晶片盒放置架的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有編號，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多層支撐板，每層所述支撐板上均設(shè)置有多組用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每組晶片盒固定槽上安裝有傳感器與譯碼器，所述傳感器與譯碼器通過數(shù)據(jù)線與一設(shè)備自動化系統(tǒng)連接；傳感器檢測到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，譯碼器將晶片盒放置架的編號信息與譯碼器讀取到的晶片盒的編號等信息傳輸至設(shè)備自動化系統(tǒng)，從設(shè)備自動化系統(tǒng)可以了解到某一晶片盒的具體放置位置，從而避免了晶片盒的丟失，節(jié)省了工作人員尋找晶片盒所花費的時間，同時優(yōu)化了晶片的周轉(zhuǎn)率，減少了機臺的等待時間。
【專利說明】晶片盒放置架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的存儲裝置，具體涉及一種晶片盒放置架。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶片的制造過程中，不論制造部操作人員還是工程部的工程師經(jīng)常會遭遇到晶片盒(pod)丟失的情況發(fā)生，造成晶片盒丟失的原因基本上是由于前一個工藝的工作人員隨意把晶片盒放在了某個晶片架(wafer rack)或某個晶片推車(wafer trolley)上，一旦這種情況發(fā)生，常常需要花費制造部和工程部工作人員的大量時間與精力來尋找丟失的晶片盒，并且由于晶片盒的丟失可能造成晶片排隊時間延長(wafer over Q-timeissue),嚴重的還會導(dǎo)致晶片廢棄(over Q-time defect worse scrap)。
[0003]目前業(yè)界一般通過機臺SMIF(Standard Mechanical Interface,標(biāo)準機械界面)以及晶片存儲間(lot Stocker)來記錄晶片盒的位置,例如:機臺的工作記錄、機臺SMIFEAP(Equipment Automat1n Programming,設(shè)備自動化系統(tǒng))輸入/輸出記錄以及l(fā)otStocker進出傳送記錄，但是由于在半導(dǎo)體制造廠的不同區(qū)域的晶片架或晶片推車上存放大量的各種晶片盒，一旦晶片盒被隨機放置在任意一個晶片架或晶片推車上就很難追蹤，而且區(qū)域較大，單單人力尋找效率非常低下，會嚴重影響晶片的周轉(zhuǎn)率(turn rate)。
[0004]因此，亟需提供一種晶片盒放置架，以方便追蹤每個晶片盒的具體位置。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種晶片盒放置架，以跟蹤每個晶片盒的具體位置，并將晶片盒的位置信息自動反饋到設(shè)備自動化系統(tǒng)。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有編號，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多層支撐板，每層所述支撐板上均設(shè)置有多組用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每組晶片盒固定槽上安裝有傳感器與譯碼器，所述傳感器與譯碼器通過數(shù)據(jù)線與一設(shè)備自動化系統(tǒng)連接。
[0007]可選的，所述每組晶片盒固定槽具有唯一的地址以及獨立的編號。
[0008]可選的，根據(jù)所述晶片盒放置架所處的不同位置進行編號，所述晶片盒放置架的編號與所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具體位置一起構(gòu)成所述晶片盒固定槽的編號。
[0009]可選的，所述譯碼器位于所述晶片盒固定槽的邊緣。
[0010]可選的，所述每組晶片盒固定槽上還安裝有防止晶片盒晃動的定位銷。
[0011]可選的，所述定位銷為突起的柱狀物。
[0012]可選的，所述定位銷的數(shù)量為三個，分別位于所述晶片盒固定槽相對的兩側(cè)，并緊貼放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。
[0013]可選的，所述傳感器位于所述晶片盒固定槽對應(yīng)所述晶片盒底部的位置。
[0014]可選的，所述固定支架的底部設(shè)置有滾輪。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的晶片盒放置架的有益效果是:
[0016]1、本實用新型通過對晶片盒放置架進行編號，并且在每組晶片盒固定槽上都安裝傳感器與譯碼器，傳感器檢測到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，譯碼器將晶片盒放置架的編號信息與譯碼器讀取到的晶片盒的編號等信息傳輸至設(shè)備自動化系統(tǒng)，從設(shè)備自動化系統(tǒng)可以了解到某一晶片盒的具體放置位置，從而避免了晶片盒的丟失，節(jié)省了工作人員尋找晶片盒所花費的時間，同時優(yōu)化了晶片的周轉(zhuǎn)率，減少了機臺的等待時間；
[0017]2、本實用新型對每組晶片盒固定槽進行編號，并且晶片盒固定槽的編號上同時體現(xiàn)其所在的晶片盒放置架的編號，從而更為詳細的確定晶片盒所在的具體位置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型一實施例所提供的晶片盒放置架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2為本實用新型一實施例所提供的晶片盒放置架中晶片盒固定槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3為圖2在C處的截面圖。

【具體實施方式】
[0021]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0022]本實用新型可以利用多種替換方式實現(xiàn)，下面通過較佳的實施例來加以說明，當(dāng)然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
[0023]其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細的描述，在詳述本實用新型實施例時，為了便于說明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。
[0024]請參考圖1，其為本實用新型一實施例所提供的晶片盒放置架的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述晶片盒放置架10包括固定支架11以及位于所述固定支架上水平放置的多層支撐板12，每層支撐板12上設(shè)置有多組用于放置晶片盒的晶片盒固定槽13，所述每組晶片盒固定槽13上安裝有傳感器14以及譯碼器15，所述傳感器14與譯碼器15通過數(shù)據(jù)線與一設(shè)備自動化系統(tǒng)(Equipment Automat1n Programming, ΕΑΡ)連接。
[0025]本實施例中，所述的晶片盒放置架10具有編號，根據(jù)編號追蹤晶片盒放置架10的位置來跟蹤放置于晶片盒放置架10上的晶片盒20的具體位置，根據(jù)所述晶片盒放置架10所處的不同位置進行編號，例如:將半導(dǎo)體廠內(nèi)的所有的晶片盒放置架根據(jù)廠房及區(qū)域的不同進行統(tǒng)一編號，AETRKOI/BPHRKOI/CCVDRKO3, A、B、C代表的是廠房，ET, PH, CVD分別代表的是刻蝕區(qū)域、曝光區(qū)域以及化學(xué)氣相沉積區(qū)域，RK01、RK02、RK03代表的是序列號，從而使得每個晶片盒放置架都具有唯一的編號；需要說明的是，本實施例中是按照廠房及區(qū)域的不同進行的編號，在其他實施例中也可以采用其他的方式進行編號，達到區(qū)分晶片盒放置架的目的即可。
[0026]所述的每組晶片盒固定槽13具有唯一的地址以及獨立的編號，所述晶片盒放置架10的編號與所述晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上的具體位置一起構(gòu)成所述晶片盒固定槽13的編號，即根據(jù)晶片盒放置架10的編號以及晶片盒固定槽13在晶片盒放置架上的位置進行編號，例如按照晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上從上往下從左往右的順序進行編號，編號為AETRK01-11，其代表的是晶片盒放置架AETRK01上第一排左邊第一個晶片盒固定槽，譯碼器15將晶片盒固定槽13的編號傳遞至設(shè)備自動化系統(tǒng)，則可以直接找到相對應(yīng)的晶片盒20。
[0027]本實施例中,所述譯碼器15為紅外智能標(biāo)簽閱讀器(smart tag reader),能夠?qū)⒕?0所在的晶片盒固定槽13的編號傳輸給所述設(shè)備自動化系統(tǒng)，并且所述譯碼器15位于所述晶片盒固定槽13的邊緣，方便讀取晶片盒的編號、晶片的制造進程等信息，并同時將該信息傳至所述設(shè)備自動化系統(tǒng)；從所述設(shè)備自動化系統(tǒng)上讀取到晶片盒20的信息以及晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的編號，則可以確定晶片盒20的具體位置，從而避免了人工尋找；所述傳感器14位于所述晶片盒固定槽13對應(yīng)所述晶片盒20底部的位置，晶片盒20放置于所述晶片盒固定槽13上時，所述傳感器14位于所述晶片盒20的底部，用于檢測所述晶片盒固定槽13上是否放置晶片盒；所述傳感器14與譯碼器15的具體位置如圖2所示。
[0028]所述每組晶片盒固定槽13上還安裝有定位銷16，可以有效的防止晶片盒20的晃動以及避免晶片盒20因運輸而跌落。所述定位銷16為突起的柱狀物，如圖3所示。本實施例中，所述定位銷16的數(shù)量為三個，所述定位銷16位于所述晶片盒固定槽13相對的兩偵牝并緊貼放置于所述晶片盒固定槽13上的晶片盒20，請參考圖2，當(dāng)晶片盒20放置于所述晶片盒固定槽13上時，所述三個定位銷16分別位于所述晶片盒20相對的兩側(cè)A邊與B邊的外圍，在A邊的外圍上設(shè)置有一個定位銷16，位于A邊的中間，在B邊的外圍上設(shè)置有兩個定位銷16，分別為位于B邊的兩側(cè)，從而達到防止晶片盒20晃動的目的；可以理解的是，所述定位銷16的數(shù)量并不局限于三個，自其它實施例中，可以根據(jù)實際的需要確定。
[0029]在所述固定支架11的底部還設(shè)置有滾輪17，以方便移動所述晶片盒放置架10。需要說明的是，本實用新型所述的晶片盒放置架10可以是新制作的，也可以在現(xiàn)有的晶片架或晶片推車上進行改進，在晶片架或晶片推車上的每層支撐板上設(shè)置多組晶片盒固定槽，并在每組晶片盒固定槽上安裝傳感器以及譯碼器，所述傳感器與譯碼器通過數(shù)據(jù)線與設(shè)備自動化系統(tǒng)連接，所述傳感器、譯碼器以及設(shè)備自動化系統(tǒng)均為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的結(jié)構(gòu)，所述設(shè)備自動化系統(tǒng)上設(shè)置有相應(yīng)的接口(這些接口可以是現(xiàn)有的設(shè)備自動化系統(tǒng)預(yù)留的各種用于外接設(shè)備的接口)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可通過數(shù)據(jù)線直接將傳感器、譯碼器連接在設(shè)備自動化系統(tǒng)相應(yīng)的接口上即可實現(xiàn)信號的傳輸，而無需對設(shè)備自動化系統(tǒng)進行改進，由此即可實現(xiàn)晶片盒具體位置的跟蹤，避免晶片盒的丟失；在現(xiàn)有的晶片架或晶片推車上進行改進，方法簡單，并且充分利用了現(xiàn)有的資源，避免材料的浪費。
[0030]以下詳細說明所述晶片盒放置架10的工作方法，將一晶片盒20放置于一晶片盒放置架10的一晶片盒固定槽13上，傳感器14檢測到晶片盒20并將信號傳輸至譯碼器15，譯碼器15將晶片盒放置架10的編號，更優(yōu)選的為晶片盒固定槽13的編號以及所讀取的晶片盒20的信息傳輸至設(shè)備自動化系統(tǒng)，由于編號是唯一的，并且編號代表晶片盒放置架10與晶片盒固定槽13的具體位置，因此通過設(shè)備自動化系統(tǒng)讀取到晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的編號，從而確定晶片盒20的位置，由此防止晶片盒的丟失，避免尋找晶片盒浪費時間。
[0031]綜上所述，本實用新型通過對晶片盒放置架進行編號，并且在每組晶片盒固定槽上都安裝傳感器與譯碼器，傳感器檢測到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，譯碼器將晶片盒放置架的編號信息與譯碼器讀取到的晶片盒的編號等信息傳輸至設(shè)備自動化系統(tǒng)，從設(shè)備自動化系統(tǒng)可以了解到某一晶片盒的具體放置位置，從而避免了晶片盒的丟失，節(jié)省了工作人員尋找晶片盒所花費的時間，同時優(yōu)化了晶片的周轉(zhuǎn)率，減少了機臺的等待時間；本實用新型對每組晶片盒固定槽進行編號，并且晶片盒固定槽的編號上同時體現(xiàn)其所在的晶片盒放置架的編號，從而更為詳細的確定晶片盒所在的具體位置。
[0032]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有編號，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多層支撐板，每層所述支撐板上均設(shè)置有多組用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每組晶片盒固定槽上安裝有傳感器與譯碼器，所述傳感器與譯碼器通過數(shù)據(jù)線與一設(shè)備自動化系統(tǒng)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每組晶片盒固定槽具有唯一的地址以及獨立的編號。
3.如權(quán)利要求2所述的晶片盒放置架，其特征在于，根據(jù)所述晶片盒放置架所處的不同位置進行編號，所述晶片盒放置架的編號與所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具體位置一起構(gòu)成所述晶片盒固定槽的編號。
4.如權(quán)利要求3所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述譯碼器位于所述晶片盒固定槽的邊緣。
5.如權(quán)利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每組晶片盒固定槽上還安裝有防止晶片盒晃動的定位銷。
6.如權(quán)利要求5所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位銷為突起的柱狀物。
7.如權(quán)利要求6所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位銷的數(shù)量為三個，分別位于所述晶片盒固定槽相對的兩側(cè)，并緊貼放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。
8.如權(quán)利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述傳感器位于所述晶片盒固定槽對應(yīng)所述晶片盒底部的位置。
9.如權(quán)利要求1?8任意一項所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述固定支架的底部設(shè)置有滾輪。
【文檔編號】H01L21/66GK204155914SQ201420611206
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月21日
【發(fā)明者】張韜 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司