一種激光剝離設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型實施例提供了一種激光剝離設備，涉及柔性顯示【技術領域】的制造設備，一方面，可避免由于載臺的設計、材料等因素對柔性顯示基板造成損傷，另一方面，可避免柔性顯示基板脫落而影響其良率；該激光剝離設備包括：機架、設置于所述機架上方的激光器和設置于所述機架下方的載臺、設置于所述載臺上的支撐機構，所述支撐機構用于承載柔性顯示基板母板；其中，所述支撐機構與所述載臺采用可拆卸方式固定；所述柔性顯示基板母板包括承載基板和設置于所述承載基板上的柔性顯示基板；所述柔性顯示基板與所述支撐機構接觸。用于使承載基板和柔性顯示基板剝離。
【專利說明】一種激光剝罔設備

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及柔性顯示【技術領域】的制造設備，尤其涉及一種激光剝離設備。

【背景技術】
[0002] 柔性顯示技術在近幾年有了飛速的發(fā)展，由此帶動柔性顯示器從屏幕的尺寸到 顯示的質量都取得了很大進步。無論是瀕臨消失的陰極射線管（Cathode Ray Tube，簡稱 CRT),還是現今主流的液晶顯示器（Liquid Crystal Display,簡稱LCD),本質上都屬于傳 統的剛性顯示器。與傳統的剛性顯示器相比，柔性顯示器具有諸多優(yōu)點，例如耐沖擊，抗震 能力強，重量輕，體積小，攜帶更加方便等。
[0003] 目前，以柔性0LED顯示器為例，其制備方法一般采用如下過程，S卩：在硬質基板上 形成柔性襯底基板，在柔性襯底基板上制備0LED顯示元件，之后再采用激光照射掃描方法 將柔性襯底基板和硬質基板剝離，得到柔性0LED顯示器。
[0004] 其中，采用激光照射掃描方法將柔性襯底基板和硬質基板剝離，需要將硬質基板 和位于所述硬質基板上的柔性0LED顯示器整體翻轉，使硬質基板朝上，激光從上面掃描并 照射到硬質基板，并聚焦在硬質基板和柔性襯底基板的接觸面，從而破壞該接觸面的附著 力，然后采用機械分離方式將柔性襯底基板和硬質基板剝離。但是，在此過程中，一方面， 在翻轉后勢必使得柔性0LED顯示器位于下方，會直接接觸激光剝離設備的載臺，因而會由 于載臺的設計、材料等因素對柔性0LED顯示器造成損傷；另一方面，經過激光照射后，柔性 襯底基板和硬質基板的附著力已經很弱了，在搬運至下一個工序以進行機械分離時，柔性 0LED顯示器很容易從硬質基板上脫落而影響其良率。 實用新型內容
[0005] 本實用新型的實施例提供一種激光剝離設備，一方面，可避免由于載臺的設計、材 料等因素對柔性顯示基板造成損傷，另一方面，可避免柔性顯示基板脫落而影響其良率。
[0006] 為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：
[0007] 提供一種激光剝離設備，包括：機架、設置于所述機架上方的激光器和設置于所述 機架下方的載臺；所述激光剝離設備還包括：設置于所述載臺上的支撐機構，所述支撐機 構用于承載柔性顯示基板母板；其中，所述支撐機構與所述載臺采用可拆卸方式固定；所 述柔性顯示基板母板包括承載基板和設置于所述承載基板上的柔性顯示基板；所述柔性顯 示基板與所述支撐機構接觸。
[0008] 可選的，所述支撐機構包括底面，所述底面包括多個第一真空孔，所述第一真空孔 貫穿所述底面；所述載臺包括與所述多個第一真空孔一一對應的多個第二真空孔。
[0009] 進一步可選的，所述第一真空孔的直徑小于1_。
[0010] 可選的，所述支撐機構還包括與所述底面連接的兩個相對側面。
[0011] 進一步可選的，所述支撐機構還包括用于調節(jié)所述兩個相對側面與所述底面夾角 的調節(jié)裝置。
[0012] 可選的，所述底面包括第一底面和第二底面，所述第二底面包括第一部分和第二 部分，且所述兩個相對側面分別與所述第一部分和所述第二部分連接；
[0013] 所述第一底面上設置有導軌，所述第二底面的所述第一部分和所述第二部分通過 滑塊與所述第一底面連接；其中，所述導軌和所述滑塊相匹配。
[0014] 進一步可選的，在所述第二底面的所述第一部分和所述第二部分之間具有間距的 情況下，所述支撐機構還包括設置在所述第一部分和所述第二部分之間的拼接板；其中，所 述拼接板與所述第一部分和所述第二部分均接觸，且所述拼接板的上表面與所述第一部分 和所述第二部分的上表面在同一平面。
[0015] 可選的，所述第一部分和所述第二部分的面積相等。
[0016] 可選的，所述導軌設置在所述第一底面的邊緣，且所述導軌的與所述第一底面垂 直的側面上設置有多個第一小孔；所述滑塊與所述第一底面垂直的側面上設置有與所述多 個第一小孔--對應的多個第二小孔。
[0017] 本實用新型實施例提供了一種激光剝離設備，包括：機架、設置于所述機架上方的 激光器和設置于所述機架下方的載臺；所述激光剝離設備還包括：設置于所述載臺上的支 撐機構，所述支撐機構用于承載柔性顯示基板母板。其中，所述支撐機構與所述載臺采用可 拆卸方式固定；所述柔性顯示基板母板包括承載基板和設置于所述承載基板上的柔性顯示 基板；所述柔性顯示基板與所述支撐機構接觸。
[0018] 由于所述支撐機構與所述載臺采用可拆卸方式固定，一方面，可以根據不同產品 型號的柔性顯示基板，設計不同形狀尺寸以及材質的支撐機構，因而在所述柔性顯示基板 與承載基板剝離時，可以避免由于載臺的設計和材料等因素對柔性顯示基板造成損傷，另 一方面，在通過激光器照射后，可以連同支撐機構一起將附著力很弱的承載基板和柔性顯 示基板搬運至下一道工序進行機械分離，這樣可以避免搬運過程中柔性顯示基板的脫落而 造成對其良率的影響。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例 或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提 下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0020] 圖1為本實用新型實施例提供的一種激光剝離設備的結構示意圖；
[0021] 圖2為本實用新型實施例提供的一種激光剝離設備的支撐機構的結構示意圖一；
[0022] 圖3為本實用新型實施例提供的一種激光剝離設備的支撐機構的底面結構示意 圖；
[0023] 圖4為本實用新型實施例提供的一種激光剝離設備的支撐機構的結構示意圖二；
[0024] 圖5為本實用新型實施例提供的一種激光剝離設備的支撐機構的結構示意圖三；
[0025] 圖6為本實用新型實施例提供的設置在第一底面的導軌的結構示意圖。
[0026] 附圖標記：
[0027] 10-激光剝離設備；101-機架；102-載臺；103-支撐機構；1031-底面；10311-第 一真空孔；1031a-第一底面；1031b-第一部分；1031c-第二部分；1032-側面；1033-導軌； 1033a-第一小孔；20-柔性顯示基板母板；201-承載基板；202-柔性顯示基板；30-拼接板。

【具體實施方式】
[0028] 下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的 實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下 所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0029] 本實用新型實施例提供了一種激光剝離設備10,如圖1所示，該激光剝離設備10 包括：機架101、設置于所述機架上方的激光器（圖中未標識出）和設置于所述機架下方的 載臺102 ;所述激光剝離設備10還包括：設置于所述載臺102上的支撐機構103,所述支撐 機構103用于承載柔性顯示基板母板20。
[0030] 其中，所述支撐機構103與所述載臺102采用可拆卸方式固定；所述柔性顯示基板 母板20包括承載基板201和設置于所述承載基板上的柔性顯示基板202 ;所述柔性顯示基 板202與所述支撐機構103接觸。
[0031] 當所述柔性顯示基板202為液晶顯示器的陣列基板時，則柔性顯示基板202例如 可以包括柔性襯底基板、設置在柔性襯底基板上的薄膜晶體管、像素電極等。當所述柔性顯 示基板202為液晶顯示器的彩膜基板時，則所述柔性顯示基板202例如可以包括柔性襯底 基板、設置在柔性襯底基板上的紅色或綠色或藍色光阻以及黑矩陣、公共電極等。當所述柔 性顯示基板202為液晶顯示器的顯示面板時，則柔性顯示基板202例如可以包括上述的陣 列基板和彩膜基板。當所述柔性顯示基板202為有機電致發(fā)光二極管顯示器時，則所述柔 性顯示基板202例如可以包括柔性襯底基板、設置在柔性襯底基板上的薄膜晶體管、陽極、 發(fā)光層、陰極、封裝層等。
[0032] 當然，上述的柔性顯示基板202也可以包括1C等。
[0033] 需要說明的是，第一，由于所述支撐機構103與所述載臺102采用可拆卸方式固 定，且在采用激光照射掃描方法將柔性襯底基板和承載基板201剝離前，需要將承載基板 201和位于所述承載基板201上的柔性顯示基板202整體翻轉，使承載基板201朝上，因此， 本實用新型實施例中，可以先將所述柔性顯示基板母板20翻轉放入所述支撐機構103,然 后將所述支撐機構103連同所述柔性顯示基板母板20 -起傳送到所述激光剝離設備的載 臺102上以進行激光照射掃描。
[0034] 第二，不對所述支撐機構103的結構進行限定，只要其能承載所述柔性顯示基板 母板20,并在柔性顯示基板母板20進行激光照射掃描過程中，不會使該柔性顯示基板母板 20相對所述支撐機構103發(fā)生移動即可。
[0035] 在此基礎上，一個所述支撐機構103并不限于承載一個尺寸的柔性顯示基板母板 20,可以使該支撐機構103適用不同尺寸的柔性顯示基板母板20。
[0036] 例如：可以將所述支撐機構103分區(qū)塊，每個區(qū)塊可以承載一種尺寸的柔性顯示 基板母板20。
[0037] 第三，本實用新型實施例中的所述支撐機構103依據所要剝離的柔性顯示基板母 板20的尺寸、形狀和材質等，可做相應的調整，以使所述激光剝離設備10可適用任意產品 型號的柔性顯示基板202和承載基板201的剝離。
[0038] 第四，本實用新型實施例中的所述柔性顯示基板母板20,可以是由承載基板201 和設置在承載基板201上的多個柔性顯示基板202構成，也可以是由承載基板201和設置 在承載基板201上的一個柔性顯示基板202構成，在此不做限定。
[0039] 本實用新型實施例提供了一種激光剝離設備10,包括：機架101、設置于所述機架 上方的激光器和設置于所述機架下方的載臺102 ;所述激光剝離設備10還包括：設置于所 述載臺102上的支撐機構103,所述支撐機構103用于承載柔性顯示基板母板20。其中，所 述支撐機構103與所述載臺102采用可拆卸方式固定；所述柔性顯示基板母板20包括承載 基板201和設置于所述承載基板上的柔性顯示基板202 ;所述柔性顯示基板202與所述支 撐機構103接觸。
[0040] 由于所述支撐機構103與所述載臺102采用可拆卸方式固定，一方面，可以根據不 同產品型號的柔性顯示基板202,設計不同形狀尺寸以及材質的支撐機構103,因而在所述 柔性顯示基板202與承載基板201剝離時，可以避免由于載臺的設計和材料等因素對柔性 顯示基板202造成損傷，另一方面，在通過激光器照射后，可以連同支撐機構103 -起將附 著力很弱的承載基板201和柔性顯示基板202搬運至下一道工序進行機械分離，這樣可以 避免搬運過程中柔性顯示基板202的脫落而造成對其良率的影響。
[0041] 可選的，如圖2所示，所述支撐機構103包括底面1031，所述底面1031包括多個第 一真空孔10311，所述第一真空孔10311貫穿所述底面1031。
[0042] 這里，所述支撐機構103的底面1031即為與所述載臺102接觸的面。
[0043] 在此情況下，所述載臺102包括與所述多個第一真空孔10311 -一對應的多個第 二真空孔（圖中未標識出）。其中，位于所述載臺102上的第二真空孔可以是通過相應工藝 制作的，也可以是通過將所述載臺102的材料設置為多孔性材料來實現的。
[0044] 這樣，通過使位于所述支撐機構103的底面1031上的第一真空孔10311和位于載 臺102上的第二真空孔孔孔相通，便可吸附固定位于所述支撐機構103上的所述柔性顯示 基板母板20。
[0045] 需要說明的是，如圖3所示，可以將所述支撐機構103的底面1031設置為面積較 大的底面，并在該底面的不同尺寸的區(qū)域設置所述第一真空孔10311來吸附位于該區(qū)域的 柔性顯示基板母板20，這樣，該支撐機構103可以適用不同尺寸的柔性顯示基板母板20。其 中，當使用該底面的第一尺寸區(qū)域時，可以將其余區(qū)域的第一真空孔10311例如用密封膜 擋住。
[0046] 進一步的，考慮到若所述第一真空孔10311的尺寸過大，有可能會導致局部吸力 過大，而柔性顯示基板202本身很薄，從而可能對其內部線路或是整個顯示基板造成損傷， 因此，本實用新型實施例優(yōu)選所述第一真空孔10311的直徑小于1mm。
[0047] 可選的，參考圖2所示，所述支撐機構103還包括與所述底面1031連接的兩個相 對側面1032。
[0048] 這里，當特定尺寸的柔性顯示基板母板20剛好被放入所述支撐機構103時，即通 過使所述兩個相對側面1032與所述柔性顯示基板202的側面接觸，可以進一步的固定所述 柔性顯示基板母板20,從而可以避免在支撐機構103連同所述柔性顯示基板母板20傳送 搬運過程中，所述柔性顯示基板母板20由于相對支撐機構103發(fā)生滑動而使柔性顯示基板 202受到損傷。
[0049] 需要說明的是，由于此處需使所述兩個相對側面1032與所述柔性顯示基板202的 側面接觸，而本實用新型的一個目的是避免對柔性顯示基板202造成損傷，因而，所述支撐 機構103的兩個相對側面1032與所述柔性顯示基板202的側面接觸設計不能對所述柔性 顯不基板202造成損傷。
[0050] 進一步可選的，所述支撐機構103還包括用于調節(jié)所述兩個相對側面1032與所述 底面1031夾角的調節(jié)裝置（圖中未標識出）。
[0051] 所述調節(jié)裝置可以設置在任一個側面1032與所述底面1031連接的位置處，這樣 可以先將所述柔性顯示基板母板20翻轉放到所述支撐機構103的底面1031，然后通過調 節(jié)所述調節(jié)裝置使所述支撐機構103的側面1032相對所述底面1031調整到一個合適的角 度，來使所述側面1032固定柔性顯示基板母板20。
[0052] 可選的，如圖4所示，所述底面1031包括第一底面1031a和第二底面，所述第二底 面包括第一部分1031b和第二部分1031c，且所述兩個相對側面1032分別與所述第一部分 1031b和所述第二部分1031c連接。
[0053] 其中，所述第一底面1031a上設置有導軌1033,所述第二底面的所述第一部分 1031b和所述第二部分1031c通過與所述導軌1033匹配的滑塊（圖中未標識出）與所述第 一底面1031a連接。
[0054] 這樣，通過滑動所述第一部分1031b和/或所述第二部分1031c，可以擴展由所述 第一部分1031b、所述第二部分1031c以及兩個相對側面1032圍城的面積，從而可以使該支 撐機構103適用多種產品型號的柔性顯示基板202。
[0055] 需要說明的是，第一，通過滑動第一部分1031b和/或所述第二部分1031c，需使第 一部分1031b和所述第二部分1031c相距合適的距離范圍內，以保證第一部分1031b和所 述第二部分1031c能支撐并承載柔性顯示基板母板20。
[0056] 第二，當滑動第一部分1031b和/或所述第二部分1031c到合適的位置時，需保證 位于第二底面的第一部分1031b和所述第二部分1031c與第一底面1031a的第一真空孔 10311是貫穿底面1031的。
[0057] 進一步可選的，如圖5所示，在所述第二底面的所述第一部分1031b和所述第二部 分1031c之間具有間距的情況下，所述支撐機構103還包括設置在所述第一部分1031b和 所述第二部分1031c之間的拼接板30。
[0058] 其中，所述拼接板30與所述第一部分1031b和所述第二部分1031c均接觸，且所 述拼接板30的上表面與所述第一部分1031b和所述第二部分1031c的上表面在同一平面。
[0059] 這里，所述拼接板30例如也可以通過滑塊與所述第一底面1031a上設置的導軌 1033連接。
[0060] 這樣，一方面，可以避免由于所述第一部分1031b和所述第二部分1031c之間具有 間距而使所述柔性顯示基板202發(fā)生形變，另一方面，也可以避免由于柔性顯示基板202與 所述第一部分1031b和所述第二部分1031c之間的部分沒有接觸而使空氣進入，導致真空 吸附效果下降。
[0061] 可選的，可以將所述第一部分1031b和所述第二部分1031c的面積設置為相等，這 樣，當所述第一部分1031b和所述第二部分1031c相距一定距離時，由于第一部分1031b和 第二部分1031c與柔性顯示基板母板20的柔性顯示基板202接觸的面積相等，可以平衡的 支撐所述柔性顯示基板母板20。
[0062] 可選的，如圖4和圖6所示，所述導軌1033設置在所述第一底面1031a的邊緣，且 所述導軌1033的與所述第一底面1031a垂直的側面上設置有多個第一小孔1033a ;所述滑 塊與所述第一底面1031a垂直的側面上設置有與所述多個第一小孔一一對應的多個第二 小孔。
[0063] 這樣，根據不同柔性顯示基板202的型號，當所述第一部分1031b和/或所述第二 部分1031c滑動到一定位置時，通過在相對的第一小孔1033a和第二小孔插入與之配置的 固定棒，便可以使所述第一部分l〇31b和所述第二部分1031c固定到特定位置，以避免在傳 送搬運過程中，由于第一部分1031b和所述第二部分1031c的滑動而使所述柔性顯示基板 母板20發(fā)生滑動，從而造成柔性顯示基板202的損傷。
[0064] 以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限 于此，任何熟悉本【技術領域】的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化 或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權 利要求的保護范圍為準。
【權利要求】
1. 一種激光剝離設備，包括：機架、設置于所述機架上方的激光器和設置于所述機架 下方的載臺；其特征在于，所述激光剝離設備還包括：設置于所述載臺上的支撐機構，所述 支撐機構用于承載柔性顯示基板母板； 其中，所述支撐機構與所述載臺采用可拆卸方式固定； 所述柔性顯示基板母板包括承載基板和設置于所述承載基板上的柔性顯示基板；所述 柔性顯示基板與所述支撐機構接觸。
2. 根據權利要求1所述的激光剝離設備，其特征在于，所述支撐機構包括底面，所述底 面包括多個第一真空孔，所述第一真空孔貫穿所述底面； 所述載臺包括與所述多個第一真空孔一一對應的多個第二真空孔。
3. 根據權利要求2所述的激光剝離設備，其特征在于，所述第一真空孔的直徑小于 lmm〇
4. 根據權利要求2所述的激光剝離設備，其特征在于，所述支撐機構還包括與所述底 面連接的兩個相對側面。
5. 根據權利要求4所述的激光剝離設備，其特征在于，所述支撐機構還包括用于調節(jié) 所述兩個相對側面與所述底面夾角的調節(jié)裝置。
6. 根據權利要求4所述的激光剝離設備，其特征在于，所述底面包括第一底面和第二 底面，所述第二底面包括第一部分和第二部分，且所述兩個相對側面分別與所述第一部分 和所述第二部分連接； 所述第一底面上設置有導軌，所述第二底面的所述第一部分和所述第二部分通過滑塊 與所述第一底面連接； 其中，所述導軌和所述滑塊相匹配。
7. 根據權利要求6所述的激光剝離設備，其特征在于，在所述第二底面的所述第一部 分和所述第二部分之間具有間距的情況下，所述支撐機構還包括設置在所述第一部分和所 述第二部分之間的拼接板； 其中，所述拼接板與所述第一部分和所述第二部分均接觸，且所述拼接板的上表面與 所述第一部分和所述第二部分的上表面在同一平面。
8. 根據權利要求6所述的激光剝離設備，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分 的面積相等。
9. 根據權利要求6至8任一項所述的激光剝離設備，其特征在于，所述導軌設置在所述 第一底面的邊緣，且所述導軌的與所述第一底面垂直的側面上設置有多個第一小孔； 所述滑塊與所述第一底面垂直的側面上設置有與所述多個第一小孔一一對應的多個 第二小孔。
【文檔編號】H01L51/56GK203910868SQ201420344154
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月25日 優(yōu)先權日:2014年6月25日
【發(fā)明者】謝春燕 申請人:京東方科技集團股份有限公司