半透明光轉(zhuǎn)化器件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的主要目標是提供一種增強可見陽光收集的半透明光轉(zhuǎn)化器件，半透明光伏電池配置有多層結(jié)構(gòu)，該多層結(jié)構(gòu)可用于改變電池的色調(diào)表現(xiàn)，同時保證光吸收量的最小改變。光轉(zhuǎn)化器件具有直接或反向結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括覆蓋透明基底的第一光透射電觸片、覆蓋第一光透射電觸片并在活性有機感光材料下面的電荷阻隔層、覆蓋活性有機感光材料的第二電荷阻隔層、覆蓋第二電荷阻隔層的第二光透射電觸片、以及覆蓋第二光透射電觸片的多層結(jié)構(gòu)。該多層結(jié)構(gòu)由兩層以上的不吸收光的電介質(zhì)材料構(gòu)成該多層結(jié)構(gòu)中的兩相鄰層總是具有不同的折射率。
【專利說明】半透明光轉(zhuǎn)化器件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光轉(zhuǎn)化器件，例如光伏電池或者光電探測器。更特別地，本發(fā)明涉及增強集光和調(diào)節(jié)透明光電器件的顏色的光透射層級光子結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]在建筑物中的光電能源的綜合是減少建筑光射(emiss1n)的最為重要的手段。半透明電池提供了高度的可集成化性能，它們可以在建筑物中與窗口、幕墻或者雙層立面(double skin facade)合并,對所述建筑物用戶在視覺上以及對所述建筑物的外觀引起極其微小的變更。當考慮到半透明光電技術(shù)時，有四個重要的特征:收集對人眼來說不可見的光子，對可見光的透明度最大化，器件壽命，以及集成該光電技術(shù)的建筑物墻壁的美觀。為了在有機半透明器件中增加不可見光子的集光，制造的若干技術(shù)以及方法已經(jīng)在此公開:
[0003]Y.Galagan et al./Applied Physics Letters98 (2011) Art.N0.043302 中通過利用膽留相(cholesteric)液晶只在太陽光譜的窄帶反射并且對剩余的波長保持透明。
[0004]R.R.Lunt et al./Applied Physics Letters98 (2011) Art.N0.113305 中通過利用分布布喇格(Bragg)反射器反射鏡增加紅外線的反射率并隨后增加低效率透明有機太陽電池(cell)的效率。
[0005]為了增加頂端金屬電極的所述可見的透明度，各種電極被公開:
[0006]Pat.N0.CN1 0 1 5938 1 2A 和 Tao, C.et al./Applied PhysicsLetters95(2009),Art.N0.053303公開了采用多層結(jié)構(gòu)以及包括陽極緩沖層、金屬薄膜層和防反射薄膜的透明陽極。通過引入所述防反射薄膜，所述半透明反向有機太陽電池的能量轉(zhuǎn)換效率可以被改善。通過改變防反射薄膜的厚度，透明陽極的透射光譜可以被調(diào)整。
[0007]半透明光電器件可以使用若干種類的薄膜光電技術(shù)，例如CIGS、非晶硅、或者染色敏化單元。然而，在所有這些情況中，對短可見光波長的強吸收導(dǎo)致通過該類型器件觀測到對象具有微黃色或者微紅色的色調(diào)。另一方面，一些光電聚合共混物(polymer blend)(例如PBDTTT-C:PCBM或者PTB7:PCBM)的波長相關(guān)的吸收在所述可見光譜區(qū)中不展現(xiàn)任何非常顯著特征。因此，當通過該共混物的薄層觀看時，感覺不到后面圖像色調(diào)具有任何重大的改變。事實上，該共混物對所述圖像的僅有的視覺效應(yīng)是減少了由眼睛收到的光強度。
[0008]若干改變所述透明光電器件的顏色或者其它特性的方案已經(jīng)公開:
[0009]US2009/0277500A1公開了通過把涂覆在第一透明基底上的透明太陽能電池和涂覆在第二透明基底上的濾光器封裝在一起的電池的顏色調(diào)節(jié)。所述電池和濾波器使用例如乙烯醋酸乙烯酯(EVA)、聚乙烯醇縮丁醛(PVB)或者其他相似材料的絕緣層封裝。缺乏對提供的該絕緣層的厚度的精密控制(10nm精度或更少)，使得無法改善所述透明太陽電池組件的性能。換言之，US2009/0277500公開了由絕緣材料結(jié)合在一起的兩個單獨的器件。缺乏對該絕緣層的厚度控制意味者所述濾光器作為獨立器件對所述太陽能電池器件的性能沒有直接作用。
[0010]KR101140731B1公開了通過利用3D電子晶體的干擾色產(chǎn)生的不同顏色的透射型光電模塊。
[0011]可選地，通過引入吸收層改變波長相關(guān)透射可以調(diào)節(jié)所述觀察者對器件色彩感覺，并且最終修改顏色表現(xiàn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明的主要目標是提供一種增強可見日光的收集的半透明光轉(zhuǎn)化器件。為了達到該目的，半透明光電電池配有可用于提高效益、增加壽命以及改變電池的色調(diào)外觀的同時保證光吸收容量的較小改變的多層結(jié)構(gòu)。特別地，，本發(fā)明公開了一種光轉(zhuǎn)化器件，依次包括透明基底、覆蓋所述透明基底的第一光透射電觸片、第一電荷阻隔層、包括活性有機感光材料的吸收層、覆蓋所述活性有機感光材料的第二電荷阻隔層、第二光透射電觸片以及多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)包括至少雙層具有不同折射率的不同的電介質(zhì)O材料，并且其中各個層的厚度在5至500nm之間并且兩個相鄰層具有不同的折射率。其它本發(fā)明的特征在從屬權(quán)利要求呈現(xiàn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]為了完成說明以及為提供對本發(fā)明更好的了解，提供了一組附圖。
[0014]圖1是根據(jù)本發(fā)明包括多層結(jié)構(gòu)的透明太陽能電池的示意性截面圖。
[0015]圖2是示出由本發(fā)明吸收的光子以及不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池吸收光子的曲線圖。
[0016]圖3是比較本發(fā)明的半透明光電電池的兩個不同的示例的光透射曲線的曲線圖。
[0017]圖4是示出由本發(fā)明吸收的光子和不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池吸收的光子的曲線圖。
[0018]圖5是示出(理論和實驗)本發(fā)明吸收的光子和不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池吸收的光子的曲線圖。
[0019]圖6是比較本發(fā)明的光透射曲線和不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池的光透射曲線的曲線圖。在本附圖中的所述實驗器件與圖5中的相同。
[0020]圖7是比較本發(fā)明與不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池的壽命的曲線圖。在本附圖中考慮的所述器件配置與圖2中的相同。

【具體實施方式】
[0021]光轉(zhuǎn)化器件具有直接或者反向結(jié)構(gòu)，包括覆蓋透明基底的第一光透射電觸片、覆蓋第一光透射電觸片并且位于活性有機感光材料下面的電荷阻隔層、覆蓋活性有機感光材料的第二電荷阻隔層、覆蓋第二電荷阻隔層的第二光透射電觸片、以及覆蓋第二光透射電觸片的多層結(jié)構(gòu)。多層結(jié)構(gòu)由兩層以上的電介質(zhì)材料的組成。在這種多層結(jié)構(gòu)中，每個層的折射率必須不同于相鄰層的折射率。制造包括所述多層結(jié)構(gòu)的光電電池的方法包括用于所述器件中每個層的一個沉積步驟。整個器件的制造隨著來自所述多層結(jié)構(gòu)的最后的介電層的沉積結(jié)束。
[0022]更具體地，在優(yōu)選實施方式中所述器件是反向有機太陽能電池，包括:
[0023]I任何光透射性的剛性或者柔性材料的基底，在其上光伏電池可以被種植(grow)為玻璃、晶體、透明金屬、半導(dǎo)體或者塑料。這些材料的示例有二氧化硅(Si02)、硼硅酸鹽(BK7)以及 PET。
[0024]2第一透明電極包括來自元素Ag、Al、Au、T1、N1、Cu或者它們的組合中的薄金屬層或者納米線網(wǎng)，或者來自ITO、ZnO、Al:ZnO、Sn02、FTO中的透明導(dǎo)電氧化物層、或者諸如PEDOT、PEDOT: PSS、PED0T-TMA或者碳納米管的導(dǎo)電聚合物、或者厚度在0.3nm和350nm之間的石墨稀層。
[0025]3覆蓋并且與第一電極接觸的是空穴阻隔層(厚度在Inm和150nm之間)，包括如2110、？?隊或者1102的透明半導(dǎo)體層。所述層包括所列材料的同質(zhì)的或者納米顆粒形態(tài)。
[0026]4形成共混物的有機活性材料，該共混物包含兩種組分的混合:半導(dǎo)體綴合聚合物以及富勒烯化合物。第一組分是綴合聚合物，具有交替電子供體以及電子受體單體。供體是苯并[1，2_b:4，5_b’ ] 二喔吩的衍生物(benzo[1，2_b:4，5_b’ ]dith1phene),但是作為受體可以使用許多不同類型的化合物，例如，盡管不是唯一地，噻吩、苯并噻二唑(benzothiadiazole)或者二酮卩比咯并卩比咯(diketopyrrolopyrrole)衍生物。可選地，第一組分是a-PTPTBT聚合物，在此供電子單元是噻吩一亞苯基一噻吩(TPT)，并且受體單元是2，1，3—苯并噻二唑(BT)?？蛇x地，第一組分是聚噻吩聚合物(Ρ3ΗΤ)。共混物的第二組分是C6tl或者化合物的富勒烯族的可溶解衍生物。整個活性材料層厚度在40nm和500nm之間?？蛇x地，活性材料可以包括以連續(xù)配置形成串聯(lián)(tandem)有機活性層的兩個以上的這樣的共混物的堆疊。在堆疊中共混物之間的分隔可以包括用于促成空穴和電子的重組的夾層。
[0027]5電子阻隔層(Inm到150nm)，包括如Mo03、PEDOT:PSS, W03、N1的透明半導(dǎo)體。所述層可以包括上列材料的同質(zhì)的或者納米顆粒形態(tài)。
[0028]6第二透明電極可以包括來自Ag、Al、Au、T1、N1、Cu、...、或者它們的組合中的金屬層或者納米線網(wǎng)，或者來自ITO、ZnO、Al: ZnO、Sn02、FTO的透明導(dǎo)電氧化物層，或者諸如PEDOT、PEDOT:PSS, PED0T-TMA或者碳納米管的導(dǎo)電聚合物，或者石墨烯層。(0.3nm至350nm)
[0029]7包括兩個以上電介質(zhì)層的多層結(jié)構(gòu)。在該多層結(jié)構(gòu)中，每個電介質(zhì)層可以包括諸如 Mo03、MgF2、Ti02、Si02、SiNl.3:H、Si02:F、Ta205、ZnO、A1203、ZnS, CaF2、Mb05、Zr02、Y203、Si02:H、LiF的透明無機材料。每個層可以包括上列無機材料的同質(zhì)的或者納米顆粒形態(tài)?？蛇x地，所述層可以包括諸如PMMA、聚苯乙烯、PET的透明聚合材料。所述多層結(jié)構(gòu)以內(nèi)每個層的厚度在5nm和500nm之間。厚度的范圍之所以如此是因為每一個電介質(zhì)層的厚度具有對整個器件的性能(效率、壽命、透明性以及顏色)的直接影響。
[0030]所述多層結(jié)構(gòu)中的第一層包括上面的電介質(zhì)材料或者它們的混合之一。所述多層結(jié)構(gòu)中的第二層包括上面的材料之一，但不是與第一層相同的或者相同的混合，因為在所述多層結(jié)構(gòu)中第二層的折射率必須與第一層的指標不同，。所述多層結(jié)構(gòu)中的第三層包括來自上列的材料，具有不同于所述多層結(jié)構(gòu)中第二層的指標的折射率。重復(fù)該序列直至所述結(jié)構(gòu)的最后層。在用于所述多層結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實施方式中，在所有奇數(shù)層中使用的材料是相同的，同時在所有偶數(shù)層中使用的材料是相同的。
[0031]在另外的實施方式中，所述器件是直接有機電池，包括如前所述相同的元素，但是在此將包括如PEDOT:PSS、Ni0、W03、Mo03的的透明半導(dǎo)體層的厚度在I和150nm之間的電子阻隔層設(shè)置在第一透明電極的頂部，并且將包括如Zn0、PFN、BCP、Ti02、LiF、LiCo02的透明半導(dǎo)體層的厚度在I和150nm之間的空穴阻隔層設(shè)置在所述活性材料的頂部。
[0032]以下有三個示例，在此提供所述多層結(jié)構(gòu)中的電介質(zhì)層的最佳的厚度?？梢钥闯觯@種最佳的厚度在每個情形中不同，但是它們始終在指定范圍以內(nèi)。第四示例用來舉例說明所述多層結(jié)構(gòu)通過對諸如氧或者濕氣的腐蝕性的元素提供有效屏障，增加所述器件的操作壽命。
[0033]圖2是通過本發(fā)明(實線)對光子的吸收以及通過不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池對光子吸收進行比較的圖表。所吸收的光子與光載流子(photo-carrier)生成效率成比例。對于該圖表，本發(fā)明的實施方式包括:1.1mm厚的Si02基底、第一半透明120nm厚的ITO電極、30nm厚ZnO的空穴阻隔層、由PTB7:PC71BM的10nm共混物制成的活性材料、5nm厚由Mo03制成的電子阻隔層、由Ag制成1nm厚的第二半透明電極、以及所述多層結(jié)構(gòu)。后者包括五個層:102nm 的 Mo03、136nm 的 MgF2、102nm 的 Mo03、102nm 的 MgF2、以及 102nm 的Mo03。不具有所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池(虛線)由相同的元件以及1nm厚的Mo03保護層組成，但不配有所述多層結(jié)構(gòu)。
[0034]如在附圖中可以看出的，通過本發(fā)明的光子吸收對于人眼最不敏感的光的波長增強了。然而，視覺靈敏度最大的波長范圍(400—600nm)中的光子吸收與通過不包括所述多層結(jié)構(gòu)的半透明電池的光子吸收相似。換言之，相同的可見透明度下，本發(fā)明在將光轉(zhuǎn)換為電流的方面是更高效的。
[0035]圖3是對本發(fā)明的半透明光電電池的兩不同的示例的光透射曲線進行比較的圖表。在兩示例中層I到6是相同的。為了調(diào)節(jié)器件的顏色，在每個情形中使用不同多層結(jié)構(gòu)。兩電池表現(xiàn)出相似效率。實線對應(yīng)于將顯現(xiàn)微紅顏色的電池的傳輸，所述多層結(jié)構(gòu)中的層的序列是第一層:136nm的Mo03,第二層:136nm的MgF2,第三層:136nm的Mo03,第四層:68nm的MgF2，以及第五層68nm的Mo03。虛線對應(yīng)于將顯現(xiàn)淺藍色顏色的電池的透射，所述多層結(jié)構(gòu)中層的順序是第一層:102nm的Mo03，第二層:136nm的MgF2，第三層:102nm的Mo03，第四層:136nm的MgF2，以及第五68nm的Mo03。
[0036]正如從該圖中可以看出，當多層結(jié)構(gòu)中的層的厚度被改變，透射窗口可以被移位。這會引起器件的顏色變化，但是器件的光子收集效率幾乎沒有變化。
[0037]圖4是對利用本發(fā)明(實線)的光子吸收和利用不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明電池的光子吸收進行比較的圖。被吸收的光子與光載流子的生成效率成比例。此圖中，本發(fā)明的實施示例包括:1.1mm厚Si02基底、第一半透明120nm厚ITO電極、1nm厚Mo03的電子阻隔層、由PTB7IPC71BM的90nm共混物制成的活性材料、由BCP制成的3.5nm的厚度的空穴阻隔層、由Ag制成的1nm厚的第二半透明電極、以及多層結(jié)構(gòu)。后者包括五層:146nm的Mo03、102nm的MgF2、102nm的Mo03、102nm的MgF2、以及102nm的Mo03。沒有多層結(jié)構(gòu)的半透明電池(虛線)包括相同的元件和一個1nm厚的Mo03的保護層，但是不具有上述多層結(jié)構(gòu)。
[0038]在另一個示例中，本發(fā)明的器件包括直接電池。如在圖2的示例中，對人眼最不敏感的波長的光增強利用本發(fā)明的光子吸收。此外，在人眼靈敏度最大的(400nm-600nm)波長范圍內(nèi)的利用本發(fā)明的光子吸收與利用不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明電池的光子吸收相似。
[0039]圖5是將利用本發(fā)明的光子吸收(實線是理論預(yù)測，實心圓點對應(yīng)于實驗測量)與不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明電池作比較的圖。在該圖中，光子吸收效率已經(jīng)乘以0.94。通過這樣，可以統(tǒng)計從被吸收的光子中收集電子-空穴對時的94%的效率。然后，校正后的光子吸收效率(y軸)等同于光電荷收集效率，該光電荷收集效率是實驗測得的量。此圖中，本發(fā)明的實施方式包括:1.1mm厚Si02基底、第一半透明330nm厚ITO電極、30nm厚PED0T:PSS的電子阻隔層、由90nm共混物PTB7:PC71BM制成的活性材料，由BCP制成的3.5nm的厚度的空穴阻隔層，由Ag制成的1nm厚的第二半透明電極，以及多層結(jié)構(gòu)。后者包括六層:15nm的 LiF、136nm 的 Mo03、102nm 的 LiF、102nm 的 Mo03、136nm 的 LiF、以及 102nm 的 Mo03。沒有多層結(jié)構(gòu)的半透明電池(虛線是理論預(yù)測，空心圓對應(yīng)于實驗測量)包括相同的元件和覆蓋第二電極的15nm厚LiF的保護層，但是不具有上述多層結(jié)構(gòu)。這里，可以看出，對于人眼最不敏感的光的波長，增強利用本發(fā)明的校正的光子吸收效率。在此示例中，理論預(yù)測被實驗數(shù)據(jù)支持。
[0040]圖6是將實驗測得的本發(fā)明的透射率(實心圓點)與不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明電池(空心圓)作比較的圖。此圖中，本發(fā)明的實施方式包括:1.1mm厚Si02基底、第一半透明330nm厚ITO電極、30nm厚PED0T:PSS的電子阻隔層、由90nm共混物PTB7:PC71BM制成的活性材料、由BCP制成的3.5nm的厚度的空穴阻隔層、由Ag制成的1nm厚的第二半透明電極、以及多層結(jié)構(gòu)。后者包括六層:15nm的LiF、136nm的Mo03、102nm的LiF、102nm的Mo03、136nm的LiF、以及102nm的Mo03。沒有多層結(jié)構(gòu)的半透明單元(虛線是理論預(yù)測，空心圓對應(yīng)于實驗測量)包括相同的元件和覆蓋第二電極的15nm厚LiF的保護層，但是不具有上述多層結(jié)構(gòu)。注意，該圖中所考慮的器件的層的序列與圖5中所考慮的器件相同。換言之，該圖中實心圓點表不的透射率和圖5中實心圓點表不的吸收率對應(yīng)于本發(fā)明的相同器件，該圖中空心圓表示的透射率和圖5中空心圓表示的吸收率對應(yīng)于相同的不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明單元。注意，本發(fā)明的器件開啟了在人眼靈敏度最大的(400nm-600nm)波長范圍內(nèi)的透射的窗口，同時保持小的透射率以增強光伏電池的對人眼最不敏感的波長范圍的波長在300nm-400nm和600nm-700nm的范圍內(nèi)的光的光吸收。
[0041]圖7是比較本發(fā)明的壽命(實心圓)和不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明單元的壽命(實心正方形)的圖。該圖中所考慮的器件的層的序列與圖2中所考慮的器件相同。換言之，該圖中實心正方形表不的壽命和圖2中實線表不的吸收率對應(yīng)于本發(fā)明的相同器件,該圖中實心正方形表示的透射和圖2中虛線表示的吸收對應(yīng)于相同的不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明單元。從該圖可以看出，不包含多層結(jié)構(gòu)的半透明單元在大約1200小時后變得不可操作。另一方面，本發(fā)明的器件表現(xiàn)了明顯較長的壽命，因為多層提供更好的保護，來對抗例如氧或者濕氣等腐蝕元素。在過去相同的時間的情況下，本發(fā)明的器件保留了大約60%的原始性能水平。
【權(quán)利要求】
1.一種光轉(zhuǎn)化器件，依次包括:透明基底(I)、覆蓋所述透明基底的第一光透射電觸片(2)、第一電荷阻隔層(3)、包括活性有機感光性材料的吸收層(4)、覆蓋所述活性有機感光性材料的第二電荷阻隔層(5)、第二光透射電觸片(6)以及多層結(jié)構(gòu)(7)，其特征在于所述多層結(jié)構(gòu)包括至少兩層具有不同折射率的不同的電介質(zhì)材料，并且其中，所述多層結(jié)構(gòu)(7)中每層的厚度在5到500nm之間，并且兩個相鄰層具有不同的折射率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述電荷阻隔層的厚度在Inm到150nm之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述第一電荷阻隔層是空穴阻隔層，所述空穴阻隔層包括具有ZnO、PFN或Ti02的半導(dǎo)體層，并且所述第二電荷阻隔層是電子阻隔層，所述電子阻隔層包括Mo03、PEDOT: PSS、W03、N1或其組合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述第一電荷阻隔層是電子阻隔層，所述電子阻隔層包括Mo03、PEDOT:PSS, W03、N1或其組合物，并且所述第二電荷阻隔層是空穴阻隔層，所述空穴阻隔層包括ZnO、PFN、BCP、Ti02、LiF、LiCo02或其組合物。
5.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述第一和第二透明電極包括以下項中的一個或組合: -金屬層或納米線網(wǎng)，包括Ag、Al、Au、T1、N1、Cu或這些金屬的組合物， -透明導(dǎo)電氧化物層，包括ITO、ZnO、Al: ZnO、Sn02、FTO或這些氧化物的組合， -導(dǎo)電聚合物，諸如PEDOT、PEDOT:PSS、PED0T-TMA或碳納米管、或石墨烯層。
6.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述多層結(jié)構(gòu)的每一層包括:透明無機材料，諸如 Mo03、MgF2、Ti02、Si02、SiNl.3:H、Si02:F、Ta205、Zn0、A1203、ZnS、CaF2、Mb05、Zr02、Y203、Si02:H、LiF;透明聚合物材料，諸如PMMA、聚苯乙烯、PET或其混合物。
7.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述吸收層(4)包括包含半導(dǎo)體綴合聚合物與富勒烯化合物的混合物的共混物。
8.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述多層結(jié)構(gòu)(7)包括其中LiF層與Mo03層交替的6個層。
9.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述多層結(jié)構(gòu)(7)包括其中Mo03層與MgF2層交替的6個層。
10.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的光轉(zhuǎn)化器件，其中，所述吸收層(4)包括以連續(xù)的配置形成串聯(lián)有機活性層的兩個以上的共混物的堆疊。
【文檔編號】H01L51/44GK104134750SQ201410183534
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月30日
【發(fā)明者】喬迪·馬托雷利佩納, 拉斐爾·安德烈斯·貝坦庫爾洛佩拉, 巴勃羅·羅梅羅戈麥斯, 阿爾貝托·馬丁內(nèi)斯奧特羅 申請人:光子科學(xué)研究所基金會, 德加泰羅尼亞理工大學(xué)