具有柔性基板的有機(jī)發(fā)光顯示裝置制造方法
【專利摘要】有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括柔性基板。所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括第一塑料層。第一阻擋層形成于所述第一塑料層上。第二塑料層形成于所述第一阻擋層上。有機(jī)發(fā)光設(shè)備層形成于所述第二塑料層上。薄膜封裝層封裝所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層。所述第一阻擋層被圖案化以對應(yīng)于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域。
【專利說明】具有柔性基板的有機(jī)發(fā)光顯示裝置
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求于2013年5月24日向韓國專利局提交的第10-2013-0059260號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，該韓國專利申請的全部公開內(nèi)容通過引用被并入本文。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光顯示裝置，更具體地涉及包括柔性基板的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。

【背景技術(shù)】
[0004]有機(jī)發(fā)光顯示裝置一般包括空穴注入電極、電子注入電極和形成于它們之間的有機(jī)發(fā)光層。有機(jī)發(fā)光顯示裝置為當(dāng)從空穴注入電極注入的空穴和從電子注入電極注入的電子在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)復(fù)合以導(dǎo)致隨后逐漸消退的激發(fā)態(tài)時(shí)發(fā)出光的自發(fā)光顯示裝置。
[0005]由于其高質(zhì)量特性(例如，低功耗、高亮度和快速響應(yīng)速度)，有機(jī)發(fā)光顯示裝置作為下一代顯示器受到關(guān)注。
[0006]當(dāng)有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括重且脆的玻璃基板時(shí)，例如屏幕顯示器的便攜性和大尺寸的特性受限。因此，最近開發(fā)了包括輕的抗沖擊柔性基板(例如，塑料基板)的柔性有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0007]然而，當(dāng)與玻璃基板相比時(shí)，由于例如塑料基板的柔性基板更容易傳輸濕氣或氧氣，有機(jī)發(fā)光層可能易受濕氣或氧氣影響且可能發(fā)生劣化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供了包括具有低水蒸汽傳輸率和增加的粘合強(qiáng)度的柔性基板的有機(jī)發(fā)光顯示裝置、以及制造該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一方面，有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括第一塑料層。第一阻擋層形成于所述第一塑料層上。第二塑料層形成于所述第一阻擋層上。有機(jī)發(fā)光設(shè)備層形成于所述第二塑料層上。薄膜封裝層封裝所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層。所述第一阻擋層被定位以對應(yīng)于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域。
[0010]所述第一塑料層和所述第二塑料層可在形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域的外部中直接接觸。
[0011]所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置還可包括被設(shè)置在所述第二塑料層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間的第二阻擋層。
[0012]所述第二阻擋層可包括包含無機(jī)材料的至少一個(gè)層。
[0013]所述第二阻擋層可位于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備的區(qū)域中。
[0014]所述第二阻擋層和所述薄膜封裝層可在形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備的區(qū)域的外部中直接接觸。
[0015]至少一對層可形成于所述第二阻擋層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間，每個(gè)層包括第三塑料層和第三阻擋層。
[0016]所述第二阻擋層可位于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域中。
[0017]所述第一塑料層和所述第二塑料層可包括聚酰亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚芳酯、聚碳酸脂、聚醚砜或聚醚酰亞胺。
[0018]所述第二塑料層可厚于所述第一塑料層。
[0019]所述第二塑料層可具有比所述第一塑料層低的粘性。
[0020]所述第一阻擋層可包括包含無機(jī)材料的至少一個(gè)層。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的一方面，電子設(shè)備包括所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的一方面，制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法包括制備載體基板。在所述載體基板上形成母柔性基板，所述母柔性基板包括順序堆疊的第一塑料層、被圖案化以具有島型的第一阻擋層、以及第二塑料層。在所述母柔性基板上的與所述第一阻擋層所在的區(qū)域?qū)?yīng)的位置處形成多個(gè)有機(jī)發(fā)光設(shè)備層。形成封裝所述多個(gè)有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的薄膜封裝層。將所述載體基板從所述母柔性基板分離。
[0023]將所述載體基板從所述母柔性基板分離可包括從所述載體基板的所述母柔性基板被形成的側(cè)的相反方向輻射激光束以將所述載體基板從所述母柔性基板分離。
[0024]所述激光束可為紫外(UV)光。
[0025]形成所述母柔性基板還可包括在所述第二塑料層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間形成第二阻擋層。
[0026]所述第二阻擋層可被圖案化以對應(yīng)于所述第一阻擋層。
[0027]形成所述母柔性基板還可包括在所述第二阻擋層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間形成至少一對結(jié)構(gòu)，每個(gè)結(jié)構(gòu)可包括第三塑料層和第三阻擋層。
[0028]形成所述母柔性基板可包括形成所述第二塑料層以具有等于或小于所述第一塑料層的尺寸的尺寸。
[0029]所述第二塑料層的端部和所述第一塑料層的端部可在所述載體基板的端部處直接接觸。
[0030]形成所述母柔性基板可包括形成具有比所述第一塑料層低的粘性的所述第二塑料層。
[0031 ] 形成所述母柔性基板可包括形成比所述第一塑料層厚的所述第二塑料層。
[0032]玻璃基板可用作所述載體基板。
[0033]所述方法還可包括在將所述載體基板從所述母柔性基板分離之后將所述母柔性基板上的所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，本發(fā)明的上面和其它特征和方面將變得更加明顯，在附圖中:
[0035]圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖；
[0036]圖2是圖1的部分II的放大視圖，示出了有機(jī)發(fā)光顯示裝置的TFT層和有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的一部分；
[0037]圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖；
[0038]圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖；
[0039]圖5A是示出了在玻璃基板上形成母柔性基板的第一塑料層和第一阻擋層的過程的平面視圖；
[0040]圖5B是沿圖5A的線VB-VB截取的截面視圖；
[0041]圖6A是示出了在玻璃基板上形成母柔性基板第二塑料層和第二阻擋層的過程的平面視圖；
[0042]圖6B是沿圖6A的線VIB-VIB截取的截面視圖；
[0043]圖7A是示出了在母柔性基板上形成多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置的過程的平面視圖；
[0044]圖7B是沿圖7A的線VIIB-VIIB截取的截面視圖；
[0045]圖8是示出了在母柔性基板上形成封裝多個(gè)有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的薄膜封裝層的過程的截面視圖；
[0046]圖9和圖10是示出了從母柔性基板分離玻璃基板的過程的截面視圖；
[0047]圖11是示出了將母柔性基板上的有機(jī)發(fā)光設(shè)備層劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備的過程的截面視圖；
[0048]圖12A是示出了在玻璃基板上形成母柔性基板的過程的平面視圖；
[0049]圖12B是沿圖12A的線XIIB-XIIB截取的截面視圖；
[0050]圖13是示出了玻璃基板和母柔性基板的接觸表面的外部分的詳細(xì)視圖；
[0051]圖14是示出了當(dāng)?shù)诙芰蠈哟笥诘谝凰芰蠈訒r(shí)玻璃基板的端部的截面視圖；
[0052]圖15是示出了當(dāng)?shù)诙芰蠈有∮诘谝凰芰蠈訒r(shí)玻璃基板的端部的截面視圖；
[0053]圖16是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖；
[0054]圖17是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造過程的截面視圖；以及
[0055]圖18是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0056]下文參考附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明可以不同的形式實(shí)現(xiàn)，并且不限于本文所描述的實(shí)施方式。
[0057]在整個(gè)說明書和附圖中相似的參考標(biāo)號可指向相似的元件。另外，為了清楚起見，附圖中所示的每個(gè)元件的尺寸和厚度可被增大。
[0058]在此說明書中，當(dāng)層、膜、區(qū)域和板的一部分被稱為“在”另一部分“之上”時(shí)，它可直接在另一部分之上，或還可存在中間部分。
[0059]圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的截面視圖。
[0060]參考圖1，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100包括柔性基板FS、薄膜晶體管(TFT)層110、有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120和薄膜封裝層130。
[0061]柔性基板FS包括第一塑料層1PL、第一阻擋層1BL、第二塑料層2PL和第二阻擋層2BL。
[0062]第一塑料層IPL和第二塑料層2PL可由具有優(yōu)良抗熱性和耐用性的塑料材料形成，例如聚酰亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚芳酯、聚碳酸脂、聚醚酰亞胺(PEI)或聚醚砜。
[0063]由于當(dāng)與玻璃基板相比時(shí)用于第一塑料層IPL和第二塑料層2PL的塑料材料容易傳輸濕氣或氧氣，因此易受濕氣或氧氣影響的有機(jī)發(fā)光層容易劣化，從而減少了有機(jī)發(fā)光顯示裝置的壽命。
[0064]為了防止這種情況，第一阻擋層IBL形成于第一塑料層IPL上，并且第二阻擋層2BL形成于第二塑料層2PL上。
[0065]第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL中的每個(gè)可由無機(jī)材料(例如，金屬氧化物、氮化硅或氧化硅)形成。例如，第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL中的每個(gè)可包括由例如A103、S12和SiNx的無機(jī)材料形成的單層或多層。由單層或多層形成的第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL中的每個(gè)可具有小于一天大約10g/m2至大約5g/m2的水蒸汽傳輸率(WVTR)。
[0066]在第一實(shí)施方式中，第一阻擋層IBL被圖案化以具有島形狀。例如，第一阻擋層IBL被圖案化以位于與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域A中。第一塑料層IPL和第二塑料層2PL在與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域A的外圍區(qū)域B中直接接觸。如本文中所描述的，圖案化的第一阻擋層IBL可防止第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的層離。
[0067]TFT層110和有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120形成于柔性基板FS上。
[0068]圖2是圖1的部分II，例如有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的TFT層110和有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的一部分，的放大視圖。
[0069]參考圖2，包括半導(dǎo)體層111、柵電極113、源電極115和漏電極116的TFT可形成于第二阻擋層2BL上。柵絕緣層112可形成于半導(dǎo)體層111與柵電極113之間，并且層間絕緣層114可形成于柵電極113與源電極115之間和柵電極113與漏電極116之間。半導(dǎo)體層111可以是多晶硅TFT、非晶硅TFT、有機(jī)TFT或?qū)щ娧趸颰FT。而且，盡管在圖2中示出了頂柵TFT，但是本發(fā)明不限于此。例如，包括底柵TFT的各種TFT結(jié)構(gòu)可適用。
[0070]而且，盡管如圖2所示TFT直接形成于第二阻擋層2BL上，但是本發(fā)明不限于此。緩沖層(未示出)還可被設(shè)置在第二阻擋層2BL與TFT之間。緩沖層(未示出)使柔性基板FS平坦化并且防止雜質(zhì)元素從柔性基板FS滲透到半導(dǎo)體層111中。緩沖層(未示出)可以是氮化硅和/或氧化硅的單層或多層。而且，盡管未在圖2中示出，但是至少一個(gè)電容器可連接至TFT。
[0071]鈍化層117可形成于TFT上，并且像素限定層122可形成于鈍化層117上。鈍化層117保護(hù)TFT并且使TFT的頂側(cè)平坦化。
[0072]有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED可連接至TFT的源電極115和漏電極116之一。有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED包括像素電極121、相對電極124和至少包括位于像素電極121與相對電極124之間的有機(jī)發(fā)光層的層123。包括有機(jī)發(fā)光層的層123可由低分子或聚合物有機(jī)物質(zhì)形成。當(dāng)使用低分子有機(jī)物質(zhì)時(shí)，空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、發(fā)光層(EML)、電子傳輸層(ETL)和電子注入層(EIL)可被堆疊在單一或復(fù)雜結(jié)構(gòu)中。當(dāng)使用聚合物有機(jī)物質(zhì)時(shí)，可提供包括HTL和EML的結(jié)構(gòu)。在包括有機(jī)發(fā)光層的層123中，發(fā)出紅光、綠光和藍(lán)光的子像素可形成一個(gè)單位像素。而且，包括有機(jī)發(fā)光層的層123通過垂直地堆疊或混合的包括發(fā)出紅光、綠光和藍(lán)光的發(fā)光材料的層形成。盡管發(fā)出白光，但是其它顏色的組合是可以的。另外，還可提供將發(fā)出的白光轉(zhuǎn)換成預(yù)定顏色的顏色轉(zhuǎn)換層或?yàn)V色器。
[0073]相對電極124可公共地形成于多個(gè)像素中。例如各種修改是可能的。
[0074]像素電極121可充當(dāng)陽極，相對電極124可充當(dāng)陰極。然而，相反的情況也是可以的。另外，像素電極121和相對電極124中的至少一個(gè)可被提供作為使從發(fā)光層發(fā)出的光穿過的透明電極。
[0075]盡管如圖1和圖2所示有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120形成于TFT層110上，但是這是為了簡單描述，也可使用其它布置。例如，TFT層110的一部分和有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120可形成于同一層上。例如TFT的柵電極和有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED的像素電極可形成于同一層上。
[0076]封裝有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED的薄膜封裝層130形成于柔性基板FS上。薄膜封裝層130可由多個(gè)無機(jī)層或無機(jī)層和有機(jī)層的混合形成。
[0077]有機(jī)層由聚合物形成，并且可為由聚對苯二甲酸乙二酯、聚酰亞胺、聚碳酸脂、環(huán)氧樹脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯之一形成的單層或堆疊層。例如，有機(jī)層可由聚丙烯酸酯形成。更詳細(xì)地，有機(jī)層可包括聚合的單體組合物，其中聚合的單體組合物包括基于二丙烯酸酯的單體和基于三丙烯酸酯的單體。單體組合物還可包括基于單丙烯酸酯的單體。而且，單體組合物還可包括已知的光引發(fā)劑，例如ΤΡ0，但不限于此。
[0078]無機(jī)層可以是包括金屬氧化物或金屬氮化物的單層或堆疊層。更詳細(xì)地，有機(jī)層可包括 SiNx、Al2O3' S12 或 T120
[0079]薄膜封裝層130中暴露于外界的最上面層可由無機(jī)層形成以防止相對于有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED的水或蒸汽傳輸。
[0080]薄膜封裝層130可包括至少一個(gè)有機(jī)層被插在至少兩個(gè)無機(jī)層之間的至少一個(gè)夾層結(jié)構(gòu)。另外，薄膜封裝層130可包括至少一個(gè)無機(jī)層被插在至少兩個(gè)有機(jī)層之間的至少一個(gè)夾層結(jié)構(gòu)。
[0081]薄膜封裝層130可包括順序堆疊在有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED上的第一無機(jī)層、第一有機(jī)層和第二無機(jī)層。而且，薄膜封裝層130可包括順序堆疊在有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED上的第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、第二有機(jī)層和第三無機(jī)層。而且，薄膜封裝層130可包括順序堆疊在有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED上的第一無機(jī)層、第一有機(jī)層、第二無機(jī)層、第二有機(jī)層、第三無機(jī)層、第三有機(jī)層和第四無機(jī)層。
[0082]包括LiF的齒化金屬層可被附加地包括在有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED與第一無機(jī)層之間。當(dāng)?shù)谝粺o機(jī)層通過濺射方法或等離子沉積方法形成時(shí)，鹵化金屬層可防止有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED被損壞。
[0083]第一有機(jī)層可具有比第二無機(jī)層窄的區(qū)域，并且第二有機(jī)層可具有比第三無機(jī)層窄的區(qū)域。另外，第一有機(jī)層可被第二無機(jī)層完全覆蓋。第二有機(jī)層可被第三無機(jī)層完全覆蓋。
[0084]而且，盡管如圖1和圖2所示薄膜封裝層130直接形成于相對電極124上，但是這僅是示例性的。因此，例如填充劑和粘合劑的其它部件還可位于相對電極124與薄膜封裝層130之間。
[0085]圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置101的截面視圖。
[0086]參考圖3，根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置101包括柔性基板FS-1、TFT層110、有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120和薄膜封裝層130。
[0087]柔性基板FS-1包括第一塑料層IPL和第一阻擋層1BL。例如，柔性基板FS-1包括單個(gè)塑料層和單個(gè)阻擋層。
[0088]當(dāng)與第一比較實(shí)施例類似柔性基板FS-1包括單個(gè)塑料層和單個(gè)阻擋層時(shí)，因第一塑料層IPL和/或第一阻擋層IBL中的異物或凹痕缺陷而在第一阻擋層IBL中出現(xiàn)例如裂痕的損壞。由于濕氣或氧氣通過這種損壞的表面?zhèn)鬏?，因此可能制造有缺陷的有機(jī)發(fā)光設(shè)備OLED。
[0089]圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置102的截面視圖。
[0090]參考圖4，根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置102包括柔性基板FS-2、TFT層110、有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120和薄膜封裝層130。
[0091]柔性基板FS-2包括第一塑料層1PL、第一阻擋層1BL、第二塑料層2PL和第二阻擋層2BL。例如，柔性基板FS-2包括兩個(gè)結(jié)構(gòu)，每個(gè)結(jié)構(gòu)包括一個(gè)塑料層和該塑料層上的一個(gè)阻擋層。
[0092]除了第一塑料層IPL和第一阻擋層IBL之外，異物或凹痕缺陷可能隨機(jī)地出現(xiàn)在第二塑料層2PL和第二阻擋層2BL中。然而，當(dāng)與第一比較實(shí)施例相比時(shí)，由于第二比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置102具有從有缺陷點(diǎn)至OLED的較長平均水和蒸汽傳輸路徑，因此即使當(dāng)例如裂痕的損壞出現(xiàn)在第一阻擋層IBL和/或第二阻擋層2BL中時(shí)，也可減少有缺陷的OLED的發(fā)生。
[0093]然而，通過改進(jìn)的第二比較實(shí)施例的柔性基板FS-2提高了水和蒸汽傳輸功率，因此出現(xiàn)較少的暗斑。然而，由于無機(jī)層的第一阻擋層IBL與有機(jī)層的第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度相對較弱，因此第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL在制造過程中彼此層離。
[0094]然而，由于根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100包括被圖案化以具有島形狀的第一阻擋層1BL，因此在沒有第一阻擋層IBL的、與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域A的外圍區(qū)域B中，第一塑料層IPL與第二塑料層2PL直接接觸。由于第一塑料層IPL與第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度大于第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度，因此可通過圖案化第一阻擋層IBL以具有島形狀來防止第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的層離。而且，通過在與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域中形成第一阻擋層IBL的圖案化區(qū)域，可防止?jié)駳夂脱鯕庵苯訌牡谝凰芰蠈覫PL滲透到有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120中。
[0095]圖5A至圖11是示出了制造根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的方法的視圖。
[0096]圖5A是示出了在玻璃基板GS上形成母柔性基板MFS的第一塑料層IPL和第一阻擋層IBL的過程的平面視圖。圖5B是沿圖5A的線VB-VB截取的截面視圖。
[0097]由于由塑料材料形成的母柔性基板MFS在被加熱時(shí)折彎或伸長，所以難以在母柔性基板MFS上精確地形成薄膜圖案，例如各種電極或?qū)Ь€。而且，若干薄膜圖案形成過程在母柔性基板MFS結(jié)合至玻璃基板GS (例如，載體基板)時(shí)執(zhí)行。
[0098]首先，在玻璃基板GS上形成第一塑料層1PL。第一塑料層IPL可在包括聚酰亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、PET、聚芳酯、聚碳酸脂、PEI和聚醚砜中的至少一個(gè)的塑料聚合物溶液被涂布在玻璃基板GS上然后被硬化或聚合物膜被層壓在玻璃基板GS上時(shí)形成。
[0099]然后，在第一塑料層IPL上形成被圖案化以具有島形狀的第一阻擋層1BL。第一阻擋層IBL可包括通過化學(xué)氣相沉積(CVD)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)或原子層沉積(ALD)由例如A103、S12或SiNx的無機(jī)材料形成的單層或多層。此時(shí)，作為對第一塑料層IPL進(jìn)行構(gòu)圖的方法，多種方法可被采用，包括在第一塑料層IPL上沉積穿過具有預(yù)定圖案化區(qū)域的金屬掩膜的蒸汽無機(jī)材料的方法，以及在所有第一塑料層IPL上形成第一阻擋層IBL并通過光刻工藝執(zhí)行圖案化過程的方法。
[0100]圖6A是示出了在玻璃基板GS上形成母柔性基板MFS的第二塑料層2PL和第二阻擋層2BL的過程的平面視圖。圖6B是沿圖6A的線VIB-VIB截取的截面視圖。
[0101]參考圖6A和圖6B，在被圖案化的第一阻擋層IBL上形成第二塑料層2PL。第二塑料層2PL可由與第一塑料層IPL的相同材料和相同方法形成。
[0102]第二塑料層2PL可選地可由粘性比第一塑料層IPL低的溶液形成。當(dāng)?shù)谝缓偷诙芰蠈覫PL和2PL通過涂布形成時(shí)，由于高粘性涂布溶液具有許多異物，因此第一和第二塑料層IPL和2PL在涂布期間被同時(shí)涂布有異物。由此，由于第二塑料層2PL由具有比第一塑料層IPL低的粘性的溶液形成，在第二塑料層2PL的涂布期間過濾可能是可行的。此時(shí)，由于塑料層2PL由過濾后的材料形成，因此可減少塑料層2PL中異物的存在。而且，由于用于形成第二塑料層2PL的涂布液體具有低濃度，所以該涂布液體可覆蓋出現(xiàn)在第一塑料層IPL和第一阻擋層IBL中的異物。
[0103]而且，盡管如圖1和圖6B所示第一塑料層IPL和第二塑料層2PL中的每個(gè)具有相同的厚度，但是本發(fā)明不限于此。來自柔性基板FS外部的氧氣和濕氣的傳輸時(shí)間進(jìn)一步受與第一塑料層IPL相比更接近有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的第二塑料層2PL的厚度的影響。由此，通過形成與第一塑料層相比更接近有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的較厚的第二塑料層2PL，來延遲水和蒸汽傳輸時(shí)間，從而防止OLED的劣化。
[0104]然后，在第二塑料層2PL上形成第二阻擋層2BL。第二阻擋層2BL可由與第一阻擋層IBL相同的材料和相同的方法形成。
[0105]圖7A是示出了在母柔性基板MFS上形成多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的過程的平面視圖。圖7B是沿圖7A的線VIIB-VIIB截取的截面視圖。
[0106]參考圖7A和圖7B，在母柔性基板MFS上形成包括TFT層110和有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置100。
[0107]可使用各種方法形成其上形成有TFT層110的、圖2的半導(dǎo)體層111。例如，當(dāng)晶化硅、非晶硅或?qū)щ娧趸镉糜谛纬蓤D2的半導(dǎo)體層111時(shí)，可通過例如PECVD方法、常壓CVD (APCVD)或低壓CVD (LPCVD)的沉積方法形成多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置100。當(dāng)在圖2的半導(dǎo)體層111上形成有機(jī)TFT時(shí)，可通過例如涂布或印刷的方法形成多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置100。而且，當(dāng)使用多晶硅形成圖2的半導(dǎo)體層111時(shí)，可通過應(yīng)用例如快速熱處理(RTA )、固相晶化法(SPC )、準(zhǔn)分子激光熱處理(ELA )、金屬誘導(dǎo)晶化法(MIC )、金屬誘發(fā)側(cè)向晶化法(MILC)和連續(xù)側(cè)向結(jié)晶法(SLS)的多種晶化方法晶化非晶硅。
[0108]通過例如CVD、PECVD或ALD的方法在TFT層110上沉積圖2的柵電極113、圖2的源電極115、圖2的漏電極116、電容器(未示出)和各種電線(未示出)，然后通過光刻工藝形成期望的圖案。
[0109]可通過例如沉積方法、涂布方法、印刷方法和光熱轉(zhuǎn)印方法的多種方法形成包括有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的有機(jī)發(fā)光材料的圖2的層123。
[0110]而且，盡管圖7B中未示出，但是還可在第二阻擋層2BL與TFT層110之間提供緩沖層(未不出)。
[0111]圖8是示出了在母柔性基板MFS上形成封裝多個(gè)有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的薄膜封裝層130的過程的截面視圖。
[0112]如上所述，薄膜封裝層130可由多個(gè)無機(jī)層或無機(jī)層和有機(jī)層的混合形成。無機(jī)層和有機(jī)層可通過例如CVD、PECVD或?yàn)R射的多種方法形成。
[0113]而且，盡管如圖8所示一個(gè)薄膜封裝層130通常整體覆蓋多個(gè)單位有機(jī)發(fā)光顯示裝置100，但是本發(fā)明不限于此。也就是說，可斷續(xù)地形成薄膜封裝層130以分別覆蓋有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的每個(gè)單位有機(jī)發(fā)光設(shè)備。
[0114]圖9和圖10是示出了從母柔性基板MFS分離玻璃基板GS的過程的截面視圖。
[0115]參考圖9，為了從玻璃基板GS分離母柔性基板MFS，從形成有母柔性基板MFS的側(cè)的相反方向福射激光束。
[0116]激光束可以是通過使用準(zhǔn)分子激光設(shè)備輻射的UV光。輻射的UV光穿過玻璃基板GS并且被第一塑料層IPL和第二塑料層2PL吸收。第一塑料層IPL與第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度因吸收的能量而變?nèi)?。第二阻擋?BL容易被外部應(yīng)力破壞。由此，通過沿圖10的箭頭方向向母柔性基板MFS和玻璃基板GS適當(dāng)?shù)厥┘油獠繎?yīng)力，母柔性基板MFS可從玻璃基板GS分離。
[0117]然而，由于在將母柔性基板MFS從玻璃基板GS分離的過程中無機(jī)層的第一阻擋層IBL與有機(jī)層的第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度相對較弱，因此第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL在制造過程中彼此層離。然而，由于第一阻擋層IBL可被圖案化以僅在與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域A中具有島形狀，因此第一塑料層IPL和第二塑料層2PL在沒有第一阻擋層IBL的、與有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120對應(yīng)的區(qū)域A的外圍區(qū)域B中直接接觸。由于第一塑料層IPL與第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度大于第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的粘合強(qiáng)度，因此可防止第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的層離。
[0118]而且，在將母柔性基板MFS從玻璃基板GS分離的過程之前可將第一保護(hù)膜140附接在薄膜封裝層130上。第一保護(hù)膜140可用作例如偏振模的光學(xué)構(gòu)件。
[0119]圖11是示出了將母柔性基板MFS上的有機(jī)發(fā)光設(shè)備層劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備100的過程的截面視圖。
[0120]在母柔性基板MFS從玻璃基板GS分離并且第二保護(hù)膜150被附接至母柔性基板MFS的另一側(cè)之后，可執(zhí)行將母柔性基板MFS劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備100的過程。第二保護(hù)膜150可用作例如偏振膜的光學(xué)構(gòu)件。
[0121]通過使用切割輪和激光切割設(shè)備沿單位顯示設(shè)備之間的非顯示區(qū)域的切割線CL切割母柔性基板MFS，可將形成于母柔性基板MFS上的有機(jī)發(fā)光設(shè)備劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備100。
[0122]以下將參考圖12A和圖12B描述制造根據(jù)本發(fā)明的比較實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置102的母柔性基板MFS-2的方法。
[0123]圖12A是示出了在玻璃基板GS上形成母柔性基板MFS-2的過程的平面視圖。圖12B是沿圖12A的線XIIB-XIIB截取的截面視圖。圖12A和圖12B還示出了玻璃基板GS和母柔性基板MFS-2的接觸表面的外部分。
[0124]玻璃基板GS上的第一塑料層IPL和第二塑料層2PL分別被第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL覆蓋。第一阻擋層IBL未被圖案化。
[0125]當(dāng)通過涂布工藝在玻璃基板GS上形成第一塑料層IPL和第二塑料層2PL時(shí)，如果涂布液體流到玻璃基板GS的外面，則出現(xiàn)缺陷。由此，第一塑料層IPL和第二塑料層2PL可涂布于比玻璃基板GS小的區(qū)域中。可選地，由于第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL通過例如CVD或PECVD的沉積過程形成，所以它們比第一塑料層IPL和第二塑料層2PL更接近玻璃基板GS的端部。
[0126]第二塑料層2PL覆蓋第一塑料層IPL的一部分。由此，即使當(dāng)?shù)诙芰蠈?PL和第一塑料層IPL形成于相同的位置時(shí)，第二塑料層2PL也會因流動的涂布液體而流入第一塑料層IPL的外部。第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL重疊的區(qū)域OA形成于母柔性基板MFS-2的外部分。
[0127]在母柔性基板MFS-2和玻璃基板GS的分離過程中，輻射的UV光穿過玻璃基板GS并且被第一塑料層IPL和第二塑料層2PL吸收。然而，由于第一阻擋層IBL吸收第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL重疊的區(qū)域OA中的UV光，因此UV光未被第二塑料層2PL吸收。因此，難以從玻璃基板GS分離母柔性基板MFS-2。
[0128]圖13是示出了玻璃基板GS和母柔性基板MFS的接觸表面的外部分的詳細(xì)視圖。
[0129]這里，由于第一阻擋層IBL未形成于玻璃基板GS的外部分，因此第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL重疊的區(qū)域OA未形成于母柔性基板MFS的外部分。因此，第二塑料層2PL的端部和第一塑料層IPL的端部在玻璃基板GS的端部處直接接觸。由此，母柔性基板MFS和玻璃基板GS的分離過程被順暢地執(zhí)行。
[0130]下文將參考圖14和圖15描述制造根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的方法。
[0131]圖14是示出了當(dāng)?shù)诙芰蠈?PL大于第一塑料層IPL時(shí)的玻璃基板的端部的截面視圖。圖15是示出了當(dāng)?shù)诙芰蠈?PL小于第一塑料層IPL時(shí)的玻璃基板的端部的截面視圖。在上面兩種情況下，第一阻擋基板IBL被圖案化。
[0132]當(dāng)?shù)谝凰芰蠈覫PL被涂布在玻璃基板上時(shí)，當(dāng)?shù)谝凰芰蠈覫PL的端部中凸地突出時(shí)出現(xiàn)咖啡環(huán)現(xiàn)象。如圖14所示，如果第二塑料層2PL被涂布在第一塑料層上，由于放大的咖啡環(huán)現(xiàn)象，整個(gè)咖啡環(huán)的高度Hl在第二塑料層中從玻璃基板的頂面上升。然而，當(dāng)如圖15所示第二塑料層2PL被形成為具有比第一塑料層IPL小的區(qū)域時(shí)，由第二塑料層2PL生成的咖啡環(huán)不會被放大。因此整個(gè)咖啡環(huán)的高度H2與圖14中的高度相比變小。
[0133]由于咖啡環(huán)現(xiàn)象，膜留在包括在母柔性基板上執(zhí)行的光刻過程所必需的對準(zhǔn)鍵的部分，從而在后續(xù)的過程中可能發(fā)生未對準(zhǔn)。然而，這種情況在第二塑料層2PL被形成為等于或小于第一塑料層時(shí)可被避免。
[0134]由于第二塑料層2PL在涂布過程中在第一塑料層IPL上流動，因此第二塑料層2PL的區(qū)域小于設(shè)計(jì)的區(qū)域。
[0135]圖16是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置200的截面視圖。
[0136]參考圖16，有機(jī)發(fā)光顯示裝置200包括柔性基板FS-3、TFT層110、有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120和薄膜封裝層130。下文將主要描述與上面描述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的區(qū)別。第一和第二實(shí)施方式中相似的參考標(biāo)號可指向相似的元件。
[0137]有機(jī)發(fā)光顯示裝置200的柔性基板FS-3包括第一塑料層1PL、第一阻擋層1BL、第二塑料層2PL和第二阻擋層2BL。
[0138]第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL被圖案化以被設(shè)置在形成有有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120的區(qū)域中。
[0139]圖17是示出了制造根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置200的過程的截面視圖。
[0140]圖17是示出了在玻璃基板GS上形成母柔性基板MFS-3的過程的截面視圖。
[0141]參考圖17，在玻璃基板GS的第一塑料層IPL上形成圖案化的第一阻擋層1BL、第二塑料層2PL和被圖案化的第二阻擋層2BL。
[0142]此時(shí)，第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL僅形成于與每個(gè)單位顯示設(shè)備200對應(yīng)的區(qū)域中，并且未形成于單位顯示設(shè)備200之間的非顯示區(qū)域中。由此，在將母柔性基板MFS-3上的多個(gè)有機(jī)發(fā)光設(shè)備層劃分成多個(gè)單位顯示設(shè)備200的過程中，例如第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL的無機(jī)層沿切割線CL被形成為較小，從而可在切割過程中減少因無機(jī)層引起的裂痕或污染物。
[0143]另外，由于第一阻擋層IBL和第二阻擋層2BL未形成于玻璃基板GS的端部，因此第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL重疊的區(qū)域未形成于玻璃基板GS的端部。例如，第二塑料層2PL的端部和第一塑料層IPL的端部在玻璃基板GS的端部處直接接觸。由此，母柔性基板MFS-3和玻璃基板GS的分離過程被順暢地執(zhí)行。
[0144]而且，盡管如圖16和圖17所示第二阻擋層2BL的區(qū)域大于第一阻擋層IBL的區(qū)域，但是本發(fā)明不限于此。因此，第二阻擋層2BL的區(qū)域可等于或小于第一阻擋層IBL的區(qū)域。
[0145]圖18是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的有機(jī)發(fā)光顯示裝置300的截面視圖。
[0146]參考圖18，有機(jī)發(fā)光顯示裝置300包括柔性基板FS-4、TFT層110、有機(jī)發(fā)光設(shè)備層120和薄膜封裝層130。下文將主要描述與上面描述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的區(qū)別。相似的參考標(biāo)號可指向相似的元件。
[0147]有機(jī)發(fā)光顯示裝置300的柔性基板FS-4可包括第一塑料層1PL、第一阻擋層1BL、第二塑料層2PL、第二阻擋層2BL、第三塑料層3PL和第三阻擋層3BL。
[0148]例如，關(guān)于有機(jī)發(fā)光顯示裝置300，由于柔性基板FS-3包括三個(gè)交替堆疊的塑料層和三個(gè)阻擋層，因此平均的水和蒸汽傳輸路徑與上面討論的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100相比變長，從而可進(jìn)一步防止氧氣和濕氣的傳輸。
[0149]另外，由于第一阻擋層IBL和第二塑料層2PL被圖案化，所以可防止第一阻擋層IBL與第二塑料層2PL之間的層離和第二阻擋層2BL與第三塑料層3PL之間的層離。
[0150]而且，盡管在圖18中示出了包括交替堆疊的三個(gè)塑料層和三個(gè)阻擋層的結(jié)果，但是塑料層和阻擋層可進(jìn)一步在希望的位置被堆疊。
[0151]而且，盡管在上面的實(shí)施方式中描述了有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)，但是本發(fā)明還可應(yīng)用于除了有機(jī)發(fā)光顯示裝置之外的各種柔性顯示設(shè)備。舉例來說，本發(fā)明可應(yīng)用于各種電子設(shè)備，如便攜式移動設(shè)備、導(dǎo)航系統(tǒng)、視頻攝像機(jī)、筆記本PC、平板PC、平板TV和投影儀。
[0152]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，由于柔性基板包括交替堆疊的兩個(gè)塑料層和兩個(gè)阻擋層，所以平均的蒸汽傳輸路徑變長，由此防止OLED的劣化。
[0153]另外，通過圖案化與塑料層相鄰的阻擋層，使得兩個(gè)塑料層在阻擋層被圖案化的區(qū)域中直接接觸，從而可防止阻擋層和兩個(gè)塑料層之間的層離。
[0154]盡管已經(jīng)參考本發(fā)明的示例性實(shí)施方式示出和描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解可在本文中進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)的各種改變而不背離本發(fā)明的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，包括: 第一柔性塑料層； 第一阻擋層，形成于所述第一柔性塑料層上，所述第一阻擋層防止水和氧氣滲透； 第二柔性塑料層，形成于所述第一阻擋層上； 有機(jī)發(fā)光設(shè)備層，形成于所述第二柔性塑料層上；以及 薄膜封裝層，封裝所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層， 其中所述第一阻擋層被圖案化為對應(yīng)于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第一柔性塑料層和所述第二柔性塑料層在形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域的外部中接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，還包括位于所述第二柔性塑料層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間的防止水和氧氣滲透的第二阻擋層。
4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二阻擋層包括包含無機(jī)材料的至少一個(gè)層。
5.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二阻擋層被圖案化以位于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備的區(qū)域中。
6.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二阻擋層和所述薄膜封裝層在形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備的區(qū)域的外部中接觸。
7.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中至少一對層形成于所述第二阻擋層與所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層之間，所述至少一對層中的每個(gè)層包括第三柔性塑料層和防止水和氧氣滲透的第三阻擋層。
8.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二阻擋層被圖案化以位于形成有所述有機(jī)發(fā)光設(shè)備層的區(qū)域中。
9.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第一柔性塑料層和所述第二柔性塑料層包括聚酰亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚芳酯、聚碳酸脂、聚醚砜或聚醚酰亞胺。
10.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二柔性塑料層的厚度大于所述第一柔性塑料層的厚度。
11.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第二柔性塑料層具有比所述第一柔性塑料層低的粘性。
12.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中所述第一阻擋層包括包含無機(jī)材料的至少一個(gè)層。
13.—種包括如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的電子設(shè)備。
【文檔編號】H01L27/32GK104183783SQ201410216151
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月24日
【發(fā)明者】樸容煥, 李清, 金容官, 李在燮 申請人:三星顯示有限公司