一種硅片放置裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種硅片放置裝置，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括：底板、側壁和前壁；所述側壁與所述底板兩側相連接，兩側側壁內設置有多個一一對應的用于放置硅片的容置槽；所述側壁外設有把手；所述前壁與所述底板的前沿對齊且連接于側壁間；所述前壁的高度小于側壁的高度；所述前壁的高度是側壁高度的1/2～2/3。本實用新型提供的硅片放置裝置，其前壁的高度小于側壁的高度，使機械手不會碰撞到放置裝置和硅片，確保機械手的安全距離；其次，在放置裝置的底部加裝了底板，提高放置裝置的平衡性和穩(wěn)定性；再者，在放置裝置的側壁上加裝了把手，方便技術人員的操作和運輸。
【專利說明】—種硅片放置裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造【技術領域】，特別是涉及一種硅片放置裝置。
【背景技術】
[0002]十多年來，我國集成電路技術突飛猛進，集成度越來越高，處理速度越來越快，芯片制造生產的技術水平也從8英寸、0.25微米提高到12英寸、45納米的新水平，并在向12英寸、32納米和22納米以下的技術階段邁進。具有各種不同功能的集成電路芯片已廣泛應用于人們生活的各個領域。
[0003]集成電路的制作過程需要經過多種工藝，例如，清洗、氧化、化學氣相沉積、金屬化、光刻、刻蝕、摻雜、平坦化等，這些工藝需要在工廠的不同區(qū)域進行。而在半導體集成電路制作的過程中，由于所有電路均集成于硅片上，所以硅片需要在不同制程之間和同一制程的不同區(qū)域流轉，其輸運和保管過程中都需要用到硅片放置裝置(cassette)。
[0004]如圖1所示為傳統(tǒng)的硅片放置裝置，該放置裝置包括頂部開口的盒體100A，所述盒體100A包括:內部設置有多個容置槽的側壁2A，該些容置槽將硅片分割開來并起著支撐作用，使晶圓底部懸空并有序地放置于硅片放置裝置中；還包括與側壁2A等高的前壁3A。這種硅片放置裝置既可以方便硅片轉送，又可以用于硅片制程中機械手抓取硅片。但是，當機械手抓取硅片時，機械手很容易和前壁的上部發(fā)生碰撞，造成機械手臂變形或損壞?’另外，機械手在抓取第一片硅片時，又很容易碰撞在硅片本身；再者，這種硅片放置裝置只能用機械傳送，無法手動 傳送，當需要手動傳送時，極易發(fā)生裝置掉落，增加產片損壞的風險。
[0005]因此，提供一種新型的硅片放置裝置實屬必要。
實用新型內容
[0006]鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種硅片放置裝置，用于解決現有技術中機械手抓取硅片時容易與放置裝置及硅片發(fā)生碰撞、且手動傳送不安全等問題。
[0007]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種硅片放置裝置，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括:底板、側壁和前壁；
[0008]所述側壁與所述底板兩側相連接，兩側側壁內設置有多個對應的用于放置娃片的容置槽；所述側壁外設有把手；
[0009]所述前壁與所述底板的前沿對齊且連接于側壁間；所述前壁的高度小于側壁的高度。
[0010]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述硅片放置裝置還包括連接于所述側壁之間的后壁，所述后壁與所述底板的后沿對齊。
[0011]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述前壁的高度是側壁高度的1/2 ~2/3。
[0012]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述側壁的下端為呈一定角度的弧形。
[0013]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述容置槽的形狀與側壁一致，下端呈弧形。
[0014]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述把手設置于側壁外的中上端。
[0015]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述側壁之間的距離由待放置的硅片直徑來確定。
[0016]作為本實用新型硅片放置裝置的一種優(yōu)化的結構，所述底板、側壁和前壁的材質均為塑料。
[0017]如上所述，本實用新型的硅片放置裝置，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括:底板、側壁和前壁；所述側壁與所述底板兩側相連接，兩側側壁內設置有多個一一對 應的用于放置硅片的容置槽；所述側壁外設有把手；所述前壁與所述底板的前沿對齊且連接于側壁間；所述前壁的高度小于側壁的高度；所述前壁的高度是側壁高度的1/2~2/3。本實用新型的硅片放置裝置具有以下有益效果:所述前壁的高度小于側壁的高度，可以使機械手不會碰撞到放置裝置和硅片，確保機械手的安全距離；其次，在放置裝置的底部加裝了底板，提高放置裝置的平衡性和穩(wěn)定性；再者，在放置裝置的側壁上加裝了把手，方便技術人員的操作和運輸。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為現有技術的硅片放置裝置的結構示意圖。
[0019]圖2為本實用新型的硅片放置裝置的立體示意圖。
[0020]圖3為本實用新型的硅片放置裝置的側視圖。
[0021]元件標號說明
[0022]100, 100A 盒體
[0023]I底板
[0024]2，2A 側壁
[0025]21容置槽
[0026]22 把手
[0027]3，3A 前壁
[0028]4后壁
【具體實施方式】
[0029]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0030]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。[0031 ] 本實用新型提供一種硅片放置裝置，如圖2和圖3所示，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體100，所述盒體100至少包括:底板1、側壁2和前壁3。
[0032]所述盒體(100)的兩個側壁2的內壁分別設有若干個容置槽21，該些容置槽21一一對應，每一對對應的容置槽21用于放置一片硅片(未予以圖示)，每片硅片由容置槽21隔開，避免貼片。
[0033]需要說明的是，所述側壁2的下端呈一定角度的弧形。相一致地，側壁2內的容置槽21的下端也具有弧形，如圖2所示，這具有弧形的容置槽21可以用于承載硅片，使硅片不會從放置裝置掉落。
[0034]還需要說明的是，所述側壁2的外側設置有把手22。選優(yōu)地，所述把手22設置在側壁2的中上端。這樣，便于技術操作人員在必要時進行手動傳送硅片，降低硅片放置裝置掉落的風險，提聞廣品的良率。
[0035]另外，所述側壁2之間的距離由待放置的硅片的直徑來確定，側壁2之間的距離可以稍微比硅片的直徑略大，以能穩(wěn)固的放置硅片為準。
[0036]所述底板I兩側與所述側壁2相連接?，F有技術中的硅片放置裝置無底板，放置裝置的牢固性差。本實用新型的硅片放置裝置加裝底板I后，進一步提高放置裝置的牢固性和穩(wěn)定性。
[0037]所述硅片放置裝置還包括前壁3，所述前壁3與所述底板I的前沿對齊且連接于側壁2間。所述前壁3可以與底板I前沿接觸，也可以不接觸。所述前壁3的高度小于側壁2的高度，即，前壁3的上沿低于側壁2的上沿。進一步地，所述前壁3的高度是側壁2高度的1/2?2/3。本實施例中，所述前壁3的高度暫選為側壁2的高度的三分之二。換句話說，就是將現有技術中硅片放置裝置的前壁上端切除三分之一。本實用新型的放置裝置的前壁3上端空缺，因此，當機械手抓取硅片時，增加了安全距離，避免機械手與放置裝置碰撞而引起機械手變形。
[0038]另外，所述硅片放置裝置還包括后壁4，所述后壁4連接于側壁2之間，且與底板I的后沿相對齊。該后壁4的作用是加強整個硅片放置裝置的穩(wěn)固性。
[0039]再需要說明的是，所述硅片放置裝置的材質為塑料，即所述底板1、側壁2、前壁3、后壁4均為塑料。當然，也可以是其他合適的材質，在此不限。
[0040]綜上所述，本實用新型提供一種硅片放置裝置，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括:底板、側壁和前壁；所述側壁與所述底板兩側相連接，兩側側壁內設置有多個一一對應的用于放置硅片的容置槽；所述側壁外設有把手；所述前壁與所述底板的前沿對齊且連接于側壁間；所述前壁的高度小于側壁的高度；所述前壁的高度是側壁高度的1/2?2/3。本實用新型具有以下有益效果:所述前壁的高度小于側壁的高度，可以使機械手不會碰撞到放置裝置和硅片，確保機械手的安全距離；其次，在放置裝置的底部加裝了底板，提高放置裝置的平衡性和穩(wěn)定性；再者，在放置裝置的側壁上加裝了把手，方便技術人員的操作和運輸。
[0041]所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業(yè)利用價值。
[0042]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種硅片放置裝置，其特征在于，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括:底板、側壁和前壁； 所述側壁與所述底板兩側相連接，兩側側壁內設置有多個 對應的用于放置娃片的容置槽；所述側壁外設有把手； 所述前壁與所述底板的前沿對齊且連接于側壁間；所述前壁的高度小于側壁的高度。
2.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述硅片放置裝置還包括連接于所述側壁之間的后壁，所述后壁與所述底板的后沿對齊。
3.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述前壁的高度是側壁高度的1/2 ?2/3。
4.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述側壁的下端呈一定角度的弧形。
5.根據權利要求4所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述容置槽的形狀與側壁一致，下端呈弧形。
6.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述把手設置于側壁外的中上端。
7.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述側壁之間的距離由待放置的硅片直徑來確定。
8.根據權利要求1所述的硅片放置裝置，其特征在于:所述底板、側壁和前壁的材質均為塑料。
【文檔編號】H01L21/677GK203787406SQ201420204377
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年4月24日 優(yōu)先權日:2014年4月24日
【發(fā)明者】張治俊, 湯敬計, 張恒輝 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司