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      量子阱器件及其形成方法與流程

      文檔序號:11064302閱讀:來源:國知局
      技術總結
      本發(fā)明提出了一種量子阱器件及其形成方法,能夠形成具有高遷移率的量子阱器件,并且形成的量子阱器件具有較高的擊穿電壓,從而獲得具有較好的性能及可靠性的量子阱器件。

      技術研發(fā)人員:肖德元;張汝京
      受保護的技術使用者:上海新昇半導體科技有限公司
      文檔號碼:201510707771
      技術研發(fā)日:2015.10.27
      技術公布日:2017.05.03

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