一種切割的工藝處理方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種切割的工藝處理方法，包括以下步驟：(1)取出去完氧化層并且清洗干凈的硅片，將硅片放入混酸中預(yù)腐蝕40-60s，產(chǎn)生19-21μm的溝槽；(2)將預(yù)腐蝕的硅片放入第一級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為4-6s；(3)將步驟(2)中的硅片取出，放入第二級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為7min，本發(fā)明處理后的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
【專利說明】一種切割的工藝處理方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及硅片表面處理領(lǐng)域，尤其涉及一種切割工藝的處理方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前市場上前處理基本是在氧化層上開切割參考線條，此方式操作復(fù)雜，產(chǎn)品質(zhì) 量不穩(wěn)定、易破裂，而且還需要切割機(jī)進(jìn)行切割，使得操作過程變得復(fù)雜，增加了加工難度， 降低了生產(chǎn)效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種切割工藝的處理方法，解決現(xiàn)有技術(shù)中的 不足，使得本發(fā)明處理后的硅片質(zhì)量穩(wěn)定，不易破裂。
[0004] 本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：
[0005] -種切割的工藝處理方法，包括以下步驟：
[0006] (1)取出去完氧化層并且清洗干凈的硅片，將裝有硅片的花籃放置在搖擺機(jī)上，然 后將花籃放入混酸槽中前后搖擺，硅片平行于搖擺方向，放入混酸中預(yù)腐蝕40-60s，產(chǎn)生 19-21 μ m的溝槽；
[0007] (2)將預(yù)腐蝕的硅片放入第一級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為4_6s ;
[0008] (3)將步驟（2)中的硅片取出，放入第二級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為 7min〇
[0009] 在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0010] 進(jìn)一步，所述步驟（1)混酸為硝酸、氫氟酸、冰乙酸、硫酸按體積比9:9:12:4混合 而成的溶液。硝酸是一種強(qiáng)氧化性、腐蝕性的強(qiáng)酸。硝酸易溶于水，常溫下其溶液無色透明； 氫氟酸（HF)是氟化氫氣體的水溶液，無色，有刺激性氣味。具有強(qiáng)烈的腐蝕性。可用來蝕 刻玻璃，去硅表面的氧化物；冰乙酸，即無水乙酸，有機(jī)化合物。其在低溫時(shí)凝固成冰狀，俗 稱冰乙酸；硫酸，是一種具有高腐蝕性的強(qiáng)礦物酸，具有強(qiáng)烈脫水性與氧化性。
[0011] 進(jìn)一步，所述步驟（1)混酸的溫度為2-4°C，規(guī)定此溫度是方便控制溝槽的的深度 和均勻性。
[0012] 進(jìn)一步，所述純水指的是述不含雜質(zhì)的水。
[0013] 本發(fā)明的有益效果是：
[0014] 現(xiàn)有技術(shù)激光切割機(jī)切割的溝槽是在氧化層上開的切割參考線條，此方式操作復(fù) 雜，產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定；
[0015] 本發(fā)明使用混酸開溝槽是在硅片上開一個(gè)20 μ m左右的溝槽，混酸開的溝槽產(chǎn)品 質(zhì)量穩(wěn)定，裂片時(shí)比較方便，減少切割，降低了切割機(jī)功率，提升了生產(chǎn)效率。

【具體實(shí)施方式】
[0016] 以下對本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限
【權(quán)利要求】
1. 一種切割的工藝處理方法，其特征在于，包括以下步驟： (1) 取出去完氧化層并且清洗干凈的硅片，將裝有硅片的花籃放置在搖擺機(jī)上，然后 將花籃放入混酸槽中前后搖擺，搖擺速率為high，硅片平行于搖擺方向，放入混酸中預(yù)腐蝕 40-60s，產(chǎn)生19-21 μ m的溝槽； (2) 將預(yù)腐蝕的硅片放入第一級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為4-6s ; (3) 將步驟（2)中的硅片取出，放入第二級漂洗槽的純水中進(jìn)行漂洗，時(shí)間為7min。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割的工藝處理方法，其特征在于，所述步驟（1)混酸為 硝酸、氫氟酸、冰乙酸、硫酸按體積比9:9:12:4混合而成的溶液。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割的工藝處理方法，其特征在于，所述步驟（1)混酸的 溫度為2-4 °C。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割的工藝處理方法，其特征在于，所述純水指的是述 不含雜質(zhì)的水。
【文檔編號】H01L21/306GK104112661SQ201410315538
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年7月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月3日
【發(fā)明者】王道強(qiáng), 陳宏胤 申請人:揚(yáng)州虹揚(yáng)科技發(fā)展有限公司