用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，包括如下步驟：S1：調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的參數(shù)，對(duì)藍(lán)寶石圖形襯底外延層進(jìn)行光激勵(lì)測試，由外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)所反射回的光進(jìn)行反射率測算；S2：對(duì)所述的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量得到尺寸值；S3：建立反射率與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；S4：將待分選晶圓整批導(dǎo)入到光致發(fā)光設(shè)備中令設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行；S5：將微觀結(jié)構(gòu)的反射率實(shí)時(shí)通過對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)行晶圓分選。由于采用了以上技術(shù)方案，使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將圖形化結(jié)構(gòu)的檢測步驟得以簡化，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模批量生產(chǎn)。
【專利說明】用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電芯片制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域，生產(chǎn)廠家通常會(huì)通過3D顯微鏡或者人工目檢的方式來對(duì)生產(chǎn)出的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行尺寸方面的分選。但是，3D顯微鏡的單片掃描時(shí)間過長，不能滿足大批量的連續(xù)生產(chǎn)；而人工目檢又容易因?yàn)槿说膫€(gè)體差異而引起分選標(biāo)準(zhǔn)不一的情況。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明旨在提供一種方法來解決大批量藍(lán)寶石圖形化襯底生產(chǎn)中存在的尺寸分選問題。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的一種用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，包括如下步驟:
[0005]S1:調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的參數(shù)，對(duì)藍(lán)寶石圖形襯底外延層進(jìn)行光激勵(lì)測試，由外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)所反射回的光進(jìn)行反射率測算；
[0006]S2:對(duì)所述的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量得到尺寸值；
[0007]S3:建立反射率與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
[0008]S4:將待分選晶圓整批導(dǎo)入到光致發(fā)光設(shè)備中令設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行；
[0009]S5:將微觀結(jié)構(gòu)的反射率實(shí)時(shí)通過對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)行晶圓分選。
[0010]本發(fā)明通過使用光致發(fā)光設(shè)備(PL)來進(jìn)行批量化藍(lán)寶石圖形化襯底生產(chǎn)的分選工作。光致發(fā)光設(shè)備目前主要用于外延生產(chǎn)廠家，主要目的是，通過對(duì)外延層進(jìn)行光激勵(lì)來識(shí)別判斷外延生長質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)目標(biāo)。但該設(shè)備中還有一項(xiàng)功能，即反射率的測試。藍(lán)寶石圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸差異會(huì)相應(yīng)得體現(xiàn)在反射率的數(shù)據(jù)上。因此，不同微觀尺寸的襯底可以通過反射率數(shù)據(jù)來進(jìn)行區(qū)分。并且，由于很多PL設(shè)備屬于自動(dòng)機(jī)臺(tái)，所以，適用于大規(guī)模批量生產(chǎn)。
[0011]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述的步驟S1、S2中隨機(jī)選取多個(gè)位置進(jìn)行反射率與尺寸值的測量。
[0012]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述的步驟S1、S2中針對(duì)同一位置多次測量后取平均值。
[0013]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述的步驟SI中根據(jù)外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸與類型調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的光激勵(lì)強(qiáng)度與時(shí)間。
[0014]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述的步驟S2中，通過3D光學(xué)顯微鏡或SEM設(shè)備對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量。
[0015]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述的步驟S5包括設(shè)定尺寸值的閾值的步驟，當(dāng)檢測到超出閾值范圍的尺寸值時(shí)，輸出提示信號(hào)并記錄位置信息。[0016]由于采用了以上技術(shù)方案，使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將圖形化結(jié)構(gòu)的檢測步驟得以簡化，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模批量生產(chǎn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1為根據(jù)本發(fā)明的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0019]參見附圖1所示，為根據(jù)本發(fā)明的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法的流程圖。該方法包括如下步驟:
[0020]S1:調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的參數(shù)，對(duì)藍(lán)寶石圖形襯底外延層進(jìn)行光激勵(lì)測試，由外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)所反射回的光進(jìn)行反射率測算；
[0021]S2:通過3D光學(xué)顯微鏡或SEM設(shè)備對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量得到尺寸值；
[0022]S3:建立反射率與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
[0023]S4:將待分選晶圓整批導(dǎo)入到光致發(fā)光設(shè)備中令設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行；
[0024]S5:將微觀結(jié)構(gòu)的反射率實(shí)時(shí)通過對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)行晶圓分選。
[0025]為了盡可能的減小測量過程所帶來的誤差，步驟S1、S2中隨機(jī)選取多個(gè)位置進(jìn)行反射率與尺寸值的測量；另外，步驟S1、S2中針對(duì)同一位置多次測量后取平均值。
[0026]需要說明的是，步驟SI中根據(jù)外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸與類型調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的光激勵(lì)強(qiáng)度與時(shí)間。本發(fā)明通過使用光致發(fā)光設(shè)備(PL)來進(jìn)行批量化藍(lán)寶石圖形化襯底生產(chǎn)的分選工作。光致發(fā)光設(shè)備目前主要用于外延生產(chǎn)廠家，主要目的是，通過對(duì)外延層進(jìn)行光激勵(lì)來識(shí)別判斷外延生長質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)目標(biāo)。但該設(shè)備中還有一項(xiàng)功能，即反射率的測試。藍(lán)寶石圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸差異會(huì)相應(yīng)得體現(xiàn)在反射率的數(shù)據(jù)上。因此，不同微觀尺寸的襯底可以通過反射率數(shù)據(jù)來進(jìn)行區(qū)分。并且，由于很多PL設(shè)備屬于自動(dòng)機(jī)臺(tái)，所以，適用于大規(guī)模批量生產(chǎn)。
[0027]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，步驟S5包括設(shè)定尺寸值的閾值的步驟，當(dāng)檢測到超出閾值范圍的尺寸值時(shí)，輸出提示信號(hào)并記錄位置信息，使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將圖形化結(jié)構(gòu)的檢測步驟得以簡化，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模批量生產(chǎn)。
[0028]以上實(shí)施方式只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所做的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于，包括如下步驟: S1:調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的參數(shù)，對(duì)藍(lán)寶石圖形襯底外延層進(jìn)行光激勵(lì)測試，由外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)所反射回的光進(jìn)行反射率測算； 52:對(duì)所述的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量得到尺寸值； 53:建立反射率與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系； 54:將待分選晶圓整批導(dǎo)入到光致發(fā)光設(shè)備中令設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行； 55:將微觀結(jié)構(gòu)的反射率實(shí)時(shí)通過對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)行晶圓分選。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于:所述的步驟S1、S2中隨機(jī)選取多個(gè)位置進(jìn)行反射率與尺寸值的測量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于:所述的步驟S1、S2中針對(duì)同一位置多次測量后取平均值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于:所述的步驟SI中根據(jù)外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸與類型調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的光激勵(lì)強(qiáng)度與時(shí)間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于:所述的步驟S2中，通過3D光學(xué)顯微鏡或SEM設(shè)備對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，其特征在于:所述的步驟S5包括設(shè)定尺寸值的閾值的步驟，當(dāng)檢測到超出閾值范圍的尺寸值時(shí)，輸出提示信號(hào)并記錄位置信息。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK103871939SQ201410126845
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】陳起偉, 魏臻, 孫智江, 施榮華 申請(qǐng)人:海迪科（蘇州）光電科技有限公司