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      晶圓封裝機及其平行調整裝置制造方法

      文檔序號:7080775閱讀:158來源:國知局
      晶圓封裝機及其平行調整裝置制造方法
      【專利摘要】本實用新型涉及一種晶圓封裝機及其平行調整裝置。平行調整裝置,其具有:一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面;一第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面;一第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面;一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面;一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體。
      【專利說明】晶圓封裝機及其平行調整裝置

      【技術領域】
      [0001]本實用新型涉及一種晶圓封裝機及其平行調整裝置,尤指一種具有平行效果,或者能使上、下模平行的晶圓封裝機,以及能夠提供該平行效果的平行調整裝置。

      【背景技術】
      [0002]晶圓貼膜,其亦可稱為晶圓封裝,其系將一晶圓與一膜設置于一封裝機中,該封裝機再將膜壓附于晶圓的一面。
      [0003]雖上述之封裝機能夠應付現(xiàn)有的晶圓封裝需求,但于晶圓封裝過程中,其對于封裝機、晶圓或膜的水平狀態(tài)系十分要求,因若無法保持水平,則可能導致封裝失敗,進而造成大量成本的損失,然其根本為上模與下模是否能夠維持于一平行狀態(tài),故如何于封裝過程中保持一上、下模之平行狀態(tài),其系成為各廠商所思考的課題。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本實用新型目的在于提供一種晶圓封裝機及其平行調整裝置,其系藉由改變上模相對于下模的相對位置,或者下模相對上模的相對位置,而使上模與下模之間維持于一平行狀態(tài)。
      [0005]為達到上述目的,本實用新型提供一種平行調整裝置,其具有:
      [0006]一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面;
      [0007]—第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面;
      [0008]—第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面;
      [0009]一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面;
      [0010]一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及
      [0011]一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體。
      [0012]上述方案中,還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系分別設于該第二體與該第三體之間,以及該第四體與該第五體之間。
      [0013]為達到上述目的,本實用新型提供一種晶圓封裝機,其包含有:
      [0014]一基座;
      [0015]一升降單元,其系設于該基座的頂端;
      [0016]一平行調整裝置,其系設于該升降裝置的頂端,該平行調整裝置具有:
      [0017]一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面;
      [0018]—第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面;
      [0019]一第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面;
      [0020]一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面;
      [0021]一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及
      [0022]一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體;
      [0023]一下模,其系設于該平行調整裝置的頂端;以及
      [0024]一上模,其系設于該下模的上方。
      [0025]上述方案中,還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系分別設于該第二體與該第三體之間,以及該第四體與該第五體之間。
      [0026]上述方案中,還具有一第五體與一基體,該第五體系設于該第四體的另一面,該第五體系耦接該下模,該基體系設于該第一體的另一面。
      [0027]上述方案中,所述第一調整組為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第三體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第四體的端部;該第二調整組能夠為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第一體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第二體的端部。
      [0028]為達到上述目的,本實用新型提供一種晶圓封裝機,其包含有:
      [0029]一基座;
      [0030]一升降單元,其系設于該基座的頂端;
      [0031]一下模,其系耦接該升降單元;
      [0032]一上模,其系設于該下模的上方;以及
      [0033]一平行調整裝置,其系設于該上模的頂端,該平行調整裝置具有:
      [0034]一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面;
      [0035]—第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面;
      [0036]—第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面;
      [0037]—第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面;
      [0038]一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及
      [0039]一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體。
      [0040]上述方案中,還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系分別設于該第二體與該第三體之間,以及該第四體與該第五體之間。
      [0041]上述方案中,還具有一第五體與一基體,該第五體系設于該第四體的另一面,該第五體系耦接該上模,該基體系設于該第一體的另一面。
      [0042]上述方案中,所述第一調整組為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第三體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第四體的端部;該第二調整組能夠為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第一體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第二體的端部。
      [0043]綜合上述,本實用新型系利用第四調整弧凸面與第三調整弧凹面之配合,以及第二調整弧凸面與第一調整弧凹面之配合,以改變上模相對于下模的位置,或者下模相對于上模的位置,藉此達到平行的效果,進而提高晶圓封裝的良率。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0044]圖1為本實用新型晶圓封裝機的實施例一的立體示意圖;
      [0045]圖2為一平行調整裝置的立體示意圖;
      [0046]圖3為圖2的平行調整裝置的局部剖面示意圖;
      [0047]圖4為圖2的平行調整裝置的另一局部剖面示意圖;
      [0048]圖5為一下模的局部示意圖;
      [0049]圖6為本實用新型晶圓封裝機的實施例二的立體示意圖。
      [0050]以上附圖中:10、基座;11、升降單元;110、螺桿;111、驅動齒輪;112、驅動馬達;12、下模承臺;13、平行調整裝置;130、基體;131、第一體;1310、第一調整弧凹面;132、第二體;1320、第二調整弧凸面;1321、滑孔;133、第三體;1330、第三調整弧凹面;1331、第三孔;1333、固定螺桿;1334、滑塊;1335、萬向體;134、第四體;1340、第四孔;1341、第四調整弧凸面;1342、滑孔;135、第五體;1350、穿孔;1351、萬向體;1352、滑塊;1353、固定螺桿;1354、第五孔;136、第一調整組;137、第二調整組;14、下模;140、定位凸點;15、上模;16、上模固定座;17、導桿;18、;膜;19、晶圓;20、基座;21、升降單元;22、下模承臺;23、下模;24、上模;25、平行調整裝置;26、上模固定座;27、導桿。

      【具體實施方式】
      [0051]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
      [0052]實施例一:參見圖1-圖5所示:
      [0053]請配合參考圖1所示,一種晶圓封裝機,其具有一基座10、一升降單元11、一下模承臺12、一平行調整裝置13、一下模14、一上模15、一上模固定座16與多個導桿17。
      [0054]如圖1所不,導桿17系設于基座10的邊角處,于本實施例中,導桿17的數(shù)量為四根,故四導桿17系分別設于基座10的四邊角處。
      [0055]升降單元11系設于基座10的頂端,升降單元11具有一螺桿110、一驅動齒輪111與一驅動馬達112。螺桿110系設于基座10的頂端,并且螺桿110的一端系耦接下模承座12。驅動齒輪111系耦接螺桿110。驅動馬達112系耦接驅動齒輪111。當驅動齒輪111被驅動馬達112所帶動時,螺桿110受到驅動齒輪111的帶動,以使螺桿110進行一上升或下降的動作。前述之各元件系用于說明升降單元11的一實施例,而非限制。
      [0056]下模承臺12系耦接升降單元11,前述之導桿17系穿設于下模承臺12的邊角處,以使下模承臺12僅能遵循一特定方向往復運動,升降單元11系使下模承臺12能夠升降。
      [0057]平行調整裝置13系設于下模承臺12的頂端,該平行調整裝置13的構成將論述如下。
      [0058]下模14系設于平行調整裝置13的頂端,下模14具有一平臺,如圖5所示,該平臺具有多個定位凸點140,當一晶圓19設于下模穴時,該些定位凸點140系能夠定位該晶圓19。
      [0059]上模固定座16系設于各導桿17的頂端,上模固定座16的邊角系稱接導桿17的頂端。
      [0060]上模15系設于上模固定座16的底端,上模15系相對于下模14,上模15系能夠吸附一膜18,當升降裝置11推動下模承臺12,而使下模承臺12朝向上模固定座16方向移動時,即下模承臺12上升,上模15與下模14會相互結合,以使膜18貼附于晶圓19的一面。若更進一步說明,上模15具有一上模穴,上模穴系提供一真空吸力,以吸附膜18。膜18遠離上模穴的一面具有膠體。
      [0061]升降裝置14系使下模承臺12朝向遠離上模固定座16方向移動,即下模承臺12下降,而使上模15與下模14相分離,此時膠體系與膜18相分離,并貼附于晶圓19的一面,而貼附有膠體的晶圓19則可由下模14中取出,以進行下一貼膜之動作。
      [0062]請配合參考圖2、圖3、圖4與圖5所示,平行調整裝置13具有一基體130、一第一體131、一第二體132、一第三體133、一第四體134、一第五體135、一第一調整組136與一第二調整組137?;w130系設于下模承臺之頂端。
      [0063]第一體131、第二體132、第三體133、第四體134與第五體135系依序疊設于基體130的一面。下模14系設于第五體135的頂端。
      [0064]如圖4所示,第一體131的一面具有一第一調整弧凹面1310。
      [0065]第二體132面對第一調整弧凹面1310的一面具有一第二調整弧凸面1320,第二調整弧凸面1320系貼合于第一調整弧凹面1310。第二體132進一步具有多個呈倒凸字型的滑孔1321,于各滑孔1321中設有一滑塊1334、一萬向體1335與一固定螺桿1333。固定螺桿1333系依序貫穿萬向體1335、滑塊1334與滑孔1321,并螺固於第一體131?;瑝K1334系能夠於滑孔1321之孔徑較大出滑動,并且滑塊1334系抵靠于滑孔1321之孔徑較大處的底端,即滑孔1321具有兩種孔徑,其一孔徑大于另一孔徑。滑塊1334所抵靠的位置系為二孔徑的交接處。萬向體1335系因會轉動,故當滑塊1334于滑動時,萬向體1335不會限制滑塊1334的移動。前述之滑塊1334、萬向體1335與固定螺桿1333應可視為一萬向連接件。于本實施例,萬向體1335系為一圓柱體。當滑塊1334移動時,萬向體1335系隨之移動或滾動。
      [0066]如圖3與圖4所示,第三體133遠離第二體132的一面具有一第三調整弧凹面1330。第三體133進一步具有多個第三孔1331,該些第三孔1331系供上述之萬向連接件設置,以使萬向連接件于移動時,不會受到阻礙。
      [0067]第四體134相對于該些第三孔1331的位置處具有第四孔1340,該些第四孔1340亦供上述之萬向連接件設置,以使萬向連接件于移動時,不會受到阻礙。第四體134面對第三調整弧凹面1330的一面具有一第四調整弧凸面1341,第四調整弧凸面1341系貼合于第三調整弧凹面1330。第四體134更進一步具有多個滑孔1342,該滑孔1342的形狀系等同上述之滑孔1321。各滑孔1342設有上述之萬向連接件,固定螺桿1353系依序貫穿萬向體1351、滑塊1352與滑孔1342,并螺固于第三體133。
      [0068]第五體135相對于滑孔1342與第四孔1340位置處分別具有穿孔1350與第五孔1354。第五孔1354系用于調整位于第二體132之萬向連接件。穿孔1350系可供位于第四體134之萬向連接件延伸至其中。
      [0069]第一調整組136系設于第三體133的兩相對端,第一調整組136系抵靠第四體134,第一調整組136可為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于第三體133的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于第四體134的端部。
      [0070]第二調整組137系設于第一體131的兩相對端,第一調整組137系抵靠第二體132。第二調整組137可為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于第一體131的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于第二體132的端部。
      [0071]如上所述,請再配合參考圖1、圖3與圖4所示,當欲本實施例的晶圓封裝機之平行狀態(tài),其可依序利用第一調整組136改變第四體134相對于第三體133的位置,或者利用第二調整組137改變第二體132相對于第一體132的位置,或者同時利用第一調整組136與第二調整組137改變第四體134相對于第三體133的位置以及第二體132相對于第一體132的位置,藉由上述之第四調整弧凸面1341與第三調整弧凹面1330之配合,以及第二調整弧凸面1320與第一調整弧凹面1310之配合,而使前述之位置改變而非難事,進而能夠達到調整下模14相對于上模15的位置,以達到上模15與下模14平行之效果。
      [0072]實施例二:參見圖6及圖2-圖5所示:
      [0073]請配合參考圖6所示,一種晶圓封裝機,其具有一基座20、一升降單元21、一下模承臺22、一平行調整裝置25、一下模23、一上模24、一上模固定座26與多個導桿27。
      [0074]基座20、升降單元21、下模承臺22、下模23、上模24、上模固定座26與多個導桿27的設置方式系如上述之實施例一,然于本實施例中,平行調整裝置25系設于上模固定座26的底端,上模24系設于平行調整裝置25的底端。
      [0075]平行調整裝置25與實施例一相同,僅安裝方向相反。平行調整裝置25中的基體系設于上模固定座26的底端,而上模24系設于第五體的底端。
      [0076]綜合上述,本實用新開進系利用第四調整弧凸面與第三調整弧凹面之配合,以及第二調整弧凸面與第一調整弧凹面之配合,以改變上模相對于下模的位置,或者下模相對于上模的位置,藉此達到平行的效果,進而提高晶圓封裝的良率。本案之平行調整裝置除了可應用于上述之封裝機,并可應用于任合需要調整平行之機臺。
      [0077]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
      【權利要求】
      1.一種平行調整裝置,其特征在于:其具有: 一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面; 一第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面; 一第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面; 一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面; 一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及 一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體。
      2.根據(jù)權利要求1所述平行調整裝置,其特征在于:還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系設于該第二體與該第三體之間。
      3.一種晶圓封裝機,其特征在于:其包含有: 一基座; 一升降單元,其系設于該基座的頂端; 一平行調整裝置,其系設于該升降裝置的頂端,該平行調整裝置具有: 一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面; 一第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面; 一第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面; 一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面; 一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及 一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體; 一下模,其系設于該平行調整裝置的頂端;以及 一上模,其系設于該下模的上方。
      4.根據(jù)權利要求3所述晶圓封裝機,其特征在于:還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系設于該第二體與該第三體之間。
      5.根據(jù)權利要求3所述晶圓封裝機,其特征在于:還具有一第五體與一基體,該第五體系設于該第四體的另一面,該第五體系耦接該下模,該基體系設于該第一體的另一面。
      6.根據(jù)權利要求3所述晶圓封裝機,其特征在于:所述第一調整組為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第三體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第四體的端部;該第二調整組能夠為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第一體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第二體的端部。
      7.一種晶圓封裝機,其特征在于:其包含有: 一基座; 一升降單元,其系設于該基座的頂端; 一下模,其系耦接該升降單元; 一上模,其系設于該下模的上方;以及 一平行調整裝置,其系設于該上模的頂端,該平行調整裝置具有: 一第一體,其一面具有一第一調整弧凹面; 一第二體,其系能夠移動地設于該第一體,該第二體面對該第一調整弧凹面的一面具有一第二調整弧凸面,該第二調整弧凸面系貼合于該第一調整弧凹面; 一第三體,其系設于該第二體,該第三體遠離該第二體的一面具有一第三調整弧凹面; 一第四體,其系能夠移動地設于該第三體,該第四體面對該第三調整弧凹面的一面具有一第四調整弧凸面,該第四調整弧凸面系貼合于該第三調整弧凹面; 一第一調整組,其系設于該第三體的端部,并且抵靠該第四體;以及 一第二調整組,其系設于該第一體的端部,并且抵靠于該第二體。
      8.根據(jù)權利要求7所述晶圓封裝機,其特征在于:還具有多個萬向連接件,該些萬向連接件系設于該第二體與該第三體之間。
      9.根據(jù)權利要求7所述晶圓封裝機,其特征在于:還具有一第五體與一基體,該第五體系設于該第四體的另一面,該第五體系耦接該上模,該基體系設于該第一體的另一面。
      10.根據(jù)權利要求7所述晶圓封裝機,其特征在于:所述第一調整組為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第三體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第四體的端部;該第二調整組能夠為二螺桿與二螺座之組合,各螺座系設于該第一體的端部,各螺桿系穿設于各螺座,并且各螺桿的一端系抵靠于該第二體的端部。
      【文檔編號】H01L21/67GK204029767SQ201420331408
      【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年6月20日 優(yōu)先權日:2013年11月8日
      【發(fā)明者】許鴻銘, 張木慶 申請人:蘇州均華精密機械有限公司
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