一種柔性襯底基板及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板及其制作方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的產(chǎn)品成為殘次品。該柔性襯底基板采用柔性材料形成，所述襯底基板包括：第一柔性膜層，其中：所述第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽；所述凹槽具有相同的厚度。本發(fā)明應用于柔性襯底基板的制作技術(shù)中。
【專利說明】一種柔性襯底基板及其制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種柔性襯底基板及其制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 柔性顯示是下一代顯示技術(shù)的重要發(fā)展方向，該技術(shù)具有可彎曲、不易碎、超輕超 薄、低功耗、便攜等特點，在電子書、移動通信、筆記本、電視、公共信息等領(lǐng)域具有廣闊的應 用前景和良好的發(fā)展前景。目前柔性顯示器件的制備方法通常是將柔性基板通過粘結(jié)劑、 犧牲層、涂敷等貼附在剛性承載基板上，然后在其上面制備顯示器件，之后通過機械或者激 光照射等方法將柔性基板與承載基板分離。
[0003] 受現(xiàn)有技術(shù)的限制目前的柔性顯示器中，柔性基板的布線結(jié)構(gòu)（主要包括柵極信 號線、公共電極引線、數(shù)據(jù)信號線等）大多采用金屬、金屬合金或金屬氧化物等制作，這些 布線結(jié)構(gòu)在某一方向上柔韌性很好，但在與該方向垂直的方向上柔韌性較差。尤其當柔性 基板上覆蓋有無機膜層時，由于無機膜層的薄膜應力往往很大，當柔性基板從硬質(zhì)承載基 板上剝離時，由于薄膜應力的原因柔性基板會發(fā)生不想要的卷曲，影響顯示器件的性能。當 卷曲幅度過大時，甚至會損壞柔性基板上的顯示器件，使最終形成的顯示器件成為殘次品。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板及其制作方法，解決了現(xiàn)有的顯示器件在 制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必要的卷曲的問題，避免損壞顯 示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的產(chǎn)品成為殘次品。
[0005] 為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：
[0006] 第一方面，提供一種柔性襯底基板，所述柔性襯底基板采用柔性材料形成，所述襯 底基板包括：第一柔性膜層，其中：
[0007] 所述第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽；
[0008] 其中，所述凹槽具有相同的厚度。
[0009] 可選的，所述柔性襯底基板還包括：第一緩沖層，其中：
[0010] 所述第一緩沖層設(shè)置在所述第一柔性膜層中的所述凹槽所在的位置處；
[0011] 所述第一緩沖層的材料與所述第一柔性膜層的材料不同。
[0012] 可選的，所述柔性襯底基板還包括：柔性基底膜層，其中：
[0013] 所述柔性基底膜層設(shè)置在所述第一柔性膜層和所述第一緩沖層的下面的位置 處；
[0014] 其中，所述第一柔性膜層和所述第一緩沖層覆蓋所述柔性基底膜層。
[0015] 可選的，所述柔性襯底基板還包括：至少一層柔性襯底膜層，所述柔性襯底膜層包 括：第二柔性膜層和第二緩沖層，其中：
[0016] 所述第二柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個厚度相同的凹槽；
[0017] 所述第二緩沖層設(shè)置在所述第二柔性膜層的凹槽內(nèi)；
[0018] 所述柔性襯底膜層設(shè)置在所述第一柔性膜層的上面覆蓋所述第一柔性膜層的位 置處。
[0019] 可選的，所述第二緩沖層所在的位置與所述第一緩沖層所在位置之間具有互補的 關(guān)系。
[0020] 可選的，所述第一柔性膜層的材料包括：聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二 醇酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚酰亞胺或者纖維增強材料。
[0021] 可選的，所述第一緩沖層的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化鋁中的至少一種；
[0022] 或者，所述第一緩沖層的材料包括：碳納米管、石墨烯、鑰、銅、鋁中的至少一種。
[0023] 可選的，所述柔性基底膜層的材料與所述第一柔性膜層的材料相同。
[0024] 可選的，所述第一柔性膜層中的所述凹槽所在的膜層的厚度為60?IOOum;
[0025] 所述第一柔性膜層中的沒有凹槽的膜層的厚度為5?20um。
[0026] 可選的，所述第一緩沖層的厚度為2000?6000人。
[0027] 可選的，所述柔性基底膜層的厚度為5?10um。
[0028] 可選的，所述第二柔性膜層的厚度和材料與所述第一柔性膜層的厚度和材料相 同；
[0029] 所述第二緩沖層的厚度和材料與所述第一緩沖層的厚度和材料相同。
[0030] 第二方面，提供一種柔性襯底基板的制作方法，所述方法包括：
[0031] 形成上表面上具有多個凹槽的承載基板；
[0032] 在所述承載基板的凹槽內(nèi)形成第一柔性膜層；
[0033] 在所述第一柔性膜層上形成覆蓋所述承載基板和所述第一柔性膜層的第二柔性 膜層。
[0034] 第三方面，提供一種柔性襯底基板的制作方法，所述方法包括：
[0035] 形成上表面上具有多個凹槽的承載基板；
[0036] 在所述承載基板上形成覆蓋所述承載基板的柔性膜層。
[0037] 第四方面，提供一種柔性襯底基板的制作方法，所述方法包括：
[0038] 在承載基板上形成第一緩沖層；
[0039] 在所述第一緩沖層上形成覆蓋所述第一緩沖層和所述承載基板的第一柔性膜層。
[0040] 可選的，所述方法包括：
[0041] 在所述第一緩沖層下方形成覆蓋所述承載基板的柔性基底膜層。
[0042] 可選的，所述方法還包括：
[0043] 在所述第一柔性膜層上至少形成一層包括第二柔性膜層和第二緩沖層的柔性襯 底膜層；所述柔性襯底膜層覆蓋所述第一柔性膜層；
[0044] 其中，所述第二柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽，所述第二緩沖層設(shè)置在所 述第二柔性膜層的凹槽內(nèi)。
[0045] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板及其制作方法，通過制作包括第一柔性膜 層，且第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載 基板上剝離時，由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔 性膜層上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件 由于應力的存在造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放 基板本身的應力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢 固定位，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn) 不必要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生 產(chǎn)的產(chǎn)品成為殘次品。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0046] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0047] 圖1為本發(fā)明的實施例提供的一種柔性襯底基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048] 圖2為本發(fā)明的實施例提供的另一種柔性襯底基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049] 圖3為本發(fā)明的實施例提供的又一種柔性襯底基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0050] 圖4為本發(fā)明的另一實施例提供的一種柔性襯底基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0051] 圖5為本發(fā)明的實施例提供的一種柔性襯底基板的制作方法的流程示意圖；
[0052] 圖6為本發(fā)明的實施例提供的另一種柔性襯底基板的制作方法的流程示意圖；
[0053] 圖7為本發(fā)明的實施例提供的又一種柔性襯底基板的制作方法的流程示意圖；
[0054] 圖8為本發(fā)明的另一實施例提供的一種柔性襯底基板的制作方法的流程示意圖。
[0055] 附圖標記：1_第一柔性膜層；2-凹槽；3-第一緩沖層；4-柔性基底膜層；5-柔性 襯底膜層；6-第二柔性膜層；7-第二緩沖層。

【具體實施方式】
[0056] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；?本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0057] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板，該柔性襯底基板采用柔性材料形成，參 照圖1所示，該柔性襯底基板包括：第一柔性膜層1，其中：
[0058] 第一柔性膜層1的下表面上設(shè)置有多個凹槽2。
[0059] 其中，凹槽具有相同的厚度。
[0060]具體的，本實施例中第一柔性膜層中的凹槽所在位置的膜層的材料與沒有凹槽的 膜層的材料可以不同。第一柔性膜層中凹槽所在位置的膜層的材料可以為：聚對苯二甲酸 乙二醇酯（polyethyleneTerephthalate，簡稱PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯（polyethylene Naphthalate，簡稱PEN)、纖維增強材料等。第一層柔性膜層中沒有凹槽的膜層的材料 可以為：聚酰亞胺（Polyimide，簡稱PI)、聚碳酸酯（polycarbonate,簡稱PC)、聚醚砜 (PolyetherSulfone，簡稱PES)等。其中，第一柔性膜層1中的凹槽2所在的膜層的厚度 為60?100um，第一柔性膜層中的沒有凹槽的膜層的厚度為5?20um。當然，第一柔性膜 層中凹槽所在位置的膜層與沒有凹槽的膜層的材料也可以相同，此時該第一柔性膜層的材 料可以為：PET、PEN、PI、PC、PES中的至少一種。
[0061] 第一柔性膜層上的凹槽可以是使用掩膜板在該第一柔性膜層上制作多個獨立的 矩形或者圓形來實現(xiàn)的。
[0062] 具體的，本實施例中的柔性襯底基板具有兩種不同的膜層厚度，并且兩種厚度的 膜層間隔設(shè)置，這樣柔性襯底基板上的薄膜應力中的拉伸應力相對減小，可以與顯示器件 的各個膜層中產(chǎn)生的收縮應力相抵消掉，從而使得柔性襯底基板從承載基板上剝離時，不 會因為薄膜應力的存在而產(chǎn)生不需要的形變，進而不會損壞顯示器件的性能。
[0063] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板，通過制作包括第一柔性膜層，且第一柔性 膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板上剝離時， 由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜層上具有一 定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于應力的存在 造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板本身的應 力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定位，解決了 現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必要的卷曲 的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的產(chǎn)品成為 殘次品。
[0064] 進一步，參照圖2所示，在本發(fā)明提供的另一實施例中該柔性襯底基板還包括：第 一緩沖層3,其中：
[0065] 第一緩沖層3設(shè)置在第一柔性膜層1中的凹槽2所在的位置處。
[0066] 第一緩沖層的材料與第一柔性膜層的材料不同。
[0067] 其中，第一緩沖層的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化鋁中的至少一種。
[0068] 或者，第一緩沖層的材料包括：碳納米管、石墨烯、鑰、銅、鋁中的至少一種。
[0069] 第一緩沖層的厚度為2000?6000人。
[0070] 本實施例中，整個第一柔性膜層中有凹槽的膜層和沒有凹槽的膜層的材料相同， 此時第一柔性膜層的材料可以為：聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸 酯、聚醚砜、聚酰亞胺或者纖維增強材料等。
[0071]具體的，第一緩沖層完全覆蓋第一柔性膜層中的凹槽。
[0072] 進一步，參照圖3所示，該柔性襯底基板還包括：柔性基底膜層4,其中：
[0073] 柔性基底膜層4設(shè)置在第一柔性膜層1和第一緩沖層3的下面的位置處。
[0074] 其中，第一柔性膜層1和第一緩沖層3覆蓋柔性基底膜層4。
[0075] 其中，柔性基底膜層的材料可以與第一柔性膜層的材料相同。柔性基底膜層的厚 度可以為5?10um。
[0076] 具體的，增加柔性基底膜層后，在形成整個柔性襯底基板時成膜效果更好，保證了 最終形成的顯示器件的顯示品質(zhì)。
[0077] 進一步具體的，參照圖4所示，該柔性襯底基板還包括：至少一層柔性襯底膜層5， 柔性襯底膜層5包括：第二柔性膜層6和第二緩沖層7,其中：
[0078] 第二柔性膜層6的下表面上設(shè)置有多個厚度相同的凹槽。
[0079] 第二緩沖層7設(shè)置在第二柔性膜層6的凹槽所在的位置處。
[0080] 柔性襯底膜層5設(shè)置在第一柔性膜層1的上面且覆蓋第一柔性膜層1的位置處。
[0081] 其中，第二緩沖層7所在的位置與第一緩沖層3所在位置之間具有互補的關(guān)系。
[0082] 其中，第二柔性膜層的厚度和材料與第一柔性膜層的厚度和材料相同；第二緩沖 層的厚度和材料與第一緩沖層的厚度和材料相同。
[0083]具體的，圖4中以該柔性襯底基板中包括一層柔性襯底膜層進行示例。本實施例 中的柔性襯底膜層的數(shù)量此處不做唯一的限定，優(yōu)選的柔性襯底膜層的數(shù)量為2。本實施 例中，以該柔性襯底基板具有兩層柔性襯底膜層為例進行說明，在制作過程中，先形成第一 緩沖層和第一柔性膜層，然后在第一柔性膜層上形成第一層柔性襯底膜層，之后在第一層 柔性襯底膜層上形成第二層柔性襯底膜層，形成所有的膜層后在具有氮氣，溫度在250°C? 450°C的環(huán)境中，進行高溫退火工藝5?8小時，使得最終形成的柔性襯底基板的各個膜層 之間發(fā)生交聯(lián)固化，從而緊密的連接在一起。需要說明的是，第二個柔性襯底膜層中的第二 緩沖層的位置與第一個柔性襯底膜層中的第二緩沖層的位置具有互補的關(guān)系。以此類推， 該柔性襯底基板中所有相鄰緩沖層的位置都具有互補的關(guān)系。
[0084] 具體的，本實施例中的柔性襯底基板總體上具有兩種不同材料的膜層，且兩種不 同的材料交替出現(xiàn)，這樣最終形成的柔性襯底基板具有兩種不同大小的薄膜應力，同時，這 兩種不同大小的薄膜應力交替出現(xiàn)，從而使得柔性襯底基板上的薄膜應力中的拉伸應力相 對減小，可以與顯示器件的各個膜層中產(chǎn)生的收縮應力相抵消掉，從而使得柔性襯底基板 從承載基板上剝離時，不會因為薄膜應力的存在而產(chǎn)生不需要的形變，進而不會損壞顯示 器件的性能。
[0085] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板，通過制作包括第一柔性膜層，且第一柔性 膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板上剝離時， 由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜層上具有一 定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于應力的存在 造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板本身的應 力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定位，解決了 現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必要的卷曲 的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的產(chǎn)品成為 殘次品。
[0086] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板的制作方法，參照圖5所示，該方法包括 以下步驟：
[0087] 101、形成上表面上具有多個凹槽的承載基板。
[0088] 具體的，可以采用在承載基板上涂覆一層光刻膠，然后利用掩膜板進行曝光、顯 影、刻蝕后形成多個厚度相同的凹槽結(jié)構(gòu)。該凹槽的形狀可以為矩形或者圓形等，可以形成 截面具有凹槽的形狀均可以適用。
[0089] 102、在承載基板的凹槽內(nèi)形成第一柔性膜層。
[0090] 具體的，采用涂敷工藝在承載基板的凹槽內(nèi)涂敷一層厚度為60?IOOum的溶液狀 的PET、PEN或者纖維增強材料等材料，形成第一層柔性膜層。
[0091] 103、在第一柔性膜層上形成覆蓋承載基板和第一柔性膜層的第二柔性膜層。
[0092] 具體的，采用涂敷工藝在承載基板的凹槽內(nèi)涂敷一層厚度為5?20um的溶液狀的 PI、PC或者PES等材料，形成第二柔性膜層，然后進行高溫烘烤固化使得第一柔性膜層和第 二柔性膜層成為一個整體。
[0093] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板的制作方法，通過制作包括第一柔性膜層， 且第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板 上剝離時，由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜 層上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于 應力的存在造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板 本身的應力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定 位，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必 要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的 產(chǎn)品成為殘次品。
[0094] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板的制作方法，參照圖6所示，該方法包括 以下步驟：
[0095] 201、形成上表面上具有多個凹槽的承載基板。
[0096]具體的，可以采用在承載基板上涂覆一層光刻膠，然后利用掩膜板進行曝光、顯 影、刻蝕后形成多個厚度相同的凹槽結(jié)構(gòu)。該凹槽的形狀可以為矩形或者圓形等，可以形成 截面具有凹槽的形狀均可以適用。
[0097] 202、在承載基板上形成覆蓋承載基板的柔性膜層。
[0098] 具體的，采用涂敷工藝在承載基板的凹槽內(nèi)涂敷一層溶液狀的PI、PC、PES、PET、 PEN或者纖維增強材料等材料，然后進行高溫固化形成圖案化的柔性膜層。
[0099]本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板的制作方法，通過制作包括第一柔性膜層， 且第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板 上剝離時，由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜 層上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于 應力的存在造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板 本身的應力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定 位，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必 要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的 產(chǎn)品成為殘次品。
[0100] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板的制作方法，參照圖7所示，該方法包括 以下步驟：
[0101] 301、在承載基板上形成第一緩沖層。
[0102] 具體的，采用涂敷工藝在承載基板上涂敷一層厚度在的緩沖層材 料。其中，緩沖層的材料可以是氮化硅、氧化硅、氧化鋁等非金屬膜的一種或者多種的復合 膜，也可以是碳納米管、石墨烯、鑰、銅、鋁等金屬膜層的一種或者多種的復合膜。第一緩沖 層的厚度可以為2000?6000人。
[0103] 302、在第一緩沖層上形成覆蓋第一緩沖層和承載基板的第一柔性膜層。
[0104] 具體的，采用涂敷工藝涂敷一層厚度為5um?IOum的溶液狀薄膜，然后在具有氮 氣、溫度為KKTC?200°C的環(huán)境中進行預固化，形成圖案化的第一柔性膜層。其中，固化時 間可以為30min?60min，第一柔性膜層的材料可以是PET、PEN、PC、PES、PI等。
[0105] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板的制作方法，通過制作包括第一柔性膜層， 且第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板 上剝離時，由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜 層上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于 應力的存在造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板 本身的應力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定 位，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必 要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的 產(chǎn)品成為殘次品。
[0106] 本發(fā)明的實施例提供一種柔性襯底基板的制作方法，參照圖8所示，該方法包括 以下步驟：
[0107] 401、在承載基板上形成柔性基底膜層。
[0108] 具體的，采用涂敷工藝在承載基板上涂敷一層厚度為5um?IOum厚度的溶液狀薄 膜，然后在溫度為l〇〇°C?200°C的氮氣環(huán)境中固化30min?60min，形成圖案化的柔性基底 膜層。其中，柔性基底膜層的材料可以為PET、PEN、PC、PES、PI等。
[0109] 402、在柔性基底膜層上形成覆蓋所述柔性基板膜層的第一緩沖層。
[0110] 403、在第一緩沖層上形成覆蓋第一緩沖層和柔性基底膜層的第一柔性膜層。
[0111] 404、在第一柔性膜層上至少形成一層包括第二柔性膜層和第二緩沖層的柔性襯 底月吳層。
[0112] 其中，柔性襯底膜層覆蓋第一柔性膜層，第二柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹 槽，第二緩沖層設(shè)置在第二柔性膜層的凹槽內(nèi)。
[0113] 具體的，可以采用與形成第一柔性膜層的工藝相同的工藝形成第二柔性膜層；可 以采用與形成第一緩沖層的工藝相同的工藝形成第二緩沖層。第二柔性膜層的厚度和材料 與第一柔性膜層的厚度和材料相同，第二緩沖層的厚度和材料與第一緩沖層的厚度和材料 相同。
[0114] 需要說明的是，本實施例中與上述實施例相同步驟的解釋可以參考上述實施例中 的解釋，此處不再贅述。
[0115] 本發(fā)明的實施例提供的柔性襯底基板的制作方法，通過制作包括第一柔性膜層， 且第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽的柔性襯底基板，這樣將柔性基板從承載基板 上剝離時，由于柔性基板中的第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有凹槽，從而使得第一柔性膜 層上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜層中的凸起位置能夠有效的防止柔性顯示器件由于 應力的存在造成基板卷曲，同時，由于第一柔性膜層中具有厚度不同的膜層，可以釋放基板 本身的應力，使得顯示器件的彎曲方向可控，并保證顯示器件中的非彎曲方向可以牢固定 位，解決了現(xiàn)有的顯示器件在制作過程中將柔性襯底基板從承載基板上剝離時會出現(xiàn)不必 要的卷曲的問題，避免損壞顯示器件的性能，提高了顯示器件的顯示品質(zhì)，避免最終生產(chǎn)的 產(chǎn)品成為殘次品。
[0116] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵 蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1. 一種柔性襯底基板，其特征在于，所述柔性襯底基板采用柔性材料形成，所述襯底基 板包括：第一柔性膜層，其中： 所述第一柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽； 其中，所述凹槽具有相同的厚度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性襯底基板，其特征在于，所述柔性襯底基板還包括：第一 緩沖層，其中： 所述第一緩沖層設(shè)置在所述第一柔性膜層中的所述凹槽所在的位置處； 所述第一緩沖層的材料與所述第一柔性膜層的材料不同。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性襯底基板，其特征在于，所述柔性襯底基板還包括：柔性 基底膜層，其中： 所述柔性基底膜層設(shè)置在所述第一柔性膜層和所述第一層緩沖層的下面的位置處； 其中，所述第一柔性膜層和所述第一層緩沖層覆蓋所述柔性基底膜層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的柔性襯底基板，其特征在于，所述柔性襯底基板還包括： 至少一層柔性襯底膜層，所述柔性襯底膜層包括：第二柔性膜層和第二緩沖層，其中： 所述第二柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個厚度相同的凹槽； 所述第二緩沖層設(shè)置在所述第二柔性膜層的凹槽內(nèi)； 所述柔性襯底膜層設(shè)置在所述第一柔性膜層的上面覆蓋所述第一柔性膜層的位置處。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述第二緩沖層所在的位置與所述第一緩沖層所在位置之間具有互補的關(guān)系。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性襯底基板,其特征在于， 所述第一柔性膜層的材料包括：聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸 酯、聚醚砜、聚酰亞胺或者纖維增強材料。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述第一緩沖層的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化鋁中的至少一種； 或者，所述第一緩沖層的材料包括：碳納米管、石墨烯、鑰、銅、鋁中的至少一種。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述柔性基底膜層的材料與所述第一柔性膜層的材料相同。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性襯底基板,其特征在于， 所述第一柔性膜層中的所述凹槽所在的膜層的厚度為60?IOOum ; 所述第一柔性膜層中的沒有凹槽的膜層的厚度為5?20um。
10. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述第一緩沖層的厚度為2000~6000人。
11. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述柔性基底膜層的厚度為5?10um。
12. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性襯底基板，其特征在于， 所述第二柔性膜層的厚度和材料與所述第一柔性膜層的厚度和材料相同； 所述第二緩沖層的厚度和材料與所述第一緩沖層的厚度和材料相同。
13. -種柔性襯底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 形成上表面上具有多個凹槽的承載基板； 在所述承載基板的凹槽內(nèi)形成第一柔性膜層； 在所述第一柔性膜層上形成覆蓋所述承載基板和所述第一柔性膜層的第二柔性膜層。
14. 一種柔性襯底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 形成上表面上具有多個凹槽的承載基板； 在所述承載基板上形成覆蓋所述承載基板的柔性膜層。
15. -種柔性襯底基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 在承載基板上形成第一緩沖層； 在所述第一緩沖層上形成覆蓋所述第一緩沖層和所述承載基板的第一柔性膜層。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述方法包括： 在所述第一緩沖層下方形成覆蓋所述承載基板的柔性基底膜層。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，其特征在于，所述方法還包括： 在所述第一柔性膜層上至少形成一層包括第二柔性膜層和第二緩沖層的柔性襯底膜 層；所述柔性襯底膜層覆蓋所述第一柔性膜層； 其中，所述第二柔性膜層的下表面上設(shè)置有多個凹槽，所述第二緩沖層設(shè)置在所述第 二柔性膜層的凹槽內(nèi)。
【文檔編號】H01L27/12GK104392901SQ201410588863
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月28日
【發(fā)明者】高濤, 毛雪, 周偉峰 申請人:京東方科技集團股份有限公司