漏晶檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于半導(dǎo)體芯片封裝設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種自動粘片機的漏晶檢測裝置，其中的光敏傳感器固定安裝在吸嘴的上方，反光平面鏡設(shè)置在吸嘴從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方，漏晶檢測燈的光束通過光纖投射到反光平面鏡上，光纖的固定端對準漏晶檢測燈，光纖的活動端對準反光平面鏡。本實用新型解決了漏晶檢測裝置存在的檢測靈敏度不高，漏晶檢測燈的安裝和調(diào)整不夠方便的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測靈敏度高、易于調(diào)整、工作可靠、成本低的優(yōu)點。
【專利說明】漏晶檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體芯片封裝設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種自動粘片機的漏晶檢測
>J-U ρ?α裝直。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體封裝工序中，首先要將半導(dǎo)體芯片粘結(jié)在一個框架上，這個過程一般通過自動粘片機來完成。當(dāng)拾取芯片時，自動粘片機上的吸嘴接通真空，拾取芯片，然后運動到框架上方，將芯片粘貼到框架上，接著再進行下一次的拾取和粘貼動作，周而復(fù)始。
[0003]在吸嘴拾取和粘貼芯片過程中，吸嘴是否確實拾取了芯片以及確實粘貼了芯片，是通過檢測吸嘴的透光性來判別的。在吸嘴上方安裝了一個光敏傳感器，在吸嘴從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方安裝了一個漏晶檢測燈。當(dāng)吸嘴拾取芯片，經(jīng)過漏晶檢測燈上方時，如果吸嘴確實拾 取了芯片，則芯片擋住了吸嘴口，漏晶檢測燈的光線將不能穿過吸嘴，吸嘴上方的光敏傳感器沒有反應(yīng)，則判斷吸嘴確實拾取了芯片；當(dāng)吸嘴粘貼完芯片后，返回經(jīng)過漏晶檢測燈上方時，如果吸嘴確實粘貼了芯片，則吸嘴口沒有芯片，漏晶檢測燈的光線將穿過吸嘴，吸嘴上方的光敏傳感器于是產(chǎn)生反應(yīng)，由此判斷吸嘴完成了粘貼芯片。這種漏晶檢測裝置存在的缺點是檢測的靈敏度不高，漏晶檢測燈的安裝和調(diào)整不夠方便。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種漏晶檢測裝置，解決了檢測靈敏度不高，漏晶檢測燈的安裝和調(diào)整不夠方便的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測靈敏度高、易于調(diào)整、工作可靠、成本低的優(yōu)點。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用了下述技術(shù)方案:
[0006]一種漏晶檢測裝置，包括光敏傳感器、漏晶檢測燈，光敏傳感器固定安裝在吸嘴的上方，還包括反光平面鏡和光纖，反光平面鏡設(shè)置在吸嘴從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方，漏晶檢測燈的光束通過所述光纖投射到反光平面鏡上。
[0007]進一步地，光纖一端為固定端，另一端為活動端，所述光纖的活動端設(shè)置在活動支架上，光纖的固定端對準漏晶檢測燈，光纖的活動端對準反光平面鏡。
[0008]進一步地,反光平面鏡的鏡面尺寸為5mm*5_ ;漏晶檢測燈為鈉燈。
[0009]本實用新型具有以下優(yōu)點和積極效果:
[0010]本實用新型采用反光平面鏡和光纖來實現(xiàn)光束對吸嘴下端的照射，從而使光敏傳感器能夠感應(yīng)到吸嘴內(nèi)光線的變化，本實用新型的漏晶檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單、檢測的靈敏度高、易于調(diào)整，并且工作可靠、成本低。
[0011]【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]【具體實施方式】
[0014]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，一種漏晶檢測裝置，包括光敏傳感器1、漏晶檢測燈2，光敏傳感器I固定安裝在吸嘴3的上方，還包括反光平面鏡4和光纖5，反光平面鏡4設(shè)置在吸嘴3從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方，漏晶檢測燈2的光束通過光纖5投射到反光平面鏡4上。
[0015]光纖5 —端為固定端,另一端為活動端,光纖5的活動端設(shè)置在活動支架6上,光纖5的固定端對準漏晶檢測燈2，光纖5的活動端對準反光平面鏡4。
[0016]反光平面鏡4設(shè)置在吸嘴3從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方，反光平面鏡4在安裝的時候通過固定座調(diào)整好鏡面的傾斜角度位置后，再通過活動支架6對光纖5的活動端進行調(diào)整，從而使漏晶檢測燈2發(fā)出的平行光通過光纖5投射到反光平面鏡4上，并對入射角度進行調(diào)整，使光束經(jīng)反光平面鏡4折射后，能夠準確照射到吸嘴3的下端。
[0017]漏晶檢測燈2為杯子形狀的鈉燈，一般在50W以上，從而保證了光敏傳感器I的靈敏度。漏晶檢測燈2發(fā)出的平行光經(jīng)光纖5傳導(dǎo)，照向反光平面鏡4，經(jīng)反光平面鏡4向上折射，對準吸嘴3下端，使吸嘴3下端在拾取和粘貼芯片的往復(fù)運動路徑上經(jīng)過反光鏡上方時受到光束的照射。當(dāng)吸嘴3上有芯片7時，光線將不能穿透吸嘴3到達光敏傳感器1，因此判斷吸嘴確實拾取了芯片7 ;當(dāng)粘貼完芯片7后，吸嘴3經(jīng)過反光平面鏡4上方時，如果光線穿過吸嘴3到達光敏傳感器1，光敏傳感器I將產(chǎn)生反應(yīng)，從而判斷吸嘴3完成了粘貼芯片7。
[0018]由于采用了光纖光束照射方式，使反光平面鏡4的尺寸可以大大縮小，作為一個最佳實施例，反光平面鏡4的鏡面尺寸可以為5_*5_，反光平面鏡4可以為玻璃鏡或鍍了反光層的金屬片，安裝和調(diào)整都十分方便。而且光纖5也使折射到吸嘴3下端的光束更加集中。
[0019]總之，本實用新型采用反光平面鏡和光纖來實現(xiàn)光束對吸嘴下端的照射，從而使光敏傳感器能夠感應(yīng)到吸嘴內(nèi)光線的變化，本實用新型解決了漏晶檢測裝置存在的檢測靈敏度不高，漏晶檢測燈的安裝和調(diào)整不夠方便的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測靈敏度高、易于調(diào)整、工作可靠、成本低的優(yōu)點。
[0020]盡管實施例已對本實用新型進行了詳細說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，依然可以對本實用新型的技術(shù)方案進行修改和等同替換，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【權(quán)利要求】
1.一種漏晶檢測裝置，包括光敏傳感器、漏晶檢測燈，光敏傳感器固定安裝在吸嘴的上方，其特征是，還包括反光平面鏡和光纖，所述反光平面鏡設(shè)置在吸嘴從拾取到粘貼芯片的運動路徑下方，所述漏晶檢測燈的光束通過所述光纖投射到反光平面鏡上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏晶檢測裝置，其特征是，所述光纖一端為固定端，另一端為活動端，所述光纖的活動端設(shè)置在活動支架上，光纖的固定端對準漏晶檢測燈，光纖的活動端對準反光平面鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏晶檢測裝置，其特征是，所述反光平面鏡的鏡面尺寸為5mm氺5mmο
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏晶檢測裝置，其特征是，所述漏晶檢測燈為鈉燈。
【文檔編號】H01L21/67GK203746805SQ201420063264
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年2月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月12日
【發(fā)明者】姚劍鋒, 徐周, 肖峰, 周名曠 申請人:佛山市藍箭電子股份有限公司