防止放反硅片片盒的機械手的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種防止放反硅片片盒的機械手，涉及太陽能電池片的制作裝備【技術(shù)領(lǐng)域】。包括機械手本體，所述機械手本體上固定有光電傳感器，光電傳感器通過光電傳感器電路與機械手本體上的PLC控制器電連接，硅片片盒的側(cè)面粘貼有反光膜，所述光電傳感器的發(fā)射的光直接投射至反光膜處，反光膜將上述光反射至光電傳感器。所述機械手通過增加光電傳感器以及與之相配合的反光膜，可有效防止硅片片盒放反，造成硅片損壞，提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性，降了生產(chǎn)成本。
【專利說明】防止放反硅片片盒的機械手

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池片的制作裝備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種可防止放反硅片片盒的機械手。

【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能行業(yè)，多晶硅電池生產(chǎn)制造的第一道工序即為制絨，制絨工序就是利用硅片的損傷層，通過硝酸與氫氟酸的混合溶液對硅片表面進(jìn)行制絨。制絨工序是太陽能電池生產(chǎn)過程中的一個核心步驟，是利用硅片的損傷層，通過硝酸與氫氟酸的混合溶液對硅片表面進(jìn)行制絨，在硅片表面形成高低不平的表面及大量的孔洞，增加電池片表面的受光面積，降低反射率，從而提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。其主要過程:WTS裝載多晶硅片—HN03、HF制絨一風(fēng)刀I —沖洗I — KOH腐蝕一風(fēng)刀2 —沖洗2 — HF,HCl清洗一風(fēng)刀3 —沖洗3 —不銹鋼風(fēng)刀吹干一WTS卸載多晶硅片。
[0003]合格的多晶硅片裝載在片盒內(nèi)傳送至擴散工序，擴散工藝完成后在放入片盒轉(zhuǎn)入濕法工序，然后通過WTS機械手傳入下一個工序進(jìn)行生產(chǎn)。在經(jīng)過這些工序硅片片盒的上下方向必須始終保持一致，因為從制絨工序開始生產(chǎn)出的多晶硅片只有一面制絨的效果最好，所以擴散，鍍膜都要在這一個面進(jìn)行。無論哪個過程放反都會對硅片的效率和質(zhì)量產(chǎn)生影響。
[0004]相關(guān)術(shù)語解釋，RENA制絨設(shè)備:世界知名的太陽能設(shè)備制造商；WTS =RENA設(shè)備的全自動裝卸載機械手；片盒:多晶硅片的盛放裝置，(100片/盒)生產(chǎn)中我們也稱之為“舟”。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種防止放反硅片片盒的機械手，所述機械手通過增加光電傳感器以及與之相配合的反光膜，可有效防止硅片片盒放反，造成硅片損壞，提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量，降了生產(chǎn)成本。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:一種防止放反硅片片盒的機械手，包括機械手本體，其特征在于:所述機械手本體上固定有光電傳感器，光電傳感器通過光電傳感器電路與機械手本體上的PLC控制器電連接，硅片片盒的側(cè)面粘貼有反光膜，所述光電傳感器的發(fā)射的光直接投射至反光膜處，反光膜將上述光反射至光電傳感器處。
[0007]進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案在于:所述反光膜固定在所述硅片片盒側(cè)面的下部。
[0008]進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案在于:所述光電傳感器采用HY860型。
[0009]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:所述機械手在現(xiàn)有技術(shù)的機械手本體上增加光電傳感器和與之相配備的光電傳感器電路，并在硅片片盒的側(cè)面安裝與光電傳感器相對應(yīng)的發(fā)光膜，如果片盒放反，光電傳感器接收不到返回的光信號，那么機械手本體上的PLC控制器則輸出警報，提醒工作人員注意，如果片盒位置正確，則光電傳感器發(fā)射的光信號被反光膜所反射，然后光電傳感器接收到光信號，機械手正常工作。所述機械手可有效防止硅片片盒放反，造成硅片損壞，提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量，降了生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0011]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實用新型中光電傳感器電路的一種典型結(jié)構(gòu)框圖；
[0013]其中:1、機械手本體2、光電傳感器3、硅片片盒4、反光膜。

【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0015]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。
[0016]針對【背景技術(shù)】所指出的問題，本申請公開了一種防止放反硅片片盒的機械手，如簡圖1所示，包括機械手本體I，所述機械手本體是與現(xiàn)有技術(shù)相同的，在此不做贅述。本申請的發(fā)明點在于:所述機械手本體I上固定有光電傳感器2，光電傳感器的形式有多種，在本申請中光電傳感器使用收發(fā)一體式光電傳感器，具體的在本申請中所述光電傳感器可以采用HY860型，需要說明的是光電傳感器并不限于上述型號，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠根據(jù)需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x型。
[0017]光電傳感器2通過光電傳感器電路與機械手本體上的PLC控制器電連接，如圖2所示為一種典型的光電傳感器與PLC控制器的接線圖，應(yīng)當(dāng)指出的是圖2所示的接線圖是與現(xiàn)有技術(shù)相同的，本實用新型的發(fā)明點在于傳感器的應(yīng)用，而不在于電路設(shè)計。硅片片盒3的側(cè)面粘貼有反光膜4，所述光電傳感器2發(fā)射的光直接投射至反光膜處，反光膜將上述光反射至光電傳感器，反光膜的大小不要大于硅片片盒上的固定區(qū)域，不要太小否則傳感器不易照到，一般情況下所述反光膜固定在所述硅片片盒側(cè)面的下部。
[0018]本申請所述的機械手在現(xiàn)有技術(shù)的機械手本體上增加光電傳感器和與之相配備的光電傳感器電路，并在硅片片盒的側(cè)面安裝與光電傳感器相對應(yīng)的發(fā)光膜，如果片盒放反，光電傳感器接收不到返回的光信號，那么機械手本體上的PLC控制器則輸出警報，提醒工作人員注意，如果片盒位置正確，則光電傳感器發(fā)射的光信號被反光膜所反射，然后光電傳感器接收到光信號，機械手正常工作。所述機械手可有效防止硅片片盒放反，造成硅片損壞，提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量，降了生產(chǎn)成本。
【權(quán)利要求】
1.一種防止放反硅片片盒的機械手，包括機械手本體(1)，其特征在于:所述機械手本體(I)上固定有光電傳感器(2),光電傳感器(2)通過光電傳感器電路與機械手本體上的PLC控制器電連接，硅片片盒(3)的側(cè)面粘貼有反光膜(4)，所述光電傳感器(2)發(fā)射的光直接投射至反光膜處，反光膜將上述光反射至光電傳感器(2)處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止放反硅片片盒的機械手，其特征在于:所述反光膜(4)固定在所述硅片片盒(3)側(cè)面的下部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止放反硅片片盒的機械手，其特征在于:所述光電傳感器(2)采用HY860型。
【文檔編號】H01L21/687GK203839397SQ201420248789
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月15日
【發(fā)明者】李華, 盧新志, 沈丙志 申請人:保定天威英利新能源有限公司, 英利能源（中國）有限公司