一種接觸式rf開關(guān)的制作方法
【專利摘要】一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、錨點(diǎn)、之字彈簧、絕緣塊、觸頭、FR信號線，所述電容由活動(dòng)極板和固定極板組成，所述之字彈簧包括第一之字彈簧和第二之字彈簧，所述錨點(diǎn)包括第一錨點(diǎn)和第二錨點(diǎn)；所述第一之字彈簧一端與第一錨點(diǎn)連接，另一端通過絕緣塊與觸頭連接，所述RF信號線位于觸頭下方，在所述絕緣塊與觸頭之間，還設(shè)有第二之字彈簧，所述第二之字彈簧一端與第二錨點(diǎn)連接，另一端與第一之字彈簧與觸頭的連接桿連接，所述活動(dòng)極板和固定極板位于第一之字彈簧和絕緣塊之間。本設(shè)計(jì)通過采用兩個(gè)之字彈簧和多組活動(dòng)極板和固定極板，實(shí)現(xiàn)RF開關(guān)的快速通斷，具有快速、低功耗的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種接觸式RF開關(guān)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本設(shè)計(jì)涉及接觸式RF開關(guān)，屬于射頻電子【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002] 靜電驅(qū)動(dòng)的接觸式MEMS開關(guān)主要包括縱向和橫向兩種結(jié)構(gòu)?？v向接觸是指開關(guān) 動(dòng)作方向垂直于襯底平面，而橫向接觸是指開關(guān)動(dòng)作方向平行于襯底平面。縱向結(jié)構(gòu)容易 制作大面積的電容極板，提供大的驅(qū)動(dòng)力來提高開關(guān)速度，但是大面積電容極板間的壓膜 阻尼也較大，其開關(guān)速度亦受到制約；另外，縱向結(jié)構(gòu)中的固定極板和可動(dòng)極板需要通過兩 步工藝分別制作，增加了工藝難度和成本。橫向結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是可以在一步工藝中同時(shí)完成 開關(guān)和信號線的全部結(jié)構(gòu)，效率高，成本低；其缺點(diǎn)在于電容極板面積小，雖然阻尼減小，但 不易獲得大的驅(qū)動(dòng)力，開關(guān)速度不高，需要進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。因此，設(shè)計(jì)一種工藝簡單且開關(guān) 速度高的橫向靜電驅(qū)動(dòng)接觸式微機(jī)械RF開關(guān)，意義重大。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本設(shè)計(jì)的目的是提供一種接觸式RF開關(guān)，通過采用兩個(gè)之 字彈簧和多組活動(dòng)極板和固定極板，實(shí)現(xiàn)RF開關(guān)的快速通斷。
[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本設(shè)計(jì)是通過以下技術(shù)手段來實(shí)現(xiàn)的：
[0005] -種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、錨點(diǎn)、之字彈簧、絕緣塊、觸頭、FR信 號線，所述電容由活動(dòng)極板和固定極板組成，所述之字彈簧包括第一之字彈簧和第二之字 彈簧，所述錨點(diǎn)包括第一錨點(diǎn)和第二錨點(diǎn)；所述第一之字彈簧一端與第一錨點(diǎn)連接，另一端 通過絕緣塊與觸頭連接，所述RF信號線位于觸頭下方，在所述絕緣塊與觸頭之間，還設(shè)有 第二之字彈簧，所述第二之字彈簧一端與第二錨點(diǎn)連接，另一端與第一之字彈簧與觸頭的 連接桿連接，所述活動(dòng)極板和固定極板位于第一之字彈簧和絕緣塊之間。
[0006] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述活動(dòng)極板和固定極板為兩 組以上。
[0007] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述電容、錨點(diǎn)、之字彈簧、觸 頭、FR信號線的金屬部分材料為Au。
[0008] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述絕緣塊的材料為Su8光刻 膠。
[0009] 本發(fā)明的有益效果是：本設(shè)計(jì)通過采用兩個(gè)之字彈簧和多組活動(dòng)極板和固定極 板，實(shí)現(xiàn)RF開關(guān)的快速通斷，具有快速、低功耗的優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010] 圖1為本設(shè)計(jì)組成結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011] 附圖標(biāo)號的含義如下：1第一錨點(diǎn)，2-2固定極板，2-2活動(dòng)極板，3絕緣塊，4觸頭， 5RF信號線，6-1第二之字彈簧，6-2第一之字彈簧。

【具體實(shí)施方式】
[0012] 下面將結(jié)合說明書附圖，對設(shè)計(jì)作進(jìn)一步的說明。
[0013] 如圖1所示，一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：包括電容2、錨點(diǎn)、之字彈簧6、絕緣 塊3、觸頭4、FR信號線5,所述電容由活動(dòng)極板2-2和固定極板2-1組成，所述之字彈簧包 括第一之字彈簧6-2和第二之字彈簧6-1，所述錨點(diǎn)包括第一錨點(diǎn)1-1和第二錨點(diǎn)1-2 ;所 述第一之字彈簧1-1 一端與第一錨點(diǎn)6-2連接，另一端通過絕緣塊3與觸頭4連接，所述RF 信號線位5于觸頭4下方，在所述絕緣塊3與觸頭4之間，還設(shè)有第二之字彈簧6-1，所述第 二之字彈簧6-1 -端與第二錨點(diǎn)1-2連接，另一端與第一之字彈簧6-2與觸頭3的連接桿 連接，所述活動(dòng)極板2-2和固定極板2-1位于第一之字彈簧6-2和絕緣塊3之間。
[0014] 當(dāng)外加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，靜電吸引力帶動(dòng)可動(dòng)極板向固定極板靠攏，驅(qū)動(dòng)觸頭與RF信 號線接觸，實(shí)現(xiàn)了信號線的連通；當(dāng)開關(guān)斷開時(shí)，在彈簧恢復(fù)力的作用下，觸頭與信號線分 離，實(shí)現(xiàn)了電流的關(guān)斷；本器件中采用了多組固定極板和可動(dòng)極板，增大了極板正對面積， 可獲得較大的驅(qū)動(dòng)力，能夠提高開關(guān)速度。為了抑制結(jié)構(gòu)在應(yīng)力梯度作用下發(fā)生翹曲，采用 了兩組"之"字形彈簧結(jié)構(gòu)；同時(shí)，這種結(jié)構(gòu)進(jìn)一步增加了 RF開關(guān)斷通的速度。
[0015] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述活動(dòng)極板2-2和固定極板 2-1為兩組以上。
[0016] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述電容2、錨點(diǎn)1、之字彈簧6、 觸頭4、FR信號線5的金屬部分材料為Au。
[0017] 優(yōu)選的，所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述絕緣塊3的材料為Su8光刻 膠。
[0018] SU8光刻膠具有良好的機(jī)械強(qiáng)度和絕緣特性。
[0019] 以上顯示和描述了本設(shè)計(jì)的基本原理、主要特征及優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該 了解，本設(shè)計(jì)不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本設(shè)計(jì)的原 理，在不脫離本設(shè)計(jì)精神和范圍的前提下，本設(shè)計(jì)還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn) 都落入要求保護(hù)的本設(shè)計(jì)范圍內(nèi)。本設(shè)計(jì)要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界 定。
【權(quán)利要求】
1. 一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、錨點(diǎn)、之字彈簧、絕緣塊、觸頭、FR信號 線，所述電容由活動(dòng)極板和固定極板組成，所述之字彈簧包括第一之字彈簧和第二之字彈 簧，所述錨點(diǎn)包括第一錨點(diǎn)和第二錨點(diǎn)；所述第一之字彈簧一端與第一錨點(diǎn)連接，另一端通 過絕緣塊與觸頭連接，所述RF信號線位于觸頭下方，在所述絕緣塊與觸頭之間，還設(shè)有第 二之字彈簧，所述第二之字彈簧一端與第二錨點(diǎn)連接，另一端與第一之字彈簧與觸頭的連 接桿連接，所述活動(dòng)極板和固定極板位于第一之字彈簧和絕緣塊之間。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述活動(dòng)極板和固定極板為 兩組以上。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述電容、錨點(diǎn)、之字彈簧、 觸頭、FR信號線的金屬部分材料為Au。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種接觸式RF開關(guān)，其特征在于：所述絕緣塊的材料為Su8光 刻膠。
【文檔編號】H01H59/00GK203910686SQ201420150351
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年3月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月31日
【發(fā)明者】楊俊民 申請人:蘇州錕恩電子科技有限公司