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      用于對疊加的硅片進行分離的裝置制造方法

      文檔序號:7091811閱讀:437來源:國知局
      用于對疊加的硅片進行分離的裝置制造方法
      【專利摘要】本實用新型公開了一種用于對疊加的硅片進行分離的裝置,隔離容器內(nèi)部的側(cè)壁內(nèi)凹形成凹槽,凹槽與隔離容器開口端連通,隔離容器中設置有底盤,底盤能夠沿著凹槽進行鉛垂方向的移動,底盤上安裝有重力傳感器,隔離容器的正上方設置有分離導帶,隔離容器的側(cè)壁設置有傳送導出導帶,傳送導出導帶靠近隔離容器中設置有凹槽的側(cè)壁,隔離容器的側(cè)壁頂端內(nèi)凹形成導出槽,導出槽與凹槽連通,底盤下方設置有上升裝置,上升裝置的頂端與底盤底端中心固定,上升裝置能夠推動底盤在鉛垂方向進行移動。該裝置克服現(xiàn)有分選硅片時人工分選插片效率低下和機械吸盤手分片容易產(chǎn)生碎片的缺點,利用導帶傳動對硅片進行傳導分離。
      【專利說明】用于對疊加的硅片進行分離的裝置

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001 ] 本實用新型涉及光伏領(lǐng)域,具體地,涉及一種用于對疊加的硅片進行分離的裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0002]硅是一種四價的非金屬元素,以化合物的形式,作為僅次于氧的最豐富的元素存在于地殼中,主要以熔點很高的氧化物和硅酸鹽的形式存在。在自然界中幾乎沒有游離態(tài)的硅。通常是在電爐中由碳還原二氧化硅而制得的,主要以合金的形式使用(如硅鐵合金),也與陶瓷材料一起用于金屬陶瓷中,或用作半導體材料(如在晶體管中)和光生電池的元件。
      [0003]晶體硅為鋼灰色,無定形硅為黑色,密度2.4g/cm3,熔點1414°C,沸點2355°C,晶體硅屬于原子晶體,硬而有光澤,有半導體性質(zhì)。硅的結(jié)構(gòu)與金剛石類似,是正四面體結(jié)構(gòu)。硅的化學性質(zhì)比較活潑,在高溫下能與氧氣等多種元素化合,不溶于水、硝酸和鹽酸,溶于氫氟酸和堿液,用于造制合金如硅鐵、硅鋼等,單晶硅是一種重要的半導體材料,用于制造大功率晶體管、整流器、太陽能電池等。硅在自然界分布極廣,地殼中約含27.6%,主要以二氧化娃和娃酸鹽的形式存在。地殼中,娃的含量在所有兀素中含量僅次于氧,居第二。其形狀分為結(jié)晶形和網(wǎng)狀形
      [0004]結(jié)晶型的硅是暗黑藍色的,很脆,是典型的半導體?;瘜W性質(zhì)非常穩(wěn)定。在常溫下,除氟化氫以外,很難與其他物質(zhì)發(fā)生反應。
      [0005]太陽能電池生產(chǎn)過程中,硅片后期進行分選插花籃主要是通過人工分選插片或者機械吸盤手進行分選插片,人工分選插片耗時較長,嚴重影響生產(chǎn)產(chǎn)量;而吸盤手機械插片時產(chǎn)生裂片、碎片的概率比較大,且設備容易出現(xiàn)故障,影響產(chǎn)量。
      實用新型內(nèi)容
      [0006]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于對疊加的硅片進行分離的裝置,該裝置克服現(xiàn)有分選硅片時人工分選插片效率低下和機械吸盤手分片容易產(chǎn)生碎片的缺點,利用導帶傳動對硅片進行傳導分離。
      [0007]本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是:用于對疊加的硅片進行分離的裝置,包括內(nèi)部中空且兩端開口的隔離容器,所述隔離容器內(nèi)部相互對稱的側(cè)壁內(nèi)凹形成凹槽,且凹槽的兩端分別與隔離容器對應的開口端連通,隔離容器中設置有底盤,底盤的側(cè)壁分別設置在對應的凹槽中,且底盤的側(cè)壁與凹槽的側(cè)壁或者底面接觸,底盤能夠沿著凹槽進行鉛垂方向的移動,底盤上安裝有重力傳感器,重力傳感器的頂端與底盤的頂端設置在同一平面中,隔離容器的正上方設置有分離導帶,且分離導帶的底端與隔離容器的頂端之間的距離小于一塊待分離的硅片的厚度,隔離容器的側(cè)壁設置有傳送導出導帶,傳送導出導帶靠近隔離容器中設置有凹槽的側(cè)壁,隔離容器靠近傳送導出導帶的側(cè)壁頂端內(nèi)凹形成導出槽,且導出槽與凹槽連通,導出槽的寬度大于凹槽的寬度,導出槽的深度小于一塊待分離的硅片的厚度,且傳送導出導帶的頂端與導出槽的底端設置在同一平面中,底盤下方設置有上升裝置,上升裝置的頂端與底盤底端中心固定,且上升裝置能夠推動底盤在鉛垂方向進行移動。分離導帶和傳送導出導帶采用現(xiàn)有的傳輸結(jié)構(gòu),分離導帶和傳送導出導帶都是采用兩個轉(zhuǎn)輪外壁套上摩擦帶,硅片重疊放置在隔離容器中,在上升裝置的作用下推動硅片在鉛垂方向上升,當最上方的硅片逐漸接近分離導帶時,由于分離導帶具有很大的摩擦性,在硅片與分離導帶接觸是,分離導帶能夠帶著硅片向著右方水平移動,導出槽的寬度大于凹槽的寬度,導出槽的深度小于一塊待分離的硅片的厚度能夠使得硅片順利地從隔離容器中移出來,隔離容器的側(cè)壁設置有傳送導出導帶,傳送導出導帶能夠接住分離導帶移出來的硅片,重復上述過程,就能夠?qū)崿F(xiàn)所有硅片的分離以及移出,當所有的硅片移出后,底盤上設置的重力傳感器檢測到重量低于設定值,就提供信號反饋,在上述技術(shù)方案中,利用此種傳送方式既能提高工作效率,還可以避免硅片在機械吸盤手分片方式中產(chǎn)生碎片。
      [0008]所述上升裝置包括支撐柱,支撐柱的底端固定有底座,支撐柱的頂端與底盤底端中心接觸,支撐柱的外壁上套合有彈簧,彈簧的兩端分別與底座和底盤底端中心接觸,彈簧能夠推動底盤在鉛垂方向進行移動,所述重力傳感器連接有控制箱,且分離導帶和傳送導出導帶均與控制箱連接。本方案是采用機械式提升,利用彈簧的彈力使得底盤上升,成本低。
      [0009]所述上升裝置包括液壓缸以及設置在液壓缸中的活塞桿,活塞桿的頂端穿過液壓缸的頂端與底盤底端中心固定,液壓缸連接有液壓泵,液壓泵連接有液壓池和控制箱,且重力傳感器、分離導帶和傳送導出導帶均與控制箱連接。本方案是采用液壓式提升,利用液壓力使得底盤上升,工作平穩(wěn),能夠?qū)μ嵘^程進行精確控制。還可以使用氣動上升,計時上升方式,用于對疊加待分離硅片進行抬升。
      [0010]所述分離導帶和傳送導出導帶均連接有支架,支架與地面固定。支架是用于支撐分離導帶和傳送導出導帶,使得傳送帶能夠在承受硅片重量的基礎(chǔ)上進行移動。
      [0011]綜上,本實用新型的有益效果是:
      [0012](I)、避免人工插片工復選時工作效率低下,提高產(chǎn)能;
      [0013](2)、避免機械吸盤手分選時碎片率高的缺點。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0014]圖1是液壓動力的分離裝置;
      [0015]圖2是彈簧動力的分離裝置。
      [0016]附圖中標記及相應的零部件名稱:1一液壓池;2—液壓缸;3—活塞桿;4一重力傳感器;5—底盤;6—硅片;7—隔離容器;8—傳送導出導帶;9一導出槽;10—支撐柱;11 一分離導帶;12—凹槽;13—控制箱;14一液壓泵;15—支架;16—彈簧;17—底座。

      【具體實施方式】
      [0017]下面結(jié)合實施例及附圖,對本實用新型作進一步地的詳細說明,但本實用新型的實施方式不限于此。
      [0018]實施例1:
      [0019]如圖1、圖2所示,用于對疊加的硅片進行分離的裝置,包括內(nèi)部中空且兩端開口的隔離容器7,所述隔離容器7內(nèi)部相互對稱的側(cè)壁內(nèi)凹形成凹槽12,且凹槽12的兩端分別與隔離容器7對應的開口端連通,隔離容器7中設置有底盤5,底盤5的側(cè)壁分別設置在對應的凹槽12中,且底盤5的側(cè)壁與凹槽12的側(cè)壁或者底面接觸,底盤5能夠沿著凹槽12進行鉛垂方向的移動,底盤5上安裝有重力傳感器4,重力傳感器4的頂端與底盤5的頂端設置在同一平面中,隔離容器7的正上方設置有分離導帶11,且分離導帶11的底端與隔離容器7的頂端之間的距離小于一塊待分離的硅片的厚度,隔離容器7的側(cè)壁設置有傳送導出導帶8,傳送導出導帶8靠近隔離容器7中設置有凹槽12的側(cè)壁,隔離容器7靠近傳送導出導帶8的側(cè)壁頂端內(nèi)凹形成導出槽9,且導出槽9與凹槽12連通,導出槽9的寬度大于凹槽12的寬度,導出槽9的深度小于一塊待分離的硅片的厚度,且傳送導出導帶8的頂端與導出槽9的底端設置在同一平面中,底盤5下方設置有上升裝置,上升裝置的頂端與底盤5底端中心固定,且上升裝置能夠推動底盤5在鉛垂方向進行移動。本實用新型主要針對清洗過后烘干的疊加硅片進行分離,將疊加的硅片6放入硅片隔離容器7的上升底盤5上,上升裝置緩慢帶動上升底盤5進行抬升,疊加的待分離硅片在抬升到超過隔離容器口的時候會被上部分離導帶11迅速帶出往傳送導帶8處,實現(xiàn)了疊加硅片的分離。在安裝過程,為了保證硅片在隔離容器7中疊放的整齊,設置了凹槽12,使得硅片卡入凹槽12中,并且底盤5能夠在凹槽12中移動,使得上升裝置推動上升時受力方向是向上的,重力傳感器4對底盤上硅片重量進行感應,避免硅片完全從底盤上移出后底盤與分離導帶11產(chǎn)生碰撞。該裝置克服現(xiàn)有分選硅片時人工分選插片效率低下和機械吸盤手分片容易產(chǎn)生碎片的缺點。
      [0020]實施例2:
      [0021]如圖2所示,在實施例1的基礎(chǔ)上,所述上升裝置包括支撐柱10,支撐柱10的底端固定有底座17,支撐柱10的頂端與底盤5底端中心接觸,支撐柱10的外壁上套合有彈簧16,彈簧16的兩端分別與底座17和底盤5底端中心接觸,彈簧16能夠推動底盤5在鉛垂方向進行移動,所述重力傳感器4連接有控制箱13,且分離導帶11和傳送導出導帶8均與控制箱13連接;所述分離導帶11和傳送導出導帶8均連接有支架15,支架15與地面固定。支架15是對分離導帶11和傳送導出導帶8提供支撐的部件,使得分離導帶11和傳送導出導帶8能夠進行持續(xù)穩(wěn)定的工作,彈簧在硅片較多時壓縮套合在支撐柱10上,隨著硅片的分離移出,重量減輕,彈簧逐漸恢復,推動底盤上移,保持硅片能夠與分離導帶11靠近接觸。彈簧推動是作為機械式上升的一種結(jié)構(gòu),使用的部件少,成本低。
      [0022]實施例3:
      [0023]如圖1所示,在實施例1的基礎(chǔ)上,所述上升裝置包括液壓缸2以及設置在液壓缸2中的活塞桿3,活塞桿3的頂端穿過液壓缸2的頂端與底盤5底端中心固定,液壓缸2連接有液壓泵14,液壓泵14連接有液壓池I和控制箱13,且重力傳感器4、分離導帶11和傳送導出導帶8均與控制箱13連接;所述分離導帶11和傳送導出導帶8均連接有支架15,支架15與地面固定。液壓式上升,通過液壓泵14注入液壓油使得活塞桿進行推動,將底盤上升,重力傳感器4將檢測到的信號反饋到控制箱13中,控制箱13控制液壓泵14的工作頻率,使得底盤上升的速度和位置能夠進行精確的控制,傳動的效率高。
      [0024]上升裝置可根據(jù)效果使用壓力上升裝置,氣動上升裝置,計時上升裝置代替。
      [0025]如上所述,可較好的實現(xiàn)本實用新型。
      【權(quán)利要求】
      1.用于對疊加的硅片進行分離的裝置,其特征在于,包括內(nèi)部中空且兩端開口的隔離容器(7),所述隔離容器(7)內(nèi)部相互對稱的側(cè)壁內(nèi)凹形成凹槽(12),且凹槽(12)的兩端分別與隔離容器(7)對應的開口端連通,隔離容器(7)中設置有底盤(5),底盤(5)的側(cè)壁分別設置在對應的凹槽(12)中,且底盤(5)的側(cè)壁與凹槽(12)的側(cè)壁或者底面接觸,底盤(5)能夠沿著凹槽(12)進行鉛垂方向的移動,底盤(5)上安裝有重力傳感器(4),重力傳感器(4)的頂端與底盤(5)的頂端設置在同一平面中,隔離容器(7)的正上方設置有分離導帶(11),且分離導帶(11)的底端與隔離容器(7)的頂端之間的距離小于一塊待分離的硅片的厚度,隔離容器(7)的側(cè)壁設置有傳送導出導帶(8),傳送導出導帶(8)靠近隔離容器(7)中設置有凹槽(12)的側(cè)壁,隔離容器(7)靠近傳送導出導帶(8)的側(cè)壁頂端內(nèi)凹形成導出槽(9),且導出槽(9)與凹槽(12)連通,導出槽(9)的寬度大于凹槽(12)的寬度,導出槽(9)的深度小于一塊待分離的硅片的厚度,且傳送導出導帶(8)的頂端與導出槽(9)的底端設置在同一平面中,底盤(5)下方設置有上升裝置,上升裝置的頂端與底盤(5)底端中心固定,且上升裝置能夠推動底盤(5 )在鉛垂方向進行移動。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置,其特征在于,所述上升裝置包括支撐柱(10),支撐柱(10)的底端固定有底座(17),支撐柱(10)的頂端與底盤(5)底端中心接觸,支撐柱(10)的外壁上套合有彈簧(16),彈簧(16)的兩端分別與底座(17)和底盤(5)底端中心接觸,彈簧(16)能夠推動底盤(5)在鉛垂方向進行移動,所述重力傳感器(4)連接有控制箱(13),且分離導帶(11)和傳送導出導帶(8)均與控制箱(13)連接。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置,其特征在于,所述上升裝置包括液壓缸(2)以及設置在液壓缸(2)中的活塞桿(3),活塞桿(3)的頂端穿過液壓缸(2)的頂端與底盤(5)底端中心固定,液壓缸(2)連接有液壓泵(14),液壓泵(14)連接有液壓池(I)和控制箱(13),且重力傳感器(4)、分離導帶(11)和傳送導出導帶(8)均與控制箱(13)連接。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置,其特征在于,所述分離導帶(11)和傳送導出導帶(8)均連接有支架(15),支架(15)與地面固定。
      【文檔編號】H01L31/18GK204118104SQ201420589239
      【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月13日
      【發(fā)明者】陳博, 劉興翀, 林洪峰 申請人:天威新能源控股有限公司
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