圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，屬于藍(lán)寶石襯底加工的【技術(shù)領(lǐng)域】。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，所述圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法包括如下步驟：a、對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以去除圖形化藍(lán)寶石襯底上的掩膜層；b、對(duì)上述得到的圖形化藍(lán)寶石襯底利用混合酸溶液腐蝕，以去除藍(lán)寶石襯底上的圖形；c、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底再次利用混合酸溶液腐蝕，以降低藍(lán)寶石襯底的表面粗造度；d、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以便在所述藍(lán)寶石襯底上制備所需圖形。本發(fā)明工藝步驟簡(jiǎn)單，能提高圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的利用率，降低圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本，安全可靠。
【專利說(shuō)明】圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種再利用方法，尤其是一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，屬于藍(lán)寶石襯底加工的【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]圖形化藍(lán)寶石襯底無(wú)論是干法刻蝕還是濕法腐蝕，都會(huì)存在一定比例的報(bào)廢情況，圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢之后大多是直接當(dāng)做陪片使用，不能轉(zhuǎn)化為有效使用的圖形襯底，這大大增加了圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其工藝步驟簡(jiǎn)單，能提高圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的利用率，降低圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本，安全可靠。
[0004]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，所述圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法包括如下步驟:
a、對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以去除圖形化藍(lán)寶石襯底上的掩膜層；
b、對(duì)上述得到的圖形化藍(lán)寶石襯底利用混合酸溶液腐蝕，以去除藍(lán)寶石襯底上的圖
形；
C、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底再次利用混合酸溶液腐蝕，以降低藍(lán)寶石襯底的表面粗造
度；
d、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以便在所述藍(lán)寶石襯底上制備所需圖形。
[0005]所述步驟a，去除圖形化藍(lán)寶石襯底的掩膜層包括二氧化硅掩膜層或金屬掩膜層。
[0006]所述步驟b中，混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4，其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%,濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比范圍為1:10~1: 1，混合酸溶液的溫度為26(T330°C。
[0007]所述步驟c中，再次利用混合酸溶液腐蝕后，使得藍(lán)寶石襯底的表面粗造度降低至Inm以內(nèi)。
[0008]所述混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4,其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%，濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比范圍為1: f 1:10，混合酸溶液的溫度為260~330°C。
[0009] 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底，首先去除藍(lán)寶石襯底上的掩膜層，利用混合酸溶液去除藍(lán)寶石襯底上的圖形，再次利用混合酸溶液降低藍(lán)寶石襯底的粗造度，最后進(jìn)行清洗，以便下次能夠制備圖形要求，工藝步驟簡(jiǎn)單，能提高圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的利用率，降低圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本，安全可靠。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】[0010]圖廣圖3為本發(fā)明具體實(shí)施工藝步驟剖視圖，其中 圖1為圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為本發(fā)明去除圖形化藍(lán)寶石襯底上掩膜層的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖3為本發(fā)明得到所需藍(lán)寶石襯底的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記說(shuō)明:1-藍(lán)寶石襯底、2-掩膜層、3-圖形。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0015]如圖1、圖2和圖3所示:為了能提高圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的利用率，降低圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本，本發(fā)明圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法包括如下步驟:
a、對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底I進(jìn)行清洗，以去除圖形化藍(lán)寶石襯底I上的掩膜層2 ；本發(fā)明實(shí)施例中，去除圖形化藍(lán)寶石襯底的掩膜層2包括二氧化硅掩膜層或金屬掩膜層。具體地，將報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底I先經(jīng)過(guò)去膠液、丙酮、異丙醇等有機(jī)溶液清洗掉表面有機(jī)污染，用BOE腐蝕液腐蝕去掉表面的二氧化硅掩膜層，利用王水去掉其他金屬掩膜，最后用SPM和APM溶液清洗表面殘留的顆粒；本步驟中，采用上述溶液去除圖形化藍(lán)寶石襯底上的掩膜層2為本【技術(shù)領(lǐng)域】常規(guī)的方法，此處不再贅述。
[0016]b、對(duì)上述得到的圖形化藍(lán)寶石襯底I利用混合酸溶液腐蝕，以去除藍(lán)寶石襯底I上的圖形3 ;
混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4，其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%，濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比范圍為1: l(Tl: 1，混合酸溶液的溫度為26(T330°C。不同的混合酸溶液配比和腐蝕溫度對(duì)藍(lán)寶石的腐蝕速率和最終的表面粗糙情況有影響。濃磷酸所占的比例越高，`對(duì)藍(lán)寶石襯底I的腐蝕速率越快；腐蝕溫度越高，對(duì)藍(lán)寶石襯底I的腐蝕速率也越快。為了快速把帶有圖形3的藍(lán)寶石襯底I表面腐蝕干凈，先用較快的腐蝕速率腐蝕掉圖形襯底上面的圖形。本步驟中,利用上述混合酸溶液中快速腐蝕上凸或下凹的圖3形，直至將表面圖形腐蝕完全，本步驟中，腐蝕時(shí)間至少10分鐘。
[0017]C、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底再次利用混合酸溶液腐蝕，以降低藍(lán)寶石襯底的表面粗造度；
所述混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4，其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%，濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比范圍為1: f 1:10，混合酸溶液的溫度為26(T330°C。再次利用混合酸溶液腐蝕后，使得藍(lán)寶石襯底的表面粗造度降低至Inm以內(nèi)。
[0018]d、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以便在所述藍(lán)寶石襯底上制備所需圖形。
[0019]本步驟中，利用SPM和APM溶液將處理過(guò)的藍(lán)寶石襯底I清洗干凈，以便在清洗干凈的藍(lán)寶石襯底I上再次制備所需的圖形。
[0020]本發(fā)明對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底1，首先去除藍(lán)寶石襯底I上的掩膜層2，利用混合酸溶液去除藍(lán)寶石襯底I上的圖形3，再次利用混合酸溶液降低藍(lán)寶石襯底I的粗造度，最后進(jìn)行清洗，以便下次能夠制備圖形要求，工藝步驟簡(jiǎn)單，能提高圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片的利用率，降低圖形化藍(lán)寶石襯底的制備成本，安全可靠。
【權(quán)利要求】
1.一種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其特征是，所述圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法包括如下步驟: (a)、對(duì)報(bào)廢的圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以去除圖形化藍(lán)寶石襯底上的掩膜層； (b)、對(duì)上述得到的圖形化藍(lán)寶石襯底利用混合酸溶液腐蝕，以去除藍(lán)寶石襯底上的圖形； (C)、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底再次利用混合酸溶液腐蝕，以降低藍(lán)寶石襯底的表面粗造度； (d)、對(duì)上述得到的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，以便在所述藍(lán)寶石襯底上制備所需圖形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其特征是:所述步驟(a)，去除圖形化藍(lán)寶石襯底的掩膜層包括二氧化硅掩膜層或金屬掩膜層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其特征是:所述步驟(b)中，混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4，其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%，濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比范圍為1: l(Tl: 1，混合酸溶液的溫度為260~330。。。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其特征是:所述步驟(c)中，再次利用混合酸溶液腐蝕后，使得藍(lán)寶石襯底的表面粗造度降低至Inm以內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的種圖形化藍(lán)寶石報(bào)廢片再利用方法，其特征是:所述混合酸溶液包括濃H2SO4和濃H3PO4，其中，濃H2SO4的濃度為90%~98.5%，濃H3PO4的濃度為80%~85%，濃H2SO4與濃H3PO4的體積配比`范圍為1: f 1:10，混合酸溶液的溫度為26(T330°C。
【文檔編號(hào)】H01L21/02GK103745918SQ201410006617
【公開(kāi)日】2014年4月23日 申請(qǐng)日期:2014年1月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月7日
【發(fā)明者】許南發(fā), 張淋, 李睿 申請(qǐng)人:江蘇新廣聯(lián)科技股份有限公司