嵌套工具和反應(yīng)腔室的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種嵌套工具和反應(yīng)腔室，嵌套工具包括圓柱體和端面，兩者固定在一起，將嵌套工具的圓柱體嵌入至反應(yīng)腔室的開孔中，端面位于開孔外，固定嵌套工具不會落入開孔中，因此能夠保護(hù)開孔的表面，在對反應(yīng)腔室進(jìn)行清理維護(hù)時(shí)，可以取出嵌套工具進(jìn)行清理和維護(hù)，降低了清理難度，維護(hù)了整個(gè)反應(yīng)腔室的潔凈度，同時(shí)還能夠保護(hù)開孔不被損傷。
【專利說明】嵌套工具和反應(yīng)腔室【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種嵌套工具和反應(yīng)腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，沉積薄膜、刻蝕等工藝均在反應(yīng)腔室(Chamber)中進(jìn)行。為了能夠保持反應(yīng)腔室內(nèi)部反應(yīng)時(shí)的工藝環(huán)境，因此，在每次進(jìn)行工藝反應(yīng)之前通常會進(jìn)行清潔反應(yīng)(Clean process),將整個(gè)反應(yīng)腔室的內(nèi)壁均形成一層保護(hù)涂層(Coating)之后再進(jìn)行相應(yīng)的工藝反應(yīng)，在每次工藝反應(yīng)完成之后，由于保護(hù)涂層會被有損傷，因此需要再次進(jìn)行清潔反應(yīng)，將受到損傷的保護(hù)涂層去除，重新形成新的保護(hù)涂層，以確保后續(xù)的工藝反應(yīng)能夠在符合要求的環(huán)境下進(jìn)行。[0003]然而，清潔反應(yīng)形成的涂層往往在去除時(shí)會聚集在反應(yīng)腔室內(nèi)部的某些地方，產(chǎn)生聚積物(Polymer)，隨著時(shí)間的推移，聚積物的增多，進(jìn)行工藝反應(yīng)時(shí)，往往聚積物會落入晶圓的表面，形成缺陷(Defect)，嚴(yán)重時(shí)會導(dǎo)致晶圓報(bào)廢。
[0004]請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖，反應(yīng)腔室10的側(cè)壁設(shè)有旁路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12，其中所述旁路閥口 12用于連接一旁路閥(圖未示出)，通常在通入反應(yīng)氣體之前，先打開所述旁路閥，用于抽去反應(yīng)腔室內(nèi)的氣體降低壓強(qiáng)，待反應(yīng)氣體流量穩(wěn)定之后再關(guān)閉所述旁路閥，然后再進(jìn)行工藝反應(yīng)；所述氣體流量計(jì)接口 12用于流入氣體，從而由氣體流量計(jì)獲取氣體的流量信息。
[0005]然而，在進(jìn)行清潔反應(yīng)后，往往會在所述旁路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12內(nèi)形成聚積物堆積過多時(shí)，會堵塞所述旁路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12，對工藝反應(yīng)造成較大影響，另一方面，聚積物也容易在晶圓表面形成缺陷，造成晶圓報(bào)廢。但是由于所述芳路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12較深較小，因此，技術(shù)人員在對所述反應(yīng)腔室進(jìn)行定期維護(hù)(PM)時(shí)，無法將所述旁路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12清理干凈。因此，如何避免聚積物堆積在所述旁路閥口 12和氣體流量計(jì)接口 12內(nèi)，保證晶圓進(jìn)行工藝反應(yīng)的環(huán)境良好，是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種嵌套工具和反應(yīng)腔室，能夠嵌入反應(yīng)腔室內(nèi)壁的開口中，便于拆卸和清理。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種嵌套工具，所述工具包括圓柱體和端面，所述端面固定于所述圓柱體上，所述嵌套工具設(shè)有通孔，所述通孔貫穿所述圓柱體和端面。
[0008]進(jìn)一步的，在所述的嵌套工具中，所述圓柱體和端面的表面均形成有保護(hù)涂層。
[0009]進(jìn)一步的，在所述的嵌套工具中，所述圓柱體和端面的材質(zhì)為鋁。
[0010]進(jìn)一步的，在所述的嵌套工具中，所述圓柱體和端面為一體成型。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的嵌套工具中，所述端面橫截面的寬度大于所述圓柱體橫截面的直徑。[0012]進(jìn)一步的，本發(fā)明還提出了一種反應(yīng)腔室，包括反應(yīng)腔體，所述反應(yīng)腔體側(cè)壁設(shè)有多個(gè)開孔，所述反應(yīng)腔室還包括如上文所述的任意一種嵌套工具，所述嵌套工具的圓柱體尺寸與所述開孔的尺寸相匹配。
[0013]進(jìn)一步的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述嵌套工具與所述開孔一一對應(yīng)。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:嵌套工具包括圓柱體和端面，兩者固定在一起，將嵌套工具的圓柱體嵌入至反應(yīng)腔室的開孔中，端面位于開孔外，固定嵌套工具不會落入開孔中，因此能夠保護(hù)開孔的表面，在對反應(yīng)腔室進(jìn)行清理維護(hù)時(shí)，可以取出嵌套工具進(jìn)行清理和維護(hù)，降低了清理難度，維護(hù)了整個(gè)反應(yīng)腔室的潔凈度，同時(shí)還能夠保護(hù)開孔不被損傷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中嵌套工具的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的嵌套工具和反應(yīng)腔室進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0018]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡景l(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0019]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0020]請參考圖2，在本實(shí)施例中，提出了一種嵌套工具，所述工具包括圓柱體110和端面120，所述端面120固定于所述圓柱體110上，所述嵌套工具設(shè)有通孔130，所述通孔130貫穿所述圓柱體110和端面120。
[0021]在本實(shí)施例中，所述圓柱體110和端面120的表面均形成有保護(hù)涂層，用于保護(hù)所述嵌套工具，同時(shí)對反應(yīng)腔室內(nèi)部不會造成損害；其中，所述圓柱體110和端面120的材質(zhì)為鋁或者鋁合金；所述圓柱體110和端面120為一體成型；所述端面120橫截面的寬度大于所述圓柱體110橫截面的直徑，采用這種設(shè)計(jì)能夠在圓柱體110嵌入開孔中不會落入所述開孔內(nèi)。
[0022]在本實(shí)施例中，還提出了一種反應(yīng)腔室，包括反應(yīng)腔體，所述反應(yīng)腔體側(cè)壁設(shè)有多個(gè)開孔，所述嵌套工具的圓柱體110尺寸與所述開孔的尺寸相匹配，使所述圓柱體110能夠嵌入至所述開孔內(nèi)，從而保護(hù)所述開孔。
[0023]在本實(shí)施例中，所述嵌套工具與所述開孔一一對應(yīng)，所述嵌套工具的尺寸可以根據(jù)所述開孔的大小來決定，可以具有多種尺寸。
[0024]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的嵌套工具和反應(yīng)腔室中，嵌套工具包括圓柱體和端面，兩者固定在一起，將嵌套工具的圓柱體嵌入至反應(yīng)腔室的開孔中，端面位于開孔外，固定嵌套工具不會落入開孔中，因此能夠保護(hù)開孔的表面，在對反應(yīng)腔室進(jìn)行清理維護(hù)時(shí)，可以取出嵌套工具進(jìn)行清理和維護(hù)，降低了清理難度，維護(hù)了整個(gè)反應(yīng)腔室的潔凈度，同時(shí)還能夠保護(hù)開孔不被損傷。
[0025]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種嵌套工具，所述工具包括圓柱體和端面，所述端面固定于所述圓柱體上，所述嵌套工具設(shè)有通孔，所述通孔貫穿所述圓柱體和端面。
2.如權(quán)利要求1所述的嵌套工具，其特征在于，所述圓柱體和端面的表面均形成有保護(hù)涂層。
3.如權(quán)利要求2所述的嵌套工具，其特征在于，所述圓柱體和端面的材質(zhì)為鋁。
4.如權(quán)利要求3所述的嵌套工具，其特征在于，所述圓柱體和端面為一體成型。
5.如權(quán)利要求4所述的嵌套工具，其特征在于，所述端面橫截面的寬度大于所述圓柱體橫截面的直徑。
6.一種反應(yīng)腔室，包括反應(yīng)腔體，所述反應(yīng)腔體側(cè)壁設(shè)有多個(gè)開孔，其特征在于所述反應(yīng)腔室還包括如權(quán)利要求1至5中所述的任意一種嵌套工具，所述嵌套工具的圓柱體尺寸與所述開孔的尺寸相匹配。
7.如權(quán)利要求6所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述嵌套工具與所述開孔一一對應(yīng)。
【文檔編號】H01L21/56GK103839841SQ201410098490
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2014年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月17日
【發(fā)明者】代勇, 王闊 申請人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司