一種芯片專用清洗治具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種芯片專用清洗治具。治具包括底板和側(cè)板，所述側(cè)板包括平行的第一側(cè)板和第二側(cè)板、與第一側(cè)板垂直的第三側(cè)板和第四側(cè)板，其特征在于，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側(cè)板平行，所述豎板與第三側(cè)板平行，所述橫板的兩側(cè)均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側(cè)板和第二側(cè)板朝里的一側(cè)也連接有與第一側(cè)板垂直的限位板。本實用新型的治具對芯片清洗的效果好且損傷小，一次可清洗多個芯片，限位板對芯片起限位作用，在清洗時，芯片不會隨著清洗液流動而與治具側(cè)板或者芯片互相之間發(fā)生摩擦，減少對芯片的損害，限位板之間的間隔可以充分讓清洗液接觸芯片。
【專利說明】一種芯片專用清洗治具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗裝置，尤其涉及一種芯片專用清洗治具。

【背景技術(shù)】
[0002]芯片清洗是每一個芯片制備過程中必不可少的過程，其目的在于使芯片表面的污染物盡可能地降低，使得元件獲得良好而穩(wěn)定的特性，以及使制程具有良好的再現(xiàn)性。
[0003]申請?zhí)枮?01310311113.9的《一種LED芯片清洗提籃》公開了一種LED芯片清洗提籃。清洗提籃包括:抓取板、調(diào)整板、調(diào)整螺釘、前后板、固定板，前后板與兩個固定板組成提籃主體，前后板與固定底部設有調(diào)整板，調(diào)整板一端通過圓軸固定在前后板上，另一端通過調(diào)整螺釘連接在固定板上，調(diào)整板角度通過調(diào)整螺釘，其傾斜角度可在0° -6°之間任意調(diào)節(jié)；前后板上端設有抓取板，用于抓取提籃。該提籃清洗效果好，但容易對芯片表面造成磨損。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種芯片專用清洗治具。
[0005]本實用新型是通過以下技術(shù)方案來完成的:
[0006]一種芯片專用清洗治具，包括底板和側(cè)板，所述側(cè)板包括平行的第一側(cè)板和第二側(cè)板、與第一側(cè)板垂直的第三側(cè)板和第四側(cè)板，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側(cè)板平行，所述豎板與第三側(cè)板平行，所述橫板的兩側(cè)均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側(cè)板和第二側(cè)板朝里的一側(cè)也連接有與第一側(cè)板垂直的限位板。
[0007]所述的一種芯片專用清洗治具，所述底板有多個，互相平行設置，所述第三側(cè)板和第四側(cè)板上開有多個相對的凹槽，可同時放置多個底板。
[0008]所述的一種芯片專用清洗治具，所述限位板的上端為斜面。
[0009]所述的一種芯片專用清洗治具，所述一個橫板上的多個限位板之間的間隔相等。
[0010]所述的一種芯片專用清洗治具，所述不同橫板上的限位板的長度相等。
[0011]所述的一種芯片專用清洗治具，所述豎板上開有網(wǎng)格狀通孔。
[0012]本實用新型所達到的有益效果:本實用新型的治具對芯片清洗的效果好且損傷小，一次可清洗多個芯片，限位板對芯片起限位作用，在清洗時，芯片不會隨著清洗液流動而與治具側(cè)板或者芯片互相之間發(fā)生摩擦，減少對芯片的損害，限位板之間的間隔可以充分讓清洗液接觸芯片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的俯視圖。
[0014]圖2為圖1的AA向剖視圖。
[0015]圖中:1、底板,21、第一側(cè)板，22、第二側(cè)板，23、第三側(cè)版，24、第四側(cè)板，3、橫板，4、豎板，5、限位板，6、網(wǎng)格狀通孔。

【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0017]如圖所示，本實用新型的一種芯片專用清洗治具，包括底板1和側(cè)板，所述側(cè)板包括平行的第一側(cè)板21和第二側(cè)板22、與第一側(cè)板21垂直的第三側(cè)板23和第四側(cè)板24，所述底板1上設置有多個橫板3和多個豎板4，所述橫板3與第一側(cè)板21平行，所述豎板4與第三側(cè)板23平行，所述橫板3的兩側(cè)均連接有多個與橫板2垂直的限位板5，第一側(cè)板21和第二側(cè)板22朝里的一側(cè)也連接有與第一側(cè)板21垂直的限位板5。所述限位板5的上端為斜面。所述一個橫板3上的多個限位板5之間的間隔相等。所述不同橫板3上的限位板5的長度相等。所述豎板4上開有網(wǎng)格狀通孔6。
[0018]限位板5上端為斜面方便取放芯片；豎版4上的網(wǎng)格狀通孔6，可以充分讓清洗液進入治具，多個限位板5之間的間隔相等，限位板5的長度相等，方便制作。
[0019]圖1和2所示的為只有一層底板的治具的示意圖，但是底板1可以有多個，多個底板互相平行設置，在第三側(cè)板23和第四側(cè)板24上開有多個相對的凹槽(未示出)，則可同時放置多個底板1。底板1為多個即可增加一次清洗芯片的量，由于底板1可放置在第三側(cè)板23和第四側(cè)板24上開有多個相對的凹槽(未示出)上，則根據(jù)清洗的數(shù)量選擇底板1的多少；
[0020]本實用新型的治具在使用時，將芯片置于橫板3上的限位板5之間，限位板對芯片起一個限位作用，即可將治具置于超聲波清洗機中進行清洗。
[0021]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種芯片專用清洗治具，包括底板和側(cè)板，所述側(cè)板包括平行的第一側(cè)板和第二側(cè)板、與第一側(cè)板垂直的第三側(cè)板和第四側(cè)板，其特征在于，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側(cè)板平行，所述豎板與第三側(cè)板平行，所述橫板的兩側(cè)均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側(cè)板和第二側(cè)板朝里的一側(cè)也連接有與第一側(cè)板垂直的限位板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述底板有多個，互相平行設置，所述第三側(cè)板和第四側(cè)板上開有多個相對的凹槽，可同時放置多個底板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述限位板的上端為斜面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述一個橫板上的多個限位板之間的間隔相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述不同橫板上的限位板的長度相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述豎板上開有網(wǎng)格狀通孔。
【文檔編號】H01L21/68GK204220588SQ201420570477
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】周天毫 申請人:蘇州速騰電子科技有限公司