防塵罩的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防塵罩，包括罩體、升降機(jī)構(gòu)和活動(dòng)門(mén)，升降機(jī)構(gòu)安裝在罩體的側(cè)部，升降機(jī)構(gòu)與活動(dòng)門(mén)連接，罩體設(shè)有與活動(dòng)門(mén)配合的開(kāi)口。本實(shí)用新型的防塵罩能夠?qū)⒂糜诜胖镁A的工作臺(tái)罩住，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使活動(dòng)門(mén)向下或向上移動(dòng)，操作人員即可通過(guò)開(kāi)口將晶圓放置在工作臺(tái)上，按后再通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使活動(dòng)門(mén)向上或向下移動(dòng)，使活動(dòng)門(mén)能夠封住開(kāi)口。因此，防塵罩能夠防止無(wú)塵車間中下部的塵埃顆粒污染工作臺(tái)，進(jìn)而提高產(chǎn)品的質(zhì)量，活動(dòng)門(mén)僅在需要向工作臺(tái)放置晶圓時(shí)打開(kāi)，方便操作。
【專利說(shuō)明】防塵罩
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于晶圓加工設(shè)備工作臺(tái)的防塵罩。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的半導(dǎo)體，晶圓加工對(duì)衛(wèi)生凈化要求特別高，加工車間一般為無(wú)塵車間。如圖1所示，晶圓加工的無(wú)塵車間的地板7為鏤空，地板7下方安裝有風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)將車間內(nèi)的塵埃顆粒抽吸至地板7下集中處理，因此，車間內(nèi)的塵埃顆粒密度由上至下遞增，一般距離地板1.8米以上的空間塵埃顆粒極少。工作臺(tái)6用于放置晶圓，當(dāng)晶圓放置在工作臺(tái)6上后，會(huì)被傳送至加工設(shè)備進(jìn)行加工，加工設(shè)備位于工作臺(tái)6 —側(cè)的密閉空間內(nèi)。工作臺(tái)6距地板約0.8?1.2米,此空間的塵埃顆粒較多，當(dāng)工作人員走動(dòng)會(huì)造成塵埃顆粒流動(dòng)，易使工作臺(tái)6污染，進(jìn)而對(duì)放置在工作臺(tái)6上的晶圓造成污染，對(duì)加工晶圓造成影響，降低產(chǎn)品的質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種防止工作臺(tái)污染、提高產(chǎn)品質(zhì)量的防塵罩。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種防塵罩，包括罩體、升降機(jī)構(gòu)和活動(dòng)門(mén)，升降機(jī)構(gòu)安裝在罩體的側(cè)部，升降機(jī)構(gòu)與活動(dòng)門(mén)連接，罩體設(shè)有與活動(dòng)門(mén)配合的開(kāi)口。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果為:本防塵罩的活動(dòng)門(mén)在升降機(jī)構(gòu)的作用下能夠?qū)崿F(xiàn)上下移動(dòng)。本防塵罩能夠?qū)⒂糜诜胖镁A的工作臺(tái)罩住，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使活動(dòng)門(mén)向下或向上移動(dòng)，操作人員即可通過(guò)開(kāi)口將晶圓放置在工作臺(tái)上，按后再通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使活動(dòng)門(mén)向上或向下移動(dòng)，使活動(dòng)門(mén)能夠封住開(kāi)口。因此，防塵罩能夠防止無(wú)塵車間中下部的塵埃顆粒污染工作臺(tái)，進(jìn)而提高產(chǎn)品的質(zhì)量，活動(dòng)門(mén)僅在需要向工作臺(tái)放置晶圓時(shí)打開(kāi)，方便操作。
[0006]在一些實(shí)施方式中，升降機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)輪、鋼絲繩、第一配重塊和第二配重塊，鋼絲繩跨過(guò)導(dǎo)輪，一端與第一配重塊連接，另一端與第二配重塊連接，第二配重塊與活動(dòng)門(mén)連接，導(dǎo)輪安裝在罩體上。由此，當(dāng)?shù)谝慌渲貕K上升時(shí)，在鋼絲繩的帶動(dòng)下，第二配重塊帶動(dòng)活動(dòng)門(mén)下降，當(dāng)?shù)谝慌渲貕K下降時(shí)，在鋼絲繩的帶動(dòng)下，第二配重塊帶動(dòng)活動(dòng)門(mén)上升，第一配重塊平衡了活動(dòng)門(mén)及第二重力塊的重量。
[0007]在一些實(shí)施方式中，第二配重塊和活動(dòng)門(mén)的重量之和等于第一配重塊的重量，從而利用天平原理，由兩塊配重塊來(lái)完成對(duì)活動(dòng)門(mén)的定位。
[0008]在一些實(shí)施方式中，升降機(jī)構(gòu)為兩個(gè)，分設(shè)于罩體的兩側(cè)。由此，兩個(gè)升降機(jī)構(gòu)分別與活動(dòng)門(mén)的兩側(cè)連接，使活動(dòng)門(mén)受力均勻，能夠平穩(wěn)地移動(dòng)。
[0009]在一些實(shí)施方式中，罩體包括依次連接的第一面、第二面和第三面，開(kāi)口位于第二面，升降機(jī)構(gòu)位于第一面和/或第三面。由此，能夠使工作臺(tái)自與第二面相對(duì)的一側(cè)進(jìn)入防塵罩，便于防塵罩安裝。
[0010]在一些實(shí)施方式中，升降機(jī)構(gòu)還包括第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌均安裝在罩體的側(cè)部，第一配重塊與第一導(dǎo)軌配合，第二配重塊與第二導(dǎo)軌相配合，從而使兩配重塊的上下移動(dòng)更加平穩(wěn)。
[0011]在一些實(shí)施方式中，第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌均為直線導(dǎo)軌，第一配重塊安裝有與第一導(dǎo)軌配合的第一直線軸承，第二配重塊安裝有與第二導(dǎo)軌配合的第二直線軸承。由此，第一直線軸承和第二直線軸承能夠降低兩配重塊與兩導(dǎo)軌之間的摩擦力，使活動(dòng)門(mén)的上下移動(dòng)更加靈活。
[0012]在一些實(shí)施方式中，鋼絲繩的端部回折由固定件固定形成套扣，螺釘穿過(guò)套扣與第一配重塊或第二配重塊連接，從而防止鋼絲繩脫落。
[0013]在一些實(shí)施方式中，第一配重塊和/或第二配重塊的側(cè)部安裝有小導(dǎo)輪，從而防止第一配重塊和/或第二配重塊受力發(fā)生傾斜而與罩體發(fā)生摩擦。
[0014]在一些實(shí)施方式中，防塵罩還包括保護(hù)罩，升降機(jī)構(gòu)位于保護(hù)罩內(nèi)，保護(hù)罩與罩體連接。由此，保護(hù)罩能夠防止升降機(jī)構(gòu)被污染，防止升降機(jī)構(gòu)的潤(rùn)滑油揮發(fā)造成污染。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為無(wú)塵車間內(nèi)用于放置晶圓的工作臺(tái)的示意圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新實(shí)施例1的防塵罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為圖1所示防塵罩的升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為圖2所示防塵罩的升降機(jī)構(gòu)的鋼絲繩與第一配重塊連接的示意圖；
[0019]圖5為圖1所示防塵罩的活動(dòng)門(mén)關(guān)閉狀態(tài)的示意圖；
[0020]圖6為圖5所示防塵罩的活動(dòng)門(mén)關(guān)閉狀態(tài)時(shí)升降機(jī)構(gòu)的示意圖；
[0021]圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例4的防塵罩的升降機(jī)構(gòu)的示意圖；
[0022]圖8為與圖7所示的防塵罩的升降機(jī)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的活動(dòng)門(mén)的狀態(tài)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0024]實(shí)施例1
[0025]如圖2和圖3所示，本實(shí)施例的防塵罩包括罩體1、升降機(jī)構(gòu)2和活動(dòng)門(mén)3，升降機(jī)構(gòu)2安裝在罩體I的側(cè)部，升降機(jī)構(gòu)2與活動(dòng)門(mén)3連接，罩體I設(shè)有與活動(dòng)門(mén)3配合的開(kāi)口
11。升降機(jī)構(gòu)2為兩個(gè)，分設(shè)于罩體I的兩側(cè)?；顒?dòng)門(mén)3安裝有把手31，活動(dòng)門(mén)3為玻璃門(mén)。升降機(jī)構(gòu)2位于罩體I的下部。
[0026]罩體I包括依次連接的第一面12、第二面13和第三面，開(kāi)口 11位于第二面13，升降機(jī)構(gòu)2位于第一面12和第三面。其中，第一面12與第三面平行設(shè)置，第一面12與第二面13相互垂直。第一面12、第二面13和第三面均由玻璃或鋼板安裝在支撐架上形成。罩體I的底部焊接有支腳14。防塵罩在安裝時(shí)，使第一面12、第二面13和第三面分別與工作臺(tái)6的三面相對(duì)應(yīng)，使工作臺(tái)6自與第二面13相對(duì)的一側(cè)進(jìn)入罩體I。
[0027]升降機(jī)構(gòu)2包括導(dǎo)輪21、鋼絲繩22、第一配重塊23、第二配重塊24、第一導(dǎo)軌25和第二導(dǎo)軌26。第二配重塊24和活動(dòng)門(mén)3的重量之和等于第一配重塊23的重量，從而利用天平原理，由兩塊配重塊來(lái)完成對(duì)活動(dòng)門(mén)3的定位，即活動(dòng)門(mén)3能夠停止在活動(dòng)范圍內(nèi)的任意位置，且稍加施力就能夠使活動(dòng)門(mén)3移動(dòng)。[0028]鋼絲繩22跨過(guò)導(dǎo)輪21，一端與第一配重塊23連接，另一端與第二配重塊24連接，第二配重塊24與活動(dòng)門(mén)3通過(guò)螺釘固定連接。導(dǎo)輪21通過(guò)軸安裝在罩體I上。第一導(dǎo)軌25和第二導(dǎo)軌26的兩端分別通過(guò)安裝板27安裝在罩體I的側(cè)部，第一配重塊23與第一導(dǎo)軌25配合，第二配重塊24與第二導(dǎo)軌26相配合。
[0029]第一導(dǎo)軌25和第二導(dǎo)軌26均為直線導(dǎo)軌，第一配重塊23安裝有與第一導(dǎo)軌25配合的第一直線軸承，第二配重塊24安裝有與第二導(dǎo)軌26配合的第二直線軸承。第一直線軸承為兩個(gè)，分設(shè)于第一配重塊23的兩端，第二直線軸承為兩個(gè)，分設(shè)于第二配重塊24的兩端。第一配重塊23的兩側(cè)均通過(guò)軸安裝有小導(dǎo)輪4，小導(dǎo)輪4防止第一配重塊23受力發(fā)生傾斜而與罩體I的第一面12或第三面發(fā)生摩擦。
[0030]本實(shí)施方式的防塵罩還包括保護(hù)罩5,升降機(jī)構(gòu)2位于保護(hù)罩5內(nèi)，保護(hù)罩5與罩體I通過(guò)螺釘連接。保護(hù)罩5能夠防止升降機(jī)構(gòu)2被污染，且防止升降機(jī)構(gòu)2的潤(rùn)滑油揮發(fā)造成污染。
[0031]如圖4所示，鋼絲繩22的端部回折后由固定件221固定形成套扣，螺釘222穿過(guò)套扣與第一配重塊23或第二配重塊24連接，從而實(shí)現(xiàn)了鋼絲繩與第一配重塊23或第二配重塊24的連接。
[0032]圖5為活動(dòng)門(mén)3關(guān)閉狀態(tài)時(shí)的示意圖，圖6為活動(dòng)門(mén)3關(guān)閉狀態(tài)時(shí)的升降裝置2的示意圖。當(dāng)通過(guò)把手31向活動(dòng)門(mén)3施力，使活動(dòng)門(mén)3向上移動(dòng)時(shí)，第二配重塊24沿第二導(dǎo)軌26向上移動(dòng)。在鋼絲繩22的帶動(dòng)下，第一配重塊23沿第一導(dǎo)軌25向下移動(dòng)。當(dāng)?shù)诙渲貕K24上升到第二導(dǎo)軌26的頂端時(shí)停止，此時(shí)活動(dòng)門(mén)3恰好將開(kāi)口 11封住。
[0033]實(shí)施例2
[0034]與實(shí)施例1不同的是，本實(shí)施例的防塵罩的升降機(jī)構(gòu)2的第一配重塊23的重量大于第二配重塊24和活動(dòng)門(mén)3的重量，罩體I的底部安裝有與活動(dòng)門(mén)配合的卡件?；顒?dòng)門(mén)3處于最低點(diǎn)時(shí)通過(guò)卡件將門(mén)卡住，使活動(dòng)門(mén)3處于靜止?fàn)顟B(tài)。當(dāng)卡件與活動(dòng)門(mén)3分離后，第一配重塊23向下移動(dòng)，鋼絲繩22帶動(dòng)第二配重塊24使活動(dòng)門(mén)3能夠自動(dòng)向上移動(dòng)，當(dāng)?shù)诙渲貕K24上升到第二導(dǎo)軌26的頂端時(shí)停止，此時(shí)活動(dòng)門(mén)3恰好將開(kāi)口 11封住。
[0035]實(shí)施例3
[0036]本實(shí)施例的防塵罩與實(shí)施例1基本相同，不同之處在于，升降裝置2包括電動(dòng)機(jī)和與電機(jī)輸出端連接的絲桿，絲桿與活動(dòng)門(mén)配合連接，電動(dòng)機(jī)運(yùn)行能夠使絲桿帶動(dòng)活動(dòng)門(mén)上下移動(dòng)。
[0037]實(shí)施例4
[0038]如圖7和圖8所示，與實(shí)施例1不同的是，本實(shí)施例防塵罩的升降裝置2位于罩體I的上部。當(dāng)通過(guò)把手31向活動(dòng)門(mén)3施力，使活動(dòng)門(mén)3向上移動(dòng)時(shí)，第二配重塊24沿第二導(dǎo)軌26向上移動(dòng)。在鋼絲繩22的帶動(dòng)下，第一配重塊23沿第一導(dǎo)軌25向下移動(dòng)。當(dāng)?shù)诙渲貕K24上升到第二導(dǎo)軌26的頂端時(shí)停止，此時(shí)活動(dòng)門(mén)3恰好將開(kāi)口 11打開(kāi)。
[0039]當(dāng)通過(guò)把手31向活動(dòng)門(mén)3施力，使活動(dòng)門(mén)3向下移動(dòng)時(shí)，第二配重塊24沿第二導(dǎo)軌26向下移動(dòng)。在鋼絲繩22的帶動(dòng)下，第一配重塊23沿第一導(dǎo)軌25向上移動(dòng)。當(dāng)?shù)诙渲貕K24下降到第二導(dǎo)軌26的底端時(shí)停止，此時(shí)活動(dòng)門(mén)3恰好將開(kāi)口 11封住。
[0040]以上所述的僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.防塵罩，其特征在于，罩體(I)、升降機(jī)構(gòu)(2)和活動(dòng)門(mén)(3)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)安裝在罩體(I)的側(cè)部，所述升降機(jī)構(gòu)(2)與活動(dòng)門(mén)(3)連接，所述罩體(I)設(shè)有與活動(dòng)門(mén)(3)配合的開(kāi)口(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵罩，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)(2)包括導(dǎo)輪(21)、鋼絲繩(22)、第一配重塊(23)和第二配重塊(24)，第二配重塊(24)與活動(dòng)門(mén)(3)連接，所述導(dǎo)輪(21)安裝在罩體(I)上，所述鋼絲繩(22)跨過(guò)導(dǎo)輪(21)，一端與第一配重塊(23)連接，另一端與第二配重塊(24)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防塵罩，其特征在于，所述第二配重塊(24)和活動(dòng)門(mén)(3)的重量之和等于第一配重塊(23)的重量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵罩，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)(2)為兩個(gè)，分設(shè)于罩體(O的兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的防塵罩，其特征在于，所述罩體(I)包括依次連接的第一面(12)、第二面(13)和第三面(14)，所述開(kāi)口(11)位于第二面(13)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)位于第一面(12)和/或第三面(14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防塵罩，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)(2)還包括第一導(dǎo)軌(25)和第二導(dǎo)軌(26)，所述第一導(dǎo)軌(25)和第二導(dǎo)軌(26)均安裝在罩體(I)的側(cè)部，第一配重塊(23)與第一導(dǎo)軌(25)配合,第二配重塊(24)與第二導(dǎo)軌(26)相配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防塵罩，其特征在于，所述第一導(dǎo)軌(25)和第二導(dǎo)軌均(26)為直線導(dǎo)軌，所述第一配重塊(23)安裝有與第一導(dǎo)軌(25)配合的第一直線軸承(231)，所述第二配重塊(24)安裝有與第二導(dǎo)軌配合(26)的第二直線軸承(241)。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防塵罩，其特征在于，所述鋼絲繩(22)的端部回折由固定件(221)固定形成套扣，螺釘(222)穿過(guò)套扣與第一配重塊(23)或第二配重塊(24)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防塵罩，其特征在于，所述第一配重塊(23)和/或第二配重塊(24)的側(cè)部安裝有小導(dǎo)輪(4)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵罩，其特征在于，還包括保護(hù)罩(5)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)位于保護(hù)罩(5 )內(nèi)，保護(hù)罩(5 )與罩體(I)連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/00GK203674172SQ201420047932
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月24日
【發(fā)明者】周勤 申請(qǐng)人:周勤