閉管擴(kuò)散容器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種閉管擴(kuò)散容器，包括對(duì)接石英管、擴(kuò)散源容器以及外延片夾具；所述對(duì)接石英管具有一裝載石英管和一密封石英管，所述裝載石英管和所述密封石英管之間通過(guò)一環(huán)形石英套筒連接；所述擴(kuò)散源容器設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，其具有一裝載口，所述擴(kuò)散源容器內(nèi)裝設(shè)有擴(kuò)散源和石棉；所述外延片夾具設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，所述外延片夾具內(nèi)裝設(shè)有外延片。使用所述對(duì)接石英管，可以實(shí)現(xiàn)外延片大尺寸擴(kuò)散；使用擴(kuò)散源容器和石棉，擴(kuò)散源不會(huì)污染外延片；使用外延片夾具，可以相對(duì)固定外延片，還可以降低開(kāi)管時(shí)，氣壓的沖擊，防止外延片破裂；因此，所述閉管擴(kuò)散容器不僅解決傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散的問(wèn)題，還適合批量生產(chǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】閉管擴(kuò)散容器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種閉管擴(kuò)散容器，用于芯片制造領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002]閉管擴(kuò)散由于其高摻雜，高均勻性，因而得到廣泛的重視。傳統(tǒng)銦鎵砷外延片都是通過(guò)有機(jī)氣相外延沉積(MOCVD)技術(shù)在N型磷化銦基底材料上生長(zhǎng)銦鎵砷吸收層和本征的磷化銦頂層，因此在工藝制作過(guò)程都需要通過(guò)各種摻雜技術(shù)，形成P型擴(kuò)散區(qū)。
[0003]傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散是用單端開(kāi)口的細(xì)長(zhǎng)玻璃管，里面裝外延片和粉末狀擴(kuò)散源，然后通過(guò)開(kāi)口的一端抽真空，再用氫氧焰將其燒熔，最后放在擴(kuò)散爐中進(jìn)行擴(kuò)散。由于其需要抽真空，因此玻璃管的尺寸無(wú)法做大，不適合大批量生產(chǎn)；并且，外延片和粉末狀擴(kuò)散源在一起，外延片表面很難清潔干凈。
[0004]因此有必要設(shè)計(jì)一種新型的閉管擴(kuò)散容器，以克服上述問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，提供了一種適合大批量生產(chǎn)，并且外延片表面潔凈度較高的閉管擴(kuò)散容器。
[0006]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0007]本實(shí)用新型提供一種閉管擴(kuò)散容器，包括對(duì)接石英管、擴(kuò)散源容器以及外延片夾具；所述對(duì)接石英管具有一裝載石英管和一密封石英管，所述裝載石英管和所述密封石英管之間通過(guò)一環(huán)形石英套筒連接；所述擴(kuò)散源容器設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，其具有一裝載口，所述擴(kuò)散源容器內(nèi)裝設(shè)有擴(kuò)散源和石棉；所述外延片夾具設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，所述外延片夾具內(nèi)裝設(shè)有外延片。
[0008]進(jìn)一步地，所述密封石英管具有一對(duì)接端和一封口端，所述對(duì)接端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述環(huán)形石英套筒的橫截面直徑大于所述對(duì)接端的橫截面直徑。
[0009]進(jìn)一步地，所述密封石英管具有一對(duì)接端和一封口端，所述對(duì)接端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述對(duì)接端的橫截面直徑大于所述封口端的橫截面直徑。
[0010]進(jìn)一步地，所述裝載石英管具有一封閉端和一開(kāi)口端，所述開(kāi)口端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述環(huán)形石英套筒的橫截面直徑大于所述開(kāi)口端的橫截面直徑。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述外延片夾具具有一平端底部和一長(zhǎng)方形裝載口，所述外延片裝設(shè)于所述長(zhǎng)方形裝載口內(nèi)。
[0012]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0013]所述閉管擴(kuò)散容器包括對(duì)接石英管、擴(kuò)散源容器和外延片夾具，使用所述對(duì)接石英管，可以實(shí)現(xiàn)外延片大尺寸擴(kuò)散；使用擴(kuò)散源容器和石棉，擴(kuò)散源不會(huì)污染外延片；使用外延片夾具，可以相對(duì)固定外延片，還可以降低開(kāi)管時(shí)，氣壓的沖擊，防止外延片破裂；因此，所述閉管擴(kuò)散容器不僅解決傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散的問(wèn)題，還適合批量生產(chǎn)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0015]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的閉管擴(kuò)散容器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的對(duì)接石英管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的擴(kuò)散源容器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的外延片夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0020]如圖1至圖4，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種閉管擴(kuò)散容器，包括對(duì)接石英管1、擴(kuò)散源容器2以及外延片夾具3。
[0021]如圖1至圖4，所述對(duì)接石英管I具有一裝載石英管11和一密封石英管12，所述裝載石英管11和所述密封石英管12之間通過(guò)一環(huán)形石英套筒13連接。所述裝載石英管11具有一封閉端111、一開(kāi)口端112以及一管體(已圖不,未標(biāo)號(hào)),所述開(kāi)口端112與所述環(huán)形石英套筒13連接，所述環(huán)形石英套筒13的橫截面直徑大于所述開(kāi)口端112的橫截面直徑。所述密封石英管12具有一對(duì)接端121和一封口端122，所述對(duì)接端121與所述環(huán)形石英套筒13連接，所述環(huán)形石英套筒13的橫截面直徑大于所述對(duì)接端121的橫截面直徑；并且，所述對(duì)接端121的橫截面直徑大于所述封口端122的橫截面直徑。因此，所述環(huán)形石英套筒13的橫截面直徑比與其連接的開(kāi)口端112和對(duì)接端121的橫截面直徑大。
[0022]如圖1至圖4，所述擴(kuò)散源容器2設(shè)于所述裝載石英管11內(nèi)，其具有一裝載口 21，所述裝載口 21呈圓形，所述擴(kuò)散源容器2內(nèi)裝設(shè)有擴(kuò)散源23和石棉22，在本較佳實(shí)施例中，粉末狀的擴(kuò)散源23從所述裝載口 21置于所述擴(kuò)散源容器2內(nèi)，再放置所述石棉22，防止擴(kuò)散源23污染外延片4，使外延片4表面潔凈度較高。
[0023]如圖1至圖4，所述外延片夾具3設(shè)于所述裝載石英管11內(nèi)，所述外延片夾具3內(nèi)裝設(shè)有外延片4。具體的為，所述外延片夾具3具有一平端底部32和一長(zhǎng)方形裝載口 31，所述長(zhǎng)方形裝載口 31沿平行于所述平端底部32的直徑方向上開(kāi)設(shè)而成，且長(zhǎng)方形裝載口31的開(kāi)口高度大于外延片4的厚度，所述外延片4裝設(shè)于所述長(zhǎng)方形裝載口 31內(nèi)。
[0024]所述閉管擴(kuò)散容器的使用步驟如下:
[0025]1、先清洗所述對(duì)接石英管1、所述擴(kuò)散源容器2和所述外延片夾具3 ；
[0026]2、將待擴(kuò)散的外延片4插入外延片夾具3的長(zhǎng)方形裝載口 31中；
[0027]3、將擴(kuò)散源23沿?cái)U(kuò)散源容器2的裝載口 21處倒入，并塞入少量石棉22 ；
[0028]4、將外延片夾具3和擴(kuò)散源容器2放入對(duì)接石英管I的裝載石英管11內(nèi)，并用環(huán)形石英套筒13將裝載石英管11固定好，用氫氧焰燒熔環(huán)形石英套筒13，使裝載石英管11和密封石英管12連接在一起；
[0029]5、從所述密封石英管12的封口端122對(duì)所述裝載石英管11抽真空，抽到目標(biāo)真空值后，將所述封口端122燒熔，實(shí)現(xiàn)對(duì)接石英管I內(nèi)部高真空環(huán)境；
[0030]6、將對(duì)接石英管I放入擴(kuò)散爐中進(jìn)行加熱，擴(kuò)散完畢后，取出置入水中，冷卻至室溫，開(kāi)管并取出外延片4，即可完成擴(kuò)散工藝。
[0031]綜上所述，所述閉管擴(kuò)散容器包括對(duì)接石英管1、擴(kuò)散源容器2和外延片夾具3，使用所述對(duì)接石英管1，可以實(shí)現(xiàn)外延片大尺寸擴(kuò)散；使用擴(kuò)散源容器2和石棉22，擴(kuò)散源23不會(huì)污染外延片4 ;使用外延片夾具3，可以相對(duì)固定外延片4，還可以降低開(kāi)管時(shí)，氣壓的沖擊，防止外延片破裂；因此，所述閉管擴(kuò)散容器不僅解決傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散的問(wèn)題，還適合批量生產(chǎn)。
[0032]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種閉管擴(kuò)散容器，其特征在于，包括對(duì)接石英管、擴(kuò)散源容器以及外延片夾具； 所述對(duì)接石英管具有一裝載石英管和一密封石英管，所述裝載石英管和所述密封石英管之間通過(guò)一環(huán)形石英套筒連接； 所述擴(kuò)散源容器設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，其具有一裝載口，所述擴(kuò)散源容器內(nèi)裝設(shè)有擴(kuò)散源和石棉； 所述外延片夾具設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，所述外延片夾具內(nèi)裝設(shè)有外延片。
2.如權(quán)利要求1所述的閉管擴(kuò)散容器，其特征在于:所述密封石英管具有一對(duì)接端和一封口端，所述對(duì)接端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述環(huán)形石英套筒的橫截面直徑大于所述對(duì)接端的橫截面直徑。
3.如權(quán)利要求1所述的閉管擴(kuò)散容器，其特征在于:所述密封石英管具有一對(duì)接端和一封口端，所述對(duì)接端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述對(duì)接端的橫截面直徑大于所述封口端的橫截面直徑。
4.如權(quán)利要求1或2所述的閉管擴(kuò)散容器，其特征在于:所述裝載石英管具有一封閉端和一開(kāi)口端，所述開(kāi)口端與所述環(huán)形石英套筒連接，所述環(huán)形石英套筒的橫截面直徑大于所述開(kāi)口端的橫截面直徑。
5.如權(quán)利要求1所述的閉管擴(kuò)散容器，其特征在于:所述外延片夾具具有一平端底部和一長(zhǎng)方形裝載口，所述外延片裝設(shè)于所述長(zhǎng)方形裝載口內(nèi)。
【文檔編號(hào)】H01L21/223GK203941882SQ201420336437
【公開(kāi)日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月24日
【發(fā)明者】胡艷, 岳愛(ài)文, 呂晨, 李晶 申請(qǐng)人:武漢電信器件有限公司