一種壓緊裝置及具有該壓緊裝置的熱處理設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及壓緊固定【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種壓緊裝置及具有該壓緊裝置的熱處理設(shè)備。所述壓緊裝置包括氣缸和壓緊部件；其中，所述氣缸包括缸體和伸出缸體外的伸縮軸；所述壓緊部件與所述伸縮軸固定連接；所述壓緊部件在伸縮軸自轉(zhuǎn)帶動下繞伸縮軸轉(zhuǎn)動，以實現(xiàn)壓緊部件的位置變換；所述壓緊部件隨著所述伸縮軸做直線運動，以實現(xiàn)被壓緊對象的壓緊和放松。將所述壓緊裝置用于熱處理設(shè)備中，硅片傳送到主機箱的過程中時，可以保證打開儲片盒盒蓋過程中，儲片盒的位置穩(wěn)定可靠并不隨意竄動，從而具有較好的位置精度，并有助于儲片盒蓋的順利打開。除此以外，在硅片傳輸過程中，保持儲片盒始終與主機箱可靠密封，從而保證主機箱內(nèi)的微環(huán)境不被破壞。
【專利說明】一種壓緊裝置及具有該壓緊裝置的熱處理設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及壓緊固定【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種壓緊裝置及具有該壓緊裝置的熱處理設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，儲片盒存儲裝置用于存放和傳輸儲片盒，其中儲片盒是一個密封的盒子，內(nèi)部盛放硅片。主機箱內(nèi)部微環(huán)境的主要作用是工藝前后硅片的取放和存儲，因此需將微環(huán)境內(nèi)部密封以保證其潔凈度及氧氣含量控制。
[0003]請參見圖1，該圖為現(xiàn)有技術(shù)提供的一種主機箱與儲片盒之間的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖。
[0004]儲片盒101存儲裝置和主機箱102是對接在一起的兩大箱體式部件，兩者之間有窗口，便于娃片傳輸。不傳輸娃片時，窗口位置封閉；傳輸娃片時，窗口打開。一般的，娃片放置于儲片盒101內(nèi)，多個儲片盒101分別放置在儲片盒101存儲裝置內(nèi)部的不同儲存位置。進行傳輸工藝前，儲片盒101存儲裝置內(nèi)儲存的儲片盒101在水平臺的作用下，送到儲片盒101存儲裝置與主機箱102連接處的窗口位置，儲片盒盒蓋打開后，儲片盒101內(nèi)的硅片就被機械手103取出放在工藝舟104上。由于要保證微環(huán)境內(nèi)部的密封性，在打開窗口之前，將儲片盒101放置在窗口前的水平臺上，使窗口處設(shè)置的密封圈105與儲片盒101開口處的外緣緊密接合，然后利用窗口上的開鎖機構(gòu)打開儲片盒盒蓋，將盒蓋移走后進行取硅片操作。此時，主機箱102就與儲片盒101盒組成一個連通的密閉空間。
[0005]窗口上設(shè)置的開鎖機構(gòu)需保證與儲片盒盒蓋上的開閉裝置有較好的位置精度，從而將儲片盒盒蓋的順利打開；儲片盒盒蓋表面光滑，為了移走儲片盒盒蓋，窗口上設(shè)置有吸盤裝置，并有定位銷與儲片盒盒蓋上的定位孔相配合，以保證能順利進行抽真空操作，使儲片盒盒蓋吸附在吸盤上移走。為保證儲片盒開口處的外緣能與窗口處設(shè)置的密封圈順利接合實現(xiàn)密封，同時保證儲片盒蓋打開及移走時的位置準確性，防止儲片盒移動、震動，亟需提供一種壓緊裝置，將儲片盒固定在指定位置以便于密封及硅片的傳輸。
實用新型內(nèi)容
[0006](一 )要解決的技術(shù)問題
[0007]本實用新型要解決的技術(shù)問題就是如何提供一種壓緊裝置，將儲片盒固定在指定位置以便于密封及硅片的傳輸。
[0008]( 二 )技術(shù)方案
[0009]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種壓緊裝置，用于將硅片傳送到主機箱的過程中，使儲片盒的位置穩(wěn)定可靠；
[0010]包括氣缸和壓緊部件；
[0011]其中，所述氣缸包括缸體和伸出缸體外的伸縮軸；
[0012]所述缸體為靜止部件，所述伸縮軸為氣缸的運動部件，在氣缸啟動時做直線運動并自轉(zhuǎn)；
[0013]所述壓緊部件與所述伸縮軸固定連接；
[0014]所述壓緊部件在伸縮軸自轉(zhuǎn)帶動下繞伸縮軸轉(zhuǎn)動，以實現(xiàn)壓緊部件的定位；
[0015]所述壓緊部件隨著所述伸縮軸做直線運動，以實現(xiàn)被壓緊對象的壓緊和放松。
[0016]優(yōu)選地，所述壓緊部件為壓緊桿；所述壓緊桿平行于所述伸縮軸，且通過連桿與伸縮軸固定。
[0017]優(yōu)選地，所述壓緊桿與連桿之間連接位置可調(diào)，以實現(xiàn)壓緊裝置的壓緊力可調(diào)。
[0018]優(yōu)選地，所述壓緊桿的端面設(shè)置有緩沖墊，用于緩沖對被壓緊對象的壓力。
[0019]優(yōu)選地，所述連桿通過緊固機構(gòu)與所述伸縮軸和壓緊部件固定；
[0020]所述緊固機構(gòu)為螺釘或螺栓。
[0021]本實用新型提供一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，包括對接的主機箱與儲片盒儲存裝置；
[0022]所述主機箱與所述儲片盒儲存裝置的對接處設(shè)置有密封窗口，所述窗口能根據(jù)需要打開或者關(guān)閉；
[0023]所述儲片盒儲存裝置包括水平臺，用于承載包含有可拆卸盒蓋的儲片盒，并將所述儲片盒運輸?shù)矫芊獯翱谖恢茫?br> [0024]所述半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備還包括本實用新型所述的壓緊裝置；
[0025]所述壓緊裝置位于所述密封窗口附近，用于在所述儲片盒運輸?shù)轿缓?，對所述儲片盒的邊緣結(jié)構(gòu)施加壓緊力，所述壓緊力垂直于密封窗口所在的平面。
[0026]優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備還包括控制器，用于控制所述氣缸的伸縮軸的運動方向，從而實現(xiàn)壓緊裝置的壓緊和放松。
[0027]優(yōu)選地，所述密封窗口為方形窗口 ；所述壓緊裝置為四個，布置在所述密封窗口的兩側(cè)；
[0028]所述密封窗口設(shè)置有密封圈。
[0029]優(yōu)選地，所述壓緊裝置連接有傳感器，當儲片盒壓緊后有信號反饋，以進行下一步傳片動作。
[0030]優(yōu)選地，所述主機箱設(shè)置有吸盤裝置以及開鎖機構(gòu)；
[0031]所述開鎖機構(gòu)用于拆卸所述儲片盒上的盒蓋，使得盒蓋與儲片盒母體之間連接關(guān)系解除；
[0032]所述吸盤裝置用于吸附所述盒蓋，并帶動盒蓋離開所述儲片盒母體。
[0033](三)有益效果
[0034]本實用新型的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點:氣缸啟動，伸縮軸自轉(zhuǎn)并相對于缸體做直線運動，帶動壓緊部件繞伸縮軸做圓弧運動，同時與伸縮軸一起做直線運動。當壓緊部件繞伸縮軸轉(zhuǎn)動時，實現(xiàn)了壓緊部件的定位；當壓緊部件做直線運動時，此時壓緊部件相對于被壓緊對象的距離發(fā)生變化，從而實現(xiàn)壓緊和放松。將所述壓緊裝置用于將硅片傳送到主機箱的過程中，固定儲片盒。此時，只需控制氣缸內(nèi)伸縮軸的運動方向，即可實現(xiàn)儲片盒的壓緊與放松從而保證儲片盒與密封窗口之間的可靠密封，從而使得微環(huán)境內(nèi)部維持高的潔凈度和較低的含氧量。除此以外，通過調(diào)整壓緊桿與連接桿之間的位置關(guān)系即可實現(xiàn)壓緊力的調(diào)節(jié)，從而控制密封時壓緊裝置的壓緊力。
[0035]本實用新型的又一優(yōu)選方案中，將所述壓緊裝置用于半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備內(nèi)。并且優(yōu)選采用四個壓緊裝置夾持儲片盒。此時，儲片盒位置穩(wěn)定可靠，可保證傳取片的安全性。除此以外，壓緊裝置連接有傳感器，儲片盒壓緊后有信號反饋，從而可進行下一步傳片動作。由此，在開鎖機構(gòu)打開儲片盒的盒蓋，以及吸盤裝置進行抽真空動作時，減少了儲片盒的振動，從而進一步保證儲片盒與密封窗口的密封性能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0037]圖1:現(xiàn)有技術(shù)提供的一種主機箱與儲片盒之間的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖；
[0038]圖2:本實用新型提供的主機箱與儲片盒存儲裝置的對接處的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖3:本實用新型提供的一種壓緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖4:本實用新型提供的壓緊裝置的使用狀態(tài)示意圖；
[0041]圖中:1:壓緊裝置；11:缸體；12:伸縮軸；13:連桿；14:壓緊桿；15:緩沖墊；16:緊固機構(gòu)；
[0042]2:密封窗口 ；3:水平臺；4:密封圈；5:開鎖機構(gòu)；6:吸盤裝置；7:儲片盒。

【具體實施方式】
[0043]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。
[0044]不失一般性，本實施方式中以半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備為對象進行說明。應(yīng)當理解，本申請?zhí)峁┑膲壕o裝置適用于任何主機箱和儲片盒儲存裝置之間進行硅片傳輸?shù)膱龊?，而不局限于半?dǎo)體立式熱處理設(shè)備內(nèi)主機箱和儲片盒儲存裝置之間。
[0045]在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”“正”、“反”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0046]請參見圖2，該圖為本方案提供的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備的主機箱與儲片盒存儲裝置的對接處的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0047]本方案提供一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，包括對接的主機箱與儲片盒儲存裝置。其中，所述主機箱與所述儲片盒儲存裝置的對接處設(shè)置有密封窗口 2，所述窗口能根據(jù)需要打開或者關(guān)閉。所述密封窗口2可以為普通窗口上設(shè)置密封圈4的形式。所述儲片盒儲存裝置包括水平臺3，用于承載包含有可拆卸盒蓋的儲片盒7，并將所述儲片盒7運輸?shù)矫芊獯翱谖恢?，此處“將所述儲片?運輸?shù)矫芊獯翱谖恢谩敝傅氖鞘沟脙ζ?初步到位，其固定所述盒蓋的外緣與密封窗口 2形成初步配合或者靠近，只要方便后續(xù)壓緊裝置1的壓緊工作即可。需要說明的是，為了使得儲片盒初步到位的準確性，優(yōu)選在所述密封窗口 2上設(shè)置定位銷，并在儲片盒盒蓋上設(shè)置定位孔，通過銷和孔的配合，實現(xiàn)儲片盒7的定位。
[0048]為了使得所述儲片盒7與密封窗口 2緊密結(jié)合，并保證后續(xù)開啟儲片盒7的盒蓋的動作不會對所述結(jié)合造成不利影響，從而實現(xiàn)可靠密封，本方案在密封窗口 2的附近設(shè)置有壓緊裝置1，請參考圖3。所述壓緊裝置1所述壓緊裝置包括氣缸和壓緊部件。其中，所述氣缸包括缸體11和伸出缸體外的伸縮軸12。所述缸體11為靜止部件，所述伸縮軸12為氣缸的運動部件，在氣缸啟動時做直線運動并自轉(zhuǎn)。所述壓緊部件與所述伸縮軸12固定連接，優(yōu)選采用連桿13連接。所述壓緊部件在伸縮軸12自轉(zhuǎn)帶動下繞伸縮軸12轉(zhuǎn)動，以實現(xiàn)壓緊部件的定位；所述壓緊部件隨著所述伸縮軸12做直線運動，以實現(xiàn)被壓緊對象的壓緊和放松。需要注意的是，本方案中所述“附近”指的是保證壓緊裝置能實現(xiàn)其目的的范圍，也即氣缸啟動之前，壓緊部件保持靜止，此時其不會妨礙儲片盒7靠近密封窗體；當儲片盒到位后，此時啟動氣缸，伸縮軸12自轉(zhuǎn)帶動壓緊部件轉(zhuǎn)動，從而使得壓緊部件靠近儲片盒的與側(cè)壁，并且伸縮軸12的直線運動帶動壓緊部件直線運動，從而使得壓緊部件壓緊儲片盒的邊緣結(jié)構(gòu)。
[0049]值得一提的是，本方案中半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備還可以包括控制器，用于控制所述氣缸中伸縮軸的運動方向，帶動伸縮軸12自轉(zhuǎn)或者相對缸體11做直線運動，從而帶動壓緊部件，完成壓緊、放松動作，從而實現(xiàn)對儲片盒7的壓緊和放松。除此以外，壓緊裝置連接有傳感器，儲片盒壓緊后有信號反饋，從而可進行下一步傳片動作。
[0050]本方案中，壓緊部件優(yōu)先采用壓緊桿14形式，并優(yōu)選在壓緊桿14的一端安裝緩沖墊15，在壓緊時起緩沖作用。壓緊裝置1由松開狀態(tài)進行壓緊動作時，氣缸的伸縮軸12旋轉(zhuǎn)一定的角度，并使伸縮軸12處于收縮狀態(tài)(此處收縮狀態(tài)指的是伸縮桿12暴露在缸體11外部的長度變短)，連桿13 —端與伸縮軸12緊固連接，另一端與壓緊桿14連接，連桿13在伸縮桿的帶動下實現(xiàn)正向旋轉(zhuǎn)、壓緊的動作，如圖3中的a、c動作。反之，當壓緊裝置1由壓緊狀態(tài)變?yōu)樗砷_狀態(tài)時，氣缸的伸縮軸12反向旋轉(zhuǎn)一定角度，并將伸縮軸12頂出一段距離，使之處于伸長狀態(tài)，連桿13在伸縮軸12帶動下，帶動壓緊桿14實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、松開動作，如圖3的b、d動作。當然，伸縮軸的旋轉(zhuǎn)和直線運動之間的對應(yīng)關(guān)系并不一定如實施例中，伸縮軸的運動和壓緊裝置的壓緊、松開動作的對應(yīng)關(guān)系也并不一定如實施例。
[0051]本方案中，連桿13與壓緊桿14之間用緊固機構(gòu)16連接，優(yōu)選的，采用螺釘進行連接。通過調(diào)整連桿13與壓緊桿14的位置，可實現(xiàn)壓緊力的調(diào)整。
[0052]本方案中，優(yōu)選將四個壓緊裝置1按不同方向布置在儲片盒7存儲裝置和主機箱對接處的儲片盒7開口位置，請參見圖2和圖4。此時，所述密封窗口 2優(yōu)選為方形窗口，布置在所述密封窗口 2的兩側(cè)。當然，密封窗口 2的形狀并不局限于方形，并且其中的兩側(cè)可以是左、右兩側(cè)，也可以是上、下兩側(cè)。該情況下，能均勻?qū)ζ?壓緊在固定位置，保證儲片盒7開口處的外緣能與窗口處設(shè)置的密封圈4順利接合實現(xiàn)密封，同時保證儲片盒7蓋打開及移走時的位置準確性，防止儲片盒7移動、震動。在實現(xiàn)壓緊動作時，優(yōu)先的，使多個壓緊裝置1能同時動作，保證壓緊作用的均勻性和可靠性，防止受力不均。當然采用除四個以外的多個壓緊裝置1也可以實現(xiàn)儲片盒7的壓緊。
[0053]在所述儲片盒7與密封窗口 2緊密結(jié)合實現(xiàn)密封之前，密封窗口 2屬于關(guān)閉狀態(tài)，從而保證主機箱內(nèi)的微環(huán)境不受外界影響。當儲片盒7被壓緊裝置1壓緊，并實現(xiàn)與密封窗口 2的緊密結(jié)合后，此時半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備上的感應(yīng)裝置發(fā)出信號，以便后續(xù)開啟密封窗口 2，并打開儲片盒盒蓋。在主機箱上還設(shè)置有開鎖機構(gòu)5和吸盤裝置6。所述開鎖機構(gòu)5解除盒蓋與儲片盒7母體的固定連接關(guān)系，進而所述吸盤進行抽真空，使得盒蓋吸附在所述吸盤裝置6上，在吸盤裝置6的帶動下，從儲片盒7母體分離。
[0054]需要注意的是，本方案中提到的“主機箱設(shè)置有開鎖機構(gòu)5和吸盤裝置6”，具體形式優(yōu)選但不局限于在主機箱的密封窗口 2上設(shè)置有窗板，并將開鎖機構(gòu)5和吸盤裝置6固定在窗板上。
[0055]以上實施方式僅用于說明本實用新型，而非對本實用新型的限制。盡管參照實施例對本實用新型進行了詳細說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解，對本實用新型的技術(shù)方案進行各種組合、修改或者等同替換，都不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當中。
【權(quán)利要求】
1.一種壓緊裝置，用于將硅片傳送到主機箱的過程中，使儲片盒的位置穩(wěn)定可靠； 其特征在于，所述壓緊裝置包括氣缸和壓緊部件； 其中，所述氣缸包括缸體和伸出缸體外的伸縮軸； 所述缸體為靜止部件，所述伸縮軸為氣缸的運動部件，在氣缸啟動時做直線運動并自轉(zhuǎn)； 所述壓緊部件與所述伸縮軸固定連接； 所述壓緊部件在伸縮軸自轉(zhuǎn)帶動下繞伸縮軸轉(zhuǎn)動，以實現(xiàn)壓緊部件的定位； 所述壓緊部件隨著所述伸縮軸做直線運動，以實現(xiàn)被壓緊對象的壓緊和放松。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓緊裝置，其特征在于，所述壓緊部件為壓緊桿；所述壓緊桿平行于所述伸縮軸，且通過連桿與伸縮軸固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓緊裝置，其特征在于，所述壓緊桿與連桿之間連接位置可調(diào)，以實現(xiàn)壓緊裝置的壓緊力可調(diào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓緊裝置，其特征在于，所述壓緊桿的端面設(shè)置有緩沖墊，用于緩沖對被壓緊對象的壓力。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓緊裝置，其特征在于，所述連桿通過緊固機構(gòu)與所述伸縮軸和壓緊部件固定； 所述緊固機構(gòu)為螺釘或螺栓。
6.一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，包括對接的主機箱與儲片盒儲存裝置； 所述主機箱與所述儲片盒儲存裝置的對接處設(shè)置有密封窗口，所述窗口能根據(jù)需要打開或者關(guān)閉； 所述儲片盒儲存裝置包括水平臺，用于承載包含有可拆卸盒蓋的儲片盒，并將所述儲片盒運輸?shù)矫芊獯翱谖恢茫? 其特征在于，所述半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備還包括權(quán)利要求1至5中任意一項所述的壓緊裝置； 所述壓緊裝置位于所述密封窗口附近，用于在所述儲片盒運輸?shù)轿缓?，對所述儲片盒的邊緣結(jié)構(gòu)施加壓緊力，所述壓緊力垂直于密封窗口所在的平面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備還包括控制器，用于控制所述氣缸的伸縮軸的運動方向，從而實現(xiàn)壓緊裝置的壓緊和放松。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，其特征在于，所述密封窗口為方形窗口 ；所述壓緊裝置為四個，布置在所述密封窗口的兩側(cè)； 所述密封窗口設(shè)置有密封圈。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，其特征在于，所述壓緊裝置連接有傳感器，當儲片盒壓緊后有信號反饋，以進行下一步傳片動作。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，其特征在于，所述主機箱設(shè)置有吸盤裝置以及開鎖機構(gòu)； 所述開鎖機構(gòu)用于拆卸所述儲片盒上的盒蓋，使得盒蓋與儲片盒母體之間連接關(guān)系解除； 所述吸盤裝置用于吸附所述盒蓋，并帶動盒蓋離開所述儲片盒母體。
【文檔編號】H01L21/67GK204216013SQ201420652645
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月4日
【發(fā)明者】周厲穎, 董金衛(wèi), 孫晉博 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司