一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，該方法是在硅片“打點(diǎn)”形成管芯臺(tái)面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺(tái)面流動(dòng)并布滿整個(gè)管芯臺(tái)面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內(nèi)保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過(guò)管芯臺(tái)面表面的固態(tài)石蠟保護(hù)層隔絕管芯臺(tái)面與外界空氣的接觸，以達(dá)到防止管芯臺(tái)面被污染的目的。采用石蠟保護(hù)層替代現(xiàn)有保護(hù)層，以簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，縮短生產(chǎn)周期，降低生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，屬于二極管制造【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002] 二極管是電子行業(yè)使用最廣泛的一種電子元件，為了確保二極管的質(zhì)量，在制造 過(guò)程需要對(duì)擴(kuò)散后的硅片進(jìn)行電壓檢測(cè)"打點(diǎn)"，"打點(diǎn)"后在硅片上形成管芯臺(tái)面，管芯臺(tái) 面是二極管的核心，若被污染則會(huì)影響二極管的質(zhì)量，因此需要在管芯臺(tái)面生成保護(hù)層以 防止被污染?，F(xiàn)有的保護(hù)層生成方法工藝復(fù)雜，所用時(shí)間較長(zhǎng)，成本高。并且現(xiàn)有技術(shù)需要 抽取樣片進(jìn)行表面金屬化一芯片裂片一焊接一臺(tái)面腐蝕一臺(tái)面鈍化等后部工序，才能對(duì)擊 穿電壓進(jìn)行檢測(cè)，因此，現(xiàn)有的防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法不僅存在著工藝復(fù)雜、所 用時(shí)間較長(zhǎng)、成本高的問(wèn)題，而且還存在著工序多、質(zhì)量不易保證的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于，提供一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，以簡(jiǎn)化生產(chǎn)工 藝，縮短生產(chǎn)周期，降低生產(chǎn)成本，從而克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
[0004] 本發(fā)明的技術(shù)方案： 一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，該方法是在硅片"打點(diǎn)"形成管芯臺(tái)面后，將 適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后 沿管芯臺(tái)面流動(dòng)并布滿整個(gè)管芯臺(tái)面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內(nèi)保持水平狀態(tài) 自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過(guò)管芯臺(tái)面表面的固態(tài)石蠟保護(hù)層隔絕管芯臺(tái)面與外 界空氣的接觸，以達(dá)到防止管芯臺(tái)面被污染的目的。
[0005] 前述方法中，所述將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，其適量是指石蠟由固態(tài)變?yōu)?液態(tài)后可以布滿整個(gè)管芯臺(tái)面并不會(huì)從管芯臺(tái)面溢出為準(zhǔn)。
[0006] 前述方法中，所述石蠟采用含雜質(zhì)較少的白蠟。
[0007] 由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用石蠟保護(hù)層替代 現(xiàn)有保護(hù)層，大大簡(jiǎn)化了加工工藝，有效地避免了原有工藝工序多、時(shí)間長(zhǎng)、成本高的不足， 并且本發(fā)明還有效地簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝、縮短了生產(chǎn)周期、大大降低了生產(chǎn)成本。

【具體實(shí)施方式】
[0008] 下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但不作為對(duì)本發(fā)明的任何限制。 實(shí)施例
[0009] 本發(fā)明的一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法為，該方法是在現(xiàn)有的硅片"打 點(diǎn)"工藝形成管芯臺(tái)面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，石蠟采用現(xiàn)有技術(shù)中的含雜質(zhì) 較少的白蠟；而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺(tái)面流動(dòng)并 布滿整個(gè)管芯臺(tái)面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內(nèi)保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重
【權(quán)利要求】
1. 一種防止二極管管芯臺(tái)面被污染的方法，其特征在于：該方法是在硅片"打點(diǎn)"形成 管芯臺(tái)面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固 態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺(tái)面流動(dòng)并布滿整個(gè)管芯臺(tái)面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內(nèi) 保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過(guò)管芯臺(tái)面表面的固態(tài)石蠟保護(hù)層隔絕 管芯臺(tái)面與外界空氣的接觸，以達(dá)到防止管芯臺(tái)面被污染的目的。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述施工方法，其特征在于：所述將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺(tái)面上， 其適量是指石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后可以布滿整個(gè)管芯臺(tái)面并不會(huì)從管芯臺(tái)面溢出為準(zhǔn)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：所述石蠟采用含雜質(zhì)較少的白蠟。
【文檔編號(hào)】H01L21/02GK104064447SQ201410170033
【公開(kāi)日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】袁錕, 王智, 姚俊, 趙志云 申請(qǐng)人:中國(guó)振華集團(tuán)永光電子有限公司