藍(lán)寶石襯底擺放架的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)配套設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種藍(lán)寶石襯底擺放架，它包括架體，所述架體為規(guī)則形狀；在架體上呈直線型或環(huán)型設(shè)有若干個(gè)向上凸起的擋塊，擋塊之間的間隔相同；且擋塊為直線型設(shè)置時(shí)，最外側(cè)的兩塊擋塊位于架體的側(cè)邊。該藍(lán)寶石襯底擺放架，可有效的將藍(lán)寶石襯底進(jìn)行逐一分隔，避免其貼合擺放過(guò)程中發(fā)生靜電粘合等情況，方便了后續(xù)加工工序時(shí)的取用，提高了加工效率。同時(shí)可避免藍(lán)寶石襯底在擺放過(guò)程中收到損壞，提高擺放過(guò)程的安全性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】藍(lán)寶石襯底擺放架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型的涉及藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)配套設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種藍(lán)寶石襯底擺放架。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在藍(lán)寶石生產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于藍(lán)寶石襯底的擺放一般都是放置在擺放架上，層疊放置，這樣容易造成藍(lán)寶石襯底之間容易吸附，造成后續(xù)加工過(guò)程中難以分開(kāi)，影響正常加工，降低加工效率，而且在分開(kāi)過(guò)程中容易造成藍(lán)寶石襯底受損。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在擺放藍(lán)寶石襯底時(shí)能有效將藍(lán)寶石襯底分隔開(kāi)且便于藍(lán)寶石襯底的取用的藍(lán)寶石襯底擺放架。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的藍(lán)寶石襯底擺放架，它包括架體，所述架體為規(guī)則形狀；在架體上呈直線型或環(huán)型設(shè)有若干個(gè)向上凸起的擋塊，擋塊之間的間隔相同；且擋塊為直線型設(shè)置時(shí)，最外側(cè)的兩塊擋塊位于架體的側(cè)邊。
[0005]上述技術(shù)方案，在架體上設(shè)有若干擋塊，在擋塊之間擺放藍(lán)寶石襯底，可有效的避免相互之間的藍(lán)寶石襯底發(fā)生靜電粘連或因貼合密切而造成負(fù)壓粘連而難以分開(kāi)，從而該結(jié)構(gòu)更加方便的將藍(lán)寶石襯底分開(kāi)，也便于后續(xù)的取用；同時(shí)可根據(jù)不同使用功能的需求選擇不同形狀的架體，當(dāng)架體為環(huán)狀或圓盤(pán)形或其他非線條形狀時(shí)，則將擋塊呈環(huán)型設(shè)置在其上表面；而當(dāng)架體為直線型或其他線形結(jié)構(gòu)時(shí)，擋塊則成線形設(shè)置在架體上；上述設(shè)置方法可促使擋塊與架體的功能配合。
[0006]作為優(yōu)化，所述擋塊的兩側(cè)面向中心傾斜；擋塊的橫截面為正放的梯形或正放的等腰三角形。該結(jié)構(gòu)可使得擋塊與藍(lán)寶石襯底相接觸的側(cè)面為斜面，在藍(lán)寶石襯底在擺放發(fā)生傾斜時(shí)能與擋塊的整個(gè)側(cè)面接觸，避免發(fā)生線接觸而造成藍(lán)寶石襯底的側(cè)面發(fā)生損壞。
[0007]在架體正面的兩個(gè)擋塊之間設(shè)有弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)，弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)在架體正面的開(kāi)口的寬度小于架體的正面寬度；弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)的圓心角小于180°。該結(jié)構(gòu)的設(shè)置，在架體上擺放矩形藍(lán)寶石襯底時(shí)，可直接擱置在弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)的外側(cè)的架體的正面，擺放穩(wěn)定；而當(dāng)需要在架體上擺放圓形或類(lèi)圓形藍(lán)寶石襯底時(shí)，可將其擱置在弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)內(nèi)，使其在架體上的擺放更加穩(wěn)定，移動(dòng)過(guò)程中不會(huì)發(fā)生掉落等情況。
[0008]在每個(gè)擋塊的內(nèi)部設(shè)有豎直向上的出氣管，出氣管均與導(dǎo)氣管連通，導(dǎo)氣管的一端或兩端連接有進(jìn)氣源。該結(jié)構(gòu)利用進(jìn)氣源想出氣管內(nèi)輸送壓縮空氣，并從其上方豎直噴出，從而使得擋塊上方構(gòu)筑成一道氣柱，并形成扇形的較高壓空氣帶，促使藍(lán)寶石襯底始終豎直位于擋塊之間的架體表面，且能避免其與擋塊之間的接觸，能盡可能的減小對(duì)藍(lán)寶石襯底發(fā)生損壞的可能性，提高設(shè)備的實(shí)用新型。
[0009]所述架體內(nèi)部為中空管狀結(jié)構(gòu)，所述中空管狀結(jié)構(gòu)即為導(dǎo)氣管，在架體的中空管狀結(jié)構(gòu)的端部設(shè)有導(dǎo)氣管的副管，導(dǎo)氣管的副管與進(jìn)氣源連接。該結(jié)構(gòu)可使得導(dǎo)氣管與架體為一體結(jié)構(gòu)，方便設(shè)備的整體移動(dòng)，同時(shí)可提高設(shè)備的使用性能，減少其故障率。
[0010]在每個(gè)擋塊內(nèi)部設(shè)有多個(gè)豎直向上的出氣管，同一個(gè)擋塊上的出氣管在架體的寬度方向間隔并排設(shè)置；各個(gè)出氣管均與導(dǎo)氣管連通。該結(jié)構(gòu)可在擋塊上方形成空氣墻，其對(duì)藍(lán)寶石襯底的支撐更加穩(wěn)定，進(jìn)一步提高設(shè)備的使用性能。
[0011]在導(dǎo)氣管的兩端的副管上設(shè)有流量控制閥，控制空氣進(jìn)入量，通過(guò)空氣進(jìn)入量的控制，可實(shí)現(xiàn)空氣墻的壓力，以適應(yīng)對(duì)不同厚度及重量的藍(lán)寶石襯底的支撐，提高設(shè)備的適用性。
[0012]所述的副管的端部設(shè)有快接接口，副管通過(guò)快接接口與進(jìn)氣源連接。該結(jié)構(gòu)方便擺放架更換位置時(shí)與進(jìn)氣源的連接，連接更加簡(jiǎn)單，密封性好。
[0013]本實(shí)用新型所得到的藍(lán)寶石襯底擺放架，可有效的將藍(lán)寶石襯底進(jìn)行逐一分隔，避免其貼合擺放過(guò)程中發(fā)生靜電粘合等情況，方便了后續(xù)加工工序時(shí)的取用，提高了加工效率。同時(shí)可避免藍(lán)寶石襯底在擺放過(guò)程中收到損壞，提高擺放過(guò)程的安全性。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的主視圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0016]下面通過(guò)實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
[0017]實(shí)施例1:
[0018]如圖1、圖2所示，本實(shí)施例描述的藍(lán)寶石襯底擺放架，它包括架體I，所述架體I為條狀結(jié)構(gòu)；在架體I上呈直線型設(shè)有若干個(gè)向上凸起的擋塊2，擋塊2之間的間隔相同，且最外側(cè)的兩塊擋塊2位于架體I的側(cè)邊。所述擋塊2的兩側(cè)面向中心傾斜；擋塊2的橫截面為正放的梯形，藍(lán)寶石襯底3擱置在擋塊2之間的架體I上。在架體I正面的兩個(gè)擋塊2之間設(shè)有弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)4，弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)4在架體I正面的開(kāi)口的寬度小于架體I的正面寬度；弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)4的圓心角小于180°。
[0019]在每個(gè)擋塊2的內(nèi)部設(shè)有豎直向上的出氣管6，出氣管6均與導(dǎo)氣管5連通，導(dǎo)氣管5的一端或兩端連接有進(jìn)氣源9。在每個(gè)擋塊2內(nèi)部設(shè)有多個(gè)豎直向上的出氣管6，同一個(gè)擋塊2上的出氣管6在架體I的寬度方向間隔并排設(shè)置；各個(gè)出氣管6均與導(dǎo)氣管5連通。所述架體I內(nèi)部為中空管狀結(jié)構(gòu)，所述中空管狀結(jié)構(gòu)即為導(dǎo)氣管5，在架體I的中空管狀結(jié)構(gòu)的端部設(shè)有導(dǎo)氣管5的副管7，導(dǎo)氣管5的副管7與進(jìn)氣源9連接。在導(dǎo)氣管5的兩端的副管7上設(shè)有流量控制閥10，控制空氣進(jìn)入量。所述的副管7的端部設(shè)有快接接口 8，副管7通過(guò)快接接口 8與進(jìn)氣源9連接。
【權(quán)利要求】
1.一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:它包括架體，所述架體為規(guī)則形狀；在架體上呈直線型或環(huán)型設(shè)有若干個(gè)向上凸起的擋塊，擋塊之間的間隔相同；且擋塊為直線型設(shè)置時(shí)，最外側(cè)的兩塊擋塊位于架體的側(cè)邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:所述擋塊的兩側(cè)面向中心傾斜；擋塊的橫截面為正放的梯形或正放的等腰三角形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:在架體正面的兩個(gè)擋塊之間設(shè)有弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)，弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)在架體正面的開(kāi)口的寬度小于架體的正面寬度；弧形內(nèi)凹結(jié)構(gòu)的圓心角小于180°。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:在每個(gè)擋塊的內(nèi)部設(shè)有豎直向上的出氣管，出氣管均與導(dǎo)氣管連通，導(dǎo)氣管的一端或兩端連接有進(jìn)氣源。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:所述架體內(nèi)部為中空管狀結(jié)構(gòu)，所述中空管狀結(jié)構(gòu)即為導(dǎo)氣管，在架體的中空管狀結(jié)構(gòu)的端部設(shè)有導(dǎo)氣管的副管，導(dǎo)氣管的副管與進(jìn)氣源連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:在每個(gè)擋塊內(nèi)部設(shè)有多個(gè)豎直向上的出氣管，同一個(gè)擋塊上的出氣管在架體的寬度方向間隔并排設(shè)置；各個(gè)出氣管均與導(dǎo)氣管連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:在導(dǎo)氣管的兩端的副管上設(shè)有流量控制閥，控制空氣進(jìn)入量。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種藍(lán)寶石襯底擺放架，其特征是:所述的副管的端部設(shè)有快接接口，副管通過(guò)快接接口與進(jìn)氣源連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK204118052SQ201420597263
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】楊國(guó)峰, 楊文娟 申請(qǐng)人:杭州世明光電有限公司