一種半導(dǎo)體制造模具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具，包括：模具板，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面；多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道，設(shè)于所述設(shè)置面；多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板；多個(gè)真空管道，設(shè)于所述模具板，并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面；從而突破了封裝設(shè)備原有基板放置的局限性，能夠在部件改造的情況下，達(dá)到基板逆向放置的效果。
【專利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體制造模具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種半導(dǎo)體制造模具。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，新產(chǎn)品內(nèi)存芯片體積減小，當(dāng)前使用基板的設(shè)計(jì)和芯片粘貼位置，決定了封裝設(shè)備使用現(xiàn)有模具作業(yè)時(shí)，環(huán)氧化樹(shù)脂的流動(dòng)不符合新產(chǎn)品的要求，導(dǎo)致樹(shù)脂溢出到基板封裝外側(cè)，造成大量不良品產(chǎn)生。為了對(duì)應(yīng)新產(chǎn)品生產(chǎn)，需要對(duì)現(xiàn)有模具進(jìn)行改造，使環(huán)氧化樹(shù)脂流向變更，確保品質(zhì)穩(wěn)定。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體制造模具，解決上述現(xiàn)有技術(shù)中模具結(jié)構(gòu)不佳導(dǎo)致環(huán)氧化樹(shù)脂流動(dòng)不符合要求的問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具，包括:模具板，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面；多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道，設(shè)于所述設(shè)置面；多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板；多個(gè)真空管道，設(shè)于所述模具板，并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面。
[0005]可選的，所述多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道在所述模具設(shè)置面平行排列形成基板放置區(qū)域。
[0006]可選的，各所述定位銷的延伸方向平行于所述環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道。
[0007]可選的，所述多個(gè)定位銷包括:至少一個(gè)基板定位銷及至少一個(gè)側(cè)邊定位銷；其中，所述基板定位銷設(shè)于所述基板放置區(qū)域的一側(cè)中部，所述側(cè)邊定位銷設(shè)于所述所述基板放置區(qū)域外，并位于所述模具板的一側(cè)邊緣。
[0008]可選的，所述真空管道貫穿所述模具板并連接氣泵。
[0009]可選的，所述半導(dǎo)體制造模具包括上模具及下模具，所述模具板設(shè)于上模具。
[0010]可選的，所述模具板的設(shè)置面設(shè)有第一定位模塊，所述下模具設(shè)有凹凸配合所述第一定位模塊的第二定位模塊。
[0011]可選的，所述下模具朝向上模具的一面設(shè)有定位針；所述定位針用于配合所述定位銷以定位所述半導(dǎo)體基板于上、下模具之間。
[0012]如上所述，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具，包括:模具板，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面；多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道，設(shè)于所述設(shè)置面；多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板；多個(gè)真空管道，設(shè)于所述模具板，并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面；從而突破了封裝設(shè)備原有基板放置的局限性，能夠在部件改造的情況下，達(dá)到基板逆向放置的效果。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制造模具的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制造模具中下模具的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0016]1- 模具板；
[0017]11-環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道；
[0018]12-基板定位銷；
[0019]13-側(cè)邊定位銷；
[0020]14-真空管道；
[0021]15-第一定位模塊；
[0022]2- 下模具；
[0023]21-定位針。

【具體實(shí)施方式】
[0024]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。需說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0025]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具，包括:模具板1，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面；多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道11，設(shè)于所述設(shè)置面；多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板；多個(gè)真空管道14，設(shè)于所述模具板1，并從所述設(shè)置面向模具板I內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面。
[0026]在一實(shí)施例中，如圖所示，所述多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道11在所述模具設(shè)置面平行排列形成基板放置區(qū)域，利于環(huán)氧化樹(shù)脂的均勻排布。
[0027]在一實(shí)施例中，各所述定位銷的延伸方向平行于所述環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道11，即與溝道的方向平行，如此便于定位基板。
[0028]在一實(shí)施例中，所述多個(gè)定位銷包括:至少一個(gè)基板定位銷12及至少一個(gè)側(cè)邊定位銷13 ;其中，所述基板定位銷12設(shè)于所述基板放置區(qū)域的一側(cè)中部，所述側(cè)邊定位銷13設(shè)于所述所述基板放置區(qū)域外，并位于所述模具板I的一側(cè)邊緣；需說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，見(jiàn)圖1，基板定位銷12為一個(gè)；而側(cè)邊定位銷13為兩個(gè)，分別在所述基板放置區(qū)域兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置，更好定位半導(dǎo)體基板，而所述基板定位銷12位于兩個(gè)側(cè)邊定位銷13的中間位置。
[0029]在一實(shí)施例中，所述真空管道14貫穿所述模具板I并連接氣泵，通過(guò)抽氣等方式制造真空環(huán)境。
[0030]在一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體制造模具包括上模具及下模具2，所述模具板I設(shè)于上模具；見(jiàn)圖1，所述模具板I的設(shè)置面設(shè)有第一定位模塊15，所述下模具2設(shè)有凹凸配合所述第一定位模塊15的第二定位模塊；若所述第一定位模塊15為凸塊，則第二定位模塊為凹部，亦可對(duì)換；見(jiàn)圖2，所述下模具2朝向上模具的一面設(shè)有定位針21 ;所述定位針21用于配合所述定位銷(12及13)以定位所述半導(dǎo)體基板于上、下模具之間，所述配合例如為定位針穿入定位銷的孔內(nèi)結(jié)合的方式等。
[0031]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具，包括:模具板，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面；多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道，設(shè)于所述設(shè)置面；多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板；多個(gè)真空管道，設(shè)于所述模具板，并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面；從而突破了封裝設(shè)備原有基板放置的局限性，能夠在部件改造的情況下，達(dá)到基板逆向放置的效果。
[0032]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，包括: 模具板，具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面； 多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道，設(shè)于所述設(shè)置面； 多個(gè)定位銷，在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸，用以定位半導(dǎo)體基板； 多個(gè)真空管道，設(shè)于所述模具板，并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸，用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述多個(gè)環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道在所述模具設(shè)置面平行排列形成基板放置區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，各所述定位銷的延伸方向平行于所述環(huán)氧化樹(shù)脂注膠溝道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述多個(gè)定位銷包括:至少一個(gè)基板定位銷及至少一個(gè)側(cè)邊定位銷；其中，所述基板定位銷設(shè)于所述基板放置區(qū)域的一側(cè)中部，所述側(cè)邊定位銷設(shè)于所述所述基板放置區(qū)域外，并位于所述模具板的一側(cè)邊緣。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述真空管道貫穿所述模具板并連接氣泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述半導(dǎo)體制造模具包括上模具及下模具，所述模具板設(shè)于上模具。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述模具板的設(shè)置面設(shè)有第一定位模塊，所述下模具設(shè)有凹凸配合所述第一定位模塊的第二定位模塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造模具，其特征在于，所述下模具朝向上模具的一面設(shè)有定位針；所述定位針用于配合所述定位銷以定位所述半導(dǎo)體基板于上、下模具之間。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK204257603SQ201420782997
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月13日
【發(fā)明者】馮建青 申請(qǐng)人:海太半導(dǎo)體（無(wú)錫）有限公司