè)面圖。
[0053]圖10是表示專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)的以往的ESD測(cè)試裝置的主要部分結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0054]圖11是表示對(duì)來(lái)自圖10的ESD測(cè)試裝置的施加電流波形是否正確進(jìn)行檢查的情形的圖。
[0055]符號(hào)說(shuō)明
[0056]1、IA ESD測(cè)試符合檢查裝置
[0057]2 可變電阻
[0058]3 分壓電阻
[0059]4 發(fā)光檢驗(yàn)用LED
[0060]5 診斷電路
[0061]6 診斷電路基板
[0062]6a 電路基板
[0063]7 電阻排列區(qū)域
[0064]8a 凸銷(xiāo)插口
[0065]8b 凹銷(xiāo)插口
[0066]10U0A ESD 測(cè)試裝置
[0067]11 探針(probe)
[0068]12 高電壓電源
[0069]13、14、18高耐壓繼電器
[0070]15 施加電阻
[0071]16 高壓電容器
[0072]17 ESD 控制器
[0073]19 檢查對(duì)象器件
[0074]21 ESD 基板箱
[0075]21a配線(xiàn)輸出部
[0076]23 配線(xiàn)
[0077]19a、19b
[0078]24 連接器
[0079]22,22k 探針卡
[0080]20 半導(dǎo)體晶片
[0081]30 晶片載置臺(tái)(wafer stage)
[0082]31 探針臺(tái)(prober)
[0083]32 個(gè)人計(jì)算機(jī)

【具體實(shí)施方式】
[0084]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的ESD測(cè)試檢查裝置和使用該ESD測(cè)試檢查裝置的ESD測(cè)試檢查方法的實(shí)施方式I進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，各圖中的構(gòu)成部件各自的厚度和長(zhǎng)度等，從圖面制作上的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，并不限定于圖示的結(jié)構(gòu)。
[0085](實(shí)施方式I)
[0086]圖1是表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置，將診斷電路與ESD測(cè)試裝置連接的單位結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0087]在圖1中，本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置I具有診斷單元，該診斷單元診斷:是否已從對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的ESD測(cè)試裝置10施加了各高電壓、或者各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值。
[0088]本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查方法具有診斷工序，診斷單元診斷:是否已從對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的ESD測(cè)試裝置10施加了各高電壓、或者各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值。
[0089]本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置I具有:用于對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件進(jìn)行檢查ESD耐性的ESD施加測(cè)試的ESD測(cè)試裝置10 ;和作為用于對(duì)ESD施加電壓波形是否符合進(jìn)行診斷的診斷單元的診斷電路5。
[0090]診斷電路5具有:連接在該ESD測(cè)試裝置10的高電壓輸出端(探針11)間的可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路；和連接在該分壓電阻3的兩端間的作為發(fā)光單元的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。此外，發(fā)光檢驗(yàn)用LED4與包括可變電阻2的多個(gè)分壓電阻中的任一個(gè)分壓電阻連接。因此，可以在可變電阻2的兩端側(cè)連接發(fā)光檢驗(yàn)用LED4，在除了可變電阻2以外具有2個(gè)分壓電阻3的情況下，也可以在其中I個(gè)分壓電阻3的兩端側(cè)連接發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。
[0091]或者，作為對(duì)是否已經(jīng)施加來(lái)自ESD測(cè)試裝置10的各高電壓進(jìn)行診斷的診斷單元，作為通電確認(rèn)，可以具有不經(jīng)由分壓電阻而連接在高電壓輸出端(探針11)間的作為發(fā)光單元的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。
[0092]在此，以在后述的高電壓電源12以外的一個(gè)ESD電路的高電壓輸出端(探針11)間連接有診斷電路5或發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的情況作為單位結(jié)構(gòu)例進(jìn)行了說(shuō)明，但是，也可以相對(duì)于I個(gè)高電壓電源12并聯(lián)地存在多個(gè)ESD電路，在該情況下，只要在一個(gè)或多個(gè)ESD電路的每個(gè)高電壓輸出端(探針11)間連接有診斷電路5或發(fā)光檢驗(yàn)用LED4即可。
[0093]ESD測(cè)試裝置10中，高電壓電源12的一個(gè)端子通過(guò)高耐壓繼電器13、14與施加電阻15的一端連接。該施加電阻15的另一端通過(guò)一個(gè)探針11與檢查對(duì)象器件的一個(gè)端子連接。另一個(gè)探針11與高電壓電源12的另一個(gè)端子連接。這些高耐壓繼電器13、14的連接點(diǎn)，和通過(guò)高壓電容器16連接的另一個(gè)探針11與高電壓電源12的另一端的連接點(diǎn)連接，該連接點(diǎn)被接地。設(shè)置有對(duì)這些高耐壓繼電器13、14的導(dǎo)通/斷開(kāi)進(jìn)行控制的ESD控制器17。需要另外設(shè)置用于驅(qū)動(dòng)這些高耐壓繼電器13、14的電源。
[0094]在此，與高電壓電源12連接的ESD電路具有高耐壓繼電器13、14、施加電阻15、高壓電容器16和高電壓輸出端(一對(duì)探針11)。由包括線(xiàn)路長(zhǎng)度在內(nèi)的同一電路條件規(guī)定的ESD施加高電壓(高電壓波形)需要到達(dá)一對(duì)探針11。在ESD測(cè)試時(shí)，一對(duì)探針11與檢查對(duì)象器件的兩個(gè)端子抵接，對(duì)檢查對(duì)象器件的耐性進(jìn)行檢查。另一方面，在ESD測(cè)試的符合檢查時(shí)，在不使檢查對(duì)象器件的兩個(gè)端子與一對(duì)探針11抵接，而使一對(duì)探針11間開(kāi)放的狀態(tài)下，連接上述診斷電路5代替檢查對(duì)象器件，進(jìn)行ESD測(cè)試的符合檢查。
[0095]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使用ESD測(cè)試裝置10的ESD測(cè)試檢查中，首先，由ESD控制器17使得充電用高耐壓繼電器13導(dǎo)通，來(lái)自高電壓電源12的電流被蓄積在高壓電容器16中。此時(shí)，由ESD控制器17使得放電用高耐壓繼電器14為斷開(kāi)狀態(tài)。
[0096]接著，在由ESD控制器17使得充電用高耐壓繼電器13斷開(kāi)后，進(jìn)行控制使得將放電用高耐壓繼電器14導(dǎo)通。由此，被蓄積在高壓電容器16中的高電壓，從高耐壓繼電器14通過(guò)施加電阻15被施加于一個(gè)探針11。
[0097]該高電壓被施加于由可變電阻2和分壓電阻3構(gòu)成的串聯(lián)電路。在該分壓電阻3的兩端間產(chǎn)生規(guī)定電壓，以對(duì)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4施加規(guī)定電壓。當(dāng)該規(guī)定電壓超過(guò)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光閾值(0.7V?5.0V左右)時(shí)，規(guī)定電壓使發(fā)光檢驗(yàn)用LED4發(fā)光。總之，如果發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光閾值電壓Vth，為在串聯(lián)電路的兩端電壓施加有ESD測(cè)試裝置的規(guī)定的高電壓時(shí)的分壓電阻的兩端電壓，則在被施加ESD測(cè)試裝置的規(guī)定的高電壓以上的電壓時(shí)，成為發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光閾值電壓以上,發(fā)光檢驗(yàn)用LED4發(fā)光。根據(jù)該發(fā)光，能夠診斷為在要與檢查對(duì)象器件連接的各探針11間已經(jīng)被施加符合規(guī)定的電壓波形的高電壓電平。
[0098]關(guān)于診斷電路5中的可變電阻2和分壓電阻3的電阻值的設(shè)定，設(shè)定分壓電阻比，使得對(duì)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4施加發(fā)光閾值電壓Vth界限的電壓。由此，設(shè)定為在對(duì)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4施加有規(guī)定的發(fā)光閾值電壓Vth以上的電壓的情況下能夠發(fā)光。因此，當(dāng)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4發(fā)光時(shí),對(duì)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4施加有規(guī)定的發(fā)光閾值電壓Vth以上的電壓被施加至發(fā)光檢驗(yàn)用LED4，因此，在可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路的兩端施加有規(guī)定的施加電壓電平以上的高電壓波形。此外，如果僅為通電確認(rèn)，則可以不經(jīng)由分壓電阻，而僅將發(fā)光檢驗(yàn)用LED4直接連接在各探針11間。
[0099]能夠由ESD控制器17對(duì)這些充電用高耐壓繼電器13、14進(jìn)行導(dǎo)通/斷開(kāi)控制，來(lái)對(duì)高壓電容器16進(jìn)行充電或放電，從而對(duì)各探針11間施加規(guī)定的高電壓。充電用高耐壓繼電器13、14的切換動(dòng)作，由ESD控制器17在規(guī)定的定時(shí)進(jìn)行。ESD測(cè)試規(guī)定有多種施加模式和與各種施加模式對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)從探針11對(duì)檢查對(duì)象器件施加的電流波形(或電壓波形)來(lái)判斷是否符合。在此，能夠根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，來(lái)診斷是否施加了符合規(guī)定的電壓波形的高電壓電平。
[0100]另外，是否施加了來(lái)自ESD測(cè)試裝置10的各高電壓的診斷，能夠根據(jù)連接在I對(duì)探針11間的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行診斷。
[0101]本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試符合檢查裝置1，能夠利用ESD測(cè)試裝置10的高電壓電源12和其以外的ESD電路，對(duì)每I個(gè)ESD電路連接具有可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路和發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的符合檢查的診斷電路5，由ESD控制器17啟動(dòng)檢驗(yàn)?zāi)Ｊ剑鶕?jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，對(duì)一個(gè)或多個(gè)ESD電路一并調(diào)查電路動(dòng)作和施加電壓電平(電壓值或電流值的大小)，來(lái)診斷是否符合規(guī)定的施加電壓電平。關(guān)于是否施加了來(lái)自ESD測(cè)試裝置10的各高電壓的診斷，也能夠與此同樣地根據(jù)直接連接在一對(duì)探針11間的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行診斷。
[0102]在該情況下，在ESD測(cè)試檢查(檢驗(yàn)?zāi)Ｊ?時(shí)，在施加ESD測(cè)試裝置10的高電壓的各探針11間不與檢查對(duì)象器件連接的開(kāi)放狀態(tài)下，使用通常的ESD測(cè)試裝置10對(duì)診斷單元進(jìn)行ESD高電壓施加。檢驗(yàn)?zāi)Ｊ脚c實(shí)際施加模式的不同在于，在各探針11間不連接檢查對(duì)象器件。總之，能夠通過(guò)接收來(lái)自探針臺(tái)或控制PC(個(gè)人計(jì)算機(jī))的控制信號(hào)，與系統(tǒng)同步地通過(guò)ESD控制器17對(duì)充電用高耐壓繼電器13、14進(jìn)行SW控制，在各探針11間施加規(guī)定的高電壓波形，這將在后面進(jìn)行說(shuō)明。
[0103]在檢驗(yàn)?zāi)Ｊ降腅SD電路診斷時(shí)，根據(jù)高電壓電源12對(duì)高壓電容器16的充電能力，ESD控制器17以盡可能短的周期自激振蕩地以例如30msec周期(在ESD施加測(cè)試的實(shí)際施加模式中為120msec以上)反復(fù)進(jìn)行將充電用高耐壓繼電器13、14導(dǎo)通/斷開(kāi)規(guī)定期間(2、秒左右)的動(dòng)作。通過(guò)這樣縮短放電周期，能夠利用殘像效果容易地使單次難以看見(jiàn)的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光可視化。能夠不使用檢測(cè)發(fā)光的有無(wú)的規(guī)定的測(cè)量器具，通過(guò)目視在短時(shí)間內(nèi)準(zhǔn)確地檢驗(yàn)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)。
[0104]發(fā)光檢驗(yàn)用LED4相對(duì)于ESD施加極性正向地連接。將發(fā)光檢驗(yàn)用LED4作為發(fā)光檢驗(yàn)用元件使用的理由是因?yàn)?，發(fā)光響應(yīng)性迅速，微弱電流靈敏度良好，小型且高亮度，并具有對(duì)聞電壓的耐性。
[0105]對(duì)該情況下的發(fā)光響應(yīng)性進(jìn)行說(shuō)明。在燈泡(白熾燈泡)的情況下，從開(kāi)關(guān)導(dǎo)通的瞬間至達(dá)到通常的亮度為止，據(jù)認(rèn)為需要0.15?0.25秒左右。在熒光管的情況下更慢，需要I?2秒。在HID的情況下更慢，至穩(wěn)定發(fā)光為止需要幾分鐘。但是，在LED的情況下，剛一流通電流就明亮地發(fā)光，另外，當(dāng)切斷電流時(shí)，一瞬間變暗，發(fā)光響應(yīng)性?xún)?yōu)異。LED元件單體的響應(yīng)速度據(jù)認(rèn)為是50?lOOnsec。因此，發(fā)光檢驗(yàn)用LED4選擇具有10nsec以下的迅速的發(fā)光響應(yīng)特性的元件，更優(yōu)選發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光響應(yīng)特性越迅速越好，可以為50 ?75nsec。
[0106]從ESD電路通過(guò)探針11對(duì)檢查對(duì)象器件施加的充電電荷量(電流量)，根據(jù)施加電壓決定，將施加電壓設(shè)定得越高，用于診斷的發(fā)光確認(rèn)越容易。例如在HBM標(biāo)準(zhǔn)1000V時(shí)幾百nseC、2000V時(shí)幾百nsec的期間，電荷放電雖然持續(xù)，但是需要LED的發(fā)光響應(yīng)速度以上的放電時(shí)間，因此，能夠通過(guò)目視確認(rèn)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光。另外，作為通過(guò)人的眼睛使發(fā)光確認(rèn)變得容易的手段，在ESD控制器17除了通常的實(shí)際施加模式以外，可以以短的周期、例如30msec的周期使施加動(dòng)作反復(fù)進(jìn)行，使得能夠利用殘像效果容易地使發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光可視化，這已作為檢驗(yàn)?zāi)Ｊ皆谇懊孢M(jìn)行了說(shuō)明?？傊贓SD電路診斷時(shí)，將ESD高電壓的放電周期反復(fù)進(jìn)行規(guī)定期間，使得利用殘像效果使發(fā)光可視化，由此，使發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光連續(xù)進(jìn)行。
[0107]另外，說(shuō)明對(duì)于對(duì)LED的施加高電壓施加的耐性。在實(shí)際使用中，關(guān)于LED的耐久性完全沒(méi)有問(wèn)題，對(duì)于LED動(dòng)作電壓，實(shí)際上，即使施加1000V以上的正向電壓Vf也完全沒(méi)有問(wèn)題。作為其理由，可以列舉:從ESD電路通過(guò)探針11對(duì)檢查對(duì)象器件施加的充電電荷量(電流量)被限制為規(guī)定量；電荷的放電時(shí)間(電流通電時(shí)間)短至幾百nsec，作為破壞的主要原因的發(fā)熱量微小等。
[0108]順便說(shuō)一下，紅色LED正向電壓Vf為2.1-2.6V，綠色LED正向電壓Vf?為
3.3-3.9V，藍(lán)色LED正向電壓Vf為3.2-4.0V,白色LED正向電壓Vf為3.1-4.0V。作為發(fā)光檢驗(yàn)用LED4，使用對(duì)人的眼睛而言靈敏度高的綠色LED在視認(rèn)性方面有利。
[0109]在圖1中，說(shuō)明了作為ESD測(cè)試檢查裝置，利用ESD測(cè)試裝置10的高電壓電源12和其以外的一個(gè)或多個(gè)ESD電路，對(duì)每一個(gè)ESD電路連接有符合檢查用的診斷電路5的情況或?qū)γ恳粋€(gè)ESD電路直接正向連接有發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的情況，其中，符合檢查用的診斷電路5具有可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路和發(fā)光檢驗(yàn)用LED4，這說(shuō)明了對(duì)一個(gè)或多個(gè)ESD電路，一并地根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，對(duì)施加電壓電平進(jìn)行診斷的情況，在圖2中，具體而言，對(duì)利用I個(gè)高電壓電源12和與其并聯(lián)連接的8個(gè)ESD電路，8個(gè)一并地利用ESD施加進(jìn)行ESD測(cè)試的檢查的情況進(jìn)行說(shuō)明。
[0110]圖2是表示圖1的ESD測(cè)試符合檢查裝置中使用具有8個(gè)ESD電路的ESD測(cè)試裝置的情況的結(jié)構(gòu)例的電路圖。圖3是表示具有8個(gè)ESD電路的ESD測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)例的電路圖。
[0111]在圖2中，本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置IA具有:輸出規(guī)定的高電壓的高電壓電源2 ;和對(duì)多對(duì)探針11 一并同時(shí)施加來(lái)自高電壓電源2的規(guī)定的高電壓的多個(gè)(在此為8個(gè))ESD電路，對(duì)每I對(duì)探針11連接診斷電路5，根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，來(lái)進(jìn)行規(guī)定的高電壓電平是否良好的檢查。
[0112]該ESD電路具有:作為高電壓電容單元的多個(gè)高壓電容器16，其蓄積來(lái)自高電壓電源12的規(guī)定的高電壓；多個(gè)作為切換單元的高耐壓繼電器18，其進(jìn)行切換使得將來(lái)自該高電壓電源12的規(guī)定的高電壓連接至高壓電容器16側(cè)或?qū)?lái)自高壓電容器16的高電壓連接至高電壓輸出部側(cè)；和多對(duì)(在此為8對(duì))高電壓輸出部，其將來(lái)自多個(gè)高壓電容器16的各規(guī)定的高電壓從高耐壓繼電器18分別通過(guò)施加電阻15同時(shí)輸出至多對(duì)探針11，作為同一電路結(jié)構(gòu)，將從高壓電容器16起經(jīng)由高耐壓繼電器18以及施加電阻15到達(dá)探針11的ESD電路分別獨(dú)立地并聯(lián)配置8個(gè)。
[0113]對(duì)該高電壓輸出部的每I對(duì)探針11連接有診斷電路5。利用多個(gè)(在此為8個(gè))診斷電路5，根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，來(lái)診斷一并被施加的高電壓波形電平是否符合規(guī)定電平、或者是否已通過(guò)探針11施加了高電壓。
[0114]ESD測(cè)試裝置1A中，高電壓電源12的一個(gè)端子分別通過(guò)多觸點(diǎn)(在此為8觸點(diǎn))的高耐壓繼電器18的各觸點(diǎn)與多個(gè)(在此為8個(gè))高壓電容器16的各一個(gè)電極連接，多個(gè)(在此為8個(gè))高壓電容器16的各另一個(gè)電極分別與高電壓電源12的另一個(gè)端子連接并且被接地。多個(gè)(在此為8個(gè))高壓電容器16的各一個(gè)電極分別從多觸點(diǎn)(在此為8觸點(diǎn))的高耐壓繼電器3的各觸點(diǎn)分別通過(guò)各施加電阻15從高電壓輸出部的探針11分別連接至診斷電路5。
[0115]ESD測(cè)試裝置1A具有高電壓電源12和8個(gè)并聯(lián)的ESD電路，對(duì)各個(gè)ESD電路連接診斷電路5而構(gòu)成本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置A。此外，在ESD測(cè)試時(shí)，代替分別在ESD測(cè)試裝置1A的多對(duì)探針11間分別連接各診斷電路5，如圖3所示，分別在ESD測(cè)試裝置1A的多對(duì)探針11間分別連接各檢查對(duì)象器件19來(lái)實(shí)施ESD測(cè)試。
[0116]各檢查對(duì)象器件19的一個(gè)端子分別與從高電壓輸出部的探針11起經(jīng)由施加電阻15和高耐壓繼電器18而到達(dá)高壓電容器16的一個(gè)端子的各獨(dú)立的ESD電路分別連接。另外，各檢查對(duì)象器件19的另一個(gè)端子分別從GND電壓輸出部的探針11分別連接至高壓電容器16的另一個(gè)端子并且被接地。雖然在此未圖示，但是設(shè)置有在規(guī)定定時(shí)控制多觸點(diǎn)(在此為8觸點(diǎn))的高耐壓繼電器18的同時(shí)連接切換的上述的ESD控制器17。
[0117]高電壓電源12，根據(jù)要一并處理的高壓電容器16的個(gè)數(shù)的電容來(lái)選擇具有適當(dāng)?shù)某潆娞幚砟芰Φ母唠妷弘娫?，并共用?br> [0118]高耐壓繼電器18使用在設(shè)置上具有方向性的水銀繼電器，在此可以為8觸點(diǎn)的繼電器，但是也可以為2個(gè)4觸點(diǎn)的繼電器，也可以為4個(gè)2觸點(diǎn)的繼電器。也可以代替8觸點(diǎn)的高耐壓繼電器3而設(shè)置8個(gè)I觸點(diǎn)的高耐壓繼電器3。高耐壓繼電器18，相對(duì)于高壓電容器16，由未圖示的ESD控制器17，8觸點(diǎn)同時(shí)以高壓電容器16側(cè)為中心，在高電壓電源12側(cè)與檢查對(duì)象器件19或診斷電路5側(cè)之間進(jìn)行切換。對(duì)于從8個(gè)高壓電容器16向8個(gè)器件19或診斷電路5的高電壓的獨(dú)立的一并施加，對(duì)高耐壓繼電器18的控制信號(hào)為單一同時(shí)控制。當(dāng)高耐壓繼電器18重疊配置時(shí)，因?yàn)槭抢镁€(xiàn)圈磁場(chǎng)進(jìn)行動(dòng)作的部件，所以存在產(chǎn)生誤動(dòng)作的可能性，因此不優(yōu)選。
[0119]高壓電容器16在此使用8個(gè)，選擇具有適合于測(cè)試電壓的耐性的高壓電容器，在容量的選擇中，選擇按每個(gè)測(cè)試模式?jīng)Q定的容量，使得符合ESD測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)。例如，當(dāng)為HBM標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，為10pF,當(dāng)為MM標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，為200pF。
[0120]施加電阻15在此使用8個(gè)，例如，當(dāng)為HBM標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，為1.5ΚΩ，當(dāng)為麗標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，為0ΚΩ (無(wú)電阻)。這些高壓電容器16和施加電阻15以電獨(dú)立的狀態(tài)搭載與要一并處理的器件19或診斷電路5的個(gè)數(shù)相應(yīng)的量。
[0121]器件19例如為L(zhǎng)SI元件、LED元件和激光元件等發(fā)光元件等。
[0122]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，首先，高耐壓繼電器18的8個(gè)觸點(diǎn)由未圖示的ESD控制器17在高電壓電源12側(cè)導(dǎo)通，電流從高電壓電源12分支為8個(gè)而流入各高壓電容器16，均等地被蓄積至高電壓電源12的高電壓。此時(shí)，高耐壓繼電器18的器件6側(cè)的8個(gè)觸點(diǎn)由ESD控制器17控制為斷開(kāi)狀態(tài)。
[0123]接著，由ESD控制器17進(jìn)行控制，使得在高耐壓繼電器18的高電壓電源12側(cè)的8個(gè)觸點(diǎn)斷開(kāi)之后，高耐壓繼電器18的診斷電路5側(cè)的8個(gè)觸點(diǎn)導(dǎo)通。由此，被蓄積在高壓電容器16中的高電壓從高耐壓繼電器18的8個(gè)觸點(diǎn)、從各施加電阻15分別通過(guò)各探針11被分別施加至診斷電路5。在該情況下，各高壓電容器16與診斷電路5 —對(duì)一地對(duì)應(yīng)，能大幅地高效率地進(jìn)行明確并且準(zhǔn)確的ESD施加電壓電平的診斷。此外，如果僅為通電確認(rèn)，則能夠不經(jīng)由分壓電阻，而在各探針11間直接連結(jié)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4，根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行通電確認(rèn)。
[0124]這樣，能夠由ESD控制器17將這些高耐壓繼電器18的8個(gè)觸點(diǎn)從高電壓電源12側(cè)切換至診斷電路5側(cè)，對(duì)8個(gè)高壓電容器16進(jìn)行充電或放電，從8個(gè)高壓電容器16將規(guī)定的明確并且準(zhǔn)確的高電壓分別從各高電壓輸出部的探針11分別施加至診斷電路5。高耐壓繼電器18的8個(gè)觸點(diǎn)的切換動(dòng)作，由ESD控制器17在規(guī)定的定時(shí)同時(shí)進(jìn)行。ESD測(cè)試規(guī)定有多種施加模式和與各種施加模式對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)對(duì)檢查對(duì)象的各器件6施加的ESD電流波形(或ESD電壓波形)，能夠通過(guò)診斷電路5的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，迅速地診斷符合還是不符合。
[0125]圖4是示意性地表示圖3的ESD測(cè)試裝置1A的與器件19的接觸狀態(tài)的放大圖像的立體圖。圖5是示意性地表示圖3的ESD測(cè)試裝置1A的ESD施加時(shí)的結(jié)構(gòu)圖像例的立體圖。
[0126]在圖4和圖5中，在圖3的ESD測(cè)試裝置1A中具備:8ch的ESD基板箱21，其為了安全而將搭載有I臺(tái)高電壓電源12、8觸點(diǎn)的高耐壓繼電器18、8個(gè)高壓電容器16和8個(gè)施加電阻15、其他附加電路的ESD基板(未圖示)收容在殼體內(nèi)，具有從高壓電容器16通過(guò)高耐壓繼電器18的觸點(diǎn)到達(dá)施加電阻15的串聯(lián)電路的8個(gè)電路的量(8個(gè)ESD電路)的配線(xiàn)輸出部21a ;和探針卡22，來(lái)自ESD基板箱21的配線(xiàn)輸出部21a的各配線(xiàn)23通過(guò)在該探針卡22的上表面設(shè)置的連接器24與該探針卡22的下表面?zhèn)鹊母魈结?1的8個(gè)組分別連接，以與各器件19的2個(gè)端子19a、19b —對(duì)一地對(duì)應(yīng)的方式從該探針卡22的下表面突出地分別設(shè)置有一對(duì)探針11的8個(gè)組，在晶片載置臺(tái)30上的半導(dǎo)體晶片20上呈矩陣狀設(shè)置有多個(gè)的檢查對(duì)象中的8個(gè)檢查對(duì)象的各器件19的各器件19的各端子19a、19b，與和各高壓電容器16分別連接的各探針11的8個(gè)組，以一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的方式配置。
[0127]如圖4所示，從ESD基板箱21內(nèi)的ESD基板至探針卡22為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度變化，由此ESD施加電壓波形變化。因此，使從高壓電容器16至器件19的各端子19a、19b為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度全部為相同配線(xiàn)長(zhǎng)度，以使對(duì)器件19的各端子19a、19b或診斷電路5施加的ESD電壓波形相同。ESD基板可以具有用于更換部件的插口部。
[0128]從圖6的(a)的ESD基板箱21的配線(xiàn)輸出部21a至器件19或診斷電路5為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度，為了保持圖6的(b)的ESD施加電壓波形的標(biāo)準(zhǔn)，優(yōu)選為20cm以下。使從各ESD基板至8個(gè)器件19的各端子或診斷電路5為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度全部為相同配線(xiàn)長(zhǎng)度，以使對(duì)器件19的各端子或診斷電路5施加的圖6的(b)的ESD電壓波形相同。由此，ESD測(cè)試變得均勻，能夠根據(jù)在診斷電路5中發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，來(lái)迅速并且準(zhǔn)確地診斷在該ESD測(cè)試中使用的ESD施加電壓波形電平的符合或不符合。
[0129]從該Sch的ESD基板箱21的配線(xiàn)輸出部21a至各器件19或診斷電路5為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度，為了保持圖6的(b)的ESD施加電壓波形的標(biāo)準(zhǔn)，優(yōu)選為20cm以下。使從各ESD基板箱21的各配線(xiàn)輸出部21a至8個(gè)的各器件19的各端子19al9b或診斷電路5為止的配線(xiàn)長(zhǎng)度全部為相同配線(xiàn)長(zhǎng)度，以使對(duì)各器件19的各端子或診斷電路5施加的圖6的(b)的ESD電壓波形相同。由此，ESD測(cè)試變得均勻。能夠進(jìn)行此時(shí)的ESD施加電壓波形電平的符合診斷。
[0130]圖7是表示以個(gè)人計(jì)算機(jī)PC為主體的晶片圖和探測(cè)管理的框圖。
[0131]在圖7中，本實(shí)施方式I的ESD測(cè)試檢查裝置1A，通過(guò)接收來(lái)自進(jìn)行探測(cè)管理的個(gè)人計(jì)算機(jī)32的指示進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的ESD控制器17的檢驗(yàn)?zāi)Ｊ剑瑢⒏吣蛪豪^電器18的8個(gè)觸點(diǎn)同時(shí)切換至高電壓電源12側(cè)，在8個(gè)高壓電容器16中蓄積來(lái)自高電壓電源12的高電壓，然后，從由在規(guī)定的定時(shí)將高耐壓繼電器18的8個(gè)觸點(diǎn)同時(shí)切換至8個(gè)的各施加電阻15側(cè)的8個(gè)并聯(lián)電路構(gòu)成的ESD電路，對(duì)8對(duì)的各探針11間的診斷電路5分別施加ESD施加電壓電平。能夠根據(jù)診斷電路5的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，通過(guò)目視迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試的高電壓符合檢查和高電壓通電檢查等ESD測(cè)試檢查。
[0132]在目視以外的自動(dòng)診斷檢查的情況下，可以:利用作為檢測(cè)單元的光耦合器等檢測(cè)作為發(fā)光單元的發(fā)光檢驗(yàn)用LED的發(fā)光的有無(wú)，或者利用包括比較電路的電子電路等檢測(cè)單元檢測(cè)是否已經(jīng)超過(guò)對(duì)診斷電路5施加的高電壓或與其對(duì)應(yīng)的規(guī)定閾值電壓。
[0133]在ESD測(cè)試裝置1A中，在對(duì)半導(dǎo)體晶片20的多達(dá)10萬(wàn)個(gè)的大量的芯片依次進(jìn)行ESD測(cè)試的情況下(實(shí)際施加模式)，使用探針臺(tái)31等自動(dòng)搬送裝置將晶片載置臺(tái)30在3軸方向驅(qū)動(dòng)，連續(xù)地進(jìn)行探測(cè)。探測(cè)管理能夠以個(gè)人計(jì)算機(jī)PC為主體，對(duì)于半導(dǎo)體晶片20上的晶片圖、即表示在半導(dǎo)體晶片20上呈矩陣狀配置的大量(例如10萬(wàn)個(gè))的作為檢查對(duì)象器件的半導(dǎo)體芯片的位置的地址，存儲(chǔ)對(duì)哪個(gè)地址范圍的半導(dǎo)體芯片進(jìn)行ESD測(cè)試、哪個(gè)地址的半導(dǎo)體芯片為ESD耐壓不良。關(guān)于ESD耐壓不良，在半導(dǎo)體芯片的二極管結(jié)構(gòu)的逆向電壓導(dǎo)致的漏電流超過(guò)規(guī)定值的情況下，利用測(cè)定器對(duì)此進(jìn)行測(cè)定而認(rèn)定為不良，將該半導(dǎo)體芯片的地址存儲(chǔ)在個(gè)人計(jì)算機(jī)PC中。
[0134]在診斷檢查的情況下，對(duì)于表示大量的ESD電路的位置的地址，能夠存儲(chǔ)對(duì)哪個(gè)地址范圍的ESD電路進(jìn)行ESD測(cè)試檢查、哪個(gè)地址的ESD電路為ESD施加不良。關(guān)于ESD施加不良，將該ESD電路的地址存儲(chǔ)在個(gè)人計(jì)算機(jī)PC中。
[0135]ESD控制器17不僅按照ESD電路的高耐壓繼電器18的動(dòng)作控制進(jìn)行動(dòng)作，而且按照利用程序等對(duì)要施加的電壓電平的設(shè)定和施加次數(shù)、施加的極性條件預(yù)先設(shè)定的順序進(jìn)行動(dòng)作。ESD控制器17具有ESD測(cè)試模式(實(shí)際施加模式)和檢驗(yàn)?zāi)Ｊ?ESD測(cè)試檢查模式)。
[0136]接著，對(duì)ESD測(cè)試檢查裝置I或IA的診斷電路5的小型化進(jìn)行說(shuō)明。LED為點(diǎn)光源，在ESD電路為大量電路(接下來(lái)示出36個(gè)電路)的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)診斷電路5的基板的小型化。
[0137]S卩，在有大量ESD電路的情況下，使至少發(fā)光單元(發(fā)光檢驗(yàn)用LED4)在電路基板上大量排列配置，電路基板的一個(gè)連接單元(后述的凸銷(xiāo)插口 8a)與連接在ESD電路的高電壓輸出端間(探針卡22A的探針11間)的另一個(gè)連接單元(后述的凹銷(xiāo)插口 Sb)相互連接，對(duì)每I個(gè)ESD電路連接作為診斷單元的診斷電路5。在圖8和圖9對(duì)此進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0138]圖8是在電路基板上配直有36個(gè)圖1的診斷電路5的診斷電路基板的平面圖。圖9是用于說(shuō)明利用一次操作連結(jié)圖8的診斷電路基板與探針卡的方法的側(cè)面圖。
[0139]如圖8和圖9所不，在診斷電路基板6上排列有36個(gè)診斷電路5。診斷電路基板6在電路基板6a的俯視右側(cè)區(qū)域上以9行4列呈矩陣狀排列有36個(gè)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。另夕卜，診斷電路基板6在電路基板6a的俯視左側(cè)區(qū)域上具有電阻排列區(qū)域7，該電阻排列區(qū)域7排列有可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路的36個(gè)電路的量。對(duì)這些可變電阻2與分壓電阻3的每個(gè)串聯(lián)電路，在分壓電阻3的兩端間利用電路基板6a的配線(xiàn)連接有發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。
[0140]在探針卡22A的下表面?zhèn)扰渲糜?6對(duì)探針11，對(duì)探針卡22A側(cè)的每I對(duì)探針11分別配置有I對(duì)凹銷(xiāo)插口 Sb。在診斷電路基板6側(cè)，以與可變電阻2和分壓電阻3的串聯(lián)電路的兩端部分別對(duì)應(yīng)的方式分別配置有I對(duì)凸銷(xiāo)插口 8a。凸銷(xiāo)插口 8a和凹銷(xiāo)插口 8b構(gòu)成為在上下裝卸自如，通過(guò)利用一次操作將凸銷(xiāo)插口 8a插入凹銷(xiāo)插口 8b，對(duì)每I對(duì)探針11連接可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路的兩端部。由此，對(duì)每I對(duì)探針11連接診斷電路5，從而能夠根據(jù)發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的發(fā)光的有無(wú)，來(lái)對(duì)36對(duì)的ESD施加高電壓波形的電壓電平是否為規(guī)定的電壓電平以上進(jìn)行診斷。
[0141]由以上可知，根據(jù)本實(shí)施方式1，作為ESD測(cè)試檢查裝置1，具有:用于對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件進(jìn)行檢查ESD耐性的ESD施加測(cè)試的ESD測(cè)試裝置10 ;和用于診斷ESD施加電壓波形的符合與否的診斷電路5。診斷電路5具有:連接在該ESD測(cè)試裝置10的高電壓輸出端(探針11)間的可變電阻2與分壓電阻3的串聯(lián)電路；和連接在該分壓電阻3的兩端間的作為發(fā)光單元的發(fā)光檢驗(yàn)用LED4。此外，如果僅進(jìn)行通電確認(rèn)，則可以不經(jīng)由分壓電阻，而僅直接將發(fā)光檢驗(yàn)用LED4連接在各探針11間。
[0142]由此，使用診斷單元，例如根據(jù)發(fā)光單元(發(fā)光檢驗(yàn)用LED4)的發(fā)光的有無(wú)，進(jìn)行來(lái)自ESD測(cè)試裝置10或1A的各高電壓的通電或電壓電平的診斷，因此，與以往相比能夠大幅地迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試符合檢查。例如當(dāng)使用示波器進(jìn)行32個(gè)ESD電路的高電壓施加電平的檢查時(shí)，ESD電路的I個(gè)電路花費(fèi)3分鐘，32個(gè)電路花費(fèi)96分鐘，而根據(jù)本實(shí)施方式1，不依賴(lài)于ESD電路的電路數(shù)量，只是檢查發(fā)光檢驗(yàn)用LED4的點(diǎn)亮的有無(wú)，因此，能夠一并地最大也在I分鐘以?xún)?nèi)實(shí)施檢查。因此，一并檢查ESD耐性的ESD電路的數(shù)量越多效率越高。
[0143]此外，雖然在上述實(shí)施方式I中并未特別說(shuō)明，但是高電壓電源12相對(duì)于GND電位搭載有正電源和負(fù)電源，且構(gòu)成為正電源與負(fù)電源能夠切換，也可以構(gòu)成為相對(duì)于多個(gè)檢查對(duì)象器件6，能夠切換正向偏壓與反向偏壓。在正向偏壓與反向偏壓時(shí)，診斷電路5的連接方向?yàn)橄喾捶较颉?br> [0144]如以上所述，使用本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式I對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了例示，但是本發(fā)明不應(yīng)該限定于該實(shí)施方式I進(jìn)行解釋。能夠理解，本發(fā)明的范圍應(yīng)該僅根據(jù)權(quán)利要求的范圍來(lái)解釋。能夠理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠根據(jù)本發(fā)明的具體的優(yōu)選的實(shí)施方式I的記載，基于本發(fā)明的記載和技術(shù)常識(shí)在等價(jià)的范圍內(nèi)實(shí)施。能夠理解，本說(shuō)明書(shū)中引用的專(zhuān)利、專(zhuān)利申請(qǐng)和文獻(xiàn)，其內(nèi)容自身與具體地記載在本說(shuō)明書(shū)中的內(nèi)容同樣，其內(nèi)容應(yīng)當(dāng)作為對(duì)本說(shuō)明書(shū)的參考被援用。
[0145]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0146]本發(fā)明在對(duì)來(lái)自高電壓施加裝置的電流波形是否正確進(jìn)行檢查的ESD測(cè)試符合檢查裝置和使用該ESD測(cè)試符合檢查裝置的ESD測(cè)試符合檢查方法的領(lǐng)域中，使用診斷單元，根據(jù)例如發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)，進(jìn)行來(lái)自ESD測(cè)試裝置的各高電壓的通電或電壓電平的診斷，因此，能夠迅速并且準(zhǔn)確地進(jìn)行ESD測(cè)試符合檢查，其中，該高電壓施加裝置是對(duì)例如LSI元件、LED元件和激光元件等發(fā)光元件等檢查對(duì)象器件檢查ESD耐性的高電壓施加裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 在對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間連接有診斷單元，利用該診斷單元，能夠診斷是否已從該ESD測(cè)試裝置施加了各高電壓或者該各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值。
2.如權(quán)利要求1所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 利用所述診斷單元進(jìn)行的診斷，根據(jù)發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)來(lái)進(jìn)行。
3.如權(quán)利要求2所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光單元為發(fā)光檢驗(yàn)用LED。
4.如權(quán)利要求3所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光檢驗(yàn)用LED的發(fā)光顏色為綠色。
5.如權(quán)利要求1所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述診斷單元具有:連接在所述ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間的可變電阻與分壓電阻的串聯(lián)電路；和在該分壓電阻的兩端間正向連接的發(fā)光單元。
6.如權(quán)利要求1所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述診斷單元具有連接在所述ESD測(cè)試裝置的各高電壓輸出端間的發(fā)光單元。
7.如權(quán)利要求1或2所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 利用所述診斷單元進(jìn)行的診斷具有:檢測(cè)單元，該檢測(cè)單元檢測(cè)作為所述診斷單元的發(fā)光單元的發(fā)光的有無(wú)或者檢測(cè)對(duì)該診斷單元施加的高電壓是否超過(guò)規(guī)定閾值電壓。
8.如權(quán)利要求5所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光單元的發(fā)光閾值電壓為在所述串聯(lián)電路的兩端電壓施加所述ESD測(cè)試裝置的規(guī)定的高電壓時(shí)的所述分壓電阻的兩端電壓。
9.如權(quán)利要求5或6所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光單元是發(fā)光響應(yīng)特性為lOOnsec以下的發(fā)光元件。
10.如權(quán)利要求5或6所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光單元通過(guò)來(lái)自ESD測(cè)試裝置的各高電壓進(jìn)行發(fā)光。
11.如權(quán)利要求5所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述發(fā)光單元與包括可變電阻的多個(gè)分壓電阻中的任一個(gè)分壓電阻連接。
12.如權(quán)利要求2所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 使用所述ESD測(cè)試裝置的高電壓電源和輸出其以外的各高電壓的一個(gè)或多個(gè)ESD電路，對(duì)每個(gè)該ESD電路連接有所述診斷單元或所述發(fā)光單元。
13.如權(quán)利要求2所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 在所述診斷時(shí)，將所述高電壓的放電周期重復(fù)規(guī)定期間，使得利用殘像效果使所述發(fā)光可視化，由此使所述發(fā)光單元的發(fā)光連續(xù)。
14.如權(quán)利要求13所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述高電壓的放電周期根據(jù)高電壓電源的充電能力設(shè)定。
15.如權(quán)利要求13或14所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述高電壓的放電周期為30msec。
16.如權(quán)利要求12所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 在具有多個(gè)所述ESD電路的情況下，至少所述發(fā)光單元在電路基板上排列有多個(gè)。
17.如權(quán)利要求16所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 所述電路基板的一個(gè)連接單元與連接在所述ESD電路的高電壓輸出端間的另一個(gè)連接單元連接，對(duì)每個(gè)該ESD電路連接有所述發(fā)光單元。
18.如權(quán)利要求12或13所述的ESD測(cè)試檢查裝置，其特征在于: 具有ESD控制器，該ESD控制器以ESD測(cè)試模式和ESD測(cè)試檢查模式對(duì)來(lái)自所述ESD電路的高電壓輸出周期進(jìn)行控制。
19.一種ESD測(cè)試檢查方法，其是使用權(quán)利要求1?6、8、11?14、16和17中任一項(xiàng)所述的ESD測(cè)試檢查裝置的ESD測(cè)試檢查方法，該ESD測(cè)試檢查方法的特征在于，具有: 診斷工序，連接在該ESD測(cè)試檢查裝置的各高電壓輸出端間的診斷單元，能夠診斷是否已從對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查對(duì)象器件分別施加高電壓以一并檢查ESD耐性的該ESD測(cè)試檢查裝置施加了各高電壓或者該各高電壓是否符合規(guī)定的高電壓值。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK104204827SQ201380018537
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2013年3月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月4日
【發(fā)明者】?jī)?nèi)田練, 坂口英明 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社