本發(fā)明涉及電加熱器型預(yù)處理裝置及用于其的電加熱器結(jié)構(gòu)體，更詳細(xì)地，使電加熱器結(jié)構(gòu)體與廢氣的接觸面積最大化，使得電加熱器結(jié)構(gòu)體要熱分解的熱量既快速又均勻地傳遞至廢氣，以便更加激活熱分解。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)的電加熱器型預(yù)處理裝置中，反應(yīng)腔室的內(nèi)部包括桿形或線(wire)形的電加熱器，從反應(yīng)腔室的外部供給的在半導(dǎo)體工藝過程產(chǎn)生的全氟碳化物復(fù)合物(PFC，Per-fluorocarbon Compound)包括在內(nèi)的廢氣與電加熱器進(jìn)行接觸反應(yīng)或熱傳遞，以熱分解廢氣的方式進(jìn)行工作。

另一方面，設(shè)置于現(xiàn)有技術(shù)的電加熱器型預(yù)處理裝置的內(nèi)部的電加熱器的結(jié)構(gòu)單純，呈桿形或線形，電加熱器與廢氣的接觸面積只能相對小，因此，不僅消耗不在近距離而稍微隔開的位置通過電加熱器結(jié)構(gòu)體的廢氣熱傳遞的時(shí)間，而且加熱器結(jié)構(gòu)體要維持熱分解所需要的溫度以上的高溫度，以便實(shí)現(xiàn)充分的熱傳遞，反應(yīng)爐的內(nèi)部的熱分布的均勻性也降低，存在對廢氣的預(yù)處理效率不高的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

因此，本發(fā)明的目的在于，提供電加熱器型預(yù)處理裝置及用于其的電加熱器結(jié)構(gòu)體，使電加熱器結(jié)構(gòu)體與廢氣的接觸面積最大化，以便可在短時(shí)間內(nèi)向廢氣傳遞熱量，具有高均勻性的熱分布度，來激活廢氣熱分解。

解決問題的手段

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的電加熱器型預(yù)處理裝置的特征在于，包括反應(yīng)腔室，在上述反應(yīng)腔室的內(nèi)部設(shè)置有電加熱器結(jié)構(gòu)體，用于從外部接收廢氣，上述電加熱器結(jié)構(gòu)體包括多孔性金屬結(jié)構(gòu)體。

另一方面，本發(fā)明的電加熱器型預(yù)處理裝置的特征在于，包括反應(yīng)腔室，在上述反應(yīng)腔室的內(nèi)部設(shè)置有電加熱器結(jié)構(gòu)體，用于從外部接收廢氣，上述電加熱器結(jié)構(gòu)體包括：絕緣性基底層；帶狀多孔性金屬加熱器，與上述絕緣性基底層的一面相結(jié)合。

優(yōu)選地，本發(fā)明的特征在于，上述絕緣性基底層及上述帶狀多孔性金屬加熱器具有可繞性。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述絕緣性基底層形成螺旋結(jié)構(gòu)。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述多孔性金屬加熱器暴露于向上述絕緣性基底層所形成的螺旋結(jié)構(gòu)內(nèi)供給的上述廢氣。

另一方面，本發(fā)明的電加熱器型預(yù)處理裝置的特征在于，包括反應(yīng)腔室，在上述反應(yīng)腔室的內(nèi)部設(shè)置有電加熱器結(jié)構(gòu)體，用于從外部接收廢氣，上述電加熱器結(jié)構(gòu)體包括：筒狀外殼，上部開放；多個(gè)金屬球，填充于上述筒狀外殼內(nèi)部。

優(yōu)選地，本發(fā)明的特征在于，上述筒狀外殼的內(nèi)部面包括電極部，設(shè)置于上述筒狀外殼的內(nèi)部面，向與上述內(nèi)部面相接觸的金屬球供給電流。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述多個(gè)金屬球通過與相鄰的金屬球的點(diǎn)接觸來電連接。

另一方面，設(shè)置于本發(fā)明的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體包括：絕緣性基底層；帶狀多孔性金屬加熱器，與上述絕緣性基底層的一面相結(jié)合。

優(yōu)選地，本發(fā)明的特征在于，上述絕緣性基底層及上述帶狀多孔性金屬加熱器具有可繞性。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述絕緣性基底層形成螺旋結(jié)構(gòu)。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述多孔性金屬加熱器暴露于向上述絕緣性基底層所形成的螺旋結(jié)構(gòu)內(nèi)供給的廢氣。

另一方面，設(shè)置于本發(fā)明的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體包括：筒狀外殼，從開放的上部接收廢氣；以及多個(gè)金屬球，填充于上述筒狀外殼的內(nèi)部。

優(yōu)選地，本發(fā)明的特征在于，上述筒狀外殼的內(nèi)部面包括電極部，設(shè)置于上述筒狀外殼的內(nèi)部面，向與上述內(nèi)部面相接觸的金屬球供給電流。

并且，本發(fā)明的特征在于，上述多個(gè)金屬球通過與相鄰的金屬球的點(diǎn)接觸來電連接。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，使電加熱器結(jié)構(gòu)體與廢氣的接觸面積最大化，以便在短時(shí)間內(nèi)可向廢氣傳遞熱量，具有高均勻性的熱分布度，來激活廢氣熱分解。

附圖說明

圖1為示出本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體的結(jié)構(gòu)的圖片附圖。

圖3至圖5為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體的變形結(jié)構(gòu)的圖。

圖6為示出在圖3所示的電加熱器結(jié)構(gòu)體的制造中結(jié)構(gòu)變形過程的圖。

圖7為示出根據(jù)圖6所示的方法制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體所插入的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)的圖。

圖8為示出根據(jù)圖6所示的方法制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體設(shè)置于反應(yīng)腔室的狀態(tài)的圖。

圖9及圖10為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體的其他變形結(jié)構(gòu)的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明。要留意的是，即使出現(xiàn)的不同的附圖，對相同的結(jié)構(gòu)要素賦予相同的符號(hào)。并且，省略了不必要地混淆本發(fā)明主旨的公知功能及結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說明。

圖1為示出本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。參照圖1，本發(fā)明一實(shí)施例電加熱器型預(yù)處理裝置包括反應(yīng)腔室100，電加熱器結(jié)構(gòu)體200，噴水部300，沉水部400及排氣部500。

首先，反應(yīng)腔室100從外部接收全氟碳化物復(fù)合物(PFC，per-fluoro-compound)氣等廢氣，并在內(nèi)部設(shè)置有電加熱器結(jié)構(gòu)體200。電加熱器結(jié)構(gòu)體200從設(shè)置于反應(yīng)腔室100的內(nèi)部的電極部150、235接收電源而加熱，廢氣與已加熱的電加熱器結(jié)構(gòu)體200通過進(jìn)行接觸反應(yīng)、對流過程及輻射熱，從而傳遞熱量，進(jìn)行熱分解。

另一方面，在反應(yīng)腔室100的下部設(shè)置有作為沉淀水噴射噴嘴的噴水部300，上述沉淀水噴射噴嘴通過泵350接收沉淀水并向反應(yīng)腔室100的下部空間噴射。

從噴水部300噴射的沉淀水捕集經(jīng)廢氣熱分解生成的水溶性粒子，溶解在沉淀水的水溶性粒子與沉淀水一同流入到設(shè)置于噴水部300的下部的沉水部400。

另一方面，流入到沉水部400的沉淀水與水溶性粒子一同排水至外部，隨著廢氣熱分解生成的水溶性粒子的分離而形成的殘余氣體通過排氣部500排出至外部。

圖2為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例電加熱器型預(yù)處理裝置具有的電加熱器結(jié)構(gòu)體200的結(jié)構(gòu)的圖片附圖。優(yōu)選地，如圖2所示，設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體200以多孔性金屬結(jié)構(gòu)體制造。

如圖2所示的多孔性金屬結(jié)構(gòu)體具有可使電加熱器結(jié)構(gòu)體與廢氣的接觸面積最大化的結(jié)構(gòu)，可更加激活廢氣的熱分解。

圖3至圖5為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體200的變形結(jié)構(gòu)的圖。具體地，圖3為說明電加熱器結(jié)構(gòu)體200的變形結(jié)構(gòu)的主視圖，圖4為在圖3的A-A'的剖視圖，圖5為圖3的下側(cè)視圖。

另一方面，圖6為示出在圖3所示的電加熱器結(jié)構(gòu)體200的制造中結(jié)構(gòu)變形過程的圖。

即，如圖3及圖4所示，在本發(fā)明電加熱器結(jié)構(gòu)體200制造過程中，在長方形的絕緣性基底層210的一面連續(xù)地配置及附著帶狀多孔性金屬加熱器220后，如圖6所示，對絕緣性基底層210與帶狀多孔性金屬加熱器220以卷筒方式一同進(jìn)行卷繞，形成螺旋結(jié)構(gòu)。

為此，優(yōu)選地，絕緣性基底層210及帶狀多孔性金屬加熱器220都以具有可繞性的材質(zhì)制造，具體地，絕緣性基底層210可制造成具有可繞性的陶瓷材質(zhì)的層。

另一方面，附著于絕緣性基底層210的一面的帶狀多孔性金屬加熱器220需要以形成為一體并通電，如圖3、圖5及圖6所示，因此在上述帶狀多孔性金屬加熱器220設(shè)置有向絕緣性基底層210的端部突出的外部電極連接端子223，已形成螺旋結(jié)構(gòu)的電加熱器結(jié)構(gòu)體200以設(shè)置在反應(yīng)腔室100內(nèi)的狀態(tài)下通過連接端子223接收電源。

同時(shí)，為了使附著于絕緣性基底層210的一面的帶狀多孔性金屬加熱器220形成為一體并通電，如圖3所示，優(yōu)選地，還設(shè)置作為連接部225的連接用加熱器，用于在絕緣性基底層210的端部以電連接方式連接平行配置的多個(gè)帶狀多孔性金屬加熱器220。

圖7為示出根據(jù)圖6的方法制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體所插入的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)的圖。

參照圖7，在反應(yīng)腔室100的內(nèi)部面設(shè)置有電極部150，上述電極部150與電加熱器結(jié)構(gòu)體200的連接端子223相連接并供給電源。

同時(shí)，在反應(yīng)腔室100的底板170形成有氣排出孔175，用于向外部排出供給到反應(yīng)腔室100的內(nèi)部的熱分解的廢氣。

圖8為示出根據(jù)圖6方法制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體設(shè)置于反應(yīng)腔室的狀態(tài)的圖。如圖8所示，已形成螺旋結(jié)構(gòu)的電加熱器結(jié)構(gòu)體200設(shè)置于反應(yīng)腔室100的狀態(tài)下，向反應(yīng)腔室100內(nèi)供給的廢氣向螺旋結(jié)構(gòu)的電加熱器結(jié)構(gòu)體200的內(nèi)部供給，因此，圖3的帶狀多孔性金屬加熱器220的整個(gè)面積可與廢氣相接觸。

如此，以螺旋結(jié)構(gòu)制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體200具有可使金屬加熱器與廢氣的接觸面積最大化的結(jié)構(gòu)，可在短時(shí)間內(nèi)向廢氣傳遞熱量，具有高均勻性的熱分布度，來激活廢氣熱分解。

圖9及圖10為說明設(shè)置于本發(fā)明一實(shí)施例的電加熱器型預(yù)處理裝置的電加熱器結(jié)構(gòu)體200的其他變形結(jié)構(gòu)的圖。如圖9及圖10所示，在實(shí)施本發(fā)明的過程中，在電加熱器結(jié)構(gòu)體200的上部設(shè)置有可使廢氣通氣的注入口，上述電加熱器結(jié)構(gòu)體200的內(nèi)部也可利用填充有多個(gè)金屬球250的筒狀外殼230來制造。

具體地，如圖9所示，在上述筒狀外殼230的內(nèi)部面還設(shè)置有電極部235，用于向與上述內(nèi)部面相接觸的金屬球250供給電流。

由此，從筒狀外殼230的內(nèi)部面的電極部235接收電流的金屬球250可通過點(diǎn)接觸向相鄰的其他金屬球250連續(xù)地傳遞電流，填充于上述筒狀外殼230的內(nèi)部的所有金屬球250可通過如上所述的相互點(diǎn)接觸來接收電流。

如圖10所示的結(jié)構(gòu)的電加熱器結(jié)構(gòu)體200設(shè)置于反應(yīng)腔室100的內(nèi)部的狀態(tài)下，向反應(yīng)腔室100的內(nèi)部供給的廢氣通過筒狀外殼230的開放的上部面與金屬球250的外周面相接觸，多個(gè)金屬球250以能夠點(diǎn)接觸的形態(tài)構(gòu)成，因此廢氣可與多個(gè)金屬球250的整個(gè)外周面相接觸。

如此，利用以點(diǎn)接觸形態(tài)構(gòu)成的多個(gè)金屬球250制造的電加熱器結(jié)構(gòu)體200具有可使金屬球250的表面與廢氣的接觸面積最大化的結(jié)構(gòu)，以便在短時(shí)間內(nèi)向廢氣傳遞熱量，具有高均勻性的熱分布度，來激活廢氣熱分解。

同時(shí)，向筒狀外殼230的內(nèi)部供給而結(jié)束與多個(gè)金屬球250進(jìn)行反應(yīng)的廢氣經(jīng)熱分解后，通過形成于筒狀外殼230的底板237的排出孔239向反應(yīng)腔室100的外部排出。

另一方面，在腐蝕性氣體的情況下，隨著持續(xù)與廢氣的反應(yīng)，由于金屬球的表面的腐蝕現(xiàn)象，金屬球250的體積逐漸減小，因此金屬球250與廢氣的接觸面積可能會(huì)減小，但是管理人員可向筒狀外殼230投入追加的金屬球250，從而解決這種維持管理上的問題。

另一方面，在實(shí)施本發(fā)明的過程中，也可將反應(yīng)腔室100本身用作筒狀外殼230。

以上，圖示并說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及應(yīng)用例，但是本發(fā)明不限定于上述的特定的實(shí)施例及應(yīng)用例，當(dāng)然，本發(fā)明所屬領(lǐng)域普通技術(shù)人員可在未超出發(fā)明要求保護(hù)范圍所保護(hù)的本發(fā)明的主旨的前提下進(jìn)行多種實(shí)施變形，這些變形應(yīng)理解為屬于本發(fā)明的技術(shù)思想或前景。

并且，在本發(fā)明中所使用的術(shù)語僅僅用于說明特定實(shí)施例，而并非所要限定本發(fā)明。除非在文脈上明確示出不同的含義，單數(shù)的表述方式包括復(fù)數(shù)的表述方式。在本申請中，“包括”或“具有”等術(shù)語用于指定在說明書中所記載的特征、數(shù)字、步驟、動(dòng)作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在，而并非預(yù)先排除一個(gè)或一個(gè)以上的其他特征或數(shù)字、步驟、動(dòng)作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在或附加可能性。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明在預(yù)處理設(shè)備相關(guān)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域有可利用性。