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量子阱器件及其形成方法與流程
文檔序號:11064302
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來源:國知局
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量子阱器件及其形成方法與制造工藝
技術總結
本發(fā)明提出了一種量子阱器件及其形成方法,能夠形成具有高遷移率的量子阱器件,并且形成的量子阱器件具有較高的擊穿電壓,從而獲得具有較好的性能及可靠性的量子阱器件。
技術研發(fā)人員:
肖德元;張汝京
受保護的技術使用者:
上海新昇半導體科技有限公司
文檔號碼:
201510707771
技術研發(fā)日:
2015.10.27
技術公布日:
2017.05.03
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