處理設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的處理設(shè)備構(gòu)成為在由容器支撐體支撐著容器的狀態(tài)下，容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面接合，供給孔或者排出孔與連通孔連通，容器側(cè)接合面是至少連通孔的周圍平坦地形成，支撐體側(cè)接合面為隨著離開供給孔或者排出孔而逐漸朝向下方的形狀。
【專利說明】處理設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種處理設(shè)備，具備:容器，收容收容物；容器支撐體，對(duì)前述容器以與設(shè)定位置對(duì)位的狀態(tài)從下方進(jìn)行支撐；容器側(cè)連接部，設(shè)在前述容器的底部，具有能夠使容器內(nèi)空間與外部之間連通的連通孔；以及支撐體側(cè)連接部，設(shè)在前述容器支撐體上，具備用于進(jìn)行氣體向前述容器內(nèi)空間供給的供給孔或者用于進(jìn)行氣體從前述容器內(nèi)空間排出的排出孔；在前述容器由前述容器支撐體支撐的載置狀態(tài)下，作為前述容器側(cè)連接部的下表面的容器側(cè)接合面與作為前述支撐體側(cè)連接部的上表面的支撐體側(cè)接合面接合，前述供給孔或者前述排出孔與前述連通孔連通。

【背景技術(shù)】
[0002]作為這種處理設(shè)備的一例有如下構(gòu)成的凈化設(shè)備，即:在收容半導(dǎo)體晶片的FOUP等容器由容器支撐體支撐的載置狀態(tài)下，防止容器內(nèi)收容的半導(dǎo)體晶片的汚損地進(jìn)行凈化氣體向容器內(nèi)空間供給、或者污染氣體從容器內(nèi)空間排出(例如參照日本國(guó)特開2010 —147451號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I))。
[0003]在專利文獻(xiàn)I的凈化設(shè)備中，支撐體側(cè)連接部在上端部具備俯視為圓形的給排氣用的給排孔，在該給排孔的周圍，形成有越遠(yuǎn)離該給排孔越朝向下方的側(cè)視為直線狀的傾斜面。而且，作為容器側(cè)連接部，具備將容器內(nèi)空間與外部連通的連通孔和彈性部件制的密封部，該密封部設(shè)在連通孔的周圍，形成為載置狀態(tài)下側(cè)視時(shí)以多點(diǎn)與支撐體側(cè)連接部的傾斜面相接的形狀。因此，在載置狀態(tài)下，因容器側(cè)連接部的密封部側(cè)視時(shí)以多點(diǎn)與支撐體側(cè)連接部的傾斜面抵接、并且密封部因容器的自重被支撐體側(cè)連接部推壓而變形，能夠密封成凈化氣體等氣體不從支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接合部向外部漏出。
[0004]在如上述專利文獻(xiàn)I那樣構(gòu)成容器側(cè)連接部以及支撐體側(cè)連接部的情況下，需要將容器側(cè)連接部的密封部形成為載置狀態(tài)下側(cè)視時(shí)以多點(diǎn)與傾斜面抵接的形狀，容器側(cè)連接體的結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
[0005]為此，考慮將支撐體側(cè)接合面上供給孔或者排出孔的周圍以及容器側(cè)接合面上連通孔的周圍均形成平坦面，將支撐體側(cè)連接體以及容器側(cè)連接部形成為在載置狀態(tài)下容器側(cè)連接部的平坦面部與支撐體側(cè)連接體的平坦面部為面接觸的狀態(tài)。
[0006]但是，在這種結(jié)構(gòu)中，由于支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接觸面積大，所以使容器為長(zhǎng)時(shí)間載置狀態(tài)的情況下，支撐體側(cè)連接體與容器側(cè)連接部將相互吸附，在為了使容器從容器支撐體向別的處理用部位移動(dòng)等而解除載置狀態(tài)的情況下，擔(dān)心發(fā)生在支撐體側(cè)連接體或者容器側(cè)連接部的一方或者雙方施加過大的力而變形等不良情況。
[0007]為此，希望實(shí)現(xiàn)容器側(cè)連接體的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，并且能夠抑制支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部吸附的事態(tài)發(fā)生的處理設(shè)備。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備具備: 容器，收容收容物，
容器支撐體，對(duì)前述容器以與設(shè)定位置對(duì)位的狀態(tài)從下方進(jìn)行支撐；
容器側(cè)連接部，設(shè)在前述容器的底部，具有能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)空間與外部之間連通的連通孔；
支撐體側(cè)連接部，設(shè)在前述容器支撐體上，具備用于進(jìn)行氣體向前述容器內(nèi)空間供給的供給孔或者用于進(jìn)行氣體從前述容器內(nèi)空間排出的排出孔；
在此，在前述容器由前述容器支撐體支撐的載置狀態(tài)下，作為前述容器側(cè)連接部的下表面的容器側(cè)接合面與作為前述支撐體側(cè)連接部的上表面的支撐體側(cè)接合面接合，前述供給孔或者前述排出孔與前述連通孔連通；
前述容器側(cè)接合面是至少前述連通孔的周圍平坦地形成，前述支撐體側(cè)接合面為隨著離開前述供給孔或者前述排出孔而逐漸朝向下方的形狀。
[0009]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在容器由容器支撐體支撐的載置狀態(tài)下，容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面成為供給孔或者排出孔與連通孔的連通部分的周圍接合的狀態(tài)，能夠密封成氣體不從支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接合部向外部漏出。
[0010]此時(shí)，由于支撐體側(cè)接合面為隨著離開供給孔或者排出孔而逐漸朝向下方的形狀，所以成為越離開供給孔或排出孔與連通孔的連通部分，則容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面越分離的狀態(tài)。因此，能夠減小容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面接合的面積，即使由容器支撐體長(zhǎng)時(shí)間支撐容器，也能夠抑制支撐體側(cè)連接體與容器側(cè)連接部吸附的事態(tài)。
[0011]這樣，能夠?qū)崿F(xiàn)使容器側(cè)連接體的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，并且能夠抑制支撐體側(cè)連接體與容器側(cè)連接部吸附的事態(tài)發(fā)生的處理設(shè)備。
[0012]以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的例子進(jìn)行說明。
[0013]在本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選前述支撐體側(cè)接合面為沿著球面的形狀。
[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于支撐體側(cè)接合面為沿著球面的形狀，所以在供給孔或者排出孔與連通孔的連通部分的周圍，支撐體側(cè)接合面與容器側(cè)接合面接近。
[0015]另外，作為比較例，在例如支撐體側(cè)接合面為隨著離開供給孔或者前述排出孔而直線狀地朝向下方的形狀的情況下，容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面的接合部分留有在供給孔或者排出孔與連通孔的連通部分的周圍形成徑向的厚度小的環(huán)狀。相對(duì)于此，在支撐體側(cè)接合面形成為沿著球面的形狀的情況下，與上述比較例的情況相比，能夠增大容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面的接合部分的徑向的厚度。因此，能夠恰當(dāng)?shù)孛芊獬蓺怏w不從支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接合部向外部漏出。
[0016]在本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選在前述支撐體側(cè)連接部與前述容器支撐體之間夾有彈性部件，前述支撐體側(cè)連接部由彈性系數(shù)比前述彈性部件大的材質(zhì)構(gòu)成。
[0017]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在為載置狀態(tài)時(shí)彈性部件彈性變形，所以能夠使容器支撐體穩(wěn)定地支撐容器，并且使容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面恰當(dāng)?shù)亟雍稀?br> [0018]而且，在載置狀態(tài)下容器振動(dòng)的情況下，通過彈性部件彈性變形，能夠維持容器側(cè)接合面與支撐體側(cè)接合面接合的狀態(tài)。
[0019]這樣，通過彈性部件彈性變形，能夠恰當(dāng)?shù)孛芊獬蓺怏w不從支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接合部向外部漏出。
[0020]在本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選在前述支撐體側(cè)連接部的周圍設(shè)有將該支撐體側(cè)連接部向水平方向以及上下方向的移動(dòng)限制在預(yù)先限定的范圍內(nèi)的限制部件。
[0021]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過將支撐體側(cè)連接部以將其向水平方向以及上下方向的移動(dòng)限制在預(yù)先限定的范圍內(nèi)的狀態(tài)安裝在容器支撐體上，能夠允許支撐體側(cè)連接部?jī)H向上下方向移動(dòng)彈性部件的變形量，并且將支撐體側(cè)連接部恰當(dāng)?shù)匕惭b成不從俯視時(shí)的容器支撐體的規(guī)定位置移動(dòng)。
[0022]在本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選前述支撐體側(cè)連接部具有:頂部，形成俯視為圓形，具有前述支撐體側(cè)接合面；縮徑部，直徑比前述頂部小、比前述供給孔或者前述排出孔大，與前述頂部的下方鄰接地形成；以及腳部，直徑比前述縮徑部大，與前述縮徑部的下方鄰接地形成，前述限制部件具備形成為厚度比前述縮徑部的上下方向尺寸薄的插入部，前述插入部設(shè)成位于與前述縮徑部重合的高度，并且俯視時(shí)與前述頂部以及前述腳部雙方重合。
[0023]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于插入部的上下方向尺寸形成為厚度比縮徑部的上下方向尺寸薄，所以能夠允許支撐體側(cè)連接部向上下方向僅移動(dòng)相當(dāng)于插入部的上下方向尺寸與縮徑部的上下方向尺寸的差的上下方向尺寸量。而且，由于插入部為上下方向插入頂部與腳部之間的狀態(tài)，所以能夠限制支撐體側(cè)連接部向上下方向的移動(dòng)，將支撐體側(cè)連接部恰當(dāng)?shù)匕惭b在容器支撐體上。
[0024]因此，能夠?qū)⒅误w側(cè)連接部以限制了向上下方向的移動(dòng)，并且允許彈性部件彈性變形時(shí)的移動(dòng)的形態(tài)安裝在容器支撐體上。
[0025]在本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選前述支撐體側(cè)接合面的表面粗度是算術(shù)平均粗度(Ra)為3.2 μ m?6.3 μ m的范圍內(nèi)。
[0026]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，支撐體側(cè)接合面的表面粗度越小，支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部越容易吸附。另一方面，支撐體側(cè)接合面的表面粗度越大，即使在支撐體側(cè)接合面與容器側(cè)接合面接合的狀態(tài)下，越擔(dān)心氣體從其接合面之間漏出。并且考慮了容器的重量、從供給孔向容器內(nèi)空間供給的氣體的供給圧的關(guān)系，進(jìn)行了銳意研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)了使支撐體側(cè)接合面的表面粗度Ra為3.2 μ m?6.3 μ m。
[0027]這樣，通過使支撐體側(cè)接合面的表面粗度Ra為3.2 μ m?6.3 μ m,能夠提供一種處理設(shè)備，既能夠恰當(dāng)?shù)匾种浦误w側(cè)連接部與容器側(cè)連接部吸附的狀態(tài)，而且也能夠恰當(dāng)?shù)孛芊獬蓺怏w不從支撐體側(cè)連接部與容器側(cè)連接部的接合部向外部漏出。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的基板容器保管設(shè)備的結(jié)構(gòu)的縱剖側(cè)視圖； 圖2是相同設(shè)備的局部俯視圖；
圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的容器的局部剖開說明圖；
圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的容器支撐體的立體圖；
圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的支撐體側(cè)連接部及其安裝構(gòu)造的主要部分立體圖； 圖6是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的支撐體側(cè)連接部的縱剖側(cè)視圖；
圖7是說明載置狀態(tài)下的容器側(cè)連接部以及支撐體側(cè)連接部的狀態(tài)的附圖。
[0029]附圖標(biāo)記說明:
4:容器，4G:容器側(cè)連接部，4Gm:容器側(cè)接合面，4R:連通孔，4S:容器內(nèi)空間，15:容器支撐體，55:支撐體側(cè)連接部，55K:腳部，55R1:供給孔，55R2:排出孔，55S:縮徑部，55T:頂部，55m:支撐體側(cè)接合面，56:彈性部件，58、59:限制部件，58k:插入部。

【具體實(shí)施方式】
[0030]基于附圖對(duì)將本發(fā)明的處理設(shè)備適用在了基板容器保管設(shè)備中的情況下的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0031]基板容器保管設(shè)備如圖1以及圖2所示，具備保管架10和塔式起重機(jī)3，保管架10沿上下方向以及左右方向并排地具備多個(gè)支撐以密閉狀態(tài)收容半導(dǎo)體晶片的FOUP等容器4的容器支撐體15，塔式起重機(jī)3在設(shè)置在該保管架10的前表面的行駛軌道83上行駛自如，因而自如地移載容器4。
[0032]塔式起重機(jī)3具備:行駛臺(tái)車3a，具備在行駛軌道83上滾動(dòng)的行駛輪(省略圖示)；升降導(dǎo)引立柱3b，立設(shè)在行駛臺(tái)車3a上；以及升降臺(tái)3c，被升降導(dǎo)引立柱3b導(dǎo)引而升降移動(dòng)自如。在升降臺(tái)3c上設(shè)有將容器4在與容器支撐體15之間移載自如的標(biāo)量臂式的移載裝置3d。移載裝置3d自如地載置容器4，并且能夠自如地將位置在俯視時(shí)與升降臺(tái)3c重合的拉入位置、和向容器支撐體15側(cè)突出的突出位置之間切換。
[0033]保管架10以前表面彼此對(duì)向的形態(tài)設(shè)有一對(duì)。該一對(duì)的保管架10中的一個(gè)是作為設(shè)置了支撐體側(cè)連接部(后述)的凈化架1a構(gòu)成的。在此，支撐體側(cè)連接部具備為了防止容器4內(nèi)的半導(dǎo)體晶片的汚損而將氮?dú)獾榷栊詺怏w向容器4的容器內(nèi)空間供給的供給孔、或者將容器內(nèi)的氣體向容器內(nèi)空間外排出的排出孔。一對(duì)的保管架10中的另一個(gè)是作為未設(shè)置支撐體側(cè)連接部的非凈化架1b構(gòu)成的。塔式起重機(jī)3的移載裝置3d構(gòu)成為能夠?qū)⑷萜?自如地向凈化架1a的容器支撐體15以及非凈化架1b的容器支撐體15的任意一個(gè)移載。
[0034]凈化架10a、非凈化架10b、以及塔式起重機(jī)3設(shè)置在被壁體14包圍的空間的內(nèi)部。而且，以貫通壁體14的狀態(tài)設(shè)有在壁體14的外部與內(nèi)部之間運(yùn)送容器4的入出庫輸送機(jī)84。入出庫輸送機(jī)84的壁體14外方側(cè)的端部成為了將容器4在與升降式的設(shè)備間容器運(yùn)送裝置2之間進(jìn)行交接的交接處。而且，入出庫輸送機(jī)84的壁體14內(nèi)方側(cè)的端部成為了將容器4在與塔式起重機(jī)3的移載裝置3d之間進(jìn)行交接的交接處。
[0035]容器支撐體15如圖4所示，為了形成移載裝置3d沿上下通過的空間而形成為俯視形狀為U字狀，在其上表面的三處，以立起狀態(tài)裝備有定位銷15p。在將容器4向容器支撐體15上移載的情況下，將升降臺(tái)3c升降操作成使被移載裝置3d支撐的容器4的下表面的高度為比移載對(duì)象的容器支撐體15高出設(shè)定高度的位置，將移載裝置3d向突出位置切換，接著，將升降臺(tái)3c下降操作到容器4的下表面的高度為比移載對(duì)象的容器支撐體15低設(shè)定高度的高度。這樣一來，容器4從由移載裝置3d支撐的狀態(tài)向由容器支撐體15支撐的載置狀態(tài)切換。
[0036]如圖3 所不，容器 4 是以 SEMI (Semiconductor Equipment and MaterialsInternat1nal)規(guī)格為基準(zhǔn)的合成樹脂制的氣密容器，沿上下方向排列地具備多個(gè)收納半導(dǎo)體晶片W的晶片支撐體4T，能夠收容多片半導(dǎo)體晶片W。在容器4的前表面形成有被裝卸自如的蓋體開閉的基板出入用的開口，在容器4的上表面形成有由設(shè)備間容器運(yùn)送裝置2把持的上翼緣4F，并且在容器4的底部4m上形成有設(shè)在容器支撐體15的上表面的三個(gè)定位銷15p (參照?qǐng)D4)的各自所卡合的三個(gè)導(dǎo)引用凹部(省略圖示)。導(dǎo)引用凹部形成為在容器4處于設(shè)定位置時(shí)與定位銷15p的上端抵接的部分為最深的最深部，除此之外的部分為逐漸變淺的傾斜面狀的被導(dǎo)引面。因此，隨著使容器4為了為由容器支撐體15支撐的載置狀態(tài)而向下方移動(dòng)，容器4以沿著水平面的方向逐漸向設(shè)定位置移動(dòng)。g卩、設(shè)有收容半導(dǎo)體晶片W的容器4，和對(duì)該容器4以與設(shè)定位置對(duì)位的狀態(tài)從下方進(jìn)行支撐的容器支撐體15。
[0037]如圖3所示，在容器4的底部具備金屬扣眼4G，該金屬扣眼4G具有用于向容器內(nèi)空間4S供給氮?dú)獾倪B通孔4R。金屬扣眼4G形成俯視為圓形，連通孔4R設(shè)在俯視為圓形的中心。而且，在金屬扣眼4G的下表面上連通孔4R的周圍形成有平坦地形成的容器側(cè)接合面 4Gm。
[0038]另外，在金屬扣眼4G的內(nèi)部設(shè)有被發(fā)條等施力組件向關(guān)閉方向施力的開閉閥機(jī)構(gòu)4V。開閉閥機(jī)構(gòu)4V構(gòu)成為僅在經(jīng)由連通孔4R供給的氣體、或者經(jīng)由連通孔4R排出的氣體的圧力成為了設(shè)定圧力以上時(shí)成為開狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，金屬扣眼4G相當(dāng)于具有能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)空間與外部之間連通的連通孔4R的容器側(cè)連接部。
[0039]如圖4所示，在各個(gè)容器支撐體15上，從保管架10的架正面觀察，在架的里側(cè)裝配有兩個(gè)支撐體側(cè)連接部55，在架的前側(cè)裝配有兩個(gè)支撐體側(cè)連接部55，共計(jì)裝配有四個(gè)支撐體側(cè)連接部55，架的里側(cè)的兩個(gè)支撐體側(cè)連接部55以及架的前右側(cè)的一個(gè)支撐體側(cè)連接部55成為了具備用于進(jìn)行凈化氣體向容器4的容器內(nèi)空間4S供給的供給孔55R1的支撐體側(cè)連接部55a。而且，架的前左側(cè)的一個(gè)支撐體側(cè)連接部55成為了具備用于進(jìn)行氣體從容器內(nèi)空間4S排出的排出孔55R2的支撐體側(cè)連接部55b。
[0040]如圖4以及圖5所示，在凈化架1a上的各個(gè)容器支撐體15上分別裝配有供給惰性氣體的供給配管51，供給配管51與供給流量調(diào)節(jié)裝置52的流入側(cè)連接部相連。而且，在供給流量調(diào)節(jié)裝置52的流出側(cè)連接部連接有容器用供給配管53。容器用供給配管53在容器支撐體15上的支撐體側(cè)連接部55a的設(shè)置位置與從容器支撐體15的上表面15m向上方突出的供給噴嘴53N相連，惰性氣體從供給噴嘴53N噴出。
[0041]而且，在容器支撐體15上的支撐體側(cè)連接部55b的設(shè)置位置設(shè)有從容器支撐體15的上表面15m向上方突出的排出噴嘴(省略圖不)。排出噴嘴的從容器支撐體15的上表面15m向上方突出的部分的尺寸(朝向上方的突出量)形成為與供給噴嘴53N相同的尺寸。而且，排出噴嘴的氣體通流方向下流側(cè)被開口，從該開口放出來自容器4的容器內(nèi)空間4S的氣體。
[0042]供給噴嘴53N能夠滑動(dòng)地嵌合在上述供給孔55R1中，惰性氣體通過供給孔55R1噴出。排出噴嘴能夠滑動(dòng)地嵌合在排出孔55R2中，來自容器內(nèi)空間4S的氣體通過排出孔55R2排出。支撐體側(cè)連接部55上的供給孔55R1形成部分以及排出孔55R2形成部分的上下方向的尺寸至少比供給噴嘴53N以及排出噴嘴的自容器支撐體15的上表面15m的突出高度大。
[0043]另外，由于支撐體側(cè)連接部55a與支撐體側(cè)連接部55b為相同的結(jié)構(gòu)，所以以下將其合在一起作為支撐體側(cè)連接部55進(jìn)行說明。
[0044]支撐體側(cè)連接部55由聚四氟乙烯(PTFE)構(gòu)成，如圖5以及圖6所示，形成俯視為圓形，并且在容器4由容器支撐體15支撐的載置狀態(tài)下，作為金屬扣眼4G的下表面的容器側(cè)接合面4Gm和作為該支撐體側(cè)連接部55的上表面的支撐體側(cè)接合面55m接合，此時(shí)，供給孔55R1與連通孔4R連通(排出孔55R2也同樣)。
[0045]支撐體側(cè)接合面55m形成沿著朝向上方凸出的球面的形狀。即、支撐體側(cè)接合面55m形成為隨著離開供給孔55R1或者排出孔55R2而逐漸朝向下方的形狀。而且，支撐體側(cè)接合面55m通過進(jìn)行切削加工而形成表面粗度Ra (JIS B0601限定的算術(shù)平均粗度)為3.2“!11?6.34 111的范圍內(nèi)。
[0046]支撐體側(cè)連接部55如圖6以及圖7所示，具備:頂部55T，具備支撐體側(cè)接合面55m ;縮徑部55S，直徑比頂部55T小徑、比供給孔55R1或者排出孔55R2大，與頂部55T的下方鄰接地形成；以及腳部55K，直徑比縮徑部55S大，與縮徑部55S的下方鄰接地形成。
[0047]在圖5?圖7中表示了將該支撐體側(cè)連接部55安裝在容器支撐體15上的安裝構(gòu)造。
[0048]如圖5所示，架里側(cè)的兩個(gè)支撐體側(cè)連接部55a使用安裝部件58安裝在容器支撐體15的上表面15m上，架前右側(cè)的支撐體側(cè)連接部55a以及架前左側(cè)的支撐體側(cè)連接部55b使用安裝部件59安裝在容器支撐體15的上表面15m上。
[0049]由于安裝部件58安裝支撐體側(cè)連接部55的方法與安裝部件59安裝支撐體側(cè)連接部55的方法同樣，因此以安裝部件58安裝支撐體側(cè)連接部55的方法為例進(jìn)行說明。
[0050]安裝部件58由作為俯視為環(huán)狀的板狀部件的第I安裝部件58a和第2安裝部件58b構(gòu)成。
[0051 ] 第I安裝部件58a形成為厚度比縮徑部55S的上下方向尺寸薄，內(nèi)徑比頂部55T以及腳部55K的外徑小，并且外徑比頂部55T以及腳部55K的外徑大的環(huán)狀。而且，第I安裝部件58a在圓周方向上分割成多個(gè)(在本例中分割成兩個(gè))。這樣一來，通過使多個(gè)第I安裝部件58a分別從不同的圓周方向位置沿徑向移動(dòng)能夠插入縮徑部55S。
[0052]第2安裝部件58b的上下方向尺寸比腳部55K的上下方向尺寸和后述的片狀的彈性部件56的上下方向尺寸之合要大。而且，第2安裝部件58b的內(nèi)徑為比腳部55K的外徑大的尺寸，第2安裝部件58b的外徑為與第I安裝部件58a相同的尺寸。第2安裝部件58b形成為環(huán)狀。而且，在第I安裝部件58a以及第2安裝部件58b上設(shè)有與設(shè)在容器支撐體15上的安裝用小螺釘孔相對(duì)應(yīng)的貫通孔。
[0053]彈性部件56由薄壁狀并且在中心具備供給噴嘴53N的貫通用的孔部56H的環(huán)狀的橡膠片(彈性系數(shù)比作為支撐體側(cè)連接部55的材質(zhì)的PTF E小的材質(zhì))構(gòu)成?？撞?6H的徑向尺寸形成為與供給噴嘴53N的筒外徑尺寸相同，或者比供給噴嘴53N的筒外徑尺寸小的尺寸。
[0054]S卩、彈性部件56夾在支撐體側(cè)連接部55與容器支撐體15之間，支撐體側(cè)連接部55由彈性系數(shù)比彈性部件56大的材質(zhì)構(gòu)成。
[0055]并且在將支撐體側(cè)連接部55安裝在容器支撐體15上的情況下，以使供給噴嘴53N貫通彈性部件56的孔部56H，使彈性部件56的下表面與容器支撐體15的上表面15m抵接的狀態(tài)設(shè)置支撐體側(cè)連接部55。
[0056]接著，第I安裝部件58a的內(nèi)緣部分58k在支撐體側(cè)連接部55的縮徑部55S中嵌合成被支撐體側(cè)連接部55的頂部55T和腳部55K夾住，俯視與頂部55T以及腳部55K的雙方重合的狀態(tài)，進(jìn)而，第2安裝部件58b重疊在第I安裝部件58a的下側(cè)(也就是腳部55K一側(cè))，小螺釘57貫通第I安裝部件58a以及第2安裝部件58b的貫通孔，通過小螺釘57，第I安裝部件58a以及第2安裝部件58b緊固在容器支撐體15上而被固定。此時(shí)，內(nèi)緣部分58k位于與縮徑部55S重合的高度。
[0057]這樣一來，支撐體側(cè)連接部55能夠以允許上下方向移動(dòng)相當(dāng)于第I安裝部件58a的上下方向尺寸與縮徑部55S的上下方向尺寸的差的距離，并且不從俯視為容器支撐體15的規(guī)定位置移動(dòng)的方式安裝在容器支撐體15上。
[0058]而且，由于在支撐體側(cè)連接部55的下部設(shè)有彈性部件56，所以支撐體側(cè)連接部55被允許上下移動(dòng)，并且被向上方施力，能夠使作為金屬扣眼4G的下表面的容器側(cè)接合面4Gm與作為支撐體側(cè)連接部55的上表面的支撐體側(cè)接合面55m恰當(dāng)?shù)亟雍稀?br> [0059]在本實(shí)施方式中，第I安裝部件58a相當(dāng)于限制部件，第I安裝部件58a的內(nèi)緣部分58k相當(dāng)于限制部件的插入部。即、在支撐體側(cè)連接部55的周圍設(shè)有將該支撐體側(cè)連接部55向水平方向以及上下方向的移動(dòng)限制在預(yù)先限定的范圍內(nèi)的限制部件。而且，限制部件具備形成為厚度比縮徑部55S的上下方向尺寸薄的內(nèi)緣部分58k，內(nèi)緣部分58k設(shè)成位于與縮徑部55S重合的高度，并且俯視時(shí)與頂部55T以及腳部55K雙方重合。
[0060]〔其它實(shí)施方式〕
(I)在上述實(shí)施方式中，對(duì)將支撐體側(cè)接合面55m形成為沿著向上方凸?fàn)畹那蛎娴男螤畹睦舆M(jìn)行了說明。但是，也可以將支撐體側(cè)接合面55m形成為隨著離開供給孔55R1或者排出孔55R2而直線狀地朝向下方的形狀(即圓錐狀)，或以沿著供給孔55R1或者排出孔55R2的軸心的方向?yàn)槎贪霃交蛘唛L(zhǎng)半徑的旋轉(zhuǎn)橢圓體的形狀。
[0061](2)在上述實(shí)施方式中，對(duì)將橡膠片作為彈性部件56夾在支撐體側(cè)連接部55與容器支撐體15之間的例子進(jìn)行了說明，但彈性部件56并不僅限于橡膠片。只要是彈性系數(shù)比支撐體側(cè)連接部55 (在上述實(shí)施方式中為PTF E)小的其它的材質(zhì)，則能夠使用任何材質(zhì)。而且，在確保了密封性的基礎(chǔ)上，例如也可以是將彈簧等夾在支撐體側(cè)連接部55與容器支撐體15之間的結(jié)構(gòu)。
[0062](3)在上述實(shí)施方式中，表示了將第I安裝部件58a的內(nèi)緣部分58k用作插入部的例子，但并不僅限于這種結(jié)構(gòu)。例如也可以構(gòu)成為將第I安裝部件58a形成為環(huán)狀，并且使其內(nèi)徑比頂部55T以及腳部55K的外徑大，使厚度比縮徑部55S的上下方向尺寸薄的棒狀體從第I安裝部件58a的內(nèi)緣的圓周方向的多個(gè)部位突出，將該棒狀體用作插入部。
[0063](4)在上述實(shí)施方式中，具備頂部55T，縮徑部55S，以及腳部55K，頂部55T將支撐體側(cè)連接部55形成俯視為圓形，具有支撐體側(cè)接合面55m，縮徑部55S的直徑比頂部55T小、比供給孔55R1或者排出孔55R2大，與頂部55T的下方鄰接地形成，腳部55K的直徑比縮徑部55S大，與縮徑部55S的下方鄰接地形成，但并不僅限于這種結(jié)構(gòu)。例如，也可以是在圓柱狀部的上端形成支撐體側(cè)接合面55m，在圓柱狀部的下端具備形成為直徑比圓柱狀部大的板狀的腳部55K的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，要將支撐體側(cè)連接部55安裝在容器支撐體15上，能夠使用具備俯視為比腳部55K大的板狀的按壓部、并且具有能夠?qū)A柱狀部插入的孔部的安裝部件。即、在將圓柱狀部插入了安裝部件的孔部中的狀態(tài)下，將按壓部在離開了容器支撐體15的上表面15m腳部55K的上下方向尺寸與彈性部件56的上下方向尺寸之和的尺寸的位置固定在容器支撐體15上。這樣一來，能夠?qū)⒅误w側(cè)連接部55以上下方向移動(dòng)自如、并且將向水平方向以及上下方向的移動(dòng)限制在預(yù)先限定的范圍內(nèi)的狀態(tài)安裝在容器支撐體15上。
[0064](5 )在上述實(shí)施方式中，對(duì)容器4為收容半導(dǎo)體基板W的FOUP的例子進(jìn)行了說明，但并不僅限于這種結(jié)構(gòu)。例如，容器4的收容物為食品，供給的氣體為抑制氧化用氣體等本發(fā)明所涉及的處理設(shè)備能夠適用于各種的處理設(shè)備中。
【權(quán)利要求】
1.一種處理設(shè)備，具備: 容器，收容收容物， 容器支撐體，對(duì)前述容器以與設(shè)定位置對(duì)位的狀態(tài)從下方進(jìn)行支撐； 容器側(cè)連接部，設(shè)在前述容器的底部，具有能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)空間與外部之間連通的連通孔； 支撐體側(cè)連接部，設(shè)在前述容器支撐體上，具備用于進(jìn)行氣體向前述容器內(nèi)空間供給的供給孔或者用于進(jìn)行氣體從前述容器內(nèi)空間排出的排出孔； 在此，在前述容器由前述容器支撐體支撐的載置狀態(tài)下，作為前述容器側(cè)連接部的下表面的容器側(cè)接合面與作為前述支撐體側(cè)連接部的上表面的支撐體側(cè)接合面接合，前述供給孔或者前述排出孔與前述連通孔連通； 前述處理設(shè)備的特征在于， 前述容器側(cè)接合面是至少前述連通孔的周圍平坦地形成， 前述支撐體側(cè)接合面為隨著離開前述供給孔或者前述排出孔而逐漸朝向下方的形狀。
2.如權(quán)利要求1所述的處理設(shè)備，其特征在于， 前述支撐體側(cè)接合面為沿著球面的形狀。
3.如權(quán)利要求1或2所述的處理設(shè)備，其特征在于， 在前述支撐體側(cè)連接部與前述容器支撐體之間夾有彈性部件， 前述支撐體側(cè)連接部由彈性系數(shù)比前述彈性部件大的材質(zhì)構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的處理設(shè)備，其特征在于， 在前述支撐體側(cè)連接部的周圍設(shè)有將該支撐體側(cè)連接部向水平方向以及上下方向的移動(dòng)限制在預(yù)先限定的范圍內(nèi)的限制部件。
5.如權(quán)利要求4所述的處理設(shè)備，其特征在于， 前述支撐體側(cè)連接部具有:頂部，形成俯視為圓形，具有前述支撐體側(cè)接合面；縮徑部，直徑比前述頂部小、比前述供給孔或者前述排出孔大，與前述頂部的下方鄰接地形成；以及腳部，直徑比前述縮徑部大，與前述縮徑部的下方鄰接地形成， 前述限制部件具備形成為厚度比前述縮徑部的上下方向尺寸薄的插入部， 前述插入部設(shè)成位于與前述縮徑部重合的高度，并且俯視時(shí)與前述頂部以及前述腳部雙方重合。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的處理設(shè)備，其特征在于， 前述支撐體側(cè)接合面的表面粗度是算術(shù)平均粗度(Ra)為3.2 μ m?6.3 μ m的范圍內(nèi)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104253069SQ201410287742
【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月26日
【發(fā)明者】大塚洋, 河村真輔, 吉本忠浩 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福