顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法
【專利摘要】一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法，所述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，用于將芯片轉(zhuǎn)印定位到基板上，包括轉(zhuǎn)印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉(zhuǎn)印到所述基板的表面上；電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，所述第一電極陣列設(shè)置在所述基板上，所述感應(yīng)單元設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印頭的與所述基板相對應(yīng)的轉(zhuǎn)印表面上。上述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據(jù)轉(zhuǎn)印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。
【專利說明】顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示器件【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置和一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法。

【背景技術(shù)】
[0002]轉(zhuǎn)印指的是將中間載體薄膜上的圖文采用相應(yīng)的壓力轉(zhuǎn)移到承接物上的一種印刷方法，目前，轉(zhuǎn)印技術(shù)已廣泛應(yīng)用到顯示裝置的制造中。在使用轉(zhuǎn)印技術(shù)制造顯示裝置的技術(shù)中，轉(zhuǎn)印時，需要轉(zhuǎn)印頭將預(yù)制好的芯片轉(zhuǎn)印到基板(例如:玻璃基板)表面，因此，要對轉(zhuǎn)印頭進行定位，從而精確地將芯片轉(zhuǎn)印到基板的對應(yīng)位置。
[0003]一般地，轉(zhuǎn)印頭定位的方法主要是采用光學(xué)定位，對于抓取個別芯片進行轉(zhuǎn)印時，采用該方法，難以將個別芯片的對位標志標記在動態(tài)顯示區(qū)的內(nèi)部，即不能準確地定位個別芯片。此外，在對所有芯片進行轉(zhuǎn)印后，需進行光學(xué)檢測來確定是否有轉(zhuǎn)印缺失，該方法不能實時監(jiān)控轉(zhuǎn)印率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，為了解決個別芯片難以準確定位和實時監(jiān)控轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)印率的問題，提供一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法。
[0005]一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，用于將芯片轉(zhuǎn)印定位到基板上，所述裝置包括:
[0006]轉(zhuǎn)印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉(zhuǎn)印到所述基板的表面上；
[0007]電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，所述第一電極陣列設(shè)置在所述基板上，所述感應(yīng)單元設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印頭的與所述基板相對應(yīng)的轉(zhuǎn)印表面上。
[0008]在其中一個實施例中，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，所述第一電極單元在所述第一電極陣列的一個方向上相互連接，且相鄰兩個所述第一電極單元之間形成互感電容。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一電極單元的形狀為多邊形。
[0010]在其中一個實施例中，所述感應(yīng)單元為電容傳感器，用于感應(yīng)所述第一電極陣列的互感電容。
[0011]在其中一個實施例中，所述感應(yīng)單元為第二電極陣列，用于和所述第一電極陣列之間形成互感電容。
[0012]在其中一個實施例中，所述第二電極陣列包括至少一個第二電極單元。
[0013]還有必要提供一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法。
[0014]一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法，所述方法包括:
[0015]制作電容組件，其中，所述電容組件包括第一電極陣列，以及與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，在基板上制作第一電極陣列，并在轉(zhuǎn)印頭上制作與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，并將所述第一電極陣列和所述感應(yīng)單元接入到控制電路中；
[0016]在所述基板垂直的方向上，移動所述轉(zhuǎn)印頭，并測量所述第一電極陣列和所述感應(yīng)單元之間的互感信號值，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的互感信號值，確定所述轉(zhuǎn)印頭距離所述基板的垂直高度；
[0017]測量所述感應(yīng)單元和所述第一電極陣列上的各個位置之間的互感信號值，并根據(jù)所述互感信號值，定位所述轉(zhuǎn)印頭的水平位置。
[0018]在其中一個實施例中，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，且所述第一電極單兀在所述第一電極陣列在一個方向上相互連接。
[0019]在其中一個實施例中，所述方法還包括根據(jù)所述轉(zhuǎn)印頭和所述基板之間的互感信號，確定轉(zhuǎn)印到所述基板上的芯片的狀態(tài)。
[0020]上述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法，通過制作電容組件，該電容組件包括在基板的表面上制作的電極陣列，和在轉(zhuǎn)印頭上制作的與電極陣列相對應(yīng)的感應(yīng)單元，在轉(zhuǎn)印定位過程中，通過電路將電極陣列和感應(yīng)單元接入到控制電路中，從而可以轉(zhuǎn)印頭和基板之間的互感信號，據(jù)轉(zhuǎn)印頭和基板之間的距離以及位置關(guān)系，定位轉(zhuǎn)印頭的位置，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據(jù)轉(zhuǎn)印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明第一實施例的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為圖1中第一電極陣列的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本發(fā)明第二實施例的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明實施例的顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0025]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。
[0026]本發(fā)明的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，用于將芯片轉(zhuǎn)印定位到基板上，包括轉(zhuǎn)印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉(zhuǎn)印到所述基板的表面上；電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，所述第一電極陣列設(shè)置在所述基板上，所述感應(yīng)單元設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印頭的與所述基板相對應(yīng)的轉(zhuǎn)印表面上。
[0027]在本發(fā)明的第一實施例中，如圖1所示，需轉(zhuǎn)印的芯片30為一個時，所述裝置包括轉(zhuǎn)印頭20和電容組件，其中，電容組件包括第一電極陣列12和與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元。在本實施例中，基板10為玻璃基板，轉(zhuǎn)印頭20要將芯片30轉(zhuǎn)印到玻璃基板的目標位置13上。具體地，如圖1和圖2所示，基板10的表面上覆蓋有膜11，膜11上刻蝕有第一電極陣列12。從圖中可知，第一電極陣列12包括多個第一電極單兀121,第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構(gòu)成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起,而在另一個方向上,各個第一電極單元121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產(chǎn)生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當(dāng)于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構(gòu)成第一電極陣列12。
[0028]為了精確地將轉(zhuǎn)印頭移到正確的位置，在轉(zhuǎn)印頭20的轉(zhuǎn)印表面上設(shè)置與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元，感應(yīng)單元可以感應(yīng)轉(zhuǎn)印頭20與基板10之間的互感信號，從而確定轉(zhuǎn)印頭20的位置。其中，感應(yīng)單元可以為電容傳感器，該電容傳感器直接安裝在轉(zhuǎn)印頭20，用于感應(yīng)第一電極陣列12的互感電容，其中，互感電容由第一電極陣列12中的電容之間產(chǎn)生的。感應(yīng)單元也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列和第一電極陣列12相當(dāng)于電容的兩個電極，從而和第一電極陣列12之間形成互感電容。需要說明的是，第二電極陣列也包括至少一個第二電極單元，第二電極單元構(gòu)成第二電極陣列，第二電極陣列的結(jié)構(gòu)等參考上述第一電極陣列12。
[0029]在本發(fā)明的第二實施例中，如圖3所示，需轉(zhuǎn)印的芯片30為多個時，該裝置包括轉(zhuǎn)印頭20和電容組件，其中，電容組件包括第一電極陣列12和與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元。在本實施例中，基板10為玻璃基板，轉(zhuǎn)印頭20要將芯片30轉(zhuǎn)印到玻璃基板的目標位置13上。具體地，如圖1和圖2所示，基板10的表面上覆蓋有膜11，膜11上刻蝕有第一電極陣列12。從圖中可知，第一電極陣列12包括多個第一電極單兀121,第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構(gòu)成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起,而在另一個方向上,各個第一電極單元121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產(chǎn)生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當(dāng)于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構(gòu)成第一電極陣列12。
[0030]為了精確地將轉(zhuǎn)印頭移到正確的位置，在每個轉(zhuǎn)印頭20的轉(zhuǎn)印表面上設(shè)置與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元，感應(yīng)單元可以感應(yīng)轉(zhuǎn)印頭20與基板10之間的互感信號，從而確定轉(zhuǎn)印頭20的位置。其中，感應(yīng)單元可以為電容傳感器，該電容傳感器直接安裝在轉(zhuǎn)印頭20，用于感應(yīng)第一電極陣列12的互感電容。感應(yīng)單元也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列和第一電極陣列12相當(dāng)于電容的兩個電極，從而和第一電極陣列12之間形成互感電容。需要說明的是，第二電極陣列也包括至少一個第二電極單元，第二電極單元構(gòu)成第二電極陣列，第二電極陣列的結(jié)構(gòu)等參考上述第一電極陣列。需要說明的是，不同的轉(zhuǎn)印頭上的感應(yīng)單元可以不同，即并不是都是電容傳感器或都是第二電極陣列。
[0031]對應(yīng)于上述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，本發(fā)明還提供一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法，如圖4所示，首先，執(zhí)行SI，制作電容組件，其中，該電容組件包括第一電極陣列12，以及與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元，即在基板10上制作第一電極陣列12，并在轉(zhuǎn)印頭20上制作與第一電極陣列12對應(yīng)的感應(yīng)單元，并將第一電極陣列12和感應(yīng)單元接入到控制電路中。具體地，在本實施例中，利用像素發(fā)光區(qū)之間的區(qū)域或者下層區(qū)域，通過化學(xué)氣相沉積的方法，在基板10上沉積一層氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)膜，在ITO膜上依次沉積一層絕緣層和一層金屬層，再通過光刻的方法刻蝕出第一電極陣列12，第一電極陣列12由多個第一電極單兀121構(gòu)成，第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構(gòu)成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起，而在另一個方向上，各個第一電極單兀121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產(chǎn)生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當(dāng)于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構(gòu)成第一電極陣列12。
[0032]對于感應(yīng)單元，可以為轉(zhuǎn)印頭20上安裝的電容傳感器，也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列的制作方法和上述的第一電極陣列12的制作方法相同。
[0033]接著，執(zhí)行S2，在基板10垂直的方向上，移動轉(zhuǎn)印頭20，并測量第一電極陣列12和感應(yīng)單元之間的互感信號值，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的互感信號值，確定轉(zhuǎn)印頭20距離基板10的垂直高度。具體地，由SI中可知，在轉(zhuǎn)印定位過程中，將第一電極陣列12和感應(yīng)單元通過電路接入到控制電路中，當(dāng)感應(yīng)單元為電容傳感器時，其可以感應(yīng)基板10的互感電容的變化，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的互感信號值，確定感應(yīng)到的互感電容為預(yù)先設(shè)定的互感信號值時的位置為轉(zhuǎn)印頭20距離基板10的垂直高度，即在垂直基板的方向上，定位了轉(zhuǎn)印頭20的位置。當(dāng)感應(yīng)單元為第二電極陣列時，通過改變與基板10之間的距離，從而改變與基板10之間的電容，根據(jù)預(yù)先設(shè)定值，定位轉(zhuǎn)印20距離基板10的垂直高度。
[0034]接著，執(zhí)行S3，測量感應(yīng)單元和第一電極陣列12上的各個位置之間的互感信號值，并根據(jù)該互感信號值，定位轉(zhuǎn)印頭20的水平位置。具體地，在轉(zhuǎn)印頭20距離基板10的垂直高度確定的情況下，轉(zhuǎn)印頭20在平行于基板10表面的平面上移動，可以確定轉(zhuǎn)印頭20和基板10的各個位置之間的互感信號值，根據(jù)芯片30實際需要轉(zhuǎn)印到基板10上的位置所對應(yīng)的互感信號值，定位轉(zhuǎn)印頭20的水平位置。通過上述方法，就可以定位轉(zhuǎn)印頭20的位置，從而可以精確地將芯片30轉(zhuǎn)印到基板10的目標位置13上。此外，基板上的第一電極陣列可以配合后續(xù)器件制作，達到內(nèi)置觸摸屏的功能。
[0035]對于上述本發(fā)明的第二實施例，當(dāng)需轉(zhuǎn)印的芯片30為多個時，還可以確定芯片30是否有缺失，具體地，先確定在沒有芯片30時，轉(zhuǎn)印頭20和基板10之間的互感信號值，在轉(zhuǎn)印過程中，即在有芯片30時，確定轉(zhuǎn)印頭20和基板10之間的互感信號值，比較兩者情況下的互感信號值，若互感信號異常，則表明該轉(zhuǎn)印頭20下對應(yīng)的芯片30缺失。
[0036]上述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置及其方法，通過制作電容組件，該電容組件包括在基板的表面上制作的電極陣列，和在轉(zhuǎn)印頭上制作的與電極陣列相對應(yīng)的感應(yīng)單元，在轉(zhuǎn)印定位過程中，通過電路將電極陣列和感應(yīng)單元接入到控制電路中，從而可以轉(zhuǎn)印頭和基板之間的互感信號，據(jù)轉(zhuǎn)印頭和基板之間的距離以及位置關(guān)系，定位轉(zhuǎn)印頭的位置，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據(jù)轉(zhuǎn)印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。此外，基板上的第一電極陣列可以配合后續(xù)器件制作，達到內(nèi)置觸摸屏的功能。
[0037]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，用于將芯片轉(zhuǎn)印定位到基板上，其特征在于，所述顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置包括: 轉(zhuǎn)印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉(zhuǎn)印到所述基板的表面上； 電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，所述第一電極陣列設(shè)置在所述基板上，所述感應(yīng)單元設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印頭的與所述基板相對應(yīng)的轉(zhuǎn)印表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，其特征在于，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單兀，所述第一電極單兀在所述第一電極陣列的一個方向上相互連接，且相鄰兩個所述第一電極單元之間形成互感電容。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，其特征在于，所述第一電極單元的形狀為多邊形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，其特征在于，所述感應(yīng)單元為電容傳感器，用于感應(yīng)所述第一電極陣列的互感電容。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，其特征在于，所述感應(yīng)單元為第二電極陣列，用于和所述第一電極陣列之間形成互感電容。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位裝置，其特征在于，所述第二電極陣列包括至少一個第二電極單元。
7.—種顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法，其特征在于，所述方法包括: 制作電容組件，其中，所述電容組件包括第一電極陣列，以及與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，在基板上制作第一電極陣列，并在轉(zhuǎn)印頭上制作與所述第一電極陣列對應(yīng)的感應(yīng)單元，并將所述第一電極陣列和所述感應(yīng)單元接入到控制電路中； 在所述基板垂直的方向上，移動所述轉(zhuǎn)印頭，并測量所述第一電極陣列和所述感應(yīng)單元之間的互感信號值，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的互感信號值，確定所述轉(zhuǎn)印頭距離所述基板的垂直高度； 測量所述感應(yīng)單元和所述第一電極陣列上的各個位置之間的互感信號值，并根據(jù)所述互感信號值，定位所述轉(zhuǎn)印頭的水平位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法，其特征在于，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單兀，且所述第一電極單兀在所述第一電極陣列在一個方向上相互連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示器件轉(zhuǎn)印定位方法，其特征在于，所述方法還包括根據(jù)所述轉(zhuǎn)印頭和所述基板之間的互感信號，確定轉(zhuǎn)印到所述基板上的芯片的狀態(tài)。
【文檔編號】H01L21/68GK104465474SQ201410649420
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月14日
【發(fā)明者】朱濤, 葛泳, 劉玉成, 劉雪洲 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司