一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，包括通氣管、吹吸盤、負(fù)壓孔和氣體連接口，所述通氣管、吹吸盤、負(fù)壓孔和氣體連接口為一體式結(jié)構(gòu)，所述吹吸盤設(shè)置于通氣管一端下部，所述吹吸盤底部均布設(shè)有若干吹吸孔，所述通氣管另一端為氣體連接口，靠近所述氣體連接口處設(shè)有手柄，所述負(fù)壓孔設(shè)置于通氣管中部上端，所述負(fù)壓孔的直徑小于氣體連接口的直徑；所述通氣管、負(fù)壓孔、氣體連接口及吹吸孔是相通的。本實(shí)用新型通過氣盤吹氣或吸氣，保持蓋板干燥、挑揀硅片碎片和調(diào)整硅片之間的間距，操作簡單，成本低，安全更可靠。
【專利說明】一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種處理溶液槽蓋板滴液的裝置，具體涉及一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在光伏行業(yè)中，制備硅電池片的流程為清洗制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、PECVD鍍膜、印刷燒結(jié)和分檢等工序，其中，清洗刻蝕兩工序是接觸化學(xué)溶劑最多的，氣體揮發(fā)最強(qiáng)，人工接觸最危險的工序。目前清洗刻蝕最常用的設(shè)備是RENA Inoxide，在制備電池片時，要經(jīng)過3個化學(xué)槽，第一個為刻蝕槽，主要化學(xué)溶液為硫酸、硝酸和氫氟酸的混合液，由于都是強(qiáng)酸溶液，易揮發(fā)，而且有異常刺鼻的氣味，即使設(shè)備有排風(fēng)系統(tǒng)也完全掩蓋不了這種缺陷，所以槽體蓋板為常閉。隨著清洗刻蝕時間的延長，蓋板上面就會積累許多滴液水珠，這些滴液具有很強(qiáng)的腐蝕性。當(dāng)?shù)我悍e累到一定量的時候，就會自然掉落到滾輪上的硅片，導(dǎo)致硅片表面形成泡狀臟污，邊緣過刻等現(xiàn)象，還有在硅片經(jīng)過槽體部分時，有時還會出現(xiàn)碎片、疊片等現(xiàn)象，導(dǎo)致清洗刻蝕機(jī)臺下料造成很多返工片，機(jī)臺報(bào)警，從而影響生產(chǎn)質(zhì)量，耽擱生產(chǎn)時間，間接的造成經(jīng)濟(jì)損失。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，通過氣盤吹氣或吸氣，保持蓋板干燥、挑揀硅片碎片和調(diào)整硅片之間的間距，操作簡單，成本低，安全更可靠。
[0004]本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其特征在于:包括通氣管、吹吸盤、負(fù)壓孔和氣體連接口，所述通氣管、吹吸盤、負(fù)壓孔和氣體連接口為一體式結(jié)構(gòu)，所述吹吸盤設(shè)置于通氣管一端下部，所述吹吸盤底部均布設(shè)有若干吹吸孔，所述通氣管另一端為氣體連接口，靠近所述氣體連接口處設(shè)有手柄，所述負(fù)壓孔設(shè)置于通氣管中部上端，所述負(fù)壓孔的直徑小于氣體連接口的直徑；所述通氣管、負(fù)壓孔、氣體連接口及吹吸孔是相通的。
[0005]作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述吹吸盤底部設(shè)有吹吸盤蓋；所述負(fù)壓孔上端設(shè)有塞子。
[0006]作為一種優(yōu)選，所述吹吸盤為圓形或矩形，所述吹吸盤底部設(shè)有12?16個吹吸孔，所述吹吸孔的總面積與氣體連接口面積匹配。
[0007]作為一種優(yōu)選,所述通氣管的長度為60?150cm之間,直徑為6cm。
[0008]本實(shí)用新型手柄是在通氣管的外面增加了一層摩擦力比較大的圓柱形外套，防止使用時手滑；負(fù)壓孔主要是在吸碎片時用到，不用的時候塞子和盤蓋都需戴好，保持通氣管內(nèi)清潔。整個氣盤的使用材料與使用設(shè)備的材料保持一致。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:當(dāng)溶液槽蓋板出現(xiàn)滴液時，通過氣盤吹氣，吹掃后保持蓋板干燥；當(dāng)滾輪上的硅片在經(jīng)過溶液槽時出現(xiàn)碎片或疊片時，通過氣盤吸氣，吸住碎片挑揀出來，遇到疊片時可以用氣盤點(diǎn)接觸式的推開，并調(diào)整好硅片之間的間距，即可減少下料時返工片的數(shù)量。操作簡單，成本低，安全更可靠。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例吹吸盤底部吹吸孔排列示意圖。
[0012]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。

【具體實(shí)施方式】
[0013]實(shí)施例1:如附圖1、圖2所示,一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤,包括通氣管1、吹吸盤2、負(fù)壓孔3和氣體連接口 4，所述通氣管1、吹吸盤2、負(fù)壓孔3和氣體連接口 4為一體式結(jié)構(gòu)，其中通氣管I的長度為60cm,直徑為6cm。吹吸盤2為長方形,長為8cm,寬為6cm,高2cm，底部設(shè)有十二個吹吸孔8，十二個吹吸孔8的總面積與氣體連接口 4面積匹配。所述吹吸盤2設(shè)置于通氣管I 一端下部，所述通氣管I另一端為氣體連接口 4，靠近所述氣體連接口 4處設(shè)有手柄5。負(fù)壓孔3設(shè)置于通氣管I中部上端，負(fù)壓孔3的直徑小于氣體連接口 4的直徑；所述通氣管1、負(fù)壓孔3、氣體連接口 4及吹吸孔8是相通的。在吹吸盤2底部設(shè)有吹吸盤蓋6 ;在負(fù)壓孔3上端設(shè)有塞子7。
[0014]實(shí)施例2:另一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其中通氣管的長度為100cm，直徑為6cm。吹吸盤為圓形,直徑為1cm,高2cm,底部設(shè)有十六個吹吸孔,十六二個吹吸孔8的總面積與氣體連接口 4面積匹配。其它與實(shí)施例1相同。
[0015]實(shí)施例3:又一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其中通氣管的長度為150cm，直徑為6cm。吹吸盤2為正形，連長為15cm，高2cm，底部設(shè)有十六個吹吸孔，十六二個吹吸孔的總面積與氣體連接口 4面積匹配。其它與實(shí)施例1相同。
【權(quán)利要求】
1.一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其特征在于:包括通氣管(I)、吹吸盤(2)、負(fù)壓孔(3 )和氣體連接口( 4 )，所述通氣管(I)、吹吸盤(2 )、負(fù)壓孔(3 )和氣體連接口( 4 )為一體式結(jié)構(gòu)，所述吹吸盤(2)設(shè)置于通氣管(I) 一端下部，所述吹吸盤(2)底部均布設(shè)有若干吹吸孔(8)，所述通氣管(I)另一端為氣體連接口(4)，靠近所述氣體連接口(4)處設(shè)有手柄(5)，所述負(fù)壓孔(3)設(shè)置于通氣管(I)中部上端，所述負(fù)壓孔(3)的直徑小于氣體連接口(4)的直徑；所述通氣管(I)、負(fù)壓孔(3)、氣體連接口(4)及吹吸孔(8)是相通的。
2.如權(quán)利要求1所述的處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其特征在于:所述吹吸盤(2)底部設(shè)有吹吸盤蓋(6);所述負(fù)壓孔(3)上端設(shè)有塞子(7)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其特征在于:所述吹吸盤(2)為圓形或矩形，所述吹吸盤(2)底部設(shè)有12?16個吹吸孔(8)，所述吹吸孔(8)的總面積與氣體連接口(4)面積匹配。
4.如權(quán)利要求1或2所述的處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，其特征在于:所述通氣管(I)的長度為60?150cm之間,直徑為6cm。
【文檔編號】H01L31/18GK204011461SQ201420508244
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】王成, 蔣方丹, 金浩, 陳康平 申請人:浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司