技術(shù)特征：
1.一種電感耦合等離子反應(yīng)器，包括：反應(yīng)腔，位于反應(yīng)腔頂部的絕緣材料窗，位于反應(yīng)腔內(nèi)下方用于固定基片的基座，絕緣材料窗上方包括一個(gè)鐵芯組件，其特征在于：所述鐵芯組件包括至少一個(gè)鐵芯，所述鐵芯包括：一個(gè)橫向延伸部，所述橫向延伸部包括第一端位于絕緣材料窗外圍區(qū)域上方，第二端位于絕緣材料窗中心區(qū)域上方；所述第一端包括一個(gè)第一向下延伸部，第二端包括一個(gè)第三向下延伸部，第一和第三向下延伸部之間還包括第二向下延伸部，所述第二向下延伸部位于橫向延伸部下方和絕緣材料窗中間區(qū)域上方；所述橫向延伸部包括：第一部分橫向延伸部，位于所述第一和第二向下延伸部之間；第二部分橫向延伸部，位于所述第二和第三向下延伸部之間；一個(gè)電感線圈連接到一個(gè)射頻電源，電感線圈產(chǎn)生的射頻電磁場(chǎng)使得所述第一部分橫向延伸部通過(guò)第一磁通；所述第二部分橫向延伸部和第三向下延伸部的磁阻小于第二向下延伸部的磁阻，使得通過(guò)第一、第二、第三向下延伸部的磁通量依次減少。2.如權(quán)利要求1所述的等離子反應(yīng)器，其特征在于，所述第二向下延伸部與第三向下延伸部...