輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，包括信號光源、放大器、光束整形模塊；放大器包括沿著光路依次排布的光纖放大器和板條放大器；光束整形模塊包括光束整形注入模塊和光束整形輸出模塊，光束整形注入模塊設(shè)置在光纖放大器和板條放大器光路之間，將光纖放大器輸出的激光整形成垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束輸出到板條放大器；光束整形輸出模塊設(shè)置在板條放大器的輸出光路上，將板條放大器輸出的激光在豎直和水平方向進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出。本發(fā)明通過光纖放大器以及板條放大器兩種方式的配合使用，將低功率的脈沖激光放大為頻率可調(diào)的高功率皮秒脈沖激光，不僅減少放大級數(shù)，使結(jié)構(gòu)更簡單，同時又能獲得滿意的放大增益效果。
【專利說明】輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光器【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]高功率的皮秒脈沖具有脈沖寬度窄、峰值功率高、單色性好、與材料作用時間大于熱效應(yīng)擴(kuò)散時間等優(yōu)點，在微納加工、醫(yī)療處理、精密測距和國防等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，是激光器領(lǐng)域的前沿研究方向之一，尤其在非線性光學(xué)頻率轉(zhuǎn)換等應(yīng)用場合，高功率激光脈沖能獲得更高的轉(zhuǎn)換效率。
[0003]通過產(chǎn)生電學(xué)上小于Ins的電脈沖，驅(qū)動快速響應(yīng)的半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生皮秒脈沖，其脈沖寬度一般在百皮秒量級，且重復(fù)頻率可以根據(jù)需要，可以實現(xiàn)從IHz至數(shù)MHz的調(diào)節(jié)，但是其輸出功率僅數(shù)百微瓦，且由于半導(dǎo)體激光器工作在非穩(wěn)態(tài)模式，其輸出激光縱模較多，發(fā)射光譜寬。
[0004]為獲得高功率的皮秒脈沖，常采激光脈沖放大的方法，目前激光脈沖放大的方式有兩種，即再生放大及行波放大。再生放大技術(shù)優(yōu)點是，放大器增益高，可以達(dá)到IO6~109，但是再生放大腔結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對脈沖時序要求非常嚴(yán)格，同時需要加入是電光腔倒空功能，制作難度非常大。行波放大技術(shù)的優(yōu)點是，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，但是由于激光隨著不斷放大，其光功率密度逐漸增大，很容易達(dá)到放大增益介質(zhì)的破壞閾值，所在行波放大器的增益有限，一般為IO4左右。
[0005]綜上所述，采用短脈沖驅(qū)動半導(dǎo)體激光器的方式，雖然可以獲得短脈沖激光，但是激光光譜較寬，再放大時，會因色散而使得脈沖寬度展寬。再生放大技術(shù)因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難易實現(xiàn)穩(wěn)定的激光輸出，行 波放大技術(shù)，雖然結(jié)構(gòu)簡單，但其可以獲得的光增益有限。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明目的:本發(fā)明旨在提供一種輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，可將激光器的峰值功率由幾kW放大到二量級。
[0007]技術(shù)方案:一種輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，包括:信號光源，用于提供激光器的激光信號；放大器，用于實現(xiàn)對皮秒脈沖激光能量或功率的放大；還包括光束整形模塊，用于改變激光光束的形狀；放大器包括沿著光路依次排布的光纖放大器和板條放大器；光束整形模塊包括光束整形注入模塊和光束整形輸出模塊，光束整形注入模塊設(shè)置在光纖放大器和板條放大器之間的光路上，將光纖放大器輸出的激光整形成垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束輸出到板條放大器；光束整形輸出模塊設(shè)置在板條放大器的輸出光路上，將板條放大器輸出的激光在垂直和水平方向進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出。所述光束整形注入模塊和光束整形輸出模塊均由多個柱面鏡組成，所述柱面鏡上鍍有1064nm的增透膜。
[0008]所述信號光源包括驅(qū)動電路、半導(dǎo)體激光器、種子光源和光環(huán)形器，所述驅(qū)動電路與半導(dǎo)體激光器連接，種子光源與光環(huán)形器的端口 I連接，光環(huán)形器的端口 II與半導(dǎo)體激光器連接，光環(huán)形器的端口III為信號光源的輸出端。種子光源由光環(huán)形器的端口 I輸入窄線寬種子光，窄線寬種子光幾乎毫無損失地由端口 II輸出到半導(dǎo)體激光器，種子光源通過光環(huán)形器實現(xiàn)將輸出的窄線寬種子光注入到半導(dǎo)體激光器，然后半導(dǎo)體激光器經(jīng)由端口 II輸入與種子光線寬一致的光，端口 II輸入的光幾乎毫無損失地由端口III輸出。采用窄線寬種子光源注入鎖定方法，有效的壓窄了輸出激光線寬，不需要加入窄帶寬濾波器件，結(jié)構(gòu)簡單。
[0009]所述光源還包括溫控模塊，用于使所述半導(dǎo)體激光器的工作溫度穩(wěn)定在指定值，所述溫控模塊與半導(dǎo)體激光器連接。所述溫控模塊由制冷片和溫控電路組成，所述制冷片為半導(dǎo)體制冷片(TEC)，其溫度波動小于0.TC。讓半導(dǎo)體激光器工作在最佳溫度，保證半導(dǎo)體激光器的輸出光中心波長不會因為環(huán)境溫度的改變而發(fā)生漂移。
[0010]所述驅(qū)動電路為超短脈沖驅(qū)動電路，提供最短脈沖寬度小于Ins的脈沖信號，脈沖頻率可以從O?IMHz可調(diào)。所述種子光源為單模半導(dǎo)體連續(xù)激光器，提供1064nm窄線寬激光。
[0011]所述光纖放大器包括前端光隔離器、光纖放大泵浦源、光合束器、增益光纖和后端光隔離器，所述前端光隔離器和后端光隔離器作為光纖放大器的輸入端與輸出端，分別設(shè)置在光纖放大器光路的兩端；所述光合束器、增益光纖依次設(shè)置在前端光隔離器和后端光隔離器之間的光路上，光纖放大泵浦源與光合束器輸入端連接。
[0012]所述板條放大器包括板條晶體、放大泵浦源、腔鏡；放大泵浦源設(shè)置在板條晶體上下端，腔鏡包括相互平行的第一腔鏡和第二腔鏡，第一腔鏡、第二腔鏡分別設(shè)置在板條晶體兩側(cè)通光面的前端，且第一腔鏡的反射面、第二腔鏡的反射面與板條晶體的通光面之間具有一夾角，從板條晶體一側(cè)通光面入射的激光，經(jīng)由腔鏡的多次反射形成多程折疊光路，最后從板條晶體另一側(cè)通光面輸出。二次放大中，光束在腔內(nèi)多次往返，可以實現(xiàn)更高增益的放大。所述板條晶體為板條Nd: YAG晶體，所述板條Nd: YAG晶體為扁長的長方體薄片晶體，在供激光傳輸?shù)膬蓚€通光面上鍍有1064的高透膜，上下兩個端面鍍有980nm的高透膜。所述放大泵浦源為單模或多模放大泵浦源，由半導(dǎo)體激光器陣列組成。所述第一腔鏡的反射面、第二腔鏡的反射面與板條晶體的通光面之間夾角的角度為5°?45°。所述腔鏡為平面鏡，所述平面鏡的反射面鍍有1064高反射膜。在放大過程中，光束在腔內(nèi)多次往返，可以實現(xiàn)更高增益的放大。
[0013]工作原理:驅(qū)動電路驅(qū)動半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生皮秒量級的激光信號，種子光源通過光環(huán)行器將輸出的窄線寬種子光注入到半導(dǎo)體激光器，使半導(dǎo)體激光器的輸出光與種子光線寬一致，與種子光線寬一致的激光經(jīng)光環(huán)形器輸出，通過前端光隔離器，進(jìn)入光合束器，光合束器將光纖放大泵浦源的泵浦光和半導(dǎo)體激光器的輸出光耦合進(jìn)入增益光纖進(jìn)行初級放大，放大后的激光再經(jīng)后端光隔離器，進(jìn)入光束整形注入模塊，光束整形注入模塊將激光整形成垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束后，向板條晶體的一側(cè)通光面輸入，并在板條晶體和腔鏡內(nèi)來回反射并放大，最后由板條晶體的另一側(cè)通光面輸出，經(jīng)過二次放大的激光，再經(jīng)光束整形輸出模塊整形成準(zhǔn)直光束輸出，最終獲得頻率可以調(diào)節(jié)的高功率皮秒脈沖，實現(xiàn)將激光器的峰值功率由幾kW放大到MW量級。
[0014]有益效果:本發(fā)明采用二級放大結(jié)構(gòu)，通過光纖放大器以及板條放大器兩種放大方式的配合使用，將低功率的脈沖激光放大為頻率可調(diào)的高功率皮秒脈沖激光，不僅減少放大級數(shù)，使結(jié)構(gòu)更簡單，同時又能獲得滿意的放大增益效果。同時根據(jù)兩種放大器對激光形狀的要求，在二級放大結(jié)構(gòu)中間用光束整形模塊銜接，在二級放大中，光束整形為上下寬且發(fā)散，前后窄且平行發(fā)散光束，在晶體內(nèi)部傳輸時，光功率密度的增速低于光功率的增速，可以有效的保護(hù)晶體。并采用窄線寬種子光源注入鎖定方法，有效的壓窄了輸出激光線寬，不需要加入窄帶寬濾波器件，能最大程度地利用激光能量，避免加入窄帶濾波后輸出功率的大幅降低，減少了放大級數(shù)。在二級放大中，光束在腔內(nèi)多次往返，可以實現(xiàn)更高增益的放大。同時本發(fā)明采用超短脈沖驅(qū)動電路，驅(qū)動半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生皮秒脈沖的方式，重復(fù)頻率調(diào)節(jié)范圍寬，可以滿足多種應(yīng)用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的原理示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]如圖1所示，本發(fā)明所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，包括信號光源17、光纖放大器18、光束整形注入模塊11、板條放大器19、光束整形輸出模塊15,信號光源I輸出的脈沖激光經(jīng)過光纖放大器18的初次放大后，進(jìn)入光束整形注入模塊11整形為板條放大器19所需的垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束后，入射到板條放大器19中進(jìn)行二次放大，經(jīng)過二次放大的激光再由光束整形輸出模塊15將光束在豎直和水平方向進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出，獲得所需的頻率可調(diào)的高功率皮秒脈沖激光。
[0018]如圖2所示，本發(fā)明所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器中，信號光源17包括驅(qū)動電路1、半導(dǎo)體激光器2、溫控模塊4、光環(huán)形器5、種子光源3 ;光纖放大器18包括前端光隔離器6、光纖放大泵浦源7、光合束器8、增益光纖9、后端光隔離器10 ;板條放大器19包括板條晶體12、腔鏡、放大器泵浦源14。光束整形注入模塊11和光束整形輸出模塊15均由多個柱面鏡組成，柱面鏡上鍍有1064nm的增透膜。
[0019]所述驅(qū)動電路I為超短脈沖驅(qū)動電路，所述半導(dǎo)體激光器2為分布反饋式半導(dǎo)體激光器。超短脈沖驅(qū)動電路產(chǎn)生0.3ns電脈沖信號，脈沖頻率可以從O?IMHz可調(diào)，該電脈沖信號驅(qū)動分布反饋式半導(dǎo)體激光器，分布反饋式半導(dǎo)體激光器為蝶形封裝，尾纖輸出。工作時，由于受弛豫振蕩效應(yīng)的影響，將會產(chǎn)生皮秒激光脈沖。與分布反饋式半導(dǎo)體激光器連接的溫控模塊4，讓分布反饋式半導(dǎo)體激光器工作在最佳溫度，保證分布反饋式半導(dǎo)體激光器的輸出光中心波長不會因為環(huán)境溫度的改變而發(fā)生漂移。所述溫控模塊4制冷量為4W，由制冷片和溫控電路組成，制冷片為半導(dǎo)體制冷片(TEC)，其溫度波動小于0.1°C。半導(dǎo)體制冷片(TEC)的冷面利用導(dǎo)熱材料與半導(dǎo)體激光器2連接，導(dǎo)熱材料優(yōu)選導(dǎo)熱硅脂、銦膜或石墨導(dǎo)熱膜。所述種子光源3，優(yōu)選為單模半導(dǎo)體連續(xù)激光器，提供一個窄線寬，中心波長為1064nm，通過光環(huán)形器5注入到分布反饋式半導(dǎo)體激光器中。種子光源3由光環(huán)形器5的端口 I 51輸入窄線寬種子光，窄線寬種子光幾乎毫無損失地由端口 II 52輸出到半導(dǎo)體激光器2，種子光源3通過光環(huán)形器5實現(xiàn)將輸出的窄線寬種子光注入到半導(dǎo)體激光器2，然后半導(dǎo)體激光器2經(jīng)由端口 II 52輸入與種子光線寬一致的光，端口 II 52輸入的光幾乎毫無損失地由端口III 53輸出。采用窄線寬種子光源注入鎖定方法，有效的壓窄了輸出激光線寬，不需要加入窄帶寬濾波器件，結(jié)構(gòu)簡單。通過模式選擇，分布反饋式半導(dǎo)體激光器的輸出光譜寬度可以進(jìn)一步壓窄，獲得1064nm窄線寬的皮秒脈沖激光。
[0020]皮秒脈沖激光通過光環(huán)形器5的輸出端輸出，輸出的皮秒脈沖激光只有百微瓦，此激光通過前端光隔離器6后，再由前端光隔離器6的輸出端進(jìn)入光合束器8。光合束器8優(yōu)選為N+1合束器，其中N ^ 2，可以將多個半導(dǎo)體泵浦光和激光耦合進(jìn)入一根雙包層光纖內(nèi)。前端光隔離器6可以防止光路返回影響激光信號的穩(wěn)定性；光合束器8將光纖放大泵浦源7的泵浦光和皮秒脈沖激光耦合進(jìn)入增益光纖9。
[0021]皮秒脈沖激光通過光合束器8進(jìn)入增益光纖9，增益光纖9為摻鐿的雙包層光纖，長度約為5米，纖芯直徑為lOum，數(shù)值孔徑為0.06，內(nèi)包層直徑徑為125um，數(shù)值孔徑0.20 ；可以將注入的1064nm的皮秒微弱激光進(jìn)行放大。受光纖放大泵浦源7抽運后，可以將皮秒脈沖激光進(jìn)行初步增益放大。光纖放大泵浦源7，為單?；蚨嗄?，帶有尾纖輸出的半導(dǎo)體連續(xù)激光器，通過光纖熔接的方式與光束合器連接；優(yōu)選的光纖放大泵浦源7輸出泵浦光波長為980nm，多模，輸出最大功率為5W。初步放大后的皮秒脈沖激光再經(jīng)過后端光隔離器10后，通過光纖耦合進(jìn)入光束整形注入模塊11，光束整形注入模塊11由兩個垂直相交柱面鏡組成，焦距分別為15mm和20mm ;光束整形注入模塊11將光束整形成垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束，整形后的光束從板條晶體12右側(cè)通光面的上方入射。
[0022]板條晶體12優(yōu)選為板條Nd: YAG晶體,板條Nd: YAG晶體為3mmX 15mmX60mm扁長的長方體薄片晶體。板條Nd: YAG晶體在供激光傳輸?shù)膬蓚€通光面上鍍有1064的高透膜，為了避免ASE的發(fā)生，板條Nd:YAG晶體的上下兩個端面鍍有980nm的高透膜。上下兩個端面由放大器泵浦源為板條Nd:YAG晶體提供泵浦光。放大泵浦源14優(yōu)選為單?；蚨嗄５姆糯蟊闷衷?4，由半導(dǎo)體激光器陣列組成，其輸出泵浦光波長為980nm，輸出總功率最大為220W。板條Nd = YAG晶體兩側(cè)通光面的前端分別設(shè)有第一腔鏡13、第二腔鏡16，第一腔鏡13、第二腔鏡16為兩塊相互平行的平面鏡，平面鏡的反射面鍍有1064的高反射膜。平面鏡與板條Nd = YAG晶體不平行，平面鏡的反射面與板條Nd = YAG晶體的通光面具有一 10°的夾角，夾角使激光在所述板 條晶體12長度方向較寬的面內(nèi)形成多程折疊光路。
[0023]整形后的光束從板條晶體12右側(cè)通光面的上方入射，經(jīng)由板條晶體12左側(cè)通光面輸出，到達(dá)被第一腔鏡13后被反射，再從板條晶體12左側(cè)通光面入射，從右側(cè)通光面輸出，到達(dá)第二腔鏡16后被反射，再次進(jìn)入板條晶體12，如此多次反射來回多次穿過晶體，直至從第二腔鏡16反射后從板條晶體12的左側(cè)通光面下側(cè)輸出，實現(xiàn)激光在板條晶體12內(nèi)部雙方向Z型多程傳輸。在傳輸?shù)倪^程中,激光光束在豎直方向的尺寸將變的越來越大，由于板條晶體12受到上下兩個放大器泵浦源的抽運，可以將入射光功率進(jìn)行增益放大，增益放大倍數(shù)可以達(dá)到105以上。經(jīng)過高功率與高效率放大的激光通過空間傳輸?shù)焦馐屋敵瞿K15，由光束整形輸出模塊15將光束在豎直和水平方向進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出，最終獲得所需的頻率可調(diào)的高功率皮秒脈沖激光。所述光束整形輸出模塊15由多個不同焦距柱面鏡組成，可以將光束整形成光斑尺寸為4_X4mmr的平行光束。本發(fā)明所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器可以得到脈沖寬度20ps，重復(fù)頻率在400kHz時，輸出光功率為107W，激光中心波長為1064nm,光譜寬度為lnm。
【權(quán)利要求】
1.一種輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，包括: 信號光源(17)，用于提供激光器的激光信號； 放大器，用于實現(xiàn)對皮秒脈沖激光能量或功率的放大； 其特征在于，還包括光束整形模塊，用于改變激光光束的形狀； 放大器包括沿著光路依次排布的光纖放大器(18)和板條放大器(19)； 光束整形模塊包括光束整形注入模塊(11)和光束整形輸出模塊(15)，光束整形注入模塊(11)設(shè)置在光纖放大器(18)和板條放大器(19)之間的光路上,將光纖放大器(18)的激光整形成垂直方向發(fā)散、水平方向準(zhǔn)直的光束傳輸?shù)桨鍡l放大器(19);光束整形輸出模塊(15)設(shè)置在板條放大器(19)的輸出光路上,將板條放大器(19)輸出的激光在垂直和水平方向進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述信號光源(17)包括驅(qū)動電路(I)、半導(dǎo)體激光器(2)、種子光源(3)和光環(huán)形器(5)，所述驅(qū)動電路(I)與半導(dǎo)體激光器(2)連接，種子光源(3)與光環(huán)形器(5)的端口 I (51)連接，光環(huán)形器(5)的端口 II (52)與半導(dǎo)體激光器(2)連接，光環(huán)形器(5)的端口III(53)為信號光源(17)的輸出端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述光纖放大器(18)包括前端光隔離器(6)、光纖放大泵浦源(7)、光合束器(8)、增益光纖(9)和后端光隔離器(10)，所述前端光隔離器(6)和后端光隔離器(10)作為光纖放大器(18)的輸入端與輸出端，分別設(shè)置在光纖放大器(18)光路的兩端；所述光合束器(8)、增益光纖(9)依次設(shè)置在前端光隔離器(6)·和后端光隔離器(10)之間的光路上，光纖放大泵浦源(7)與光合束器(8)輸入端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述板條放大器(19)包括板條晶體(12)、放大泵浦源(14)、腔鏡；放大泵浦源(14)設(shè)置在板條晶體(12)上下端，腔鏡包括相互平行的第一腔鏡(13)和第二腔鏡(16)，第一腔鏡(13)、第二腔鏡(16)分別設(shè)置在板條晶體(12)兩側(cè)通光面的前端，且第一腔鏡(13)的反射面、第二腔鏡(16)的反射面與板條晶體(12)的通光面之間具有一夾角，從板條晶體(12)—側(cè)通光面入射的激光，經(jīng)由腔鏡的多次反射形成多程折疊光路，最后從板條晶體(12)另一側(cè)通光面輸出。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述光束整形注入模塊(11)和光束整形輸出模塊(15)均由多個柱面鏡組成，所述柱面鏡上鍍有1064nm的增透膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述信號光源(17)還包括溫控模塊(4)，用于使所述半導(dǎo)體激光器(2)的工作溫度穩(wěn)定在指定值，所述溫控模塊(4)與半導(dǎo)體激光器(2)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述溫控模塊(4)由制冷片和溫控電路組成，所述制冷片為半導(dǎo)體制冷片(TEC)，其溫度波動小于0.1。。。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述驅(qū)動電路(I)為超短脈沖驅(qū)動電路，提供最短脈沖寬度小于Ins的脈沖信號，脈沖頻率可以從O~IMHz可調(diào)。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述種子光源(3)為單模半導(dǎo)體連續(xù)激光器，提供1064nm窄線寬激光。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述板條晶體(12)為板條Nd = YAG晶體，所述板條Nd = YAG晶體為扁長的長方體薄片晶體，在供激光傳輸?shù)膬蓚€通光面上鍍有1064的高透膜，上下兩個端面鍍有980nm的高透膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述放大泵浦源(14)為單?；蚨嗄７糯蟊闷衷?，由半導(dǎo)體激光器陣列組成。
12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述第一腔鏡(13)的反射面、第二腔鏡(16)的反射面與板條晶體(12)的通光面之間夾角的角度為5。~45°。
13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸出頻率可調(diào)的高功率皮秒激光器，其特征在于，所述腔鏡為平面鏡， 所述平面鏡的反射面鍍有1064高反射膜。
【文檔編號】H01S3/09GK103825188SQ201410055015
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2014年2月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月18日
【發(fā)明者】王煒, 周軍, 王國峰, 盧棟, 鄧晨, 宋維爾 申請人:南京先進(jìn)激光技術(shù)研究院