金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車，金屬晶舟盒固定裝置包括：底板、底部表面固定在底板上的底座及首尾相連組成方形固定在底板上方的護(hù)欄，其中，底座頂部表面與水平面之間呈預(yù)定夾角。金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)設(shè)有頂部表面具有一定傾斜角度，并將金屬晶舟盒固定裝置固定在晶舟盒推車上，在金屬晶舟盒放置在金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)時，位于金屬晶舟盒內(nèi)的晶圓也會傾向一側(cè)，緊貼卡槽的一側(cè)，從而避免在傳輸金屬晶舟盒時晶圓在卡槽內(nèi)發(fā)生劇烈晃動，防止晶圓破片。
【專利說明】金屬晶舟盒固定裝直及晶舟盒推車

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓在運輸和生產(chǎn)過程中會存放在晶舟盒(Cassette)內(nèi)，一個晶舟盒內(nèi)通常設(shè)有25個卡槽，能夠存放25片晶圓?？ú垡环矫婺軌蚬潭ňA的位置，另一方面避免相連的晶圓發(fā)生碰撞。正常情況下，晶舟盒內(nèi)的晶圓處于水平面上，25片晶圓自下而上排列，晶圓受重力影響會緊貼卡槽的一側(cè)，在運輸合理的情況下，晶圓不會發(fā)生較大的震動，也不會出現(xiàn)破片等問題。
[0003]半導(dǎo)體測試流程中，金屬晶舟盒(Metal Cassette)的應(yīng)用非常廣泛，是半導(dǎo)體廠必不可少的配備。在存儲器的數(shù)據(jù)保持特性(Data Retent1n Bake)、高溫生命期(HTOL)等等的測試中，均需要將晶片由晶舟盒傳輸出并裝在金屬晶舟盒中放置于高溫烤箱內(nèi)加熱至250°C。如圖1所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中金屬晶舟盒的結(jié)構(gòu)示意圖，包括盒體10和設(shè)于盒體10兩側(cè)的手柄11，其中，盒體10內(nèi)設(shè)有多個卡槽13，用于固定晶圓20?？ú?3的寬度通常大于晶圓20的厚度，即晶圓20可以在卡槽13內(nèi)具有一定的位移空間。晶圓20放置在金屬晶舟盒10是豎直放置，即晶圓20與水平面相互垂直。那么晶圓20極易在金屬晶舟盒10中的卡槽13內(nèi)左右晃動。通常情況下，由于金屬晶舟盒10非常重，在進(jìn)行運輸時，將金屬晶舟盒10放置在晶舟盒推車上進(jìn)行運輸。晶圓20的厚度隨著工藝的改善越來越薄，因此金屬晶舟盒10在運輸過程中晶圓20在卡槽13內(nèi)左右晃動時，發(fā)生破片的可能性非常大。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車，能夠在使用晶舟盒推車運輸金屬晶舟盒時，減少晶圓的晃動，避免發(fā)生破片。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種金屬晶舟盒固定裝置，包括:底座、底板及護(hù)欄，其中，所述底座頂部表面與水平面之間呈預(yù)定夾角，所述底座底部表面固定在所述底板上，所述護(hù)欄首尾相連組成方形固定在所述底板的上方，并與所述底板之間保持預(yù)定高度。
[0006]進(jìn)一步的，在所述的金屬晶舟盒固定裝置中，還包括:多個卡扣，所述卡扣固定在所述底板上。
[0007]進(jìn)一步的，在所述的金屬晶舟盒固定裝置中，所述卡扣為四個。
[0008]進(jìn)一步的，在所述的金屬晶舟盒固定裝置中，所述底座上表面與水平面之間的預(yù)定夾角范圍是10度?15度。
[0009]本實用新型還提出了一種晶舟盒推車，包括:車體、車輪及如上文所述的任一項金屬晶舟盒固定裝置，其中，所述車輪位于所述車體底面，所述金屬晶舟盒固定裝置固定在所述車體的頂面。
[0010]進(jìn)一步的，在所述的晶舟盒推車中，還包括推柄，所述推柄位于所述車體的一側(cè)。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的晶舟盒推車中，所述車體上設(shè)有多個孔洞。
[0012]進(jìn)一步的，在所述的晶舟盒推車中，所述金屬晶舟盒固定裝置通過卡扣和所述孔洞固定在所述車體的頂面。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)設(shè)有頂部表面具有一定傾斜角度，在金屬晶舟盒放置在金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)時，位于金屬晶舟盒內(nèi)的晶圓也會傾向一側(cè)，緊貼卡槽的一側(cè)，從而避免在傳輸金屬晶舟盒時晶圓在卡槽內(nèi)發(fā)生劇烈晃動，防止晶圓破片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中金屬晶舟盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實用新型一實施例中金屬晶舟盒固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實用新型一實施例中金屬晶舟盒固定裝置固定在晶舟盒推車上的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0017]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0018]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0019]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0020]請參考圖2，在本實施例中，提出了一種金屬晶舟盒固定裝置100，包括:底座110、底板120及護(hù)欄130，其中，所述底座110的頂部表面與水平面之間呈預(yù)定夾角，即所述底座I1的頂部表面為傾斜表面，所述底座110的底部表面固定在所述底板120上，所述護(hù)欄130首尾相連組成方形固定在所述底板120的上方，并與所述底板120之間保持預(yù)定高度。
[0021]所述金屬晶舟盒固定裝置100還包括多個卡扣140，所述卡扣140固定在所述底板110上。在本實施例中，卡扣140的個數(shù)優(yōu)選為4個，分別位于所述底板120的四個拐角處?？?40用于后續(xù)將金屬晶舟盒固定裝置100固定在晶舟盒推車上。
[0022]具體的，在本實施例中，所述底座110上表面與水平面之間的預(yù)定夾角范圍是10度?15度，例如是13度，所述底座110的材質(zhì)最佳為軟質(zhì)地，具有一定的彈性，能夠減少放置在其上的金屬晶舟盒的震動，進(jìn)一步的減少晶圓的晃動。此外，所述底座110與底板120可以為一體成型，也可以通過螺絲或者膠水黏貼在一起。所述護(hù)欄130與所述底板120也可以為一體成型或者通過螺絲固定在一起。其中，為了方便金屬晶舟盒能夠很好的放置在金屬晶舟盒固定裝置100內(nèi)，最佳的，所述護(hù)欄130的高度低于所述金屬晶舟盒的手柄高度。
[0023]在本實施例的另一方面，還提出了一種晶舟盒推車，包括:車體220、車輪210及如上文中所述的任一項金屬晶舟盒固定裝置100，其中，所述車輪210位于所述車體220的底面，所述金屬晶舟盒固定裝置100固定在所述車體220的頂面。此外，為了方便推動，所述晶舟盒推車還包括推柄230，所述推柄230位于所述車體220的一側(cè)。
[0024]具體的，所述車體220上設(shè)有多個孔洞240，所述金屬晶舟盒固定裝置100通過卡扣140和所述孔洞240固定在所述車體220的頂面。這樣即可將所述金屬晶舟盒固定裝置100固定在所述車體220上，防止金屬晶舟盒固定裝置100發(fā)生滑動和脫落。
[0025]綜上，在本實用新型實施例提供的金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車中，金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)設(shè)有頂部表面具有一定傾斜角度，在金屬晶舟盒放置在金屬晶舟盒固定裝置內(nèi)時，位于金屬晶舟盒內(nèi)的晶圓也會傾向一側(cè)，緊貼卡槽的一側(cè)，從而避免在傳輸金屬晶舟盒時晶圓在卡槽內(nèi)發(fā)生劇烈晃動，防止晶圓破片。
[0026]上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，包括:底座、底板及護(hù)欄，其中，所述底座頂部表面與水平面之間呈預(yù)定夾角，所述底座底部表面固定在所述底板上，所述護(hù)欄首尾相連組成方形固定在所述底板的上方，并與所述底板之間保持預(yù)定高度。
2.如權(quán)利要求1所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，還包括:多個卡扣，所述卡扣固定在所述底板上。
3.如權(quán)利要求2所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，所述卡扣為四個。
4.如權(quán)利要求1所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，所述底座上表面與水平面之間的預(yù)定夾角范圍是10度?15度。
5.一種晶舟盒推車，其特征在于，包括:車體、車輪及如權(quán)利要求1至4中所述的任一項金屬晶舟盒固定裝置，其中，所述車輪位于所述車體底面，所述金屬晶舟盒固定裝置固定在所述車體的頂面。
6.如權(quán)利要求5所述的晶舟盒推車，其特征在于，還包括推柄，所述推柄位于所述車體的一側(cè)。
7.如權(quán)利要求5所述的晶舟盒推車，其特征在于，所述車體上設(shè)有多個孔洞。
8.如權(quán)利要求7所述的晶舟盒推車，其特征在于，所述金屬晶舟盒固定裝置通過卡扣和所述孔洞固定在所述車體的頂面。
【文檔編號】H01L21/673GK204155913SQ201420553855
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月24日
【發(fā)明者】歐陽婧, 徐波, 趙娟 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司