一種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，包括1064nm波長(zhǎng)諧振腔、532nm波長(zhǎng)諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，用于使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換的棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)，以及設(shè)置于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和355nm波長(zhǎng)諧振腔出口端的棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元。本實(shí)用新型可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)以滿足加工多樣性，具有光學(xué)耦合簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、熱效應(yīng)小且比較均勻、倍頻效率高、激光器穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】—種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及激光器【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說(shuō)，特別涉及一種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器。

【背景技術(shù)】
[0002]激光加工技術(shù)作為先進(jìn)制造技術(shù)之一，在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造、加工技術(shù)革新、國(guó)防信息化等方面發(fā)揮著重要作用，激光被譽(yù)為“萬(wàn)能加工工具”、未來(lái)制造系統(tǒng)的共同加工手段。例如近年來(lái)，廣泛應(yīng)用于薄鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質(zhì)合金等金屬材料的切割、打標(biāo)、沖孔的1064nm紅外激光加工系統(tǒng)；以及最近幾年逐漸興起用于陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽(yáng)能電池片等材料的532nm綠光激光加工系統(tǒng)。
[0003]但是目前大部分激光器要不是單一波長(zhǎng)輸出，例如，專利“一種532nm綠光激光器(CN201320703515.9) ”等，要么是雙波長(zhǎng)同時(shí)輸出，如專利“紅綠雙波長(zhǎng)激光器” (CN02117364.8)等，不能自由切換選擇某一波長(zhǎng)輸出，即使目前有選擇波長(zhǎng)輸出的激光器也是幾種波長(zhǎng)分幾路分別同時(shí)輸出，相當(dāng)于幾臺(tái)激光器同時(shí)使用，如專利“一種風(fēng)速儀用三端輸出雙532nm與808nm波長(zhǎng)光纖激光”(CN201320659650.8)等，無(wú)法實(shí)現(xiàn)一棒多波長(zhǎng)輸出技術(shù)，使得激光器應(yīng)用起來(lái)比較繁瑣，不利于工業(yè)化現(xiàn)場(chǎng)的應(yīng)用。
[0004]因此，有必要研究一種1064nm及532自由切換的激光器，可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)，滿足加工的多樣性的需要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)以滿足加工多樣性的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0007]—種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器,包括1064nm波長(zhǎng)諧振腔、532nm波長(zhǎng)諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，用于使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換的棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)，以及設(shè)置于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和355nm波長(zhǎng)諧振腔出口端的棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元。
[0008]優(yōu)選地，還包括設(shè)置于泵浦模塊一側(cè)的全反鏡，以及依次設(shè)置的諧波鏡、第一輸出鏡，所述全反鏡的光軸與諧波鏡和第一輸出鏡構(gòu)成的光路的光軸平行，所述532nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡構(gòu)成的諧振腔。
[0009]優(yōu)選地，還包括第二輸出鏡，所述第二輸出鏡的光軸與全反鏡的光軸相互垂直，所述1064nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡和第二輸出鏡構(gòu)成的諧振腔。
[0010]優(yōu)選地，還包括設(shè)置于諧波鏡和第一輸出鏡之間的倍頻單元，該倍頻單元為一倍頻晶體。
[0011]優(yōu)選地，所述棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)包括設(shè)置于泵浦模塊另一側(cè)的第一直角棱鏡，以及驅(qū)動(dòng)所述第一直角棱鏡旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源，所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源用于驅(qū)動(dòng)第一直角棱鏡旋轉(zhuǎn)以使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換。
[0012]優(yōu)選地，所述泵浦模塊包括泵浦源和晶體，所述泵浦源和晶體形成側(cè)面抽運(yùn)模塊式結(jié)構(gòu)，且在泵浦模塊與全反鏡之間還設(shè)有Q開(kāi)關(guān)。
[0013]優(yōu)選地，所述棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元包括第二直角棱鏡，該第二直角棱鏡還與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源的動(dòng)力輸出端連接。
[0014]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源為電機(jī)或液壓馬達(dá)。
[0015]優(yōu)選地,還包括設(shè)置于第一直角棱鏡與諧波鏡之間的第一反射鏡，設(shè)置于第一輸出鏡與第二直角棱鏡之間的第二反射鏡，依次設(shè)置于第二輸出鏡與第二直角棱鏡之間的第三反射鏡和第四反射鏡。
[0016]優(yōu)選地，所述全反鏡為平面鏡，其右面鍍有1064nm高反膜；所述Q開(kāi)關(guān)的兩面均鍍有1064nm增透膜；所述諧波鏡為平面鏡，其右面鍍有1064增透膜，左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述倍頻晶體的兩面均鍍有1064nm和532nm增透膜；所述第一輸出鏡為平面鏡，其兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述第二輸出鏡為平面鏡，其兩面均鍍有透過(guò)率為30%的1064nm透膜；所述第一直角棱鏡和第二直角棱鏡的兩面均鍍有1064nm、532nm高反膜；所述第一反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡的反射面均鍍有1064nm高反膜；所述第二反射鏡的反射面鍍有532nm高反膜。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:本實(shí)用新型可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)以滿足加工多樣性，具有光學(xué)耦合簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、熱效應(yīng)小且比較均勻、倍頻效率高、激光器穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1是本實(shí)用新型所述基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器的示意圖。
[0020]圖2是本實(shí)用新型所述基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器處于1064nm波長(zhǎng)諧振腔的不意圖。
[0021]圖3是本實(shí)用新型所述基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器處于532nm波長(zhǎng)諧振腔的不意圖。
[0022]附圖標(biāo)記說(shuō)明:1、全反鏡，2、Q開(kāi)關(guān),3、泵浦源,4、晶體,5、第一直角棱鏡,6、第一反射鏡，7、諧波鏡，8、倍頻晶體，9、第一輸出鏡，10、第二反射鏡，11、第二直角棱鏡，12、第二輸出鏡，13、第三反射鏡，14、第四反射鏡，15、旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源。

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0024]參閱圖1所示，本實(shí)用新型提供一種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，包括1064nm波長(zhǎng)諧振腔、532nm波長(zhǎng)諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，用于使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換的棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)，以及設(shè)置于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和355nm波長(zhǎng)諧振腔出口端的棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元。
[0025]具體的，本實(shí)用新型的激光器還包括設(shè)置于泵浦模塊一側(cè)的全反鏡1，以及依次設(shè)置的諧波鏡7、第一輸出鏡9，所述的全反鏡I的光軸與諧波鏡7和第一輸出鏡9構(gòu)成的光路的光軸平行，所述的532nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡1、諧波鏡7和第一輸出鏡9構(gòu)成的諧振腔。且激光器還包括第二輸出鏡12，所述的第二輸出鏡12的光軸與全反鏡I的光軸相互垂直，所述的1064nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡I和第二輸出鏡12構(gòu)成的諧振腔。
[0026]具體的，本實(shí)用新型的激光器還包括設(shè)置于諧波鏡7和第一輸出鏡9之間的倍頻單元，該倍頻單元為一倍頻晶體8。
[0027]具體的，本實(shí)用新型中所述的棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)包括設(shè)置于泵浦模塊另一側(cè)的第一直角棱鏡5，以及驅(qū)動(dòng)所述第一直角棱鏡5旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源15，所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源15用于驅(qū)動(dòng)第一直角棱鏡5旋轉(zhuǎn)以使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換。
[0028]具體的，本實(shí)用新型中所述的泵浦模塊包括泵浦源3和晶體4，所述泵浦源3和晶體4形成側(cè)面抽運(yùn)模塊式結(jié)構(gòu)，且在泵浦模塊與全反鏡I之間還設(shè)有Q開(kāi)關(guān)2。
[0029]具體的，本實(shí)用新型中所述的棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元包括第二直角棱鏡11，該第二直角棱鏡11還與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源15的動(dòng)力輸出端連接。
[0030]作為優(yōu)選，所述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源15為電機(jī)或液壓馬達(dá)，本實(shí)施例優(yōu)選為電機(jī)。
[0031]具體的，本實(shí)用新型的激光器還包括設(shè)置于第一直角棱鏡5與諧波鏡7之間的第一反射鏡6,設(shè)置于第一輸出鏡與第二直角棱鏡11之間的第二反射鏡10,依次設(shè)置于第二輸出鏡12與第二直角棱鏡11之間的第三反射鏡13和第四反射鏡14。
[0032]本實(shí)用新型的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器的工作原理在于:由泵浦源3產(chǎn)生的泵浦光對(duì)晶體4進(jìn)行側(cè)面泵浦，晶體4發(fā)射的1064nm波長(zhǎng)激光經(jīng)過(guò)第一直角棱鏡5(反射面向下與光軸成45° )時(shí)，被旋轉(zhuǎn)90°傳送到垂直原光路向下的方向，激光振蕩于由全反射鏡I及第二輸出鏡12構(gòu)成的1064nm波長(zhǎng)諧振腔中(如圖2所示)，在Q開(kāi)關(guān)2的調(diào)制作用下產(chǎn)生脈沖激光，并由第二輸出鏡12輸出1064nm激光，再經(jīng)過(guò)第三反射鏡13和第四反射鏡14和第二直角棱鏡11 (反射面向下與光軸成45° )輸出。當(dāng)激光器需要輸出532nm紫外激光時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源15 (電機(jī))旋轉(zhuǎn)第一直角棱鏡5和第二直角棱鏡11，使第一直角棱鏡5和第二直角棱鏡11反射面向上與光軸成45° ;晶體4發(fā)射的1064nm激光經(jīng)過(guò)第一直角棱鏡5反射后,激光垂直原光路向上的方向傳輸。晶體4發(fā)射的1064nm波長(zhǎng)激光通過(guò)第一直角棱鏡5、第一反射鏡6、諧波鏡7、倍頻晶體8，經(jīng)過(guò)非線性頻率變換后得到532nm綠光，再經(jīng)過(guò)第一輸出鏡9、第二反射鏡10和第二直角棱鏡11輸出(如圖3所不)。
[0033]作為優(yōu)選，本實(shí)施例中所述的全反鏡I為平面鏡，其右面鍍有1064nm高反膜；所述的Q開(kāi)關(guān)2的兩面均鍍有1064nm增透膜，且Q開(kāi)關(guān)2的超聲頻率27.12MHz，射頻功率50W ；由于泵浦源3和晶體4是采用側(cè)面抽運(yùn)模塊，其最大輸出功率58W，整個(gè)組件采用三個(gè)等間距的抽運(yùn)激光二極管陣列，安裝三角形等間距排列抽運(yùn)棒狀Nd:YAG晶體，激光晶體棒尺寸為Φ4Χ97πιπι，摻雜濃度0.8%，中心波長(zhǎng)1064nm，晶體4兩面鍍1064nm增透膜；所述的諧波鏡7為平面鏡，其右面鍍有1064增透膜，左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述的倍頻晶體8的兩面均鍍有1064nm和532nm增透膜，且倍頻晶體8采用II類相位匹配的KTP晶體，KTP尺寸為4x4x10mm，切割角(Θ =90°，Φ = 23.5° );所述的第一輸出鏡9為平面鏡，其兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述的第二輸出鏡12為平面鏡，其兩面均鍍有透過(guò)率為30%的1064nm透膜；所述的第一直角棱鏡5和第二直角棱鏡11的兩面均鍍有1064nm、532nm高反膜；所述的第一反射鏡6、第三反射鏡13和第四反射鏡14的反射面均鍍有1064nm高反膜；所述的第二反射鏡10的反射面鍍有532nm高反膜。
[0034]本實(shí)用新型的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器的優(yōu)點(diǎn)在于:1、采用側(cè)面泵浦、腔內(nèi)倍頻、直腔的結(jié)構(gòu)方式，具有光學(xué)耦合簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、熱效應(yīng)小且比較均勻、倍頻效率高、激光器穩(wěn)定性好等特點(diǎn)；且泵浦源的個(gè)數(shù)與激光棒的表面積相對(duì)成比例，可以簡(jiǎn)單的增加激光工作物質(zhì)的長(zhǎng)度和泵浦源數(shù)量來(lái)提高輸出功率，使激光的輸出功率高。2、采用的1064nm和532nm兩個(gè)波長(zhǎng)，是目前激光加工應(yīng)用中最為廣泛的波長(zhǎng)，能夠滿足薄鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質(zhì)合金等金屬材料的切割、打標(biāo)、沖孔；以及陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽(yáng)能電池片等非金屬材料的切割、鉆孔；集成了此雙波長(zhǎng)自由切換輸出激光器的加工設(shè)備，等于過(guò)去一臺(tái)1064nm紅外激光加工設(shè)備加上一臺(tái)532nm綠光加工設(shè)備的功能，兩波長(zhǎng)輸出同軸，這樣加工設(shè)備米用的光學(xué)系統(tǒng)只需一套，價(jià)格將大大降低，同時(shí)減少設(shè)備占用的生產(chǎn)空間。特別是在1064nm和355nm復(fù)合應(yīng)用領(lǐng)域，加工件一次裝卡，無(wú)需重新定位就可以完成幾道工序，減少了加工工序，減少生產(chǎn)時(shí)間，提高工作效率。3、采用電機(jī)旋轉(zhuǎn)棱鏡作為波長(zhǎng)自由選擇的切換系統(tǒng)的核心部件，通過(guò)電機(jī)旋轉(zhuǎn)棱鏡的運(yùn)動(dòng)，使得激光器在1064nm輸出鏡和倍頻晶體單兀中選擇其一,從而使激光振蕩于1064nm波長(zhǎng)諧振腔或者532nm波長(zhǎng)諧振腔中，相應(yīng)的輸出對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)的激光，實(shí)現(xiàn)一棒多波長(zhǎng)輸出技術(shù)，使得激光器應(yīng)用起來(lái)比較方便，有利于工業(yè)化現(xiàn)場(chǎng)的應(yīng)用，滿足加工的多樣性需要。4、激光器切換通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)棱鏡選擇波長(zhǎng)，不需要為不同波長(zhǎng)的激光分光的相關(guān)元器件，減少影響功率損耗的環(huán)節(jié)，提高了輸出功率。
[0035]雖然結(jié)合附圖描述了本實(shí)用新型的實(shí)施方式，但是專利所有者可以在所附權(quán)利要求的范圍之內(nèi)做出各種變形或修改，只要不超過(guò)本實(shí)用新型的權(quán)利要求所描述的保護(hù)范圍，都應(yīng)當(dāng)在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器,其特征在于:包括1064nm波長(zhǎng)諧振腔、532nm波長(zhǎng)諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，用于使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換的棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)，以及設(shè)置于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和355nm波長(zhǎng)諧振腔出口端的棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:還包括設(shè)置于泵浦模塊一側(cè)的全反鏡(I)，以及依次設(shè)置的諧波鏡(7)、第一輸出鏡(9)，所述全反鏡(I)的光軸與諧波鏡(7)和第一輸出鏡(9)構(gòu)成的光路的光軸平行，所述532nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡(I)、諧波鏡(7)和第一輸出鏡(9)構(gòu)成的諧振腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:還包括第二輸出鏡(12),所述第二輸出鏡(12)的光軸與全反鏡(I)的光軸相互垂直，所述1064nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡(I)和第二輸出鏡(12)構(gòu)成的諧振腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:還包括設(shè)置于諧波鏡(7)和第一輸出鏡(9)之間的倍頻單元，該倍頻單元為一倍頻晶體⑶。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:所述棱鏡旋轉(zhuǎn)型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)包括設(shè)置于泵浦模塊另一側(cè)的第一直角棱鏡(5)，以及驅(qū)動(dòng)所述第一直角棱鏡(5)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源(15)，所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源(15)用于驅(qū)動(dòng)第一直角棱鏡(5)旋轉(zhuǎn)以使泵浦模塊輸出的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:所述泵浦模塊包括泵浦源(3)和晶體(4)，所述泵浦源(3)和晶體(4)形成側(cè)面抽運(yùn)模塊式結(jié)構(gòu)，且在泵浦模塊與全反鏡(I)之間還設(shè)有Q開(kāi)關(guān)(2)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:所述棱鏡旋轉(zhuǎn)型輸出單元包括第二直角棱鏡(11)，該第二直角棱鏡(11)還與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源(15)的動(dòng)力輸出端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源(15)為電機(jī)或液壓馬達(dá)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:還包括設(shè)置于第一直角棱鏡(5)與諧波鏡(7)之間的第一反射鏡(6)，設(shè)置于第一輸出鏡與第二直角棱鏡(11)之間的第二反射鏡(10),依次設(shè)置于第二輸出鏡(12)與第二直角棱鏡(11)之間的第三反射鏡(13)和第四反射鏡(14)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于棱鏡旋轉(zhuǎn)的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，其特征在于:所述全反鏡(I)為平面鏡，其右面鍍有1064nm高反膜；所述Q開(kāi)關(guān)(2)的兩面均鍍有1064nm增透膜；所述諧波鏡(7)為平面鏡，其右面鍍有1064增透膜，左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述倍頻晶體(8)的兩面均鍍有1064nm和532nm增透膜；所述第一輸出鏡(9)為平面鏡，其兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述第二輸出鏡(12)為平面鏡，其兩面均鍍有透過(guò)率為30%的1064nm透膜；所述第一直角棱鏡(5)和第二直角棱鏡(11)的兩面均鍍有1064nm、532nm高反膜；所述第一反射鏡(6)、第三反射鏡(13)和第四反射鏡(14)的反射面均鍍有1064nm高反膜；所述第二反射鏡(10)的反射面 鍍有532nm高反膜。
【文檔編號(hào)】H01S3/10GK204118462SQ201420569885
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月29日
【發(fā)明者】陳義紅, 何鐵鋒, 陳聰, 李貴林 申請(qǐng)人:廣州安特激光技術(shù)有限公司