感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機el顯示裝置及液晶顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光度及密接性、耐熱透明性均優(yōu)異的感光性樹脂組合物。該感光性樹脂組合物包括：(A)含有滿足下述(1)及下述(2)的至少一個的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元、及(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物；(B)光酸產(chǎn)生劑；(C)由下述通式(I)所表示的化合物；以及(D)溶劑。
【專利說明】感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機EL顯 示裝置及液晶顯示裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物。尤其涉及一種化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組 合物。另外，本發(fā)明涉及一種使用感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法、使該感光性組合 物硬化而成的硬化膜、使用該硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機電致發(fā)光 (Electroluminescence, EL)顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等電子零件的平坦化 膜、保護膜或?qū)娱g絕緣膜的正型感光性樹脂組合物、及使用其的硬化膜的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 就提升亮度、減少消耗電力等觀點而言，在有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置等中 設(shè)置有層間絕緣膜。就用以獲得所需的圖案形狀的步驟數(shù)少、且可獲得充分的平坦性等而 言，在該層間絕緣膜的形成中廣泛使用感光性樹脂組合物。
[0004] 此處，要求使用如上所述的感光性樹脂組合物而形成有圖案的層間絕緣膜是顯影 后及加熱硬化后密接優(yōu)異、耐熱透明性優(yōu)異等可靠性高的效果膜。另外，近年來為了生產(chǎn)性 良好地制造有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置，而要求感光性樹脂組合物的高感光度化。
[0005] 從前，作為高感光度的感光性樹脂組合物，已知有例如使用具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮 結(jié)構(gòu)的粘合劑的專利文獻1等。雖然正推斷硅烷偶合劑作為密接改良劑，但這些組合物無 法達(dá)成令人滿意的密接性。另外，考慮到與基板的相互作用，有通過使用胺類來提升密接性 這一想法，但存在感光度對應(yīng)于添加量的增大而下降這一缺點，無法達(dá)成感光度與密接性 的并存。另外，具有縮醛結(jié)構(gòu)的粘合劑通常保存穩(wěn)定性不太高，因此期望找到一種無損穩(wěn)定 性的密接改良劑。
[0006] [現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0007] [專利文獻]
[0008] [專利文獻1]日本專利特開2011-221494號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的課題
[0010] 本申請發(fā)明是以解決上述課題為目的的發(fā)明，其目的在于提供一種感光度及密接 性、耐熱透明性均優(yōu)異的感光性樹脂組合物。
[0011] 解決問題的技術(shù)手段
[0012] 本發(fā)明人為了解決上述課題而進行努力研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過向感光性樹脂組合 物中添加由下述通式（I)所表示的化合物（以下，也稱為"特定的含硫化合物"），可解決上 述課題。即，發(fā)現(xiàn)通過特定的含硫化合物的S-S鍵的分解而產(chǎn)生自由基，并攻擊對透明性造 成不良影響的化合物，結(jié)果使透明性等提升。
[0013] 具體而言，通過以下的手段〈1>，優(yōu)選為通過手段〈2>?手段〈15>來解決上述課 題。
[0014] 〈1> 一種感光性樹脂組合物，其包括：㈧含有滿足下述⑴及下述⑵的至少一 個的聚合物的聚合物成分，
[0015] (1)具有（al)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性 基的構(gòu)成單元的聚合物，
[0016] (2)具有（al)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有 (a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物；
[0017] (B)光酸產(chǎn)生劑；
[0018] (C)由下述通式⑴所表示的化合物；以及
[0019] (D)溶劑，
[0020]通式（I)
[0021] [化 1]
[0022]

【權(quán)利要求】
1. 一種感光性樹脂組合物，其包括：(A)含有滿足下述（1)及下述（2)的至少一個的聚 合物的聚合物成分， (1) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性基的 構(gòu)成單元的聚合物， (2) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有（a2)含 有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物； (B) 光酸產(chǎn)生劑； (C) 由下述通式⑴所表示的化合物；以及 (D) 溶劑； 通式（I)
(通式（I)中，Rn及R12分別表示含有脂肪族烴基、芳香族烴基及雜環(huán)基的至少1個的 基，η表示2?4的整數(shù)）。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，通式（I)中，R11及R12分別為脂肪 族烴基或芳香族烴基。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，通式（I)中，R11及R12分別為碳數(shù) 1?10的烷基、或碳數(shù)6?11的芳基。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，（C)由通式（I)所表示的化合物是 由下述通式（II)表示： [化2] R21-Lll-L1-S-S-L2-L12-R22 (II) (通式（II)中，R21及R22分別表示氫原子、烷基或芳基，L1及L2分別表示亞烷基或亞芳 基，L11及L22分別表示*-0-C( = 0)-或*-NH-C( = 0)-;在*側(cè)與L1或L2進行鍵結(jié)）。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述構(gòu)成單元（al) 為具有羧基由縮醛的形式保護的殘基的構(gòu)成單元。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述構(gòu)成單元（al) 為由下述式（A2')所表示的構(gòu)成單元： 式（A2，）
(式中，R1及R2分別表示氫原子、烷基或芳基，至少R1及R2的任一個為烷基或芳基，R3 表示烷基或芳基，R1或R2與R3可連結(jié)而形成環(huán)狀醚，R4表示氫原子或甲基，X表示單鍵或 亞芳基）。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述交聯(lián)性基為選自 環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基、-NH-CH2-OR(R為碳數(shù)1?20的烷基）中的至少1種。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述感光性樹脂組合 物為化學(xué)增幅型正型感光性樹脂組合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，⑶光酸產(chǎn)生劑為肟 磺酸酯化合物或鎗鹽化合物。
10. -種硬化膜的制造方法，其包括： (1) 將根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的感光性樹脂組合物應(yīng)用于基板上的步驟； (2) 自所應(yīng)用的感光性樹脂組合物中去除溶劑的步驟； (3)利用活性放射線進行曝光的步驟； (4)利用水性顯影液進行顯影的步驟；以及 (5)進行熱硬化的后烘烤步驟。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的硬化膜的制造方法，其包括在所述顯影步驟后、所述后烘 烤步驟前，進行全面曝光的步驟。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的硬化膜的制造方法，其中，所述基板為金屬基板。
13. -種硬化膜，其是使根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的感光性樹脂組合物硬化而 形成。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
15. -種液晶顯示裝置或有機電致發(fā)光顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的 硬化膜。
【文檔編號】H01L51/50GK104246608SQ201380019967
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年4月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月16日
【發(fā)明者】山田悟, 柏木大助, 佐竹亮 申請人:富士膠片株式會社