一種硅片化學(xué)清洗用花籃的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及硅片化學(xué)清洗工具領(lǐng)域，具體涉及一種硅片化學(xué)清洗用花籃。它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設(shè)計裝有井字形狀的防護(hù)肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護(hù)肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。優(yōu)點是設(shè)計簡單，使用方便，花籃底部設(shè)計防護(hù)肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化學(xué)清洗處理池內(nèi)，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽設(shè)計成25片裝，可以在化學(xué)清洗處理槽內(nèi)放置兩個花籃，正好把化學(xué)清洗處理槽內(nèi)空間充分利用，提高工作效率。
【專利說明】一種硅片化學(xué)清洗用花籃

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本【技術(shù)領(lǐng)域】涉及硅片化學(xué)清洗工具領(lǐng)域，具體涉及一種硅片化學(xué)清洗用花籃。

【背景技術(shù)】
[0002] 硅片在化學(xué)清洗處理中會有少量發(fā)生碎裂，產(chǎn)生一定數(shù)量的外形不完整硅片，這 些外形不完整硅片現(xiàn)有花籃無法適應(yīng)，置于現(xiàn)花籃中處理時易掉落、易碎、易互粘。而且硅 片放到花籃內(nèi)，再置于化學(xué)清洗處理槽內(nèi)，只能放一組花籃，放兩組花籃就不好放，放一組 的話效率就低了，而且化學(xué)清洗處理槽內(nèi)沒有充分利用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為了解決上述發(fā)明問題，本實用新型提出了一種硅片化學(xué)清洗用花籃，設(shè)計簡單， 使用方便，有效防止硅片相互粘在一起，防止碎裂后掉入化學(xué)清洗處理槽內(nèi)，不好打撈。
[0004] 為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實用新型提出了以下技術(shù)方案：
[0005] -種硅片化學(xué)清洗用花籃，它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是 半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形 槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設(shè)計裝有井字形狀的防護(hù)肋骨， 長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護(hù)肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。
[0006] 所述的硅片化學(xué)清洗用花籃是采用特氟綸材料制作。
[0007] 所述的卡片槽有25片。
[0008] 所述的框架上面兩端還設(shè)計有提手卡槽。
[0009] 本實用新型的優(yōu)點是設(shè)計簡單，使用方便，花籃底部設(shè)計防護(hù)肋骨，可以有效的防 止硅片碎裂掉落到化學(xué)清洗處理池內(nèi)，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽設(shè)計成25 片裝，可以在化學(xué)清洗處理槽內(nèi)放置兩個花籃，正好把化學(xué)清洗處理槽內(nèi)空間充分利用，提 高工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0011] 圖2是本實用新型的側(cè)視圖。

【具體實施方式】
[0012] 為了對本實用新型進(jìn)一步說明，下面結(jié)合說明書附圖來介紹：
[0013] 參照附圖1和圖2，一種硅片化學(xué)清洗用花籃，它包括框架1、卡片槽2，框架1是長 方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架1中間是卡片槽2,每個卡片槽2通過條形隔板 3隔開，框架1下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設(shè) 計裝有井字形狀的防護(hù)肋骨4,長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔5,防護(hù)肋骨4兩端固定在圓 孔內(nèi)。
[0014] 所述的硅片化學(xué)清洗用花籃是采用特氟綸材料制作。
[0015] 所述的卡片槽有25片。
[0016] 所述的框架上面兩端還設(shè)計有提手卡槽6。
[〇〇17] 本實用新型使用時，把圓形硅片放置到花籃的卡片槽內(nèi)，然后用提手把花籃放置 到化學(xué)清洗處理槽內(nèi)，本花籃設(shè)計結(jié)構(gòu)與長度，可以在化學(xué)清洗處理槽內(nèi)正好放置兩個花 籃，工作效率提高一倍，同時還節(jié)省了成本，花籃下端設(shè)計的防護(hù)肋骨可以防止硅片碎裂一 半不好放置到卡片槽內(nèi)，或者硅片在清洗過程中碎裂從下面掉到清洗池內(nèi)，最后通過放水 孔排掉或堵塞放水孔，造成成本加大，還要處理堵塞的水孔，浪費時間。
【權(quán)利要求】
1. 一種硅片化學(xué)清洗用花籃，其特征是它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架 兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有 長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設(shè)計裝有井字形狀的防護(hù) 肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護(hù)肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學(xué)清洗用花籃，其特征是所述的硅片化學(xué)清洗用 花籃是采用特氟綸材料制作。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學(xué)清洗用花籃，其特征是所述的卡片槽有25片。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學(xué)清洗用花籃，其特征是所述的框架上面兩端還 設(shè)計有提手卡槽。
【文檔編號】H01L21/673GK203882983SQ201420251519
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月16日
【發(fā)明者】陳春香 申請人:南通皋鑫電子股份有限公司